JPH08327932A - 偏向走査装置 - Google Patents
偏向走査装置Info
- Publication number
- JPH08327932A JPH08327932A JP15225095A JP15225095A JPH08327932A JP H08327932 A JPH08327932 A JP H08327932A JP 15225095 A JP15225095 A JP 15225095A JP 15225095 A JP15225095 A JP 15225095A JP H08327932 A JPH08327932 A JP H08327932A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary
- polygon mirror
- rotary polygon
- scanning device
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転多面鏡の駆動部を小型化する。
【構成】 回転多面鏡1は回転スリーブ3と一体である
フランジ部材4上に支持され、押えバネ6によってフラ
ンジ部材4に押圧されることでこれと一体的に結合され
る。フランジ部材4の下面にはロータマグネット5が固
着される。ステータコイル8を励磁すると、ロータマグ
ネット5が回転多面鏡1とともに回転する。押えバネ6
は回転スリーブ3の上端に設けられたふた部材10にビ
ス止めされるため、回転スリーブ3やフランジ部材4を
回転多面鏡1の上方へ突出させる必要がない。
フランジ部材4上に支持され、押えバネ6によってフラ
ンジ部材4に押圧されることでこれと一体的に結合され
る。フランジ部材4の下面にはロータマグネット5が固
着される。ステータコイル8を励磁すると、ロータマグ
ネット5が回転多面鏡1とともに回転する。押えバネ6
は回転スリーブ3の上端に設けられたふた部材10にビ
ス止めされるため、回転スリーブ3やフランジ部材4を
回転多面鏡1の上方へ突出させる必要がない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームプリンタ
やレーザファクシミリ等の画像形成装置に用いられる偏
向走査装置に関するものである。
やレーザファクシミリ等の画像形成装置に用いられる偏
向走査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は、レーザビームプリンタやレーザ
ファクシミリ等の画像形成装置に用いられる一般的な偏
向走査装置を説明するもので、これは、光源ユニット5
0から発生されたレーザ光L0 をシリンドリカルレンズ
51によって回転多面鏡101の反射面に線状に集光さ
せ、回転多面鏡101の回転によって偏向走査し、結像
レンズ系52を経て図示しない回転ドラム上の感光体に
結像させる。結像レンズ系52は球面レンズ52a、ト
ーリックレンズ52b等によって構成され、前記感光体
に結像する点像の歪を補正する機能を有する。また、偏
向走査されたレーザ光の一部分は反射ミラー53によっ
て光ファイバ54の受光端に導入され、走査開始信号に
変換されて光源ユニット50に送信される。
ファクシミリ等の画像形成装置に用いられる一般的な偏
向走査装置を説明するもので、これは、光源ユニット5
0から発生されたレーザ光L0 をシリンドリカルレンズ
51によって回転多面鏡101の反射面に線状に集光さ
せ、回転多面鏡101の回転によって偏向走査し、結像
レンズ系52を経て図示しない回転ドラム上の感光体に
結像させる。結像レンズ系52は球面レンズ52a、ト
ーリックレンズ52b等によって構成され、前記感光体
に結像する点像の歪を補正する機能を有する。また、偏
向走査されたレーザ光の一部分は反射ミラー53によっ
て光ファイバ54の受光端に導入され、走査開始信号に
変換されて光源ユニット50に送信される。
【0003】回転多面鏡101の駆動部は、図3に示す
ように、固定軸102に嵌合する回転スリーブ103に
フランジ部材103aを一体化してこれにロータマグネ
ット104を固着し、回転多面鏡101を押えバネ10
5によってフランジ部材103aに押圧してこれと一体
的に結合させるとともに、固定軸102を固定したモー
タハウジング106にモータ基板107を支持させたも
ので、モータ基板107上に立設されたステータコイル
108を励磁することで、ロータマグネット104と回
転多面鏡101を一体的に回転させる。
ように、固定軸102に嵌合する回転スリーブ103に
フランジ部材103aを一体化してこれにロータマグネ
ット104を固着し、回転多面鏡101を押えバネ10
5によってフランジ部材103aに押圧してこれと一体
的に結合させるとともに、固定軸102を固定したモー
タハウジング106にモータ基板107を支持させたも
ので、モータ基板107上に立設されたステータコイル
108を励磁することで、ロータマグネット104と回
転多面鏡101を一体的に回転させる。
【0004】回転スリーブ103はその回転によって固
定軸102との間に空気膜を形成し、固定軸102に非
接触で回転するラジアル空気軸受を構成する。回転スリ
ーブ103の下端には第1の永久磁石109aが固着さ
れ、永久磁石109aはモータハウジング106と一体
である第2の永久磁石109bに対向しており、両永久
磁石109a,109bは、回転スリーブ103の下端
をその軸方向に作用する磁気反撥力によってモータハウ
ジング106に対して非接触で支持するスラスト軸受を
構成する。
定軸102との間に空気膜を形成し、固定軸102に非
接触で回転するラジアル空気軸受を構成する。回転スリ
ーブ103の下端には第1の永久磁石109aが固着さ
れ、永久磁石109aはモータハウジング106と一体
である第2の永久磁石109bに対向しており、両永久
磁石109a,109bは、回転スリーブ103の下端
をその軸方向に作用する磁気反撥力によってモータハウ
ジング106に対して非接触で支持するスラスト軸受を
構成する。
【0005】なお、回転多面鏡101をフランジ部材1
03aに押圧する押えバネ105は、フランジ部材10
3aの側面に組み付けられた皿形のバネであり、その内
周縁がフランジ部材103aの環状溝に係止され、外周
縁が回転多面鏡101の上面に押圧される。
03aに押圧する押えバネ105は、フランジ部材10
3aの側面に組み付けられた皿形のバネであり、その内
周縁がフランジ部材103aの環状溝に係止され、外周
縁が回転多面鏡101の上面に押圧される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、回転多面鏡をフランジ
部材に押圧する押えバネがフランジ部材の筒状の側面に
組み付けられており、このために、フランジ部材や回転
スリーブを回転多面鏡の上方へ大きく突出させなければ
ならず、従って、フランジ部材や回転スリーブが極めて
長尺である。その結果、回転多面鏡の駆動部全体が嵩高
となり、偏向走査装置の小型化を障げる。
の技術によれば、前述のように、回転多面鏡をフランジ
部材に押圧する押えバネがフランジ部材の筒状の側面に
組み付けられており、このために、フランジ部材や回転
スリーブを回転多面鏡の上方へ大きく突出させなければ
ならず、従って、フランジ部材や回転スリーブが極めて
長尺である。その結果、回転多面鏡の駆動部全体が嵩高
となり、偏向走査装置の小型化を障げる。
【0007】また、固定軸との間に空気軸受を構成する
回転スリーブの内周面は高度の加工精度を必要とするた
め、回転スリーブが長尺であればその製作費が高騰し、
偏向走査装置の部品コストの上昇を招くおそれがる。
回転スリーブの内周面は高度の加工精度を必要とするた
め、回転スリーブが長尺であればその製作費が高騰し、
偏向走査装置の部品コストの上昇を招くおそれがる。
【0008】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、回転多面鏡の駆動部の軸
方向の寸法を大幅に縮小し、装置の小型化や低価格化等
を大きく促進できる偏向走査装置を提供することを目的
とするものである。
に鑑みてなされたものであり、回転多面鏡の駆動部の軸
方向の寸法を大幅に縮小し、装置の小型化や低価格化等
を大きく促進できる偏向走査装置を提供することを目的
とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の偏向走査装置は、固定部材に回転自在に嵌
合する回転部材と、該回転部材と一体である支持部材上
に支持された回転多面鏡と、該回転多面鏡を前記支持部
材に押圧する弾性部材と、前記支持部材と一体であるロ
ータとこれに対向するステータを備えた駆動部を有し、
前記弾性部材が、前記回転部材の頂部に組み付けられて
いることを特徴とする。
め、本発明の偏向走査装置は、固定部材に回転自在に嵌
合する回転部材と、該回転部材と一体である支持部材上
に支持された回転多面鏡と、該回転多面鏡を前記支持部
材に押圧する弾性部材と、前記支持部材と一体であるロ
ータとこれに対向するステータを備えた駆動部を有し、
前記弾性部材が、前記回転部材の頂部に組み付けられて
いることを特徴とする。
【0010】回転部材が上端をふた部材によって覆われ
た回転スリーブであり、弾性部材が前記ふた部材にビス
止めされているとよい。
た回転スリーブであり、弾性部材が前記ふた部材にビス
止めされているとよい。
【0011】回転部材が上端をふた部材によって覆われ
た回転スリーブであり、前記ふた部材が上方へ突出する
突出部を備えており、該突出部に弾性部材が係止されて
いてもよい。
た回転スリーブであり、前記ふた部材が上方へ突出する
突出部を備えており、該突出部に弾性部材が係止されて
いてもよい。
【0012】回転部材と固定部材が空気軸受を構成して
いるとよい。
いるとよい。
【0013】
【作用】ステータが励磁されると、ロータと回転多面鏡
が一体的に回転する。回転多面鏡を支持部材と一体的に
結合させる弾性部材が回転部材の頂部に組み付けられて
いるため、回転部材を回転多面鏡の上方へ大きく突出さ
せる必要はない。従って、回転多面鏡と回転部材と支持
部材からなる回転体の軸方向の寸法を縮小して駆動部を
小型化し、イナーシャを低減できる。
が一体的に回転する。回転多面鏡を支持部材と一体的に
結合させる弾性部材が回転部材の頂部に組み付けられて
いるため、回転部材を回転多面鏡の上方へ大きく突出さ
せる必要はない。従って、回転多面鏡と回転部材と支持
部材からなる回転体の軸方向の寸法を縮小して駆動部を
小型化し、イナーシャを低減できる。
【0014】これによって装置全体の小型化を促進し、
かつ、回転多面鏡の振れ回り振動等を軽減して光学特性
を大幅に向上できる。
かつ、回転多面鏡の振れ回り振動等を軽減して光学特性
を大幅に向上できる。
【0015】回転部材と固定部材が空気軸受を構成して
いる場合には、両者の接触面に高度の仕上げ加工が必要
であるが、これらの軸方向の寸法を縮小することで加工
コストを削減できる。これによって部品コストを低減
し、装置の低価格化を促進できる。
いる場合には、両者の接触面に高度の仕上げ加工が必要
であるが、これらの軸方向の寸法を縮小することで加工
コストを削減できる。これによって部品コストを低減
し、装置の低価格化を促進できる。
【0016】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0017】図1は一実施例による偏向走査装置の主要
部を示すもので、(a)はその模式部分断面図、(b)
は回転多面鏡と押えバネのみを示す模式平面図であっ
て、これは、外周面に反射面1aを備えた回転多面鏡1
を有し、その駆動部は、固定部材である固定軸2に回転
部材である回転スリーブ3を嵌合し、これと一体的に設
けられた支持部材であるフランジ部材4にロータである
ロータマグネット5を固着し、回転多面鏡1を弾性部材
である押えバネ6によってフランジ部材4に押圧すると
ともに、固定軸2を固定したモータハウジング7にモー
タ基板7aを支持させ、これに、ステータであるステー
タコイル8を立設したもので、ステータコイル8を励磁
することで、ロータマグネット5と回転多面鏡1を一体
的に回転させる。
部を示すもので、(a)はその模式部分断面図、(b)
は回転多面鏡と押えバネのみを示す模式平面図であっ
て、これは、外周面に反射面1aを備えた回転多面鏡1
を有し、その駆動部は、固定部材である固定軸2に回転
部材である回転スリーブ3を嵌合し、これと一体的に設
けられた支持部材であるフランジ部材4にロータである
ロータマグネット5を固着し、回転多面鏡1を弾性部材
である押えバネ6によってフランジ部材4に押圧すると
ともに、固定軸2を固定したモータハウジング7にモー
タ基板7aを支持させ、これに、ステータであるステー
タコイル8を立設したもので、ステータコイル8を励磁
することで、ロータマグネット5と回転多面鏡1を一体
的に回転させる。
【0018】回転スリーブ3はその回転によって固定軸
2との間に空気膜を形成し、固定軸2に非接触で回転す
る空気軸受を構成する。回転スリーブ3の下端には第1
の永久磁石9aが固着され、第1の永久磁石9aの下面
が、モータハウジング7に固定された第2の永久磁石9
bの上面に対向している。
2との間に空気膜を形成し、固定軸2に非接触で回転す
る空気軸受を構成する。回転スリーブ3の下端には第1
の永久磁石9aが固着され、第1の永久磁石9aの下面
が、モータハウジング7に固定された第2の永久磁石9
bの上面に対向している。
【0019】また、第1の永久磁石9aの外周面は、モ
ータハウジング7に固定された第3の永久磁石9cの内
周面に対向しており、第1、第3の永久磁石9a,9c
は回転スリーブ3の軸方向に互に磁極が逆向きになるよ
うに着磁されており、両永久磁石9a,9cの間には、
両者の前記軸方向の磁気的中心位置が互に一致するよう
にこれらを付勢する付勢力が作用する。
ータハウジング7に固定された第3の永久磁石9cの内
周面に対向しており、第1、第3の永久磁石9a,9c
は回転スリーブ3の軸方向に互に磁極が逆向きになるよ
うに着磁されており、両永久磁石9a,9cの間には、
両者の前記軸方向の磁気的中心位置が互に一致するよう
にこれらを付勢する付勢力が作用する。
【0020】第1、第3の永久磁石9a,9cの間にこ
のように作用する付勢力は、モータハウジング7に対す
る回転スリーブ3の軸方向の位置を安定して固定する。
また、第1、第2の永久磁石9a、9bは両者の対向面
の極性が互いに逆であり、その磁気反撥力によって、回
転スリーブ3の下端をモータハウジング7から浮上させ
る。
のように作用する付勢力は、モータハウジング7に対す
る回転スリーブ3の軸方向の位置を安定して固定する。
また、第1、第2の永久磁石9a、9bは両者の対向面
の極性が互いに逆であり、その磁気反撥力によって、回
転スリーブ3の下端をモータハウジング7から浮上させ
る。
【0021】すなわち、回転多面鏡1は第1、第2の永
久磁石9a,9bの間に作用する磁気反撥力と第1、第
3の永久磁石9a、9cの間に作用する付勢力によって
所定の高さに安定して非接触で支持される。
久磁石9a,9bの間に作用する磁気反撥力と第1、第
3の永久磁石9a、9cの間に作用する付勢力によって
所定の高さに安定して非接触で支持される。
【0022】なお、フランジ部材4の内周面にはその上
端に隣接して大径部4aが設けられ、大径部4aは回転
スリーブ3に遊嵌する。これは、フランジ部材4を回転
多面鏡1の中心穴に挿入した時の圧縮応力によって回転
スリーブ3が変形し、空気軸受の軸受性能が劣化するの
を防ぐためのものある。
端に隣接して大径部4aが設けられ、大径部4aは回転
スリーブ3に遊嵌する。これは、フランジ部材4を回転
多面鏡1の中心穴に挿入した時の圧縮応力によって回転
スリーブ3が変形し、空気軸受の軸受性能が劣化するの
を防ぐためのものある。
【0023】回転スリーブ3の上端開口はふた部材10
によって閉塞され、固定軸2の上端とふた部材10の間
に空気だまり10aが形成される。回転スリーブ3の固
定軸2に対する軸方向の位置が変化すると、空気だまり
10a内の空気が加圧または減圧され、回転スリーブ3
を元の位置に戻そうとする力が働く。すなわち、第1、
第2の永久磁石9a,9bによる磁気反撥力や第1、第
3の永久磁石9a,9cによる付勢力とともに、回転多
面鏡1の軸方向の変位を確実に防ぐのに役立つ。
によって閉塞され、固定軸2の上端とふた部材10の間
に空気だまり10aが形成される。回転スリーブ3の固
定軸2に対する軸方向の位置が変化すると、空気だまり
10a内の空気が加圧または減圧され、回転スリーブ3
を元の位置に戻そうとする力が働く。すなわち、第1、
第2の永久磁石9a,9bによる磁気反撥力や第1、第
3の永久磁石9a,9cによる付勢力とともに、回転多
面鏡1の軸方向の変位を確実に防ぐのに役立つ。
【0024】フランジ部材4はアルミニウム、黄銅等の
金属材料で作られており、焼きばめ等の公知の方法で回
転スリーブ3に固定され、ロータマグネット5は接着等
の方法でフランジ部材4に結合される。ふた部材10
は、アルミニウム、ステンレス等の金属材料や合成樹脂
等によって製作され、回転スリーブ3の上端に接着され
る。また、固定軸2の下端は焼きばめや接着等の公知の
方法でモータハウジング7に固定される。
金属材料で作られており、焼きばめ等の公知の方法で回
転スリーブ3に固定され、ロータマグネット5は接着等
の方法でフランジ部材4に結合される。ふた部材10
は、アルミニウム、ステンレス等の金属材料や合成樹脂
等によって製作され、回転スリーブ3の上端に接着され
る。また、固定軸2の下端は焼きばめや接着等の公知の
方法でモータハウジング7に固定される。
【0025】空気軸受を構成する固定軸2と回転スリー
ブ3の材質がセラミックであれば、回転多面鏡1の回転
開始時あるいは低速回転時に軸受のかじり等のトラブル
を回避できる。
ブ3の材質がセラミックであれば、回転多面鏡1の回転
開始時あるいは低速回転時に軸受のかじり等のトラブル
を回避できる。
【0026】押えバネ6は、その中央をビス6aによっ
てふた部材10にビス止めされた十字形の板バネであ
り、外縁部分6bが回転多面鏡1の上面に押圧される。
てふた部材10にビス止めされた十字形の板バネであ
り、外縁部分6bが回転多面鏡1の上面に押圧される。
【0027】本実施例によれば、前述のように、回転ス
リーブ3すなわち回転多面鏡1の軸方向の位置は第1な
いし第3の永久磁石9a〜9cや空気だまり10a等に
よって安定して固定されるため、固定軸2と回転スリー
ブ3の接触面の軸方向の長さが比較的短くても、回転多
面鏡1の回転が不安定になるおそれがない。また、押え
バネ6は回転スリーブ3の頂部に設けられたふた部材1
0に組み付けられているため、回転スリーブ3やフラン
ジ部材4を回転多面鏡1の上方へ突出させる必要はな
い。
リーブ3すなわち回転多面鏡1の軸方向の位置は第1な
いし第3の永久磁石9a〜9cや空気だまり10a等に
よって安定して固定されるため、固定軸2と回転スリー
ブ3の接触面の軸方向の長さが比較的短くても、回転多
面鏡1の回転が不安定になるおそれがない。また、押え
バネ6は回転スリーブ3の頂部に設けられたふた部材1
0に組み付けられているため、回転スリーブ3やフラン
ジ部材4を回転多面鏡1の上方へ突出させる必要はな
い。
【0028】従って、固定軸2や回転スリーブ3および
フランジ部材4の軸方向の長さを従来例に比べて大幅に
縮小し、回転多面鏡1、回転スリーブ3、フランジ部材
4およびロータマグネット5からなる回転体全体を小型
化するとともに、軸方向のイナーシャを低減して軸方向
の質量のアンバランスによる振れ回り振動等を大幅に軽
減できる。これによって、偏向走査装置の小型化を促進
し、かつ、光学特性を大きく向上させることができる。
フランジ部材4の軸方向の長さを従来例に比べて大幅に
縮小し、回転多面鏡1、回転スリーブ3、フランジ部材
4およびロータマグネット5からなる回転体全体を小型
化するとともに、軸方向のイナーシャを低減して軸方向
の質量のアンバランスによる振れ回り振動等を大幅に軽
減できる。これによって、偏向走査装置の小型化を促進
し、かつ、光学特性を大きく向上させることができる。
【0029】さらに、固定軸2と回転スリーブ3の接触
面は空気軸受を構成するものであるから高い加工精度を
必要とするが、固定軸2と回転スリーブ3の軸方向の長
さを短縮することでこれらの加工コストを低減し、偏向
走査装置の低価格化に大きく貢献できる。
面は空気軸受を構成するものであるから高い加工精度を
必要とするが、固定軸2と回転スリーブ3の軸方向の長
さを短縮することでこれらの加工コストを低減し、偏向
走査装置の低価格化に大きく貢献できる。
【0030】なお、押えバネ6をふた部材10に直接ビ
ス止めする替わりに、図2に示すように、ふた部材30
の中央に突出部30aを設け、これに押えバネ26の中
心穴26aを嵌合させたうえで、ふた部材30の突出部
30aに組み付けられる押え金31とGリング32等を
用いて固定してもよい。
ス止めする替わりに、図2に示すように、ふた部材30
の中央に突出部30aを設け、これに押えバネ26の中
心穴26aを嵌合させたうえで、ふた部材30の突出部
30aに組み付けられる押え金31とGリング32等を
用いて固定してもよい。
【0031】また、本実施例は、固定軸2と回転スリー
ブ3からなる空気軸受によって回転多面鏡1を回転自在
に支持するものであるが、ボールベアリング等他の軸受
を用いることもできることは言うまでもない。
ブ3からなる空気軸受によって回転多面鏡1を回転自在
に支持するものであるが、ボールベアリング等他の軸受
を用いることもできることは言うまでもない。
【0032】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
で、次に記載するような効果を奏する。
【0033】回転多面鏡の駆動部の軸方向の寸法を縮小
し、駆動部の小型化と振動防止と部品コストの低減に大
きく役立つ。これによって小型かつ高性能でしかも低価
格である偏向走査装置を実現できる。
し、駆動部の小型化と振動防止と部品コストの低減に大
きく役立つ。これによって小型かつ高性能でしかも低価
格である偏向走査装置を実現できる。
【0034】このような偏向走査装置を用いることで、
画像形成装置の小型化と高性能化と低価格化に大きく貢
献できる。
画像形成装置の小型化と高性能化と低価格化に大きく貢
献できる。
【図1】一実施例による偏向走査装置の主要部を示すも
ので、(a)はその模式部分断面図、(b)は回転多面
鏡と押えバネのみを示す模式平面図である。
ので、(a)はその模式部分断面図、(b)は回転多面
鏡と押えバネのみを示す模式平面図である。
【図2】一変形例の主要部を示す模式部分断面図であ
る。
る。
【図3】従来例の主要部を示す模式部分断面図である。
【図4】偏向走査装置の全体を説明する説明図である。
1 回転多面鏡 2 固定軸 3 回転スリーブ 4 フランジ部材 5 ロータマグネット 6 押えバネ 6a ビス 8 ステータコイル 9a,9b,9c 永久磁石 10、30 ふた部材 30a 突出部
Claims (4)
- 【請求項1】 固定部材に回転自在に嵌合する回転部材
と、該回転部材と一体である支持部材上に支持された回
転多面鏡と、該回転多面鏡を前記支持部材に押圧する弾
性部材と、前記支持部材と一体であるロータとこれに対
向するステータを備えた駆動部を有し、前記弾性部材
が、前記回転部材の頂部に組み付けられていることを特
徴とする偏向走査装置。 - 【請求項2】 回転部材が上端をふた部材によって覆わ
れた回転スリーブであり、弾性部材が前記ふた部材にビ
ス止めされていることを特徴とする請求項1記載の偏向
走査装置。 - 【請求項3】 回転部材が上端をふた部材によって覆わ
れた回転スリーブであり、前記ふた部材が上方へ突出す
る突出部を備えており、該突出部に弾性部材が係止され
ていることを特徴とする請求項1記載の偏向走査装置。 - 【請求項4】 回転部材と固定部材が空気軸受を構成し
ていることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項
記載の偏向走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225095A JPH08327932A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 偏向走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225095A JPH08327932A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 偏向走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327932A true JPH08327932A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15536383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15225095A Pending JPH08327932A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 偏向走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08327932A (ja) |
-
1995
- 1995-05-26 JP JP15225095A patent/JPH08327932A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0764792A2 (en) | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus | |
| US6031651A (en) | Scanning optical apparatus | |
| JPH0749463A (ja) | 光偏向器 | |
| JPH08327932A (ja) | 偏向走査装置 | |
| JP3313941B2 (ja) | 偏向走査装置 | |
| JP3382448B2 (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH0990258A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH09197329A (ja) | 光偏向走査装置 | |
| JP3299654B2 (ja) | 光偏向走査装置 | |
| JP3311231B2 (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH09325292A (ja) | 偏向走査装置 | |
| JP3671708B2 (ja) | 光偏向装置 | |
| JP2857474B2 (ja) | 空気軸受型光偏向器 | |
| JP2000206439A (ja) | ポリゴンスキャナ | |
| JP2945183B2 (ja) | 偏向走査装置 | |
| JP3459731B2 (ja) | 光偏向装置 | |
| JP2001166246A (ja) | 光偏向装置および書き込み光学装置 | |
| JP2000231072A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH10111469A (ja) | 走査光学装置 | |
| JPH11183834A (ja) | 偏向走査装置 | |
| JPH08338961A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH10221632A (ja) | 光偏向走査装置 | |
| JP2000047130A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH0442118A (ja) | 動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ | |
| JPH08327933A (ja) | 光偏向装置およびその製造方法 |