JPH08330523A

JPH08330523A - 配線配置方法

Info

Publication number: JPH08330523A
Application number: JP15994395A
Authority: JP
Inventors: Yuko Ito; 祐子伊藤; Satoru Isomura; 悟磯村
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1995-06-02
Filing date: 1995-06-02
Publication date: 1996-12-13

Abstract

(57)【要約】【目的】電源配線等の格子配線におけるノイズのピー
ク値を抑制しうる配線配置方法を実現する。これによ
り、格子配線を有する大規模集積回路装置等のノイズを
抑制し、その動作を安定化する。【構成】ＭＯＤ１〜ＭＯＤ３を含む複数のモジュール
を備えかつ電源配線等の格子配線を有する大規模集積回
路装置ＬＳＩ等において、格子配線のピッチを、各モジ
ュールのノイズ発生状況に応じて、つまりは伝播される
ノイズのピーク値が所定値以下となるノイズ圧縮率を求
めた後、このノイズ圧縮率が得られる電気長の算出結果
をもとに選択的に設定し、モジュールごとに最適化す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は配線配置方法に関し、
例えば、電源配線等の格子配線を有する大規模集積回路
装置及びその配置設計に利用して特に有効な技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】複数のモジュールを含む高速論理集積回
路等の大規模集積回路装置がある。これらの大規模集積
回路装置は、その各部つまり各モジュールに動作電源と
なる回路の電源電圧及び接地電位を供給するための電源
配線を備える。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の大規模集積回路
装置において、電源配線は、例えば直交する２層の金属
配線層が格子状に配置されてなるいわゆる格子配線とさ
れ、そのピッチは、各モジュールへの電流供給にともな
う電源配線の電圧降下つまりは回路の電源電圧又は接地
電位のレベル変動が所定値内となるべく決定される。

【０００４】一方、大規模集積回路装置の大規模化・高
速化は著しく、その安定動作に対するノイズの影響も大
きさを増しつつある。しかし、従来の大規模集積回路装
置では、上記のように、格子配線たる電源配線のピッチ
の設定が、主に回路の電源電圧又は接地電位のレベル変
動に着目して、言い換えるならば格子配線におけるノイ
ズの伝播形態を意識することなく行われるため、ノイズ
の伝播形態から見た場合には必ずしも最適解とはならな
い場合が生じる。この結果、大規模集積回路装置のノイ
ズ量が増加し、その動作の安定化が制約を受けるものと
なる。

【０００５】この発明の目的は、電源配線等の格子配線
におけるノイズのピーク値を抑制しうる配線配置方法を
提供することにある。この発明の他の目的は、大規模集
積回路装置等のノイズを抑制し、その動作を安定化する
ことにある。

【０００６】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、複数のモジュールを備えかつ
電源配線等の格子配線を有する大規模集積回路装置等に
おいて、格子配線のピッチを、各モジュールのノイズ発
生状況に応じて、つまりは伝播されるノイズのピーク値
が所定値以下となるノイズ圧縮率を求めた後、このノイ
ズ圧縮率が得られる電気長の算出結果をもとに選択的に
設定し、各モジュールごとに最適化する。

【０００８】

【作用】本願発明者等の研究によれば、電源配線等の格
子配線におけるノイズ圧縮率は少なくともその電気長の
２倍値とノイズの立ち上がり時間との関数となり、格子
配線におけるノイズのピーク値もノイズ圧縮率つまりは
格子配線の電気長の関数となる。したがって、格子配線
のピッチを上記手法により設定することで、電源配線等
の格子配線におけるノイズのピーク値を抑制することが
でき、これによって大規模集積回路装置等の動作を安定
化することができる。

【０００９】

【実施例】図１には、大規模集積回路装置の電源配線の
一般的な基板配置図が示されている。また、図２には、
一般的な伝送線路の接続点における反射係数及び透過係
数を説明するための概念図が示され、図３には、図１の
電源配線の格子点Ａにおけるインピーダンスの考え方を
説明するための概念図が示されている。さらに、図４及
び図５には、図１の電源配線の格子点Ａにおけるノイズ
の時間ｔ＝２Ｌｏ時及び時間ｔ＝４Ｌｏ時のレベル算出
方法を説明するための概念図がそれぞれ示され、図６及
び図７には、図１の電源配線の格子点Ａにおけるノイズ
のＴｒ＝Ｌｏ時及びＴｒ＝４Ｌｏ時の伝播状況を説明す
るための一実施例の概念図がそれぞれ示されている。加
えて、図８には、図１の電源配線におけるノイズの波高
値と電気長の関係を説明するための一実施例の特性図が
示され、図９には、ノイズ圧縮率とＴｒ／２Ｌｏの関係
を説明すための一実施例の特性図が示されている。これ
らの図をもとに、本発明の原理となる格子配線における
ノイズの伝播特性と格子配線のピッチの設定方法ならび
にその特徴について説明する。

【００１０】図１において、この大規模集積回路装置の
電源配線は、２層の金属配線層が直交配置されてなる格
子配線とされ、この格子配線を構成するＸ軸及びＹ軸方
向の金属配線層は、格子あたりの単位電気長Ｌｏが所定
値となるべく所定のピッチで配置される。ここで、単位
電気長Ｌｏは、格子配線の単位長あたりのインダクタン
ス及び容量をそれぞれＬ及びＣとしその配線ピッチをｘ
とするとき、Ｌｏ＝（Ｌ・Ｃ）^1/2・ｘ ………………………………………………（１）として得られ、その単位はｐｓ［ピコ秒］のような時間
単位となる。なお、この明細書の図面及び説明等では、
物理的な配線ピッチｘに代えて電気的な配線ピッチとな
る単位電気長Ｌｏを格子配線のピッチとして用いる。

【００１１】次に、図１の電源配線の格子点Ａに着目し
て、ノイズの伝播状況を検討してみよう。まず、図２に
例示されるように、その特性インピーダンスをそれぞれ
Ｚ₁及びＺ₂とする２本の伝送路の接続点Ａにおける反
射波及び透過波のレベルＶｒ及びＶｔは、周知のよう
に、接続点Ａにおける入射波のレベルをＶｏとし反射係
数及び透過係数をそれぞれＫｒ及びＫｔとするとき、そ
れぞれ、Ｖｒ＝Ｋｒ×ＶｏＶｔ＝Ｋｔ×Ｖｏとして得られ、反射係数Ｋｒ及び透過係数Ｋｔは、それ
ぞれ、Ｋｒ＝（Ｚ₂−Ｚ₁）／（Ｚ₁＋Ｚ₂） ………………………………（２）Ｋｔ＝２Ｚ₂／（Ｚ₁＋Ｚ₂） …………………………………………（３）として求められる。

【００１２】一方、図１の格子点Ａの原形は、図３
（ａ）に示されるように、電源配線たる金属配線層の特
性インピーダンスＺｏをその特性インピーダンスとする
４本の伝送路により表されるが、左方からの入力に着目
して図２の表現に合わせた場合、格子点Ａの右方と上下
にある３本の配線は、図３（ｂ）に示されるように、三
分の一の特性インピーダンスＺｏ／３を有する１本の伝
送路に置き換えることができる。したがって、格子点Ａ
における反射係数Ｋｒは、上記（２）式から、Ｋｒ＝（Ｚｏ／３−Ｚｏ）／（Ｚｏ＋Ｚｏ／３）＝−１
／２となり、透過係数Ｋｔは、上記（３）式から、Ｋｔ＝（２×Ｚｏ／３）／（Ｚｏ＋Ｚｏ／３）＝１／２となる。

【００１３】ここで、格子点Ａで発生したノイズは、図
４に示されるように、時間ｔ＝Ｌｏにおいて隣接する４
個の格子点に到達し、その反射係数Ｋｒ倍つまり−１／
２倍がそれぞれ反射して格子点Ａに戻ってくる。したが
って、時間ｔ＝２Ｌｏにおいて格子点Ａに到達し透過し
て残存するノイズのレベルＶｎは、時間ｔ＝０つまり格
子点Ａにおけるノイズの発生レベルを１とするとき、Ｖｎ＝（−１／２）×（１／２）×４＝−１となり、発生ノイズと同じ絶対値を有する反転位相の信
号となる。

【００１４】時間ｔ＝Ｌｏにおいて隣接する４個の格子
点に到達したノイズは、その透過係数Ｋｔ倍つまり１／
２倍が各格子点をそれぞれ透過した後、図５（ａ）及び
（ｂ）に例示されるように、時間ｔ＝２Ｌｏにおいて隣
接する４個の格子点のさらに外側又は上下にある格子点
に到達する。そして、その反射係数Ｋｒ倍つまり−１／
２倍が反射した後、時間ｔ＝３Ｌｏにおいて隣接格子点
に戻り、さらにその透過係数Ｋｔ倍つまり１／２倍が各
隣接格子点を透過して格子点Ａに戻ってくる。また、時
間ｔ＝２Ｌｏにおいて隣接格子点の上下にある格子点に
到達したノイズは、図５（ｃ）に例示されるように、そ
の透過係数Ｋｔ倍つまり１／２倍が各格子点を透過して
格子点Ａの上下にある格子点に到達し、その透過係数Ｋ
ｔ倍つまり１／２倍が格子点Ａに戻ってくる。したがっ
て、時間ｔ＝４Ｌｏにおいて格子点Ａに到達し透過して
残存するノイズのレベルＶｎは、図５（ａ）の場合で、Ｖｎ＝（１／２）³×（−１／２）×４＝−１／４となる。また、図５（ｂ）の場合には、Ｖｎ＝（１／２）³×（−１／２）×２×４＝−１／２となり、図５（ｃ）の場合には、Ｖｎ＝（１／２）⁴×２×４＝１／２となる。

【００１５】一方、時間ｔ＝Ｌｏにおいて各隣接格子点
で反射した（−１／２）倍のノイズは、図５（ｄ）に例
示されるように、その反射係数Ｋｒ倍つまり−１／２倍
が格子点Ａで反射して各隣接格子点に戻った後、さらに
その反射係数Ｋｒ倍つまり−１／２倍が各隣接格子点で
反射して格子点Ａに戻る。また、図５（ｅ）に例示され
るように、その透過係数Ｋｔ倍つまり１／２倍が格子点
Ａを透過してその反対側の隣接格子点に到達した後、さ
らにその反射係数Ｋｒ倍つまり−１／２倍がこれらの隣
接格子点で反射して格子点Ａに戻る。加えて、図５
（ｆ）に例示されるように、その透過係数Ｋｔ倍つまり
１／２倍が格子点Ａを透過してその上下の隣接格子点に
到達した後、さらにその反射係数Ｋｒ倍つまり−１／２
倍がこれらの隣接格子点で反射して格子点Ａに戻る。こ
の結果、時間ｔ＝４Ｌｏにおいて格子点Ａに到達し透過
して残存するノイズのレベルＶｎは、図５（ｄ）の場合
で、Ｖｎ＝（１／２）×（−１／２）³×４＝−１／４となる。また、図５（ｅ）の場合には、Ｖｎ＝（１／２）²×（−１／２）²×４＝１／４となり、図５（ｆ）の場合には、Ｖｎ＝（１／２）²×（−１／２）²×２×４＝１／２となる。

【００１６】これらのことから、時間ｔ＝４Ｌｏにおい
て格子点Ａに到達し透過して残存するノイズの合計レベ
ルＶｎ_Tは、上記図５（ａ）ないし（ｆ）の場合のノイ
ズレベルＶｎを合算して、Ｖｎ_T＝（−１／４）＋（−１／２）＋（１／２）＋
（−１／４）＋（１／４）＋（１／２）＝１／４となり、発生ノイズの１／４の絶対値を有する同位相の
信号となる。

【００１７】ところで、格子配線におけるノイズの伝播
状況は、発生ノイズの立ち上がり時間Ｔｒと密接な関係
を持つ。すなわち、例えば図６に示されるように、格子
点Ａ０に入力されるノイズの立ち上がり時間Ｔｒが格子
配線の単位電気長Ｌｏと同じつまりＴｒ＝Ｌｏとされる
とき、格子点Ａ０におけるノイズレベル（電圧）は、時
間ｔ＝Ｌｏで１なる最大値となり、時間ｔ＝３Ｌｏで再
び前記図４の反射波による−１のピーク値を迎える。ま
た、時間ｔ＝５Ｌｏで前記図５の反射波及び透過波を受
けて１／４なるピーク値となり、さらに時間ｔ＝７Ｌｏ
で−１／４なるピーク値を迎える。格子点Ａ０に入力さ
れたノイズは、時間ｔ＝２Ｌｏにおいて隣接する格子点
Ａ１に到達してそのノイズレベルに１／２のピーク値を
作り、さらに時間ｔ＝２Ｌｏにおいてその外側の格子点
Ａ２に到達してそのノイズレベルに１／４のピーク値を
作る。

【００１８】以下、各格子点におけるノイズレベルは、
図６のコンピュータシミュレーション結果に示されるよ
うに、反射波及び透過波の影響を受けて時系列的に変化
するが、この実施例の場合、発生ノイズの立ち上がり時
間Ｔｒが格子配線の単位電気長Ｌｏと同じ値であること
から、各格子点でのノイズレベルは立ち上がり時間Ｔｒ
の影響を受けず、反射波及び透過波の影響のみを受け
る。なお、この実施例では、後述するＴｒ／２Ｌｏが１
／２つまり０．５となる。

【００１９】一方、図７に例示されるように、格子点Ａ
０に入力されるノイズの立ち上がり時間Ｔｒが格子配線
の単位電気長Ｌｏの４倍つまりＴｒ＝４Ｌｏとされる場
合、格子点Ａ０におけるノイズレベルは、時間ｔ＝４Ｌ
ｏで１なる最大値となる筈であるが、時間ｔ＝２Ｌｏか
ら前記図４の負の反射波が格子点Ａ０に現れるため、そ
のピーク値は１／２つまり０．５で制限される。また、
時間ｔ＝６Ｌｏで１／２なるピーク値を迎える筈の格子
点Ａ１のノイズレベルも、格子点Ａ０のノイズレベルの
低下を受けて制限され、時間ｔ＝８Ｌｏで１／４なるピ
ーク値を迎える筈の格子点Ａ２のノイズレベルは、辛う
じてそのピーク値を全うする。なお、この実施例では、
後述するＴｒ／２Ｌｏが４／２つまり２となる。

【００２０】このように、格子配線の単位電気長Ｌｏの
２倍つまり２Ｌｏが格子点Ａ０に入力されるノイズの立
ち上がり時間Ｔｒより小さい場合には、格子点Ａ０を含
む各格子点でのノイズレベルが制限され、そのピーク値
は、少なくとも格子配線の単位電気長Ｌｏの２倍値とノ
イズの立ち上がり時間ＴｒつまりＴｒ／２Ｌｏの関数と
なる。すなわち、図８に示されるように、例えばノイズ
の立ち上がり時間Ｔｒつまり１０００ｐｓに対して格子
配線の単位電気長Ｌｏが５００ｐｓ又はそれ以上とされ
Ｔｒ／２Ｌｏが１又はそれ以下とされるとき、格子点Ａ
０におけるノイズレベルは、反射波等による影響を受け
ることなく発生ノイズのピーク値まで上昇する。ところ
が、例えば単位電気長Ｌｏが３７５ｐｓとされＴｒ／２
Ｌｏが約１．３とされるときには、格子点Ａ０における
ノイズのピーク値が３／４つまり０．７５に制限され、
例えば単位電気長Ｌｏが２５０ｐｓとされＴｒ／２Ｌｏ
が２とされるときには、１／２つまり０．５０に制限さ
れる。以下、ノイズピーク値の制限率つまりノイズ圧縮
率αは、コンピュータシミュレーションによる図９の特
性図に沿って変化し、Ｔｒ／２Ｌｏの関数となることが
明白となる。

【００２１】ここで、具体的な数値を掲げて格子配線の
ピッチｘを算出してみよう。例えば回路の標準的な立ち
上がり時間ｔｒ及び立ち下がり時間ｔｆが５００ｐｓ、
電源配線の単位長あたりのインピーダンスＬ及び容量Ｃ
がそれぞれ１ｎＨ［ナノヘンリ］／ｍｍ［ミリメート
ル］及び１ｐＦ［ピコファラッド］／ｍｍ、特性インピ
ーダンスＺｏすなわち（Ｌ／Ｃ）^1/2が３２Ω［オー
ム］とされる大規模集積回路装置場合、（Ｌ・Ｃ）^1/2＝（１０^-9・１０^-12）^1/2 ≒３２［ｐｓ／ｍｍ］となり、格子配線の単位電気長Ｌｏは、前記（１）式か
ら、Ｌｏ＝（Ｌ・Ｃ）^1/2・ｘ＝３２ｘ［ｐｓ］となる。

【００２２】一方、ある格子点に１００ｍＡ［ミリアン
ペア］のノイズ電流Ｉｎが流れ込んだと仮定した場合、
この格子点には、Ｖｎ＝Ｉｎ×Ｚｏ／４＝０．１×３２／４＝０．８つまり０．８Ｖ［ボルト］のノイズ電圧が発生する。し
たがって、内部信号の振幅を例えば２Ｖと仮定し許容し
うるノイズレベルを信号振幅の５％つまり１００ｍＶ
［ミリボルト］とした場合、要求されるノイズ圧縮率α
は、 α＝０．１／０．８＝０．１２５となり、このノイズ圧縮率αが得られるＴｒ／２Ｌｏ
は、図９から、Ｔｒ／２Ｌｏ≒１１ ………………………………………………………（４）となる。

【００２３】前述のように、単位電気長Ｌｏは、Ｌｏ＝３２ｘ［ｐｓ］であるため、上記（４）式は、Ｔｒ／２Ｌｏ＝５００×１０^-12／２×３２ｘ×１０^-12 ≒７．８／ｘ＝１１となる。この結果、必要な格子配線のピッチｘは、ｘ＝７．８／２０＝０．７１［ｍｍ］つまり７１０μｍ［マイクロメートル］となり、格子配
線をこのピッチとすることによって各格子点におけるノ
イズのピーク値を１００ｍＶ以下に抑え、大規模集積回
路装置の動作を安定化することができるものとなる。

【００２４】図１０には、この発明が適用された大規模
集積回路装置ＬＳＩの電源配線の一実施例の基板配置図
が示されている。なお、この実施例の大規模集積回路装
置ＬＳＩは、特に制限されないが、いわゆる高速論理集
積回路であって、他の構成素子とともに所定のコンピュ
ータシステムを構築する。

【００２５】図１０において、この実施例の大規模集積
回路装置ＬＳＩは、特に制限されないが、モジュールＭ
ＯＤ１〜ＭＯＤ３を含む複数のモジュールを備え、その
電源配線は、基本的には単位電気長Ｌｏに相当する所定
の配線ピッチをもって格子状に配置される。この実施例
において、モジュールＭＯＤ１及びＭＯＤ２は、比較的
大きなノイズを発生するものと予想される。また、モジ
ュールＭＯＤ３は、次に大きなノイズを発生するものと
予想され、その他のモジュールでは、ノイズの発生が比
較的少ないと予想される。このため、この実施例では、
最も大きなノイズの発生が予想されるモジュールＭＯＤ
１及びＭＯＤ２において、その電源配線となる格子配線
のピッチが通常部分の四分の一つまり電気長Ｌ₁に対応
すべく小さくされ、次に大きなノイズの発生が予想され
るモジュールＭＯＤ３では、通常部分の二分の一つまり
電気長Ｌ₂に対応すべく小さくされる。

【００２６】ここで、モジュールＭＯＤ１及びＭＯＤ２
に対応する格子配線のピッチつまり電気長Ｌ₁は、これ
らのモジュールのノイズ発生状況に応じて、すなわち前
記図９の特性図からまず伝播されるノイズのピーク値が
所定値以下となるノイズ圧縮率αを求めた後、このノイ
ズ圧縮率αが得られる電気長Ｌｏとして算出され、モジ
ュールＭＯＤ３に対応する格子配線のピッチつまり電気
長Ｌ₂も、同様な方法により算出される。したがって、
これらの電気長は、各モジュールから発生されるノイズ
のピーク値が比較的大きいにもかかわらず、電源配線の
各格子点におけるノイズのピーク値を充分に小さくすべ
く最適化された値となり、これによって大規模集積回路
装置ＬＳＩの動作が充分に安定化されるものとなる。

【００２７】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、（１）複数のモジュールを備えかつ電源配線等の格子配
線を有する大規模集積回路装置等において、格子配線の
ピッチを、各モジュールのノイズ発生状況に応じて、つ
まりはまず伝播されるノイズのピーク値が所定値以下と
なるノイズ圧縮率を求めた後、このノイズ圧縮率が得ら
れる電気長の算出結果をもとに選択的に設定し、モジュ
ールごとに最適化することで、電源配線の各格子点にお
けるノイズのピーク値を、対応するモジュールから発生
されるノイズのピーク値に応じて充分に抑制することが
できるという効果が得られる。（２）上記（１）項により、電源配線等の格子配線にお
けるノイズのピーク値を抑制しうる配線配置方法を実現
できるという効果が得られる。（３）上記（１）項及び（２）項により、格子配線を有
する大規模集積回路装置等のノイズを抑制し、その動作
を安定化できるという効果が得られる。

【００２８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図１０において、大規模集積回路装置ＬＳＩの半導
体基板の形状は、本実施例による制約を受けないし、各
モジュールの形状も任意である。また、格子配線たる電
源配線のピッチは、Ｘ軸及びＹ軸方向でそれぞれ異なる
値を採ってもよいし、そのモジュールとの組み合わせも
任意に設定できる。大規模集積回路装置ＬＳＩは、格子
点のノイズを吸収するための所定数の容量を備えること
ができる。さらに、計算の過程で用いられたインピーダ
ンスＬ，容量Ｃ，特性インピーダンスＺｏならびにその
他の具体的数値例は、この発明の主旨に何ら影響を与え
ない。

【００２９】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野である高速
論理集積回路等の大規模集積回路装置及びその電源配線
の配置設計に適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、例えば、各種メモリ集積回路
等の電源配線や高速論理集積回路等のクロック供給配線
あるいはプリント基板等にも適用できる。この発明は、
少なくとも格子配線を有する電子装置及びその配線配置
方法として広く適用できる。

【００３０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、複数のモジュールを備えか
つ電源配線等の格子配線を有する大規模集積回路装置等
において、格子配線のピッチを各モジュールのノイズ発
生状況に応じて、つまりはまず伝播されるノイズのピー
ク値が所定値以下となるノイズ圧縮率を求めた後、この
ノイズ圧縮率が得られる電気長の算出結果をもとに選択
的に設定し、各モジュールごとに最適化することで、電
源配線等の格子配線におけるノイズのピーク値を抑制す
ることができ、これによって大規模集積回路装置等の動
作を安定化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】大規模集積回路装置の電源配線の一般的な基板
配置図である。

【図２】一般的な伝送線路の接続点における反射係数及
び透過係数を説明するための概念図である。

【図３】図１の電源配線の格子点Ａにおけるインピーダ
ンスの考え方を説明するための概念図である。

【図４】図１の電源配線の格子点Ａにおけるノイズの時
間ｔ＝２Ｌｏ時のレベル算出方法を説明するための概念
図である。

【図５】図１の電源配線の格子点Ａにおけるノイズの時
間ｔ＝４Ｌｏ時のレベル算出方法を説明するための概念
図である。

【図６】図１の電源配線の格子点ＡにおけるノイズのＴ
ｒ＝Ｌｏ時の伝播状況を説明するための一実施例を示す
概念図である。

【図７】図１の電源配線の格子点ＡにおけるノイズのＴ
ｒ＝４Ｌｏ時の伝播状況を説明するための一実施例を示
す概念図である。

【図８】図１の電源配線におけるノイズの波高値と電気
長の関係を説明するための一実施例を示す特性図であ
る。

【図９】図１の電源配線におけるノイズの圧縮率とＴｒ
／２Ｌｏの関係を説明するための一実施例を示す特性図
である。

【図１０】この発明が適用された大規模集積回路装置の
電源配線の一実施例を示す基板配置図である。

【符号の説明】

ＬＳＩ……大規模集積回路装置、Ａ……格子点、Ｌｏ…
…単位電気長。Ｚ₁〜Ｚ₂……特性インピーダンス、Ｖ
ｏ……入射波、Ｖｒ……反射波、Ｖｔ……透過波、Ｋｒ
……反射係数、Ｋｔ……透過係数。Ｚｏ……特性インピ
ーダンス。Ｖｎ……ノイズレベル、Ｖｎ_T……ノイズレ
ベル合計値。Ａ０〜Ａ２……格子点、Ｔｒ……ノイズ立
ち上がり時間。α……ノイズ圧縮率。ＭＯＤ１〜ＭＯＤ
３……モジュール、Ｌ₁〜Ｌ₂……電気長。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】実質的に格子状に配置される格子配線の
ピッチをノイズ発生状況に応じて選択的に切り換えるこ
とを特徴とする配線配置方法。
【請求項２】上記ノイズ発生状況とは、発生するノイ
ズのピーク値及び立ち上がり時間を含むものであり、上
記格子配線におけるノイズ圧縮率は、少なくともその電
気長の２倍値と上記立ち上がり時間との関数とされるも
のであって、上記格子配線のピッチは、伝播されるノイ
ズのピーク値が所定値以下となるノイズ圧縮率を求めた
後、このノイズ圧縮率が得られる電気長の算出結果をも
とに設定されるものであることを特徴とする請求項１の
配線配置方法。
【請求項３】上記格子配線は、複数のモジュールを備
える大規模集積回路装置の電源配線であって、そのピッ
チは、モジュールごとに異なる値を採りうるものである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２の配線配置方
法。