JPH08330560A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH08330560A
JPH08330560A JP7136842A JP13684295A JPH08330560A JP H08330560 A JPH08330560 A JP H08330560A JP 7136842 A JP7136842 A JP 7136842A JP 13684295 A JP13684295 A JP 13684295A JP H08330560 A JPH08330560 A JP H08330560A
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digital signal
signal
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度依存性を低減して精度の良い色識別が可
能な固体撮像装置を提供する。 【構成】 2色分解型カラーセンサ100が受光する
と、受光した光の波長に応じた比率で、電極111と電
極121との間に電流信号I1および電極121と電極
131との間に電流信号I2が生じる。電流信号I1、
I2は積分回路210、220で積分された後、アナロ
グデジタル変換器310、320でデジタル信号に変換
された後、演算回路400に入力する。演算回路400
では、オフセット値を除去後、2系統の計測結果データ
の比の値を演算する。処理部500は、演算回路400
から出力されているデジタル信号のデータを収集し、収
集データ値から受光した光の色を識別する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、入射光の波長を識別す
る固体撮像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】入射光の波長、すなわち、入射光の色を
識別できる固体撮像装置が注目されている。この用途に
使用される受光素子としては、2色分解型カラーセンサ
と称されて市販されている。図2は、2色分解型カラー
センサ100の構成図である。図2(a)は2色分解型
カラーセンサ100の断面構成図であり、図2(b)は
2色分解型カラーセンサ100の等価回路構成図であ
る。図2(a)に示すように、この2色分解型カラーセ
ンサは、p型シリコン半導体層130、n型シリコン半
導体層120、およびp型シリコン半導体層110がp
npサンドイッチ構造となっており、p型シリコン半導
体層110の表面には電極111が、n型シリコン半導
体層120の表面には電極121が、p型シリコン半導
体層130の表面には電極131が形成されている。そ
して、図2(b)に示すように、2つのフォトダイオー
ドPD1、PD2が対向して直列に接続されたものとみ
なすことができる。
【0003】シリコンの光吸収係数は波長依存性が高
く、波長によりシリコン内部に到達する深さが異なる。
したがって、電極111と電極121との間に逆バイア
ス電圧を印加し、電極121と電極131との間に逆バ
イアス電圧を印加した状態では、入射光の波長によっ
て、p型シリコン半導体層110とn型シリコン半導体
層120との境界付近の空乏層で吸収される光量と、n
型シリコン半導体層120とp型シリコン半導体層13
0との境界付近の空乏層で吸収される光量とが異なる。
【0004】この現象を利用して、電極111と電極1
21との間に発生する光電流量(PD1で発生する光電
流量)と、電極121と電極131との間に発生する光
電流量(PD2で発生する光電流量)とを取り出して、
双方の電流量の比から入射光の色を識別する固体撮像装
置が提案されている。図3は、こうした固体撮像装置の
回路構成図である。
【0005】図3に示すように、この装置は、(a)2
色分解型カラーセンサ100と、(b)PD1で発生し
た電流信号ISC1 を入力して対数変換する、演算増幅器
A1とダイオードD1とを有する対数変換回路910
と、(c)PD2で発生した電流信号ISC2 を入力して
対数変換する、演算増幅器A2とダイオードD2とを有
する対数変換回路920と、(d)対数変換回路910
の出力信号と対数変換回路920の出力信号と差を演算
する差分演算回路930と、(e)差分演算回路930
の出力信号を収集し、受光した光の波長を識別する処理
部940とを備える。
【0006】この装置によれば、差分演算回路930の
出力V0 は、 V0 =(kT/q)・[log(ISC2 /ISC1 )]・(R2/R1) …(1) ここで、k:ボルツマン定数 T:絶対温度 q:電子の電荷 となる。
【0007】この装置では、2色分解型カラーセンサ1
00での受光の結果発生する電流信号ISC1 および電流
信号ISC2 を対数変換回路910、920、および差分
演算回路930で信号処理し、(1)式で表される値の
信号を生成する。処理部940は、この信号を収集し、
逆対数変換して(ISC2 /ISC1 )の値を求め、(I
SC2 /ISC1 )の値に基づいて受光した光の色を識別す
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来の固体撮像装置は
上記のように構成されるので、以下のような問題点があ
った。
【0009】対数変換回路910、920で使用される
ダイイオードD1、D2の温度依存性のため、(1)式
に示すように、差分演算回路930の出力V0 は温度T
に大きく依存するので、受光時の温度によって測定結果
が変動する。
【0010】また、対数変換回路910および対数変換
回路920は、夫々独自のオフセットを有する。対数変
換回路910のオフセット値をVα、対数変換回路92
0のオフセット値をVβとすると、V0 の値は、 V0 =(kT/q)・[log(ISC2 /ISC1 )+(Vβ−Vα)] ・(R2/R1) …(2) となる。したがって、このV0 の値を逆対数変換する
と、オフセットばらつき(Vβ−Vα)がますます拡大
されるので、精度の良い測定が期待できない。
【0011】本発明は、上記を鑑みてなされたものであ
り、温度依存性を低減して精度の良い色識別が可能な固
体撮像装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、(a)第1の導電型を有する第1の半導体層と、
第1の半導体層の表面の一部に形成された、第2の導
電型を有する第2の半導体層と、第2の半導体層の表
面の一部に形成された、第1の導電型を有する第3の半
導体層と、第1の半導体層の第2の半導体層が形成さ
れていない表面の一部に形成された第1の電極と、第
2の半導体層の第3の半導体層が形成されていない表面
の一部に形成された第2の電極と、第3の半導体層の
表面の一部に形成された第3の電極とを備えるととも
に、第1の半導体層、第2の半導体層、および第3の半
導体層は光吸収率が波長依存性を有する半導体材料を主
材として形成され、第3の半導体層の表面側から受光す
る受光器と、(b)第1の電極と第2の電極との間への
逆バイアス電圧の印加中の受光によって第1の電極と第
2の電極との間に生じた第1の光電流信号を入力し、積
分する第1の積分回路と、(c)第2の電極と第3の電
極との間への逆バイアス電圧の印加中の受光によって第
2の電極と第3の電極との間に生じた第2の光電流信号
を入力し、積分する第2の積分回路とを備えることを特
徴とする。
【0013】ここで、第1の積分回路から出力された
第1の積分信号を入力してアナログデジタル変換する第
1のアナログデジタル変換器と、第2の積分回路から
出力された第2の積分信号を入力してアナログデジタル
変換する第2のアナログデジタル変換器とを更に備える
ことが可能である。
【0014】この場合、更に、第1のアナログデジタル
変換器から出力された第1のデジタル信号と、第2のア
ナログデジタル変換器から出力された第2のデジタル信
号とを入力し、第1のデジタル信号が示す第1のデジタ
ル値と第2のデジタル信号が示す第2のデジタル値との
比の値に応じた第3のデジタル値を示す第3のデジタル
信号を出力する演算器を備えることを特徴としてもよ
い。
【0015】ここで、演算器には、アドレス入力端子に
第1のデジタル信号と第2のデジタル信号を入力し、記
憶部に書き込まれたデータに応じて、データ出力端子か
ら第3のデジタル信号を出力する読み出し専用記憶素子
を好適に使用できる。
【0016】
【作用】本発明の固体撮像装置では、まず、第1の電極
と第2の電極との間に逆バイアス電圧を印加するととも
に、第2の電極と第3の電極との間に逆バイアス電圧を
印加する。
【0017】この状態で受光部で第3の半導体層側から
光を受光すると、半導体材料の光吸収率の波長依存性に
よって、受光した光の波長に応じた比率で、第1の電極
と第2の電極との間および第2の電極と第3の電極との
間に電流が生じる。
【0018】第1の電極と第2の電極との間に生じた電
流信号(I1)は第1の積分回路に入力し、積分され第
1の積分信号として出力される。積分回路は温度依存性
の大きな部分は使用されずに構成されるので、積分出力
は温度による変動が小さい。したがって、第1の積分信
号は温度変動の小さなものとなる。
【0019】第2の電極と第3の電極との間に生じた電
流信号(I2)は第2の積分回路に入力し、積分され第
2の積分信号として出力される。この場合も第1の積分
器の場合と同様に、第2の積分信号は温度変動の小さな
ものとなる。
【0020】こうして得られた、第1の積分信号と第2
の積分信号とに基づいて、I1とI2との比を求めるこ
とにより、温度依存性を低減して精度の良い色の識別が
可能となる。
【0021】また、第1の積分信号を第1のアナログデ
ジタル変換器で第1のデジタル信号に変換するととも
に、第2の積分信号を第2のアナログデジタル変換器で
第2のデジタル信号に変換し、後段の処理を外来ノイズ
に対して耐性の高いデジタル信号化を行うことにより、
測定精度を向上できる。
【0022】予め測定された各積分回路のオフセット値
を考慮して、第1のデジタル信号と第2のデジタル信号
とからI1とI2との比を求める演算器を設けることに
より、オフセットのばらつきによる測定精度の悪化を低
減でき、更に測定精度を向上できる。
【0023】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の固体撮像
装置の実施例を説明する。なお、図面の説明にあたって
同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略
する。
【0024】図1は、本発明の実施例の固体撮像装置の
構成図である。図1に示すように、この装置は、(a)
2色分解型カラーセンサ100と、(b)電極111と
電極121との間への逆バイアス電圧の印加中の受光に
よって電極111と電極121との間に生じた電流信号
I1(すなわち、PD1で発生した電流信号I1)を入
力し、積分する積分回路210と、(c)電極121と
電極131との間への逆バイアス電圧の印加中の受光に
よって電極121と電極131との間に生じた電流信号
I2(すなわち、PD2で発生した電流信号I2)を入
力し、積分する積分回路220と、(d)積分回路21
0から出力された積分信号を入力してアナログデジタル
変換するアナログデジタル変換器310と、(e)積分
回路220から出力された積分信号を入力してアナログ
デジタル変換するアナログデジタル変換器320と、
(f)アナログデジタル変換器310から出力されたデ
ジタル信号と、アナログデジタル変換器320から出力
されたデジタル信号とを入力し、双方のデジタル信号か
ら予め設定された夫々のオフセット量を除去後に比の値
を演算する演算回路400と、(g)演算回路400か
ら出力された演算結果を収集して受光した光の色を識別
するとともに、積分回路210、220に積分動作指示
を通知する処理部500とを備える。
【0025】積分回路210は、電流信号I1を入力
する増幅器A1と、増幅器A1の電流信号I1の入力
端子と一方の端子が、増幅器A1の出力端子と他方の端
子が接続された容量素子C1と、増幅器A1の電流信
号I1の入力端子と一方の端子が、増幅器A1の出力端
子と他方の端子が接続され、処理部500から通知され
た積分動作指示信号が有意の場合には開放され、積分動
作指示信号が非有意の場合には閉じるスイッチ素子S1
とを備える。なお、積分回路220は積分回路210と
同様に構成される。
【0026】また、容量素子C1の容量値C1と容量素
子C2の容量値C2とは、PD1とPD2とに同一の光
量が与えられた場合に、PD1で発生する電流値を
10、PD2で発生する電流値をI20として、 I10/I20=C2/C1 …(3) を満たすように選択した。
【0027】演算回路400は、アナログデジタル変換
器310から出力されたデジタル信号と、アナログデジ
タル変換器320から出力されたデジタル信号とをアド
レス入力端子で入力し、指定アドレスに該当する記憶部
の予め書き込まれたデータをデータ出力端子から出力す
る読み出し専用記憶素子(ROM)を備える。
【0028】本実施例の固体撮像装置は、以下のように
動作して受光した光の色の識別を行う。
【0029】まず、電極111と電極121との間に逆
バイアス電圧の印加するとともに、電極121と電極1
31との間に逆バイアス電圧の印加する。また、当初に
は、処理部500からは積分動作信号が非有意に設定さ
れて出力される。すなわち、積分回路210、220の
スイッチ素子S1、S2は閉じた状態に設定される。
【0030】処理部500は、測定開始にあたって、積
分動作指示信号を有意とする。この結果、スイッチ素子
S1、S2は開放状態となり、積分回路210、220
は積分動作を開始する。
【0031】この状態で、2色分解型カラーセンサ10
0が受光すると、受光した光の波長分布に応じた比率
で、電極111と電極121との間に電流信号I1およ
び電極121と電極131との間に電流信号I2が生じ
る。
【0032】電流信号I1は積分回路210に入力し、
電荷が容量素子C1に蓄積される。この蓄積電荷の量に
応じた電圧信号が積分回路210の積分信号として出力
される。積分回路210の構成素子として、単独のダイ
オードのように動作特性の温度依存性が大きいものはな
いので、この積分信号は温度による変動が小さい。
【0033】積分回路210から出力された積分信号
は、アナログデジタル変化器310でデジタル信号に変
換された後、演算回路400に入力する。
【0034】電流信号I2も電流信号I1と同様にし
て、積分回路220に入力し、積分され積分信号として
出力された後、アナログデジタル変換器320でこの積
分信号がデジタル化され、演算回路400に入力する。
積分回路220から出力された積分信号も、積分回路2
10から出力された積分信号と同様に温度変動が小さな
ものである。
【0035】演算回路400では、ROMのアドレス入
力端子にアナログデジタル変換器310から出力された
デジタル信号とアナログデジタル変換器320から出力
されたデジタル信号とを入力する。ROMの該当指定ア
ドレスに応じた記憶部には、双方のデジタル信号が示す
デジタル値から夫々のオフセット値を除去した値に関す
る比の値のデジタルデータが格納されており、このデジ
タルデータをデータ出力端子から出力する。このデジタ
ルデータを反映したデジタル信号が演算回路400から
処理部500に向けて出力される。
【0036】処理部500は、所定の測定時間が経過し
たことを判断した時点で演算回路400から出力されて
いるデジタル信号のデータを収集し、収集データ値から
受光した光の色を識別するとともに、積分動作指示信号
を非有意として次の測定に備える。
【0037】こうして、受光した光の色を精度良く識別
する。
【0038】本発明は、上記の実施例に限定されるもの
ではなく変形が可能である。例えば、容量素子C1、C
2の容量値の選択は、(3)式の関係の代りに単に同一
容量値とすることが可能である。こうした場合には、演
算回路の構成(例えば、ROMの記憶部の書き込みデー
タ)の変更または処理部の色識別の方法(例えば、収集
データの値を色の対照テーブル)の変更を行う必要があ
る。
【0039】
【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明の固
体撮像装置によれば、動作特性が温度依存性の高い単体
のダイオードを使用した対数変換回路を用いずに、動作
特性が温度依存性が低い積分回路を使用することにした
ので、温度依存性を低減して精度良く受光した光の識別
が可能となる。
【0040】また、積分回路からの積分信号をデジタル
化後に、前段のオフセットを除去して演算を行う演算回
路を設けることとすれば、更に精度良く受光した光の識
別が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の固体撮像装置の構成図であ
る。
【図2】2色分解型カラーセンサの構成図である。
【図3】従来の固体撮像装置の構成図である。 100…2色分解型カラーセンサ、110,120,1
30…半導体層、111,121,131…電極、21
0,220…積分回路、310,320…アナログデジ
タル変換器、400…演算回路、500…処理部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の導電型を有する第1の半導体層
    と、前記第1の半導体層の表面の一部に形成された、第
    2の導電型を有する第2の半導体層と、前記第2の半導
    体層の表面の一部に形成された、前記第1の導電型を有
    する第3の半導体層と、前記第1の半導体層の前記第2
    の半導体層が形成されていない表面の一部に形成された
    第1の電極と、前記第2の半導体層の前記第3の半導体
    層が形成されていない表面の一部に形成された第2の電
    極と、前記第3の半導体層の表面の一部に形成された第
    3の電極とを備えるとともに、前記第1の半導体層、前
    記第2の半導体層、および前記第3の半導体層は光吸収
    率が波長依存性を有する半導体材料を主材として形成さ
    れ、前記第3の半導体層の表面側から受光する受光器
    と、 前記第1の電極と前記第2の電極との間への逆バイアス
    電圧の印加中の受光によって前記第1の電極と前記第2
    の電極との間に生じた第1の光電流信号を入力し、積分
    する第1の積分回路と、 前記第2の電極と前記第3の電極との間への逆バイアス
    電圧の印加中の受光によって前記第2の電極と前記第3
    の電極との間に生じた第2の光電流信号を入力し、積分
    する第2の積分回路と、 を備えることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の積分回路から出力された第1
    の積分信号を入力してアナログデジタル変換する第1の
    アナログデジタル変換器と、 前記第2の積分回路から出力された第2の積分信号を入
    力してアナログデジタル変換する第2のアナログデジタ
    ル変換器と、 を更に備えることを特徴とする請求項1記載の固体撮像
    装置。
  3. 【請求項3】 前記第1のアナログデジタル変換器から
    出力された第1のデジタル信号と、前記第2のアナログ
    デジタル変換器から出力された第2のデジタル信号とを
    入力し、前記第1のデジタル信号が示す第1のデジタル
    値と前記第2のデジタル信号が示す第2のデジタル値と
    の比の値に応じた第3のデジタル値を示す第3のデジタ
    ル信号を出力する演算器を更に備える、ことを特徴とす
    る請求項2記載の固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 前記演算器は、アドレス入力端子に前記
    第1のデジタル信号と前記第2のデジタル信号を入力
    し、記憶部に書き込まれたデータに応じて、データ出力
    端子から第3のデジタル信号を出力する読み出し専用記
    憶素子を備える、ことを特徴とする請求項3記載の固体
    撮像装置。
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