JPH08330895A - 弾性波素子 - Google Patents
弾性波素子Info
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- JPH08330895A JPH08330895A JP7157080A JP15708095A JPH08330895A JP H08330895 A JPH08330895 A JP H08330895A JP 7157080 A JP7157080 A JP 7157080A JP 15708095 A JP15708095 A JP 15708095A JP H08330895 A JPH08330895 A JP H08330895A
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- acoustic wave
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- linbo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 電気エネルギーと機械エネルギーとの間の変
換効率の高い弾性波素子を提供する。 【構成】 弾性波素子１０は、たとえばＬｉＮｂＯ3 か
らなる圧電基板１２を含む。圧電基板１２の一方主面の
全面には、スパッタ法などでＺｎＯ層１４が形成され、
その上に、電極１６および１８が形成される。圧電基板
１２の他方主面側の長手方向の一端側および他端側に
は、電極２０および２２が形成される。電極１８と電極
２２とは、エッチングなどにより電気的機械的に接続さ
れる。電極１６には、入力端子２６が接続され、電極１
８には、出力端子２８が接続される。電極２０には、ア
ース端子３０および３２が接続される。
換効率の高い弾性波素子を提供する。 【構成】 弾性波素子１０は、たとえばＬｉＮｂＯ3 か
らなる圧電基板１２を含む。圧電基板１２の一方主面の
全面には、スパッタ法などでＺｎＯ層１４が形成され、
その上に、電極１６および１８が形成される。圧電基板
１２の他方主面側の長手方向の一端側および他端側に
は、電極２０および２２が形成される。電極１８と電極
２２とは、エッチングなどにより電気的機械的に接続さ
れる。電極１６には、入力端子２６が接続され、電極１
８には、出力端子２８が接続される。電極２０には、ア
ース端子３０および３２が接続される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は弾性波素子に関し、特
にたとえば、圧電共振子、圧電フィルタおよび超音波ト
ランスデューサなどの圧電バルク波デバイスなどに用い
られる弾性波素子に関する。
にたとえば、圧電共振子、圧電フィルタおよび超音波ト
ランスデューサなどの圧電バルク波デバイスなどに用い
られる弾性波素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような弾性波素子に用いられ
る基板としては、たとえばＳｉ基板上にＺｎＯ薄膜を成
膜したもの、溶融石英基板上にＺｎＯ薄膜を成膜したも
の、Ａｌ2 Ｏ3 基板上にＺｎＯ薄膜を成膜したものなど
がある。しかし、これらの各種基板では、電気機械結合
係数が０．２以下と小さいので、弾性波素子に用いた場
合、効率の低いものであった。
る基板としては、たとえばＳｉ基板上にＺｎＯ薄膜を成
膜したもの、溶融石英基板上にＺｎＯ薄膜を成膜したも
の、Ａｌ2 Ｏ3 基板上にＺｎＯ薄膜を成膜したものなど
がある。しかし、これらの各種基板では、電気機械結合
係数が０．２以下と小さいので、弾性波素子に用いた場
合、効率の低いものであった。
【０００３】一方、弾性波素子に用いられる基板とし
て、近来、電気機械結合係数の大きいたとえばＬｉＮｂ
Ｏ3 基板およびＬｉＴａＯ3 基板などが注目されてい
る。ＬｉＮｂＯ3 基板などを弾性波素子に用いる場合、
電気機械結合係数が比較的大きくなるオイラー角、言い
換えれば、基板の切断方位を選択して用いていた。
て、近来、電気機械結合係数の大きいたとえばＬｉＮｂ
Ｏ3 基板およびＬｉＴａＯ3 基板などが注目されてい
る。ＬｉＮｂＯ3 基板などを弾性波素子に用いる場合、
電気機械結合係数が比較的大きくなるオイラー角、言い
換えれば、基板の切断方位を選択して用いていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＬｉＮ
ｂＯ3 ないしＬｉＴａＯ3 で形成される基板において
は、オイラー角を選択する必要があって手間のかかるも
のであり、しかも、電気機械結合係数も満足すべき大き
いものが得られないのが現状である。
ｂＯ3 ないしＬｉＴａＯ3 で形成される基板において
は、オイラー角を選択する必要があって手間のかかるも
のであり、しかも、電気機械結合係数も満足すべき大き
いものが得られないのが現状である。
【０００５】すなわち、上述したような従来の基板で
は、電気機械結合係数が小さいため、従来の各種基板を
弾性波素子に用いても、電気エネルギーと機械エネルギ
ーとの間の変換効率が低いものであった。
は、電気機械結合係数が小さいため、従来の各種基板を
弾性波素子に用いても、電気エネルギーと機械エネルギ
ーとの間の変換効率が低いものであった。
【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、電
気エネルギーと機械エネルギーとの間の変換効率の高い
弾性波素子を提供することである。
気エネルギーと機械エネルギーとの間の変換効率の高い
弾性波素子を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ＬｉＮｂＯ3 基板と、ＬｉＮｂＯ3 基板の一方主面
に形成されるＺｎＯ層と、ＺｎＯ層の表面に形成される
電極とを含む、弾性波素子である。
は、ＬｉＮｂＯ3 基板と、ＬｉＮｂＯ3 基板の一方主面
に形成されるＺｎＯ層と、ＺｎＯ層の表面に形成される
電極とを含む、弾性波素子である。
【０００８】請求項２に記載の発明は、ＺｎＯ層の厚み
をａ、ＬｉＮｂＯ3 基板の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ
＞０．００６を満足する、請求項１に記載の弾性波素子
である。
をａ、ＬｉＮｂＯ3 基板の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ
＞０．００６を満足する、請求項１に記載の弾性波素子
である。
【０００９】請求項３に記載の発明は、ＺｎＯ層の厚み
をａ、ＬｉＮｂＯ3 基板の厚みをｂとしたとき、０．０
２＞ａ÷ｂ≧０．００６を満足する、請求項１に記載の
弾性波素子である。
をａ、ＬｉＮｂＯ3 基板の厚みをｂとしたとき、０．０
２＞ａ÷ｂ≧０．００６を満足する、請求項１に記載の
弾性波素子である。
【００１０】請求項４に記載の発明は、ＬｉＴａＯ3 基
板し、ＬｉＴａＯ3 基板の一方主面に形成されるＺｎＯ
層と、ＺｎＯ層の表面に形成される電極とを含む、弾性
波素子である。
板し、ＬｉＴａＯ3 基板の一方主面に形成されるＺｎＯ
層と、ＺｎＯ層の表面に形成される電極とを含む、弾性
波素子である。
【００１１】請求項５に記載の発明は、ＺｎＯ層の厚み
をａ、ＬｉＴａＯ3 基板の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ
＞０．００６を満足する、請求項４に記載の弾性波素子
である。
をａ、ＬｉＴａＯ3 基板の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ
＞０．００６を満足する、請求項４に記載の弾性波素子
である。
【００１２】請求項６に記載の発明は、ＺｎＯ層の厚み
をａ、ＬｉＴａＯ3 基板の厚みをｂとし たとき、０．
０２＞ａ÷ｂ≧０．００６を満足する、請求項４に記載
の弾性波素子である。
をａ、ＬｉＴａＯ3 基板の厚みをｂとし たとき、０．
０２＞ａ÷ｂ≧０．００６を満足する、請求項４に記載
の弾性波素子である。
【００１３】
【作用】請求項１〜６に記載の発明では、ＬｉＮｂＯ3
基板ないしＬｉＴａＯ3 基板上にＺｎＯ層が形成されて
いるので、電気機械結合係数が大きくなる。
基板ないしＬｉＴａＯ3 基板上にＺｎＯ層が形成されて
いるので、電気機械結合係数が大きくなる。
【００１４】
【発明の効果】この発明によれば、従来のものより電気
機械結合係数を大きくすることができるため、電気エネ
ルギーと機械エネルギーとの間の変換効率の高い弾性波
素子が得られる。
機械結合係数を大きくすることができるため、電気エネ
ルギーと機械エネルギーとの間の変換効率の高い弾性波
素子が得られる。
【００１５】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１６】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す図解図であ
り、図２は図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図解図であ
る。また、図３は電気機械結合係数を測定するためのサ
ンプル図であり、図４は、図３に示す弾性波素子の厚み
すべり振動の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上
に設けられるＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフであ
り、図５は、図３に示す弾性波素子の長さ方向伸び振動
の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上に設けられ
るＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフである。
り、図２は図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図解図であ
る。また、図３は電気機械結合係数を測定するためのサ
ンプル図であり、図４は、図３に示す弾性波素子の厚み
すべり振動の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上
に設けられるＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフであ
り、図５は、図３に示す弾性波素子の長さ方向伸び振動
の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上に設けられ
るＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフである。
【００１７】弾性波素子１０は、たとえばＬｉＮｂＯ3
からなる矩形の圧電基板１２を含む。この実施例では、
たとえばＹカットＬｉＮｂＯ3 基板が用いられ、圧電基
板１２は、たとえばその厚み方向に分極処理が施されて
いる。また、この実施例では、圧電基板１２の厚みがた
とえば５００μｍに形成される。
からなる矩形の圧電基板１２を含む。この実施例では、
たとえばＹカットＬｉＮｂＯ3 基板が用いられ、圧電基
板１２は、たとえばその厚み方向に分極処理が施されて
いる。また、この実施例では、圧電基板１２の厚みがた
とえば５００μｍに形成される。
【００１８】圧電基板１２の表面全面には、たとえばス
パッタ法，真空蒸着法および化学的気相成長法などの方
法により、ＺｎＯ層１４が形成される。この実施例で
は、スパッタ法により、圧電基板１２上にＺｎＯ薄膜が
成膜されることによって、ＺｎＯ層１４が形成される。
この実施例では、圧電基板１２上にたとえばその膜厚が
１０μｍのＺｎＯ薄膜が成膜される。
パッタ法，真空蒸着法および化学的気相成長法などの方
法により、ＺｎＯ層１４が形成される。この実施例で
は、スパッタ法により、圧電基板１２上にＺｎＯ薄膜が
成膜されることによって、ＺｎＯ層１４が形成される。
この実施例では、圧電基板１２上にたとえばその膜厚が
１０μｍのＺｎＯ薄膜が成膜される。
【００１９】圧電基板１２の表面側には、ＺｎＯ層１４
上の長手方向の一端側に第１の電極１６が形成され、そ
の長手方向の他端側に第２の電極１８が形成される。ま
た、圧電体基板１２の裏面側で、その長手方向の一端側
には第１の電極１６に対向するように第３の電極２０が
形成され、その長手方向の他端側には第２の電極１８に
対向するように第４の電極２２が形成される。さらに、
第２の電極１８と第４の電極２２とは、たとえばエッチ
ングおよび印刷などの接続手段２４により電気的機械的
に接続される。
上の長手方向の一端側に第１の電極１６が形成され、そ
の長手方向の他端側に第２の電極１８が形成される。ま
た、圧電体基板１２の裏面側で、その長手方向の一端側
には第１の電極１６に対向するように第３の電極２０が
形成され、その長手方向の他端側には第２の電極１８に
対向するように第４の電極２２が形成される。さらに、
第２の電極１８と第４の電極２２とは、たとえばエッチ
ングおよび印刷などの接続手段２４により電気的機械的
に接続される。
【００２０】第１の電極１６には、入力端子としての第
１の端子２６が接続され、第２の電極１８には、出力端
子としての第２の端子２８が接続される。さらに、第３
の電極２０には、アース端子としての第３の端子３０お
よび３２が接続される。
１の端子２６が接続され、第２の電極１８には、出力端
子としての第２の端子２８が接続される。さらに、第３
の電極２０には、アース端子としての第３の端子３０お
よび３２が接続される。
【００２１】この弾性波素子１０では、第１の端子１６
に駆動信号が印加されることによって、圧電基板１２が
その長さ方向に振動する。つまり、振動モードが長さ方
向伸び振動の弾性波が圧電基板１２上を伝搬する。そし
て、伝搬した弾性波は、第２の端子２８から電気的信号
として出力される。
に駆動信号が印加されることによって、圧電基板１２が
その長さ方向に振動する。つまり、振動モードが長さ方
向伸び振動の弾性波が圧電基板１２上を伝搬する。そし
て、伝搬した弾性波は、第２の端子２８から電気的信号
として出力される。
【００２２】この発明にかかる弾性波素子１０では、Ｌ
ｉＮｂＯ3 からなる圧電基板１２上にＺｎＯ層１４が形
成されているため、後述する実験例で示すように、電気
機械結合係数が大きいものが得られる。そのため、この
弾性波素子１０は、従来の弾性波素子に比べて、電気エ
ネルギーと機械エネルギーとの間の変換効率が高くな
り、効率が良いものとなる。
ｉＮｂＯ3 からなる圧電基板１２上にＺｎＯ層１４が形
成されているため、後述する実験例で示すように、電気
機械結合係数が大きいものが得られる。そのため、この
弾性波素子１０は、従来の弾性波素子に比べて、電気エ
ネルギーと機械エネルギーとの間の変換効率が高くな
り、効率が良いものとなる。
【００２３】次に、ＬｉＮｂＯ3 基板上にＺｎＯ層を形
成することにより電気機械結合係数が大きくなることを
示す実験例を以下に示す。この実験例では、電気機械結
合係数を測定するための測定用弾性波素子４０として、
ＬｉＮｂＯ3 基板上にＺｎＯ薄膜を形成していないもの
と、ＬｉＮｂＯ3 基板上にＺｎＯ薄膜を形成したもの、
詳しくは、ＺｎＯ薄膜の膜厚の厚みを変えたものとにつ
いて、長さ方向伸び振動モードおよび厚みすべり振動モ
ードにおける電気機械結合係数を測定・算出し比較する
ことにした。
成することにより電気機械結合係数が大きくなることを
示す実験例を以下に示す。この実験例では、電気機械結
合係数を測定するための測定用弾性波素子４０として、
ＬｉＮｂＯ3 基板上にＺｎＯ薄膜を形成していないもの
と、ＬｉＮｂＯ3 基板上にＺｎＯ薄膜を形成したもの、
詳しくは、ＺｎＯ薄膜の膜厚の厚みを変えたものとにつ
いて、長さ方向伸び振動モードおよび厚みすべり振動モ
ードにおける電気機械結合係数を測定・算出し比較する
ことにした。
【００２４】まず、たとえばＹカットしたＬｉＮｂＯ3
基板が準備される。図３に示すようにＬｉＮｂＯ3 基板
４２の一方主面上には、たとえば２．８μｍの膜厚のＺ
ｎＯ薄膜４４がたとえばスパッタ法によって成膜され
る。さらに、ＬｉＮｂＯ3 基板４２の一方主面側でＺｎ
Ｏ薄膜からなるＺｎＯ層４４の上に電極４６を設け、そ
のＬｉＮｂＯ3 基板４２の他方主面に別の電極５０を設
けることによって、測定用弾性波素子４０となる試料を
作製した。同様にして、ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にそれ
ぞれ３．７μｍ，４．８μｍ，６．３μｍ，８．５μ
ｍ，１１μｍの膜厚のＺｎＯ薄膜を儲け、さらに、Ｌｉ
ＮｂＯ3 基板４２の主面に電極を設けることによって、
複数の別の試料を作製した。そして、これらの試料につ
いて、長さ方向伸び振動モードおよび厚みすべり振動モ
ードにおける電気機械結合係数ｋ21およびｋS を測定・
算出し、その結果を図４および図５に示した。
基板が準備される。図３に示すようにＬｉＮｂＯ3 基板
４２の一方主面上には、たとえば２．８μｍの膜厚のＺ
ｎＯ薄膜４４がたとえばスパッタ法によって成膜され
る。さらに、ＬｉＮｂＯ3 基板４２の一方主面側でＺｎ
Ｏ薄膜からなるＺｎＯ層４４の上に電極４６を設け、そ
のＬｉＮｂＯ3 基板４２の他方主面に別の電極５０を設
けることによって、測定用弾性波素子４０となる試料を
作製した。同様にして、ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にそれ
ぞれ３．７μｍ，４．８μｍ，６．３μｍ，８．５μ
ｍ，１１μｍの膜厚のＺｎＯ薄膜を儲け、さらに、Ｌｉ
ＮｂＯ3 基板４２の主面に電極を設けることによって、
複数の別の試料を作製した。そして、これらの試料につ
いて、長さ方向伸び振動モードおよび厚みすべり振動モ
ードにおける電気機械結合係数ｋ21およびｋS を測定・
算出し、その結果を図４および図５に示した。
【００２５】ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にＺｎＯ層４４を
形成した場合、図４に示すように、厚みすべり振動モー
ドにおいては、電気機械結合係数ｋS が０．６前後とな
り、従来のＬｉＮｂＯ3 基板単独の電気機械結合係数と
比べてさほど大きいものでもなく、さらに、ＬｉＮｂＯ
3 基板４２だけのものと、ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にＺ
ｎＯ層４４を形成したものとの差もあまり見られない。
形成した場合、図４に示すように、厚みすべり振動モー
ドにおいては、電気機械結合係数ｋS が０．６前後とな
り、従来のＬｉＮｂＯ3 基板単独の電気機械結合係数と
比べてさほど大きいものでもなく、さらに、ＬｉＮｂＯ
3 基板４２だけのものと、ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にＺ
ｎＯ層４４を形成したものとの差もあまり見られない。
【００２６】それに対して、長さ方向伸び振動モードに
ついては、ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にＺｎＯ層４４を形
成することによって、電気機械結合係数が従来の０．２
４の値より電気機械結合係数ｋ21が０．２５〜０．３１
と大きくなっている。しかも、ＬｉＮｂＯ3 基板４２だ
けのもの（ＺｎＯ層の膜厚が０μｍのもの）と、ＬｉＮ
ｂＯ3 基板４２上にＺｎＯ層４４を形成したものとを比
較すると、ＺｎＯ層４４を形成した基板の方が、２０％
程、電気機械結合係数ｋ21が大きくなっていることがわ
かる。なお、長さ方向伸び振動モード以外のたとえば長
さ方向振動モード，径方向振動モードおよび厚み方向振
動モードなどの他の振動モードにおいても電気機械結合
係数が大きくなると推測される。
ついては、ＬｉＮｂＯ3 基板４２上にＺｎＯ層４４を形
成することによって、電気機械結合係数が従来の０．２
４の値より電気機械結合係数ｋ21が０．２５〜０．３１
と大きくなっている。しかも、ＬｉＮｂＯ3 基板４２だ
けのもの（ＺｎＯ層の膜厚が０μｍのもの）と、ＬｉＮ
ｂＯ3 基板４２上にＺｎＯ層４４を形成したものとを比
較すると、ＺｎＯ層４４を形成した基板の方が、２０％
程、電気機械結合係数ｋ21が大きくなっていることがわ
かる。なお、長さ方向伸び振動モード以外のたとえば長
さ方向振動モード，径方向振動モードおよび厚み方向振
動モードなどの他の振動モードにおいても電気機械結合
係数が大きくなると推測される。
【００２７】この場合、ＬｉＮｂＯ3 基板４２の厚みを
ａとし、ＺｎＯ層４４の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ＞
０．００６を満足するようなＺｎＯ層４４の厚みｂを形
成することが好ましく、０．０２＞ａ÷ｂ≧０．００６
を満足するようなＺｎＯ層４４の厚みｂを形成すること
がさらに好ましい。
ａとし、ＺｎＯ層４４の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ＞
０．００６を満足するようなＺｎＯ層４４の厚みｂを形
成することが好ましく、０．０２＞ａ÷ｂ≧０．００６
を満足するようなＺｎＯ層４４の厚みｂを形成すること
がさらに好ましい。
【００２８】この実施例では、ＬｉＮｂＯ3 基板上にＺ
ｎＯ層を形成することによって、電気機械結合係数を大
きくしたが、たとえばＬｉＴａＯ3 で形成されたＬｉＴ
ａＯ 3 基板上にＺｎＯ層を形成するようにしてもよい。
この場合、ＬｉＴｉＯ3 は、ＬｉＮｂＯ3 と同様の圧電
単結晶材料、つまり、同様の結晶構造を有するので、上
述の実施例と同様に、長さ方向伸び振動モード，長さ方
向振動モード，径方向振動モードおよび厚み方向振動モ
ードにおける電気機械結合係数ｋ21，ｋ31，ｋr および
ｋt の大きい弾性波素子が得られることが容易に推測さ
れる。また、この実施例では、ＹカットＬｉＮｂＯ3 基
板上にＺｎＯ層を形成したものについて説明したが、他
のカット、すなわち、他の切断方位でカットされたもの
についても同様に、電気機械結合係数果が大きくなると
推測される。
ｎＯ層を形成することによって、電気機械結合係数を大
きくしたが、たとえばＬｉＴａＯ3 で形成されたＬｉＴ
ａＯ 3 基板上にＺｎＯ層を形成するようにしてもよい。
この場合、ＬｉＴｉＯ3 は、ＬｉＮｂＯ3 と同様の圧電
単結晶材料、つまり、同様の結晶構造を有するので、上
述の実施例と同様に、長さ方向伸び振動モード，長さ方
向振動モード，径方向振動モードおよび厚み方向振動モ
ードにおける電気機械結合係数ｋ21，ｋ31，ｋr および
ｋt の大きい弾性波素子が得られることが容易に推測さ
れる。また、この実施例では、ＹカットＬｉＮｂＯ3 基
板上にＺｎＯ層を形成したものについて説明したが、他
のカット、すなわち、他の切断方位でカットされたもの
についても同様に、電気機械結合係数果が大きくなると
推測される。
【図１】この発明の一実施例を示す図解図である。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図解図であ
る。
る。
【図３】電気機械結合係数を測定するためのサンプル図
である。
である。
【図４】図３に示す測定用弾性波素子の厚みすべり振動
の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上に設けられ
るＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフである。
の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上に設けられ
るＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフである。
【図５】図３に示す測定用弾性波素子の長さ方向伸び振
動の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上に設けら
れるＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフである。
動の電気機械結合係数と、ＬｉＮｂＯ3 基板上に設けら
れるＺｎＯ層の厚みとの関係を示すグラフである。
１０ 弾性波素子 １２ 圧電基板 １４ ＺｎＯ層 １６ 第１の電極 １８ 第２の電極 ２０ 第３の電極 ２２ 第４の電極 ２４ 接続手段 ２６ 第１の端子 ２８ 第２の端子 ３０ 第３の端子 ３２ 第４の端子 ４０ 電気機械結合係数を測定するための測定用弾性波
素子（試料） ４２ ＬｉＮｂＯ3 基板 ４４ ＺｎＯ層 ４６，５０ 電極
素子（試料） ４２ ＬｉＮｂＯ3 基板 ４４ ＺｎＯ層 ４６，５０ 電極
Claims (6)
- 【請求項１】 ＬｉＮｂＯ3 基板、 前記ＬｉＮｂＯ3 基板の一方主面に形成されるＺｎＯ
層、および前記ＺｎＯ層の表面に形成される電極を含
む、弾性波素子。 - 【請求項２】 前記ＺｎＯ層の厚みをａ、前記ＬｉＮｂ
Ｏ3 基板の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ＞０．００６を
満足する、請求項１に記載の弾性波素子。 - 【請求項３】 前記ＺｎＯ層の厚みをａ、前記ＬｉＮｂ
Ｏ3 基板の厚みをｂとしたとき、０．０２＞ａ÷ｂ≧
０．００６を満足する、請求項１に記載の弾性波素子。 - 【請求項４】 ＬｉＴａＯ3 基板、 前記ＬｉＴａＯ3 基板の一方主面に形成されるＺｎＯ
層、および前記ＺｎＯ層の表面に形成される電極を含
む、弾性波素子。 - 【請求項５】 前記ＺｎＯ層の厚みをａ、前記ＬｉＴａ
Ｏ3 基板の厚みをｂとしたとき、ａ÷ｂ＞０．００６を
満足する、請求項４に記載の弾性波素子。 - 【請求項６】 前記ＺｎＯ層の厚みをａ、前記ＬｉＴａ
Ｏ3 基板の厚みをｂとしたとき、０．０２＞ａ÷ｂ≧
０．００６を満足する、請求項４に記載の弾性波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7157080A JPH08330895A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 弾性波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7157080A JPH08330895A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 弾性波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08330895A true JPH08330895A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15641817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7157080A Pending JPH08330895A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 弾性波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08330895A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107093998A (zh) * | 2011-09-30 | 2017-08-25 | 追踪有限公司 | 横截面扩张模式共振器 |
-
1995
- 1995-05-30 JP JP7157080A patent/JPH08330895A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107093998A (zh) * | 2011-09-30 | 2017-08-25 | 追踪有限公司 | 横截面扩张模式共振器 |
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