JPH083360B2 - Cylinder valve shutoff system - Google Patents
Cylinder valve shutoff systemInfo
- Publication number
- JPH083360B2 JPH083360B2 JP3759590A JP3759590A JPH083360B2 JP H083360 B2 JPH083360 B2 JP H083360B2 JP 3759590 A JP3759590 A JP 3759590A JP 3759590 A JP3759590 A JP 3759590A JP H083360 B2 JPH083360 B2 JP H083360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- closing
- cylinder
- air
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はボンベ元弁遮断システムに係り、特に停電時
でもボンベ元弁を閉弁せしめるようアクチュエータを駆
動しうる構成としたボンベ元弁遮断システムに関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylinder valve shutoff system, and more particularly to a cylinder valve shutoff system configured to drive an actuator so as to close the cylinder valve even during a power failure.
従来の技術 従来のボンベ元弁遮断システムとしては、例えば第8
図に示すような構成とされたシステムが開発されてい
る。この第8図に示すボンベ元弁遮断システムはリモー
トコントロールボックス(図示せず)に配設された弁閉
スイッチが操作されると、ボンベ1の元弁2を弁閉する
ボンベ元弁遮断装置に適用されている。第8図中、3は
アクチュエータボックス,4は弁閉用電磁弁,5は停電時弁
閉用電磁弁,6は減圧弁,7はシリンダである。又、シリン
ダ7は圧縮空気の供給により矢印X2方向(弁閉方向)に
駆動されるピストン7aを有し、ピストン7aは出力軸7b,
自在継手8を介して元弁2のハンドルに連結されてい
る。アクチュエータボックス3には空気源(図示せず)
と接続された空気供給継手3aと、電磁弁4の排気ポート
と接続された排気継手3bとが設けられている。2. Description of the Related Art As a conventional cylinder valve shutoff system, for example,
A system configured as shown in the figure has been developed. The cylinder main valve shutoff system shown in FIG. 8 is a cylinder main valve shutoff device that closes the main valve 2 of the cylinder 1 when a valve closing switch provided in a remote control box (not shown) is operated. Has been applied. In FIG. 8, 3 is an actuator box, 4 is a solenoid valve for closing the valve, 5 is a solenoid valve for closing the valve at power failure, 6 is a pressure reducing valve, and 7 is a cylinder. Further, the cylinder 7 has a piston 7a driven in the arrow X 2 direction (valve closing direction) by the supply of compressed air, and the piston 7a has an output shaft 7b,
It is connected to the handle of the main valve 2 via the universal joint 8. The actuator box 3 has an air source (not shown)
An air supply joint 3a connected to the solenoid valve 4 and an exhaust joint 3b connected to the exhaust port of the solenoid valve 4 are provided.
ボンベ設置場所より離れた位置に設けられたコントロ
ールボックス(図示せず)の弁閉スイッチが操作される
と、弁閉用電磁弁4が切替わり、空気供給継手3aからの
圧縮空気が電磁弁4,5,減圧弁6を介してシリンダ7に供
給される。これにより、ピストン7aがX2方向に移動して
元弁2のハンドルは閉弁方向に駆動される。停電時は、
電磁弁4,5が共に消勢され、空気供給継手3aからの圧縮
空気は停電時弁閉用電磁弁5を介してシリンダ7へ供給
され元弁2を閉弁せしめる。When a valve closing switch of a control box (not shown) provided at a position away from the cylinder installation location is operated, the valve closing solenoid valve 4 is switched, and the compressed air from the air supply joint 3a is transferred to the solenoid valve 4 , 5 and the pressure reducing valve 6 are supplied to the cylinder 7. As a result, the piston 7a moves in the X 2 direction and the handle of the main valve 2 is driven in the valve closing direction. During a power failure,
Both the solenoid valves 4 and 5 are deenergized, and the compressed air from the air supply joint 3a is supplied to the cylinder 7 via the solenoid valve 5 for closing the valve at the time of power failure to close the main valve 2.
発明が解決しようとする課題 しかるに、上記ボンベ元弁遮断システムでは、停電時
弁閉用電磁弁5を各アクチュエータボックス3毎に設け
なければならず、例えばボンベ1が複数本設置された場
合複数個の停電時弁閉用電磁弁5が必要となる。そのた
め、従来のシステムで複数本のボンベの元弁2を弁閉す
る構成とすると、電磁弁5が通常励磁されたままである
ので消費電力,発熱量が多くなり、アクチュエータボッ
クス3内の温度が著しく上昇してしまうといった課題が
ある。However, in the above cylinder main valve shutoff system, the solenoid valve 5 for closing the valve at the time of power failure must be provided for each actuator box 3. For example, when a plurality of cylinders 1 are installed, a plurality of cylinders 1 are installed. The solenoid valve 5 for closing the valve at the time of power failure is required. Therefore, if the conventional system is configured to close the main valves 2 of a plurality of cylinders, the solenoid valve 5 remains normally energized, so that the power consumption and the heat generation amount increase and the temperature inside the actuator box 3 remarkably increases. There is a problem that it will rise.
又、上記従来のシステムでは複数の停電時弁閉用電磁
弁5が各アクチュエータボックス3内に設けられている
ので、停電時元弁2を弁閉させないように使用変更する
場合その変更作業が面倒であるといった課題もある。Further, in the above-mentioned conventional system, since a plurality of solenoid valves 5 for closing the valve at the time of power failure are provided in each actuator box 3, the changing work is troublesome when changing the use so as not to close the main valve 2 at the time of power failure. There are also issues such as
そこで、本発明は上記課題を解決したボンベ元弁遮断
システムを提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a cylinder valve closing system that solves the above problems.
課題を解決するための手段 本発明は、ガスが封入された複数のボンベと、 該ボンベ毎に設けられたボンベ開閉用の元弁と、 前記複数の元弁の夫々に連結され、空気源からの圧縮
空気の供給により該元弁夫々を弁閉せしめる複数のアク
チュエータと、 一側が前記空気源に連通した共通配管となり、他側が
前記アクチュエータ夫々に連通する複数の分岐配管とな
った空気配管と、 前記分岐配管に設けられ、前記空気源から前記アクチ
ュエータへの圧縮空気を供給又は供給停止するよう切り
換える複数の弁閉用電磁弁と、 よりなるボンベ元弁遮断システムにおいて、 一端が前記空気源に連通し、前記空気源より常時圧縮
空気が供給されるバイパス配管と、 一のポートが前記バイパス配管の他端に接続され、他
のポートが前記複数のアクチュエータ夫々に接続されて
おり、通電時には前記バイパス配管から前記複数のアク
チュエータへの圧縮空気の供給を断ち、非通電時には前
記バイパス配管から前記複数のアクチュエータへ圧縮空
気を供給する停電時弁閉用電磁弁と、 を設けたことを特徴とする。Means for Solving the Problems The present invention provides a plurality of cylinders filled with gas, a main valve for opening and closing a cylinder provided for each cylinder, and a plurality of main valves, each of which is connected to an air source and is connected to an air source. A plurality of actuators for closing each of the main valves by the supply of compressed air, an air pipe having a plurality of branch pipes, one side being a common pipe communicating with the air source, and the other side being a plurality of branch pipes communicating with the actuators, respectively. In a cylinder valve shutoff system, which comprises a plurality of valve closing solenoid valves provided in the branch pipe and switched to supply or stop compressed air from the air source to the actuator, one end communicates with the air source. The bypass pipe to which compressed air is constantly supplied from the air source, one port is connected to the other end of the bypass pipe, and the other port is connected to the plurality of actuators. Solenoids for shutting off the valve during a power failure, which cut off the supply of compressed air from the bypass pipe to the plurality of actuators when energized and supply compressed air from the bypass pipe to the plurality of actuators when not energized. A valve and are provided.
作用 複数のアクチュエータに対して1個の停電時弁閉用電
磁弁を共用化することにより、消費電力,発熱量を減ら
し温度上昇を抑える。又、共通の停電時弁閉用電磁弁1
個とバイパス配管を取り除くだけで停電時に元弁が弁閉
しないような仕様へ変更できる。Function By sharing one solenoid valve for valve closing at the time of power failure with multiple actuators, power consumption and heat generation are reduced and temperature rise is suppressed. Also, a common solenoid valve 1 for closing the valve during a power failure.
The specifications can be changed so that the main valve will not close in the event of a power failure simply by removing the individual and bypass piping.
実施例 第1図及び第2図は本発明になるボンベ元弁遮断シス
テムの第1実施例が適用されたボンベ元弁遮断装置の概
略構成を示す。First Embodiment FIGS. 1 and 2 show a schematic configuration of a cylinder valve closing device to which a first embodiment of a cylinder valve closing system according to the present invention is applied.
両図中、例えば複数のボンベ111〜114には高濃度な半
導体用材料ガスが封入されている。各ボンベ111〜114は
夫々所定間隔離間され垂直に立てた状態で保持されてボ
ンベ収納ボックス12内に収納されている。ボンベ111〜1
14の上部には元弁131〜134が取付けられている。元弁13
1〜134はその上部に操作ハンドル13aを有し、操作ハン
ドル13aの回動操作により開閉し、その弁開度を調整さ
れる。このため、元弁131〜134の弁開度に応じた流量の
ガスがボンベ111〜114より流出し元弁131〜134に連通接
続された配管14を介してボンベ収納ボックス12の外部に
供給される。In both figures, for example, a plurality of cylinders 11 1 to 11 4 are high-concentration semiconductor material gas is sealed. Each of the cylinders 11 1 to 11 4 is stored in a cylinder storage box 12 while being held in a vertically standing state with a predetermined space therebetween. Cylinder 11 1 ~ 1
Main valves 13 1 to 13 4 are attached to the upper part of 1 4 . Original valve 13
1-13 4 has an operating handle 13a thereon, and opened and closed by rotational operation of the operating handle 13a, it is adjusted the valve opening. Therefore, a gas having a flow rate according to the valve opening degree of the main valves 13 1 to 13 4 flows out from the cylinders 11 1 to 11 4 and is connected to the main valves 13 1 to 13 4 through the pipe 14 connected in communication with the cylinder storage box. 12 externally supplied.
151はアクチュエータボックスで、ボンベ収納ボック
ス12の天板12aの上面に配設されており、ボンベ111〜11
4より離間した位置にある。アクチュエータボックス151
の出力軸16は天板12aを挿通してボンベ収納ボックス2
内に突出している。また、出力軸16は自在継手17に連結
されている。15 1 in the actuator box, which is disposed on the upper surface of the top plate 12a of the cylinder storage box 12, a cylinder 11 1 to 11
It is located farther than 4 . Actuator box 15 1
The output shaft 16 of the is inserted into the top plate 12a and the cylinder storage box 2
It projects inside. Further, the output shaft 16 is connected to the universal joint 17.
18はチャックで、元弁131の操作ハンドル13aの外周に
嵌合している。また、チャック18は自在継手17に連結さ
れている。したがって、アクチュエータボックス151の
出力軸16は自在継手17を介してチャック18に連結されて
いる。18 is a chuck, is fitted to the outer periphery of the operating handle 13a of the base valve 13 1. The chuck 18 is also connected to the universal joint 17. Therefore, the output shaft 16 of the actuator box 15 1 is connected to the chuck 18 via a universal joint 17.
19はコントロールボックスで、ボンベ収納ボックス12
より離れた位置に設けられており、その前面には各アク
チュエータボックス151〜154に元弁131〜134を弁閉する
ための弁閉信号を供給する弁閉スイッチ19a1〜19a4及び
緊急遮断スイッチ19bを有する。19 is a control box, a cylinder storage box 12
It is provided at a position further away, and on the front surface thereof, a valve closing switch 19a1 to 19a4 for supplying a valve closing signal for closing the main valve 13 1 to 13 4 to each actuator box 15 1 to 15 4 and an emergency It has a cutoff switch 19b.
このコントロールボックス19は電気信号を送信する信
号線19cを介して各アクチュエータボックス151〜153と
接続されている。The control box 19 is connected to each actuator box 15 1-15 3 through the signal line 19c to transmit an electrical signal.
20は空気源、21は空気源に接続された空気配管であ
る。空気配管21は一端が空気源20に接続された共通配管
21aと、共通配管21aのの他端より分岐し、各アクチュエ
ータボックス151〜153に圧縮空気を供給する分岐配管21
b1〜21b4とよりなる。Reference numeral 20 is an air source, and 21 is an air pipe connected to the air source. The air pipe 21 is a common pipe whose one end is connected to the air source 20.
21a and a branch pipe 21 that branches from the other end of the common pipe 21a and supplies compressed air to each actuator box 15 1 to 15 3
b 1 to 21b 4 .
尚、第1図ではボンベ111について元弁131とアクチュ
エータボックス151との間の伝達機構が図示されている
が、他のボンベ112〜114についても同様な構成となって
いるので、ここでは図示及びその説明は省略する。Although the transmission mechanism between the main valve 13 1 and the actuator box 15 1 for the cylinder 11 1 is shown in FIG. 1 , other cylinders 11 2 to 11 4 have the same structure. Illustration and description thereof are omitted here.
このように、ボンベ収納ボックス12においては複数
(本実施例では4本)のボンベ111〜114,各ボンベ111〜
114に取付けられた複数の元弁131〜134,複数のアクチュ
エータボックス151〜154が1個所に設置され集中管理さ
れている。22は停電時弁閉用電磁弁で、空気配管21より
分岐したバイパス配管23と、各アクチュエータボックス
151〜154からの排気配管241〜244が接続された共通排気
管25とが接続されている。尚、この電磁弁22は例えばス
プリングオフセット電磁方式の弁であり、通常通電され
共通排気配管25と排気配管241〜244とを連通する。しか
し、非通電時はバイパス配管23と排気配管241〜244と連
通し排気配管241〜244を介して各アクチュエータボック
ス151〜154に圧縮空気を供給する。Thus, in the cylinder storage box 12, a plurality of (four in this embodiment) cylinders 11 1 to 11 4 and each cylinder 11 1 to
11 of the plurality attached to the 4 main valve 131-134, a plurality of actuators box 15 1-15 4 is installed in centralized in one location. 22 is a solenoid valve for closing the valve at the time of power failure, bypass piping 23 branched from air piping 21 and each actuator box
The exhaust pipes 24 1 to 24 4 from 15 1 to 15 4 are connected to a common exhaust pipe 25. The solenoid valve 22 is, for example, a spring offset solenoid type valve, and is normally energized to connect the common exhaust pipe 25 and the exhaust pipes 24 1 to 24 4 . However, when de-energized, the bypass pipe 23 and the exhaust pipes 24 1 to 24 4 communicate with each other to supply compressed air to the actuator boxes 15 1 to 15 4 via the exhaust pipes 24 1 to 24 4 .
このように、本実施例では停電時弁閉用電磁弁22が排
気配管途中に設けられているので、停電時後述するよう
に排気配管241〜244を介してアクチュエータボックス15
1〜154に圧縮空気を供給して各元弁131〜134を弁閉する
ことができ、配管構造の簡略化が図られている。As described above, in the present embodiment, the solenoid valve 22 for closing the valve at the time of power failure is provided in the middle of the exhaust pipe, so that at the time of power failure, the actuator box 15 is connected via the exhaust pipes 24 1 to 24 4 as described later.
Compressed air can be supplied to 1 to 15 4 to close each of the main valves 13 1 to 13 4 to simplify the piping structure.
ここで、ボンベ元弁遮断システムの空気回路10の構成
につきさらに説明する。尚、第2図はアクチュエータボ
ックス151,152の通常状態を示している。Here, the configuration of the air circuit 10 of the cylinder valve shutoff system will be further described. Incidentally, FIG. 2 shows a normal state of the actuator boxes 15 1 and 15 2 .
第2図中、アクチュエータボックス151はコントロー
ルボックス19からの操作信号により作動する弁閉用電磁
弁27を有している。この電磁弁27には前述した空気配管
21が接続されている。電磁弁27が作動すると、空気配管
20からの圧縮空気は電磁弁27を介してアクチュエータと
してのシリンダ28に導入される。In Figure 2, the actuator box 15 1 has a valve-closing solenoid valve 27 operated by the operation signal from the control box 19. This solenoid valve 27 has the air piping described above.
21 is connected. When solenoid valve 27 is activated, air piping
Compressed air from 20 is introduced into a cylinder 28 as an actuator via a solenoid valve 27.
電磁弁27はスプリングオフセット電磁方式の切換弁で
あり、コントロールボックス19より弁閉信号が供給され
るとソレノイド27aが励磁されバネ27bに抗して切換作動
する。非通電時の電磁弁27はバネ27bの押圧力により大
気開放状態となっている。また、電磁弁27は給気継手26
を介して空気配管21と連通する給気配管29が接続された
給気ポート27cと、弁閉配管30が接続されたポート27dと
排気継手31を介して排気管241と連通する排気管32が接
続された排気ポート27eとを有する。The solenoid valve 27 is a spring offset solenoid type switching valve, and when a valve closing signal is supplied from the control box 19, the solenoid 27a is excited and the solenoid 27a is switched against the spring 27b. When not energized, the solenoid valve 27 is open to the atmosphere due to the pressing force of the spring 27b. In addition, the solenoid valve 27 is
An air supply port 27c connected to an air supply pipe 29 that communicates with the air pipe 21 via a port, a port 27d connected to a valve closing pipe 30 and an exhaust pipe 32 communicating with an exhaust pipe 24 1 via an exhaust joint 31. And an exhaust port 27e to which is connected.
前述した停電時弁閉用電磁弁22は、通電されたソレノ
イド22aの励磁によりバネ22bに抗して作動状態を保つ切
換弁である。又、電磁弁22はバイパス配管23が接続され
たポート22cと、共通排気管25が接続されたポート22d
と、排気管241〜243と接続されたポート22eとを有す
る。通常電磁弁22は通電されているので第2図に示すよ
うに、バイパス配管23を閉じ共通排気配管25と排気配管
241〜243とを連通した状態を維持しており、非通電時に
は後述するようにバネ22bの押圧力で非作動状態に復帰
してバイパス配管23と排気管241〜243とを接続してバイ
パス配管23を開にする。The solenoid valve 22 for closing the valve at the time of power failure is a switching valve that maintains an operating state against the spring 22b by the energization of the energized solenoid 22a. The solenoid valve 22 has a port 22c to which the bypass pipe 23 is connected and a port 22d to which the common exhaust pipe 25 is connected.
And a port 22e connected to the exhaust pipes 24 1 to 24 3 . Since the solenoid valve 22 is normally energized, the bypass pipe 23 is closed and the common exhaust pipe 25 and the exhaust pipe are closed as shown in FIG.
24 1 to 24 3 are maintained in communication with each other, and when not energized, the bypass pipe 23 and the exhaust pipes 24 1 to 24 3 are connected by returning to the non-operating state by the pressing force of the spring 22b as described later. Then, the bypass pipe 23 is opened.
この電磁弁22は通常通電状態となっているが、複数の
弁閉用電磁弁27の上流側に1個設けられているだけなの
で、従来(第8図に示す)よりも消費電力が少なく、発
熱量も減少している。This solenoid valve 22 is normally energized, but since only one solenoid valve 22 is provided on the upstream side of the plurality of solenoid valves 27 for closing the valve, it consumes less power than the conventional one (shown in FIG. 8). The calorific value is also decreasing.
又、本実施例においては停電時に元弁131〜134を弁閉
させないようにするには上記電磁弁131〜134が非通電状
態を保つようにすれば良いため、容易に仕様変更するこ
とが可能である。Further, in this embodiment, in order to prevent the main valves 13 1 to 13 4 from closing in the event of a power failure, it is sufficient to keep the solenoid valves 13 1 to 13 4 in the non-energized state, so that the specifications can be easily changed. It is possible to
33は電磁弁22からの圧縮空気を所定圧力に減圧する源
圧弁,34,35,36は夫々逆止弁である。Reference numeral 33 is a source pressure valve for reducing the compressed air from the solenoid valve 22 to a predetermined pressure, and 34, 35, 36 are check valves, respectively.
37はパワーユニットで、緊急時高圧ガスを発生する液
化ガスの容器38と、コントロールボックス19からの緊急
遮断信号により容器を開封する開封機構39とを有してい
る。なお、容器38はガス配管40を介してアクチュエータ
ボックス151の弁閉配管30に接続されている。したがっ
て、緊急時に開封機構39が作動して容器38を開封する
と、容器38の高圧ガスがシリンダ28内に供給される。A power unit 37 has a liquefied gas container 38 for generating high-pressure gas in an emergency and an opening mechanism 39 for opening the container in response to an emergency cutoff signal from the control box 19. Incidentally, the container 38 is connected to the valve閉配tube 30 of the actuator box 15 1 via the gas pipe 40. Therefore, when the opening mechanism 39 operates to open the container 38 in an emergency, the high-pressure gas in the container 38 is supplied into the cylinder 28.
尚、上記以外のアクチュエータボックス152〜154にお
いてもアクチュエータボックス151と同様な構成である
ので、他のアクチュエータボックス152〜154の説明は省
略する。The actuator boxes 15 2 to 15 4 other than the above have the same configuration as the actuator box 15 1, and therefore the description of the other actuator boxes 15 2 to 15 4 will be omitted.
ここで、上記構成になるボンベ元弁遮断装置の動作に
つき説明する。Here, the operation of the cylinder valve closing device having the above-mentioned configuration will be described.
複数のボンベ111〜113に取付けられた元弁131〜13
4は、作業者により操作ハンドル13aを弁開操作されて弁
開される。そして、ボンベ111〜114に充填されたガスは
配管14を介して供給される。このとき、弁閉用電磁弁27
は非通電状態であり、停電時弁閉用電磁弁22は通電され
ている。Main valves 13 1 to 13 mounted on multiple cylinders 11 1 to 11 3
4 is opened by the operator opening the operation handle 13a. Then, the gas filled in the bomb 11 1 to 11 4 is supplied via the pipe 14. At this time, the valve closing solenoid valve 27
Is in a non-energized state, and the solenoid valve 22 for closing the valve during a power failure is energized.
ガスの使用が終りガス供給を停止するとき作業者はコ
ントロールボックス19の弁閉スイッチ19a1を操作する。
これにより、コントロールボックス19からアクチュエー
ボックス151へ弁閉信号が送信され弁閉用電磁弁27のソ
レノイド27aが励磁される。従って、電磁弁27のバネ27b
に抗して切換わり給気配管29と弁閉配管30とを連通す
る。その結果、空気源20からの圧縮空気は電磁弁27,弁
閉配管30を介してシリンダ28内に供給され、シリンダ28
内のピストン28aをX2方向に移動させる。このピストン2
8aの駆動力は出力軸16,自在継手17,カップリング18を介
して元弁131の操作ハンドル13aに伝達され、操作ハンド
ル13aを弁閉方向に回動させる。そして、元弁131は閉弁
し、ガス供給を停止する。When the gas supply is finished and the gas supply is stopped, the operator operates the valve closing switch 19a1 of the control box 19.
Thereby, the valve closing signal to the actuated Box 15 1 from the control box 19 is a solenoid 27a of the transmitted valve-closing solenoid valve 27 is energized. Therefore, the spring 27b of the solenoid valve 27
The air supply pipe 29 and the valve closed pipe 30 are communicated with each other. As a result, the compressed air from the air source 20 is supplied into the cylinder 28 via the solenoid valve 27 and the valve closing pipe 30, and the cylinder 28
The inner piston 28a is moved in the X 2 direction. This piston 2
The output shaft 16 is the driving force of 8a, the universal joint 17, is transmitted to the operating handle 13a of the main valve 13 1 via the coupling 18 to rotate the operating handle 13a in the valve closing direction. The main valve 13 1 is closed, to stop the gas supply.
尚、他のボンベ112〜114においても弁開スイッチ19a2
〜19a4を操作することにより上記と同様な動作が行なわ
れる。Incidentally, the valve opening switch 19a 2 in the other cylinder 11 2-11 4
Similar to the operation is performed by operating the through 19a 4.
次に、通常のガス供給時に停電が発生したときの動作
について考えてみる。Next, let us consider the operation when a power failure occurs during normal gas supply.
この場合、弁閉用電磁弁27は第2図に示すように、排
気配管32と弁閉配管30とを連通したままである。しかる
に、通常通電されている停電時弁閉用電磁弁22は停電に
なるとバネ22bのバネ力により切換わりバイパス配管23
と排気管241〜244とを連通する。そのため、空気源20か
らの圧縮空気はバイパス配管23,各排気管241〜244を介
して弁閉配管30に供給される。よって、シリンダ28は前
述の弁閉時と同様に動作して元弁131〜144を閉弁せしめ
る。このように、本実施例では1個の電磁弁22が消勢さ
れると複数のアクチュエータボックス151〜154の各シリ
ンダ28を同時に弁閉方向に駆動させることができる。In this case, the valve closing solenoid valve 27 keeps the exhaust pipe 32 and the valve closing pipe 30 communicating with each other, as shown in FIG. However, when there is a power failure, the normally energized valve closing solenoid valve 22 is switched by the spring force of the spring 22b and the bypass piping 23
Communicate with the exhaust pipes 24 1 to 24 4 . Therefore, the compressed air from the air source 20 is supplied to the valve closed pipe 30 via the bypass pipe 23 and the exhaust pipes 24 1 to 24 4 . Therefore, the cylinder 28 operates in the same manner as when the valve is closed to close the main valves 13 1 to 14 4 . Thus, it is possible to drive the single solenoid valve 22 is de-energized a plurality of actuators box 15 1-15 4 of each cylinder 28 at the same time in the valve closing direction in this embodiment.
第3図及び第4図に本発明の第2実施例を示す。尚、
第4図は停電時の動作状態を示している。又、両図中前
記第1実施例と同一構成部分には同一符号を付してその
説明は省略する。A second embodiment of the present invention is shown in FIGS. still,
FIG. 4 shows the operating state during a power failure. Further, in both figures, the same components as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
第3図中、アクチュエータボックス151〜154には元弁
13の操作ハンドル13aを駆動するためのロータリアクチ
ュエータ411〜414(第4図に示す)が収納されている。In Figure 3, the actuator box 15 1-15 4 source valve
The rotary actuators 41 1 to 41 4 (shown in FIG. 4) for driving the operation handle 13a of 13 are housed.
コントロールボックス19は前面に弁閉スイッチ19a1〜
19a4,緊急遮断スイッチ19bが配設され、その内部には第
4図に示す空気回路42と制御回路43とが設けられてい
る。The control box 19 has a valve close switch 19a1
19a4 and an emergency cutoff switch 19b are arranged, and inside thereof, an air circuit 42 and a control circuit 43 shown in FIG. 4 are provided.
空気源20は空気配管44を介してコントロールボックス
19に接続されており、コントロールボックス19は空気配
管451〜454を介して各アクチュエータ411〜414と接続さ
れている。Air source 20 is control box via air line 44
The control box 19 is connected to each of the actuators 41 1 to 41 4 via air pipes 45 1 to 45 4 .
第4図に示すように、本実施例では空気回路42はコン
トロールボックス19内に設けられ、各アクチュエータ41
1〜414と接続された弁閉用電磁弁461〜464と、停電時弁
閉用電磁弁47と、減圧弁33と、逆止弁35とを有する。コ
ントロールボックス19には空気配管44が接続された給気
継手48,排気継手49,空気供給継手501〜504が設けられて
いる。As shown in FIG. 4, in this embodiment, the air circuit 42 is provided in the control box 19 and each actuator 41
1 has a to 41 4 with the connected valve-closing solenoid valve 46 1-46 4, a power outage valve-closing electromagnetic valve 47, a pressure reducing valve 33, and a check valve 35. The control box 19 is provided with an air supply joint 48, an exhaust joint 49, and air supply joints 50 1 to 50 4 to which an air pipe 44 is connected.
53は給気継手48に接続された共通配管で、541〜544は
共通配管53より並列に分岐した分岐配管である。この分
岐配管541〜544は弁閉用電磁弁461〜464を介して空気供
給継手501〜504に接続されている。各アクチュエータ41
1〜414は内部に出力軸41aと、出力軸41aと一体なベーン
41bを有し、各空気配管451〜454を介して圧縮空気が供
給されると出力軸41a及びベーン41bが時計方向に回動し
て各元弁131〜134を閉弁せしめる。53 is a common pipe connected to the air supply fittings 48, 54 1 to 54 4 is a branched branch pipe in parallel from the common pipe 53. The branch pipes 54 1 to 54 4 are connected to the air supply joints 50 1 to 50 4 via valve closing solenoid valves 46 1 to 46 4 . Each actuator 41
1-41 4 and the output shaft 41a within the output shaft 41a and integrally vanes
Has 41b, the output shaft 41a and the vane 41b and the compressed air is supplied via a respective air line 45 1-45 4 allowed to close the respective main valve 131-134 to rotate in a clockwise direction.
本実施例では第3図に示すように各アクチュエータホ
ックス151〜154に接続された配管数が少なく、第1実施
例のものよりも容易に配管の接続作業を行なえるといっ
た利点を有している。Third actuators hox 15 1-15 fewer pipe connected to 4 as shown in FIG. In this embodiment, has the advantage facilitates the connection work of pipes than in the first embodiment ing.
55はバイパス配管で、一端が弁閉用電磁弁461の上流
側の分岐配管541に接続され他端は電磁弁47の給気ポー
ト47cに接続されている。56は排気配管で、一端が電磁
弁47のポート47eに接続され、他端が電磁弁461〜464の
各排気ポート46eに接続されている。Reference numeral 55 is a bypass pipe, one end of which is connected to the branch pipe 54 1 on the upstream side of the valve closing solenoid valve 46 1 and the other end of which is connected to the air supply port 47c of the solenoid valve 47. An exhaust pipe 56 has one end connected to the port 47e of the solenoid valve 47 and the other end connected to each exhaust port 46e of the solenoid valves 46 1 to 46 4 .
57は排気配管で、一端が排気継手49に接続され、他端
が大気開放とされている。57 is an exhaust pipe, one end of which is connected to the exhaust joint 49 and the other end of which is open to the atmosphere.
通常、各弁閉用電磁弁461〜464は通電されておらず、
制御回路43からの弁閉信号が通電されたとき、ソレノイ
ド46aが励磁される。よって、通常各電磁弁461〜464で
はポート46dと46eとが連通され、ソレノイド46aの励磁
によりポート46cと46dとを連通するように切換わる。
又、停電時弁閉用電磁弁47は弁閉用電磁弁461より上流
側に設けられ、通常通電されたままであり、ソレノイド
47aが励磁されてポート47eと46dとを連通している。従
って、空気回路42においては通常各空気配管451〜454,
排気配管56,57が電磁弁461〜464及び47を介して連通し
ている。Normally, each valve closing solenoid valve 46 1 to 46 4 is not energized,
When the valve closing signal from the control circuit 43 is energized, the solenoid 46a is excited. Therefore, normally, the ports 46d and 46e of the solenoid valves 46 1 to 46 4 are communicated with each other, and the solenoids 46a are excited to switch the ports 46c and 46d.
Further, the solenoid valve 47 for closing the valve at the time of power failure is provided on the upstream side of the solenoid valve for closing the valve 46 1 and is normally energized.
47a is excited and connects ports 47e and 46d. Therefore, in the air circuit 42, each of the air pipes 45 1 to 45 4 ,
Exhaust pipes 56 and 57 communicate with each other via solenoid valves 46 1 to 46 4 and 47.
ここで、作業者がコントロールボックス19の弁閉スイ
ッチ19a1を押下すると、電磁弁461のソレノイド46aが励
磁されて切換わり、ポート46cと46dとが連通される。そ
のため、空気配管44から供給された圧縮空気は、共通配
管53,減圧弁35,分岐配管541,空気配管451を介してアク
チュエータ411に供給される。そして、アクチュエータ4
11の出力軸41aが駆動されてボンベ111の元弁131が弁閉
する。他のアクチュエータ412〜413も各電磁弁462〜464
の切換動作により上記のように元弁132〜134を弁閉動作
させる。Here, when the operator presses the valve closing switch 19a1 of the control box 19, it switched solenoid 46a of the solenoid valve 46 1 is energized, passed port 46c and 46d are communicated. Therefore, the compressed air supplied from the air pipe 44 is supplied to the actuator 41 1 via the common pipe 53, the pressure reducing valve 35, the branch pipe 54 1 , and the air pipe 45 1 . And actuator 4
1 1 of the output shaft 41a is driven by a cylinder 11 1 of the main valve 13 1 is the valve closes. Other actuators 41 2 to 41 3 are also solenoid valves 46 2 to 46 4
The main valves 13 2 to 13 4 are closed as described above by the switching operation of.
又、停電時は電磁弁461〜464及び47は非通電状態とな
り、バネ46b,47bの作用によりポート46eと46d,ポート47
cと47eを連通する。そのため、空気配管44から供給され
た圧縮空気は共通配管53,分岐配管541,バイパス配管55,
排気配管56,空気配管451〜454を介して各アクチュエー
タ411〜414に供給される。そして、各アクチュエータ41
1〜414は出力軸41aが駆動されてボンベ111〜114の元弁1
31〜134を弁閉する。In addition, at the time of power failure, the solenoid valves 46 1 to 46 4 and 47 are de-energized, and the ports 46e and 46d and port 47
Connect c and 47e. Therefore, the compressed air supplied from the air pipe 44 is the common pipe 53, the branch pipe 54 1 , the bypass pipe 55,
It is supplied to each actuator 41 1 to 41 4 via an exhaust pipe 56 and an air pipe 45 1 to 45 4 . And each actuator 41
1 to 41 4 are driven by the output shaft 41a and the main valve 1 of the cylinder 11 1 to 11 4
3 1 to 13 4 are closed.
第5図乃至第7図に上記第2実施例の変形例を示す。 5 to 7 show a modification of the second embodiment.
第5図では、上記コントロールボックス19がボンベ収
納ボックス12の天板12a上に取付けられている。コント
ロールボックス19の設置場所が無い場合、コントロール
ボックス19を直接ボンベ収納ボックス12に載置して設置
スペースを確保することがある。この場合、コントロー
ルボックス19は約2m程の高さに位置することになる。In FIG. 5, the control box 19 is mounted on the top plate 12 a of the cylinder storage box 12. When there is no place to install the control box 19, the control box 19 may be placed directly on the cylinder storage box 12 to secure the installation space. In this case, the control box 19 will be located at a height of about 2 m.
第6図にコントロールボックス19の詳細を示す。第6
図中、コントロールボックス19の前面には圧力低下等の
異常発生時に警報を発するブザー72及び電源表示ランプ
付スイッチ61,緊急遮断表示ランプ付スイッチ62,ブザー
停止スイッチ63,取付不良表示ランプ64,圧力低下表示ラ
ンプ65,弁閉表示ランプ付スイッチ661〜664が配設され
ている。又、コントロールボックス19の上面には給気継
手48,排気継手49,空気供給継手501〜504等が配設されて
いる。FIG. 6 shows details of the control box 19. Sixth
In the figure, on the front of the control box 19, a buzzer 72 that issues an alarm when an abnormality such as a pressure drop occurs, a switch 61 with a power indicator lamp, a switch 62 with an emergency shutoff indicator lamp, a buzzer stop switch 63, a mounting failure indicator lamp 64, and pressure. A drop indicator lamp 65 and switches 66 1 to 66 4 with a valve close indicator lamp are provided. Further, an air supply joint 48, an exhaust joint 49, air supply joints 50 1 to 50 4 and the like are arranged on the upper surface of the control box 19.
第5図のように、コントロールボックス19がボンベ収
納ボックス12上に取付けられると、各スイッチを押下す
る際作業者は踏台等を使わないと操作できず不便であ
る。そのため、収納ボックス12の側面の壁部12bの低い
位置にはリモートコントロールボックス67が設置してあ
る。このリモートコントロールボックス67は四隅に取付
用孔67aが設けられ、前面には緊急遮断スイッチ68,ブザ
ー停止スイッチ69,弁閉スイッチ701〜704が配設されて
いる。又、リモートコントロールボックス67は信号線71
を介してコトンロールボックス19内の制御回路43と接続
されている。As shown in FIG. 5, when the control box 19 is mounted on the cylinder storage box 12, it is inconvenient for the operator to operate each switch without using a step or the like when pressing each switch. Therefore, a remote control box 67 is installed at a lower position of the wall 12b on the side surface of the storage box 12. The remote control box 67 is provided with mounting holes 67a at four corners, and an emergency cutoff switch 68, a buzzer stop switch 69, and valve closing switches 70 1 to 70 4 are provided on the front surface. Also, the remote control box 67 has a signal line 71.
Is connected to the control circuit 43 in the cotton roll box 19 via.
コントロールボックス19がボンベ収納ボックス12上の
高所に設けられていても各ランプの点灯を視認できるの
で、作業者はコントロールボックス19のランプ表示を見
ながら比較的低い位置に設けられた上記リモートコント
ロールボックス67の各スイッチ68,69,701〜704を踏台等
を使用せずに容易に操作することができる。又、リモー
トコントロールボックス67はボンベ収納ボックス2の壁
部12bに限らず、コントロールボックス19を見ることの
できる場所であれば他の場所に設けるようにしても良
い。Even if the control box 19 is installed at a high place on the cylinder storage box 12, the lighting of each lamp can be visually confirmed, so that the operator can see the lamp display of the control box 19 and set the remote control at a relatively low position. The switches 68, 69, 70 1 to 70 4 of the box 67 can be easily operated without using a step or the like. Further, the remote control box 67 is not limited to the wall portion 12b of the cylinder storage box 2, and may be provided in another place as long as the control box 19 can be seen.
尚、上記実施例ではボンベ元弁遮断装置を例に挙げて
説明したが、本発明はボンベ元弁開閉装置にも適用でき
るのは言うまでもない。In the above embodiment, the cylinder valve shutoff device has been described as an example, but it goes without saying that the present invention can also be applied to a cylinder valve open / close device.
発明の効果 上述の如く、本発明になるボンベ元弁遮断システム
は、一端が空気源に連通し、この空気源より常時圧縮空
気が供給されるバイパス配管と、このバイパス配管の他
端に一のポートが接続され、他のポートが複数のアクチ
ュエータ夫々に接続されており、通電時にはバイパス配
管から複数のアクチュエータへの圧縮空気の供給を断
ち、非通電時にはバイパス配管から複数のアクチュエー
タへ圧縮空気を供給する停電時弁閉用電磁弁を設けてい
る。このため、停電時1個の停電時弁閉用電磁弁で複数
のアクチュエータを閉弁動作させることができ、そのた
め通常通電状態にしておいても停電時弁閉用電磁弁への
通電による消費電力を減少させて発熱を抑えることがで
き、複数個の停電時弁閉用電磁弁を要する従来に比べて
著しい温度上昇を防止することができる。さらに、停電
時のボンベ遮断機能が不要な場合、1個の停電時弁閉用
電磁弁とバイパス配管を取り除くだけ簡単に仕様変更す
ることができ、顧客の注文にも容易に対応することがで
きる等の特長を有する。EFFECTS OF THE INVENTION As described above, in the cylinder valve shutoff system according to the present invention, one end communicates with the air source, and the bypass pipe to which compressed air is constantly supplied from this air source and the other end of the bypass pipe are provided. Ports are connected and other ports are connected to multiple actuators respectively.When the power is on, the supply of compressed air from the bypass pipe to the multiple actuators is cut off, and when the power is off, the compressed air is supplied from the bypass pipe to the multiple actuators. There is a solenoid valve for closing the valve during a power failure. For this reason, multiple actuators can be closed by one solenoid valve for valve closing at power failure, and therefore power consumption due to energization to the solenoid valve for valve closing at power failure even in the normal energized state. Therefore, it is possible to suppress heat generation and prevent a remarkable temperature rise as compared with the conventional case that requires a plurality of solenoid valves for closing valves at the time of power failure. Furthermore, if the cylinder shut-off function at the time of power failure is unnecessary, the specifications can be easily changed by simply removing one solenoid valve for valve closing at the time of power failure and the bypass piping, and it is possible to easily meet customer orders. It has features such as
第1図は本発明になるボンベ元弁遮断システムの第1実
施例が適用されたボンベ元弁遮断装置の概略構成図、第
2図は第1実施例の空気回路を説明するための構成図、
第3図は本発明の第2実施例の概略構成図、第4図は第
2実施例の空気回路の構成図、第5図乃至第7図は夫々
本発明の第2実施例の変形例の概略構成図,コントロー
ルボックスの正面図,リモートコントロールボックスの
正面図、第8図は従来のボンベ元弁遮断システムの概略
構成図である。 10……空気回路、111〜114……ボンベ、12……ボンベ収
納ボックス、131〜134……元弁、13a……操作ハンド
ル、51〜154……アクチュエータボックス、16……出力
軸、17……自在継手、18……チャック、19……コントロ
ールボックス、19a1〜19a4……弁閉スイッチ、20……空
気源、21……空気配管、21a……共通配管、21b1〜21b4
……分岐配管、22……停電時弁閉用電磁弁、23……バイ
パス配管、241〜244……排気配管、25……給気継手、27
……弁閉用電磁弁、411〜414……アクチュエータ、42…
…空気回路、44,451〜454……空気配管、461〜464……
弁閉用電磁弁、47……停電時弁閉用電磁弁、541〜544…
…分岐配管、55……バイパス配管、56,57……排気配
管、67……リモートコントロールボックス。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a cylinder valve shutoff device to which a first embodiment of a cylinder valve shutoff system according to the present invention is applied, and FIG. 2 is a configuration diagram for explaining an air circuit of the first embodiment. ,
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a second embodiment of the present invention, FIG. 4 is a configuration diagram of an air circuit of the second embodiment, and FIGS. 5 to 7 are modification examples of the second embodiment of the present invention. FIG. 8, a front view of a control box, a front view of a remote control box, and FIG. 8 are schematic configuration diagrams of a conventional cylinder valve shutoff system. 10 …… Air circuit, 11 1 to 11 4 …… Cylinder, 12 …… Cylinder storage box, 13 1 to 13 4 …… Main valve, 13 a …… Operation handle, 5 1 to 15 4 …… Actuator box, 16… Output shaft, 17 universal joint, 18 chuck, 19 control box, 19a1 to 19a4 valve closing switch, 20 air source, 21 air piping, 21a common piping, 21b1 21b4
...... Branch piping, 22 ...... Solenoid valve for valve closing at power failure, 23 ...... Bypass piping, 24 1 to 24 4 ...... Exhaust piping, 25 …… Air supply joint, 27
...... Solenoid valve for valve closing, 41 1 to 41 4 ...... Actuator, 42 ...
… Air circuit, 44,45 1 to 45 4 …… Air piping, 46 1 to 46 4 ……
Solenoid valve for closing valve, 47 ... Solenoid valve for closing valve at power failure, 54 1 to 54 4 ...
… Branch piping, 55 …… Bypass piping, 56,57 …… Exhaust piping, 67 …… Remote control box.
Claims (1)
気の供給により該元弁夫々を弁閉せしめる複数のアクチ
ュエータと、 一側が前記空気源に連通した共通配管となり、他側が前
記アクチュエータ夫々に連通する複数の分岐配管となっ
た空気配管と、 前記分岐配管に設けられ、前記空気源から前記アクチュ
エータへの圧縮空気を供給又は供給停止するよう切り換
える複数の弁閉用電磁弁と、 よりなるボンベ元弁遮断システムにおいて、 一端が前記空気源に連通し、前記空気源より常時圧縮空
気が供給されるバイパス配管と、 一のポートが前記バイパス配管の他端に接続され、他の
ポートが前記複数のアクチュエータ夫々に接続されてお
り、通電時には前記バイパス配管から前記複数のアクチ
ュエータへの圧縮空気の供給を断ち、非通電時には前記
バイパス配管から前記複数のアクチュエータへ圧縮空気
を供給する停電時弁閉用電磁弁と、 を設けたことを特徴とするボンベ元弁遮断システム。1. A plurality of cylinders filled with gas, a main valve for opening and closing a cylinder provided for each cylinder, and a plurality of main valves, each of which is connected to each of the main valves and is supplied with compressed air from an air source. A plurality of actuators for closing the respective main valves; an air pipe having a plurality of branch pipes having one side communicating with the air source and the other side having a plurality of branch pipes communicating with the actuators; and the branch pipes. , A cylinder valve closing system comprising a plurality of valve-closing solenoid valves that switch between supplying or stopping supply of compressed air from the air source to the actuator, wherein one end communicates with the air source, and A bypass pipe to which compressed air is constantly supplied, one port is connected to the other end of the bypass pipe, and the other port is connected to each of the plurality of actuators. And a solenoid valve for closing a valve during a power failure that supplies compressed air from the bypass pipe to the plurality of actuators when energized and supplies compressed air from the bypass pipe to the plurality of actuators when not energized. A cylinder valve shutoff system featuring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3759590A JPH083360B2 (en) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | Cylinder valve shutoff system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3759590A JPH083360B2 (en) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | Cylinder valve shutoff system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03239899A JPH03239899A (en) | 1991-10-25 |
| JPH083360B2 true JPH083360B2 (en) | 1996-01-17 |
Family
ID=12501911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3759590A Expired - Fee Related JPH083360B2 (en) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | Cylinder valve shutoff system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083360B2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0455466Y2 (en) * | 1985-12-20 | 1992-12-25 | ||
| JPH0433706Y2 (en) * | 1985-12-20 | 1992-08-12 | ||
| JPH03247209A (en) * | 1990-02-23 | 1991-11-05 | Mitsubishi Agricult Mach Co Ltd | Fertilization device |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP3759590A patent/JPH083360B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03239899A (en) | 1991-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1593893B1 (en) | Emergency valve | |
| US5097857A (en) | Electro-hydraulic valve-actuator system | |
| JP2009097539A (en) | Emergency shut-off valve device | |
| JPS5952314B2 (en) | Automatic shutoff device in case of rupture of natural gas, etc. transportation pipes | |
| JPH083360B2 (en) | Cylinder valve shutoff system | |
| CN202073955U (en) | Clutch system | |
| CN218113089U (en) | A gas supply energy-saving control system for the operation of wrapping equipment | |
| JP3494925B2 (en) | Pneumatic valve operating device | |
| GB2346672A (en) | Valve testing apparatus and method | |
| US20110278484A1 (en) | Valve isolation system and method | |
| JP2679934B2 (en) | Solenoid valve manifold | |
| JPH0434320Y2 (en) | ||
| JPH051759Y2 (en) | ||
| JP3042898B2 (en) | Cylinder valve opening and closing device | |
| JPH0255840B2 (en) | ||
| JPH07299786A (en) | Automatic hand exchange unit with built-in manifold valve | |
| JP3822134B2 (en) | Production line compressed air supply control device and production line compressed air supply control system using the same | |
| CN114962724B (en) | General pressure switch of integrated relief valve and gas equipment | |
| JP2001055903A (en) | Emergency control device | |
| CN223445234U (en) | Automatic loading and unloading systems and tank trucks | |
| JPH047362Y2 (en) | ||
| KR102458799B1 (en) | Redundant system and method of hydraulic servo valve for safety control of turbine control actuator for power plants | |
| US6796458B2 (en) | Air supply apparatus for semiconductor device fabricating equipment | |
| US6871834B2 (en) | Circuit for operating a valve closure system | |
| JPH059596Y2 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |