JPH0833361A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0833361A JPH0833361A JP18631594A JP18631594A JPH0833361A JP H0833361 A JPH0833361 A JP H0833361A JP 18631594 A JP18631594 A JP 18631594A JP 18631594 A JP18631594 A JP 18631594A JP H0833361 A JPH0833361 A JP H0833361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- mover
- electrode
- stators
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】複雑な配線や駆動回路を必要としない簡単な直
流電源で駆動できる小型のアクチュエータを得る。 【構成】一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の突起11
を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極12を有
する二つの固定子1,2 を、空隙を持って対向させ、か
つ、移動方向にピッチλ／２ずらした固定子対と、この
固定子対の空隙内に設けられ二つの固定子とそれぞれ対
向する面に固定子電極と同一形状の突起31が両面に対称
に設けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極
32を設けた移動子3 とを備え、固定子または移動子の少
なくとも一方の接触面に絶縁膜13,23を設けた構成にし
ている。
流電源で駆動できる小型のアクチュエータを得る。 【構成】一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の突起11
を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極12を有
する二つの固定子1,2 を、空隙を持って対向させ、か
つ、移動方向にピッチλ／２ずらした固定子対と、この
固定子対の空隙内に設けられ二つの固定子とそれぞれ対
向する面に固定子電極と同一形状の突起31が両面に対称
に設けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極
32を設けた移動子3 とを備え、固定子または移動子の少
なくとも一方の接触面に絶縁膜13,23を設けた構成にし
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小機械の駆動源とし
て用いられるマイクロアクチュエータに関する。
て用いられるマイクロアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、静電アクチュエータの一つとして
つぎのように円筒形状をした固定子と固定子内径より若
干小さい外径を持つ回転子からなるものがある（特開平
4-42790）。これは固定子の内側表面が金属からなり、
絶縁体により一定のピッチに分割されて固定子の駆動電
極を形成している。回転子は外側表面が金属からなって
おり回転子電極を形成している。固定子の駆動電極にＤ
Ｃ電源とスイッチング回路により連続的に固定子電極に
電圧を印加すると、固定子電極と回転子電極間に静電吸
引力が働くのでこれを利用して回転子を動作させるもの
である。
つぎのように円筒形状をした固定子と固定子内径より若
干小さい外径を持つ回転子からなるものがある（特開平
4-42790）。これは固定子の内側表面が金属からなり、
絶縁体により一定のピッチに分割されて固定子の駆動電
極を形成している。回転子は外側表面が金属からなって
おり回転子電極を形成している。固定子の駆動電極にＤ
Ｃ電源とスイッチング回路により連続的に固定子電極に
電圧を印加すると、固定子電極と回転子電極間に静電吸
引力が働くのでこれを利用して回転子を動作させるもの
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の技術
では回転子をスムーズに動かすためには固定子電極を多
数分割し、すべての電極に対して電圧を印加できるよう
な配線および駆動回路が必要となるため、このような複
雑な配線や駆動回路はアクチュエータの小型化を妨げる
といった問題があった。そこで、本発明は複雑な配線や
駆動回路を必要としない簡単な直流電源で駆動できる小
型のアクチュエータを提供することを目的としている。
では回転子をスムーズに動かすためには固定子電極を多
数分割し、すべての電極に対して電圧を印加できるよう
な配線および駆動回路が必要となるため、このような複
雑な配線や駆動回路はアクチュエータの小型化を妨げる
といった問題があった。そこで、本発明は複雑な配線や
駆動回路を必要としない簡単な直流電源で駆動できる小
型のアクチュエータを提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め，本発明は一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の突
起を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極を有
する二つの固定子を、空隙を持って対向させ、かつ、移
動方向にピッチλ／２ずらした固定子対と、前記固定子
対の空隙内に設けられ前記二つの固定子とそれぞれ対向
する面に前記固定子と同一形状の突起が両面に対称に設
けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極を設
けた移動子とを備え、前記固定子または移動子の少なく
とも一方の接触面に絶縁膜を設けたことを構成にしてい
る。
め，本発明は一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の突
起を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極を有
する二つの固定子を、空隙を持って対向させ、かつ、移
動方向にピッチλ／２ずらした固定子対と、前記固定子
対の空隙内に設けられ前記二つの固定子とそれぞれ対向
する面に前記固定子と同一形状の突起が両面に対称に設
けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極を設
けた移動子とを備え、前記固定子または移動子の少なく
とも一方の接触面に絶縁膜を設けたことを構成にしてい
る。
【０００５】
【作用】上記手段により、移動子が下側の固定子電極の
傾斜面に絶縁膜を介して接している状態で、下側の固定
子電極に−極、上側の固定子電極に＋極の直流電圧を印
加すると、移動子は−極に帯電する。そうすると上側の
固定子電極と移動子の電極の間に静電吸引力が働き、移
動子は上側の固定子電極に引きつけられ、上側の固定子
電極の傾斜面に接触する。その後、垂直面によって移動
子は右側に引きつけられ、やがて上側の固定子電極の垂
直面と接触する。上側の固定子と移動子との間が導通
し、移動子は＋極に帯電する。つぎに、下側の固定子と
移動子の間に吸引力が働き移動子は下に移動する。移動
子が下側の固定子電極の傾斜面に接触すると、垂直面に
よって移動子は右側に引きつけられ、やがて下側の固定
子電極の垂直面と接触する。これにより、移動子はピッ
チλだけ右に移動する。さらに、下側の固定子と移動子
との間が導通し、移動子は−極に帯電する。この動作を
繰り返して移動子は右方向に移動する。このように上下
の固定子間に直流電圧を印加するだけで移動子は移動で
きるので、駆動装置が簡略なものになり、アクチュエー
タを小形化することができる
傾斜面に絶縁膜を介して接している状態で、下側の固定
子電極に−極、上側の固定子電極に＋極の直流電圧を印
加すると、移動子は−極に帯電する。そうすると上側の
固定子電極と移動子の電極の間に静電吸引力が働き、移
動子は上側の固定子電極に引きつけられ、上側の固定子
電極の傾斜面に接触する。その後、垂直面によって移動
子は右側に引きつけられ、やがて上側の固定子電極の垂
直面と接触する。上側の固定子と移動子との間が導通
し、移動子は＋極に帯電する。つぎに、下側の固定子と
移動子の間に吸引力が働き移動子は下に移動する。移動
子が下側の固定子電極の傾斜面に接触すると、垂直面に
よって移動子は右側に引きつけられ、やがて下側の固定
子電極の垂直面と接触する。これにより、移動子はピッ
チλだけ右に移動する。さらに、下側の固定子と移動子
との間が導通し、移動子は−極に帯電する。この動作を
繰り返して移動子は右方向に移動する。このように上下
の固定子間に直流電圧を印加するだけで移動子は移動で
きるので、駆動装置が簡略なものになり、アクチュエー
タを小形化することができる
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図１は本発明のリニア型の静電アクチュエータの構
造を示す側面図である。図において１は下側の固定子、
１１は鋸歯状の突起、１２は固定子電極、１３は絶縁
膜、１４は感光体である。２は上側の固定子、２１は鋸
歯状の突起、２２は固定子電極、２３は絶縁膜である。
３は移動子、３１は固定子１、２の突起と同形状の鋸歯
状の突起、３２、３４は移動子電極、３３は感光体はで
ある。本静電アクチュエータの作製工程を図２および図
３の側断面図に示す。図４はその部分拡大断面図であ
る。 (1) まず、下側の固定子１を作製する。基板４の上にポ
ジ型の感光性高分子材料（ＰＭＭＡ）からなる感光体１
４をスピンコート（回転塗布）する（図２（ａ））。 (2) 細いスリットを設けた遮光マスク５を感光体１４に
近接させ、紙面左側に１ピッチλだけ移動させながら紫
外線６を照射する（図２（ｂ））。感光深さは露光時間
に依存するので、１つのピッチにおいては右側ほど感光
が深くなる。 (3) 感光体１４の感光した部分を現像液により除去する
と、感光体１４は右下がりの傾斜を持つ鋸歯状の突起１
１がパターニングされる（図２（ｃ））。 (4) パターン化された感光体１４の全表面にＣｒを蒸着
またはスパッタリングにより成膜し、固定子電極１２と
する（図４）。電極はＣｕ、Ｎｉ等導電性の金属であれ
ば何でもよい。 (5) 傾斜面にＳｉＯ2 を用いてスパッタリングし絶縁膜
１３を形成する。なお、絶縁膜１３は潤滑性を有するテ
フロンを用いてもよいし、成膜方法は蒸着を用いてもよ
い。 (6) 絶縁膜１３の上にＰｈｏｓｐｈｏｓｉｌｉｃａｔｅ
Ｇｌａｓｓ（ＰＳＧ）からなる犠牲層７１を成膜する
（図２（ｄ）、図４）。 (7) つぎに、移動子３を形成する。移動子３は前述の犠
牲層７１の上にＣｒなどのめっきシード層を成膜した
後、電気めっきによりＮｉを堆積させ、移動子電極３２
を形成する（図３（イ））。移動子電極３２はＮｉに限
らず導電性の金属であれば何でもよい。 (8) 移動子電極３２の表面を電解研磨などにより平坦化
する。 (9) 平坦化した移動子電極３２の表面にＰＭＭＡの感光
体３３をスピンコートする。 (10)遮光マスク５のスリットの原点を位置決めし、紫外
線６を照射し、下側の電極面の傾きと反対の傾きを持つ
鋸歯状の突起３１を作製する。 (11)感光した部分を現像液により除去する。感光体３３
は右上がりの傾斜を持つ鋸歯状の突起にパターニングさ
れる。 (12)感光体３３の全面にＣｒをスパッタリングにより形
成した固定子電極２２と移動子電極３２とを移動体３の
側面部で導通させる。 (13)ＰＧＳからなる犠牲層７２を成膜する（図２
（ロ））。 (14)つぎに、上側の固定子２を作製する。傾斜面だけに
(5) と同様に絶縁膜２３を形成する。 (15)Ｃｒのめっきシード層を成膜する。 (16)電気めっきによりＮｉを堆積させ、固定子電極２２
を作製する（図３（ハ））。 (17)犠牲層７１、７２をＨＦ液で除去する。 (18)最後に下側の固定子１を上側の固定子２の電極ピッ
チに対してλ／２ずらして両固定子を位置決めし固定す
る。これによりアクチュエータが完成する（図３
（ニ））。
る。図１は本発明のリニア型の静電アクチュエータの構
造を示す側面図である。図において１は下側の固定子、
１１は鋸歯状の突起、１２は固定子電極、１３は絶縁
膜、１４は感光体である。２は上側の固定子、２１は鋸
歯状の突起、２２は固定子電極、２３は絶縁膜である。
３は移動子、３１は固定子１、２の突起と同形状の鋸歯
状の突起、３２、３４は移動子電極、３３は感光体はで
ある。本静電アクチュエータの作製工程を図２および図
３の側断面図に示す。図４はその部分拡大断面図であ
る。 (1) まず、下側の固定子１を作製する。基板４の上にポ
ジ型の感光性高分子材料（ＰＭＭＡ）からなる感光体１
４をスピンコート（回転塗布）する（図２（ａ））。 (2) 細いスリットを設けた遮光マスク５を感光体１４に
近接させ、紙面左側に１ピッチλだけ移動させながら紫
外線６を照射する（図２（ｂ））。感光深さは露光時間
に依存するので、１つのピッチにおいては右側ほど感光
が深くなる。 (3) 感光体１４の感光した部分を現像液により除去する
と、感光体１４は右下がりの傾斜を持つ鋸歯状の突起１
１がパターニングされる（図２（ｃ））。 (4) パターン化された感光体１４の全表面にＣｒを蒸着
またはスパッタリングにより成膜し、固定子電極１２と
する（図４）。電極はＣｕ、Ｎｉ等導電性の金属であれ
ば何でもよい。 (5) 傾斜面にＳｉＯ2 を用いてスパッタリングし絶縁膜
１３を形成する。なお、絶縁膜１３は潤滑性を有するテ
フロンを用いてもよいし、成膜方法は蒸着を用いてもよ
い。 (6) 絶縁膜１３の上にＰｈｏｓｐｈｏｓｉｌｉｃａｔｅ
Ｇｌａｓｓ（ＰＳＧ）からなる犠牲層７１を成膜する
（図２（ｄ）、図４）。 (7) つぎに、移動子３を形成する。移動子３は前述の犠
牲層７１の上にＣｒなどのめっきシード層を成膜した
後、電気めっきによりＮｉを堆積させ、移動子電極３２
を形成する（図３（イ））。移動子電極３２はＮｉに限
らず導電性の金属であれば何でもよい。 (8) 移動子電極３２の表面を電解研磨などにより平坦化
する。 (9) 平坦化した移動子電極３２の表面にＰＭＭＡの感光
体３３をスピンコートする。 (10)遮光マスク５のスリットの原点を位置決めし、紫外
線６を照射し、下側の電極面の傾きと反対の傾きを持つ
鋸歯状の突起３１を作製する。 (11)感光した部分を現像液により除去する。感光体３３
は右上がりの傾斜を持つ鋸歯状の突起にパターニングさ
れる。 (12)感光体３３の全面にＣｒをスパッタリングにより形
成した固定子電極２２と移動子電極３２とを移動体３の
側面部で導通させる。 (13)ＰＧＳからなる犠牲層７２を成膜する（図２
（ロ））。 (14)つぎに、上側の固定子２を作製する。傾斜面だけに
(5) と同様に絶縁膜２３を形成する。 (15)Ｃｒのめっきシード層を成膜する。 (16)電気めっきによりＮｉを堆積させ、固定子電極２２
を作製する（図３（ハ））。 (17)犠牲層７１、７２をＨＦ液で除去する。 (18)最後に下側の固定子１を上側の固定子２の電極ピッ
チに対してλ／２ずらして両固定子を位置決めし固定す
る。これによりアクチュエータが完成する（図３
（ニ））。
【０００７】駆動の様子を図５により説明する。いま、
直流電源８を下側の固定子電極１２を−極、上側の固定
子電極２２を＋極になるように配線し、電圧を印加す
る。今、移動子電極３２が下側の固定子電極１２の傾斜
面１２１に接しているので移動子３は−極に帯電す
（ａ）。その後、上側の固定子電極２２と移動子電極３
４の間に静電吸引力が働き、移動子３は上側の固定子２
に引きつけられる。移動子電極３４が上側の固定子電極
２２の傾斜面２２１に接触した後、垂直面２２２と移動
子３の垂直面との間に吸引力が働くため、移動子３は右
側に引きつけられ、やがて上側の固定子電極２２の垂直
面２２２と接触する。上側の固定子電極２２と移動子電
極３２、３４との間が導通し、移動子３は＋極に帯電す
る（ｂ）。つぎに、下側の固定子電極１２と移動子３と
の間に吸引力が働き移動子３は下方に移動する。移動子
３が下側の固定子電極１２の傾斜面１２１に接触した
後、垂直面１２２によって移動子３は右側に引きつけら
れ、やがて下側の固定子電極１２の垂直面１２２と接触
する。この時点で移動子３は１ピッチ（λ）移動したこ
とになる。この動作を自動的に繰り返して移動子３は上
下固定子間をジグザク運動しながら移動していく。この
ように、上下の固定子間に直流電圧を印加するだけで移
動子３は移動することができる。このアクチュエータは
固定子だけを製作時に位置決めすれば、組立て時にはこ
の位置合わせが不要になるため、製作が容易となる。ま
た、複雑な駆動回路を必要としないので、アクチュエー
タを小型化できる。また、ここには図示していないが、
本発明を用いると電極を放射状に設け、移動子の中心に
シャフトを取り付けることにより回転型アクチュエータ
を得ることもできる。
直流電源８を下側の固定子電極１２を−極、上側の固定
子電極２２を＋極になるように配線し、電圧を印加す
る。今、移動子電極３２が下側の固定子電極１２の傾斜
面１２１に接しているので移動子３は−極に帯電す
（ａ）。その後、上側の固定子電極２２と移動子電極３
４の間に静電吸引力が働き、移動子３は上側の固定子２
に引きつけられる。移動子電極３４が上側の固定子電極
２２の傾斜面２２１に接触した後、垂直面２２２と移動
子３の垂直面との間に吸引力が働くため、移動子３は右
側に引きつけられ、やがて上側の固定子電極２２の垂直
面２２２と接触する。上側の固定子電極２２と移動子電
極３２、３４との間が導通し、移動子３は＋極に帯電す
る（ｂ）。つぎに、下側の固定子電極１２と移動子３と
の間に吸引力が働き移動子３は下方に移動する。移動子
３が下側の固定子電極１２の傾斜面１２１に接触した
後、垂直面１２２によって移動子３は右側に引きつけら
れ、やがて下側の固定子電極１２の垂直面１２２と接触
する。この時点で移動子３は１ピッチ（λ）移動したこ
とになる。この動作を自動的に繰り返して移動子３は上
下固定子間をジグザク運動しながら移動していく。この
ように、上下の固定子間に直流電圧を印加するだけで移
動子３は移動することができる。このアクチュエータは
固定子だけを製作時に位置決めすれば、組立て時にはこ
の位置合わせが不要になるため、製作が容易となる。ま
た、複雑な駆動回路を必要としないので、アクチュエー
タを小型化できる。また、ここには図示していないが、
本発明を用いると電極を放射状に設け、移動子の中心に
シャフトを取り付けることにより回転型アクチュエータ
を得ることもできる。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば一側
面が鋸歯状の突起を設けその表面に金属膜を配置した固
定子を一定の空隙を持って対向させ、その空隙内に同じ
く両面が鋸歯状の移動子を配置したので、組立ての位置
合わせが不要で、かつ複雑な配線や駆動回路を必要とし
ない小型のアクチュエータを得る効果がある。
面が鋸歯状の突起を設けその表面に金属膜を配置した固
定子を一定の空隙を持って対向させ、その空隙内に同じ
く両面が鋸歯状の移動子を配置したので、組立ての位置
合わせが不要で、かつ複雑な配線や駆動回路を必要とし
ない小型のアクチュエータを得る効果がある。
【図１】本発明の静電アクチュエータの構造を示す側断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の静電アクチュエータの製造工程を示す
側断面図である。
側断面図である。
【図３】本発明の静電アクチュエータの製造工程を示す
側断面図である。
側断面図である。
【図４】本発明の静電アクチュエータの部分拡大断面図
である。
である。
【図５】本発明の静電アクチュエータの駆動状態を示す
側断面図である。
側断面図である。
１：下側の固定子 １１：突起 １２：固定子電極 １２１：固定子電極の傾斜面 １２２：固定子電極の垂直面 １３：絶縁膜 １４：感光体 ２：上側の固定子 ２１：突起 ２２：固定子電極 ２２１：固定子電極の傾斜面 ２２２：固定子電極の垂直面 ２３：絶縁膜 ３：移動子 ３１：突起 ３２、３４：移動子電極 ３３：感光体 ４：基板 ５：遮光マスク ６：紫外線 ７：犠牲層 ７１：下側の固定子と移動子間の犠牲層 ７２：上側の固定子と移動子間の犠牲層 ８：直流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 淳一 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内
Claims (2)
- 【請求項１】 一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の
突起を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極を
有する二つの固定子を、空隙を持って対向させ、かつ、
移動方向にピッチλ／２ずらした固定子対と、前記固定
子対の空隙内に設けられ前記二つの固定子とそれぞれ対
向する面に前記固定子と同一形状の突起が両面に対称に
設けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極を
設けた移動子とを備え、前記固定子または移動子の少な
くとも一方の接触面に絶縁膜を設けたことを特徴とする
静電アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記固定子および移動子の突起の一方の
辺が移動方向に対して垂直面で他方の辺が移動方向に対
して傾斜面を有しこの面が前記接触面である請求項１記
載の静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18631594A JPH0833361A (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18631594A JPH0833361A (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | 静電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0833361A true JPH0833361A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=16186188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18631594A Pending JPH0833361A (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0833361A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6424504B1 (en) * | 1998-06-16 | 2002-07-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Microactuator, magnetic head device, and magnetic recording apparatus |
| US6531804B2 (en) * | 2000-10-06 | 2003-03-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator |
| US6611079B2 (en) | 2000-10-31 | 2003-08-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and camera module using the same |
| US6680558B2 (en) * | 2000-09-28 | 2004-01-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and method of driving the same |
| WO2013122047A1 (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 国立大学法人信州大学 | ゲルアクチュエータ及びその製造方法 |
| KR101452742B1 (ko) * | 2013-09-12 | 2014-10-22 | 한국표준과학연구원 | 자동 기상측정장치용 데이터 로거의 원격 검정 시스템 |
-
1994
- 1994-07-14 JP JP18631594A patent/JPH0833361A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6424504B1 (en) * | 1998-06-16 | 2002-07-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Microactuator, magnetic head device, and magnetic recording apparatus |
| US6680558B2 (en) * | 2000-09-28 | 2004-01-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and method of driving the same |
| US6750591B2 (en) | 2000-09-28 | 2004-06-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of driving an electrostatic actuator |
| US6774534B2 (en) | 2000-09-28 | 2004-08-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and method of driving the same |
| US6531804B2 (en) * | 2000-10-06 | 2003-03-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator |
| US6611079B2 (en) | 2000-10-31 | 2003-08-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and camera module using the same |
| WO2013122047A1 (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 国立大学法人信州大学 | ゲルアクチュエータ及びその製造方法 |
| JPWO2013122047A1 (ja) * | 2012-02-14 | 2015-05-11 | 国立大学法人信州大学 | ゲルアクチュエータ及びその製造方法 |
| US10096762B2 (en) | 2012-02-14 | 2018-10-09 | Shinshu University | Gel actuator and method for producing same |
| KR101452742B1 (ko) * | 2013-09-12 | 2014-10-22 | 한국표준과학연구원 | 자동 기상측정장치용 데이터 로거의 원격 검정 시스템 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1330082C (zh) | 静电致动器机构、其驱动方法、和使用其的摄像机模块 | |
| EP0592094B1 (en) | Micro-miniature structure fabrication | |
| Egawa et al. | Film actuators: Planar, electrostatic surface-drive actuators | |
| CN1186458A (zh) | 弹性体微机电系统 | |
| JP3006178B2 (ja) | 静電式アクチュエータ | |
| JPH0833361A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| GB2291275A (en) | Fabrication of micro-motor | |
| US5632074A (en) | Vibration wave driven motor | |
| JP3095642B2 (ja) | 静電アクチュエータおよびその駆動方法 | |
| US7197815B2 (en) | Method of manufacturing the electromagnetic actuator | |
| JPH04112683A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JP4034525B2 (ja) | 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの駆動方法及びカメラモジュール | |
| CN1238749C (zh) | 磁性致动器 | |
| JPS6395858A (ja) | 静電アクチユエ−タ | |
| JP2012044859A (ja) | 静電型アクチュエータ | |
| JPH0851786A (ja) | 静電モータ | |
| KR20010026738A (ko) | 수직 빗살 구조물을 갖는 마이크로 액츄에이터의 제조 방법 | |
| JP2719365B2 (ja) | 焦電アクチュエータ | |
| JP3289759B2 (ja) | コロナモータおよびその製造方法 | |
| JP3173261B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH04102106A (ja) | 静電式リニアアクチュエータ | |
| JP2500748B2 (ja) | 静電マイクロモ―タ | |
| JPH03103085A (ja) | 静電気力を利用した動力発生装置における誘電体可動子の製造法 | |
| JPS6395861A (ja) | 静電アクチユエ−タ | |
| JPH08116686A (ja) | 静電式リニアアクチュエータ |