JPH08336928A - 半透明の材料からなる平板ならびにその製造方法 - Google Patents

半透明の材料からなる平板ならびにその製造方法

Info

Publication number
JPH08336928A
JPH08336928A JP8143249A JP14324996A JPH08336928A JP H08336928 A JPH08336928 A JP H08336928A JP 8143249 A JP8143249 A JP 8143249A JP 14324996 A JP14324996 A JP 14324996A JP H08336928 A JPH08336928 A JP H08336928A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
oxide
mixture
metal
flat plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8143249A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3998738B2 (ja
Inventor
Anton Zmelty
ツメルティ アントン
Joachim Szczyrbowski
スチルボフスキー ヨアヒム
Christoph Braatz
ブラーツ クリストフ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG, Balzers und Leybold Deutschland Holding AG filed Critical Leybold AG
Publication of JPH08336928A publication Critical patent/JPH08336928A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3998738B2 publication Critical patent/JP3998738B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C4/00—Compositions for glass with special properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3642—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating containing a metal layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半透明の材料からなり、可視領域に高い透過
特性および熱放射領域に高い反射特性を有する平板を提
供する。 【解決手段】 基板の一方の側に、５個の単独層を包含
する多層の低放射率層を設ける。直接基板上に設けられ
る第一層は金属酸化物、たとえばＺｎＯ，ＳｎＯ２，か
らなり、第二層は金属亜酸化物、たとえばＺｎおよび／
またはＴａからなり、第三層は金属、たとえばＡｇ，Ｃ
ｕからなり、第四層は金属、たとえばＴｉ，Ｃｒ，Ｎｂ
または金属亜酸化物からなり、かつ第五層は生じた層に
相当する組成を有する。個々の層は、順次にスパッタ、
とくにマグネトロン陰極スパッタにより設ける。このよ
うな層系は、慣例により製造された低放射率層に比し
て、高い付着強度および化学安定性を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可視領域に高い透
過特性および熱放射範囲に高い反射特性を有する半透明
材料からなる平板（フィルムを包含する）ならびにその
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の平板は、水分、殊に特定の濃度
のＮａＣｌ−およびＳＯ2−水溶液に対して高い化学的
安定性を有しなければならない。
【０００３】さらに、本発明は陰極スパッタを用いる被
覆によるこの種平板の製造に関する。
【０００４】この種平板を有する窓は、殊に冬季に、熱
が部屋から屋外に放射するのを阻止すべきである。この
種の公知層系は、低放射率“Ｌｏｗ−ｅ”（ｌｏｗ ｅ
ｍｉｓｓｉｖｉｔｙ）と呼ばれる。
【０００５】従来の低放射率（Ｌｏｗ−ｅ）は、この系
中で異なる性質および異なる課題を満足すべき異なるカ
テゴリーの層からなる： ａ）高い導電層、しばしば非常に低い放射係数を有する
金属、たとえばＡｇ，ＡｕまたはＣｕは本来の低放射率
（Ｌｏｗ−ｅ）被覆であり、 ｂ）しかし金属層は可視領域に高い光反射を有するの
で、この金属層は付加的透明層を用いて反射防止され
る。透明層のもう１つの課題は、系の所望の色調および
高い機械的および化学的安定性を保証することである。
ｃ）薄い金属層を製造工程の間ならびに後に、腐食性環
境雰囲気に対して保護し、隣の酸化物層の良好な付着強
度を保証するために、この金属層（Ａｇ，Ａｕ，Ｃｕ）
上に屡々金属または金属亜酸化物からなるいわゆるブロ
ッカー層（遮断層、付着助剤層）が設けられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】これらの課題を満足す
るために、慣例の低放射率（Ｌｏｗ−ｅ）被覆は次のよ
うに設けられた： 基板｜酸化物｜Ａｇ｜ブロッカー｜酸化物 その際基板は透明な無機または有機のガラス板または透
明な有機フィルムであり、Ａｇは導電層であり、酸化物
は反射防止層であり、ブロッカーはＡｇの保護層および
酸化物層に対する付着助剤を形成する。
【０００７】４ｍｍのガラス基板上の慣例の低放射率
（Ｌｏｗ−ｅ）被覆の光透過率は８０〜８６％である。
かかる平板の熱透過は、低放射率（Ｌｏｗ−ｅ）被覆の
放射率εに依存し、ここに簡単な式で記載することがで
きる：
【０００８】
【化１】
【０００９】上記の式は、値が０．２よりも小さい限
り、薄い金属層の放射率を十分正確に記載する。公知の
低放射率（Ｌｏｗ−ｅ）被覆に対するεは約０．１であ
る。
【００１０】放射率が小さければ小さいほど、被覆によ
る輻射損はますます小さくなる。放射率は、比抵抗の低
下によりまたは層厚の増加により抑圧することができ
る。層厚の増加につれて光の吸収が増加し、これが光透
過の望ましくない減少を生じ、その際Ａｇ層の比抵抗の
減少は放射率の減少のみならず、光透過の増加をも生じ
る。
【００１１】薄層の比抵抗は次のように記載することが
できる： ρ＝ρK＋ρF＋ρG 式中 ρK 無限厚さの単結晶層における抵抗率 ρF 層面における電子散乱により惹起された抵抗
率の部分 ρG 個々の微結晶の粒界における電子散乱により
惹起された抵抗率の部分 非常に厚い単結晶Ａｇ層の抵抗率ρKは、金属の純度に
依存する。少量の異種材料が既に、層抵抗を可成り増加
しうる。これは、スパッタ法は銀層中へ原子が組み込ま
れないようなガス雰囲気中で操作されるべきであること
を意味する。
【００１２】薄層の抵抗率ρFは、層面の粗さに依存す
る。銀が成長する下方の酸化物層は非常に平滑になるこ
とが重要である。それにより、この電子散乱部分を十分
に減少することができる。
【００１３】抵抗率ρGは、微結晶の大きさおよび個々
の微結晶の粒界の種類に依存する。微結晶が小さくかつ
個々の微結晶の粒界が広くかつ厚いほど、電子散乱はま
すます大きくなる。銀微結晶の大きさは、基体表面を適
当に準備する事によって調節することができる。銀の下
方にある酸化物は、Ａｇの成長を促進し、これにより大
きい微結晶が生じる。さらに、酸化物元素は銀層中へ拡
散してはならない。異種原子は層中へ主として粒界を通
って拡散し、これが層の厚化、それとともに電子散乱の
増加を生じる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、低放
射率（Ｌｏｗ−ｅ）被覆における銀層の導電率を高め、
それにより絶縁ガラスの良好な熱絶縁を達成することで
ある。この改善は、全被覆の光の透過、機械的および化
学的安定性を喪失することなく可能であるべきである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
り、銀層の下方に、非常に平滑な表面を保証し、その原
子が銀中に殆どまたは全く拡散しない付加的な薄層が組
み込まれていることによって解決される。このため付加
的層の材料は、銀成長が促進されるように選択されてい
る。こうして、銀層の導電率は３０％まで増加する。適
当な層材料としては、金属Ｚｎ，Ｔａの不足化学量論的
量の酸化物およびその混合物が使用される。
【００１６】本発明による層系は次のように構成されて
いる： 基板｜酸化物｜ＴａＯx｜Ａｇ｜ブロッカー｜酸化物 （１） 基板｜酸化物｜ＺｎＯx｜Ａｇ｜ブロッカー｜酸化物 （２） 基板｜酸化物｜ＺｎＴａＯx｜Ａｇ｜ブロッカー｜酸化物 （３） 基板｜酸化物｜ＺｎＯx｜Ａｇ｜ブロッカー｜酸化物｜ＺｎＯx｜Ａｇ｜ ブロッカー｜酸化物 （４） 例１〜３における個々の層の厚さは次の通りである：第
一酸化物層 約４０ｎｍ、第二層 約４ｎｍ、Ａｇ層
約６ｎｍ、ブロッカー層 約１．５ｎｍ、および 最後
の酸化物層 約３８ｎｍ．系（４）は、２つのＡｇ層を
含有する。第二のＡｇ層で、層パッケージの導電率は約
２倍増加する。
【００１７】意外にも、かかる薄い不足化学量論的Ｚｎ
Ｏx−，ＴａＯx−またはＺｎＴａＯx層はＡｇ導電率を
著しく高めることができ、付加的にＡｇと酸化物層との
間の非常に良好な付着媒体を形成することが判明した。
系の機械的および化学的安定性は、銀層上のブロッカー
によって保証されている。
【００１８】本発明による平板は、殊に有利には、層を
真空中でマグネトロン陰極スパッタを用いて設けること
によって製造することができる。この方法は、連続装置
を使用する場合にとくに経済的に大きいガラス板の被覆
を可能にする。金属層は、酸素不含雰囲気中でのスパッ
タによって設けられる。酸化物層および本発明による不
足化学量論的Ｚｎ−，Ｔａ−酸化物またはその合金の酸
化物は、有利に酸素含有雰囲気中での金属または合金タ
ーゲットの反応性マグネトロン陰極スパッタによって実
施することができる。
【００１９】詳細および特徴は請求項から明らかであ
る。
【００２０】本発明による平板は、下記に記載した実施
例により製造することができる。
【００２１】
【実施例】実施例を特徴づけるパラメーターである表面
抵抗および、透過および反射の合計は、平板上に設けら
れた層厚の関数として図１〜３に図示されている。
【００２２】例Ｉ（表Ｉ）によるスパッタ装置中で、サ
イズ５０×５０ｍｍで厚さ２ｍｍのフロートガラス板上
に下記の層を設けた： −圧力３*１０ｍバールでアルゴン−酸素雰囲気中で
の、Ａｌ４ａｔ．％を有するＢｉＡｌターゲットの反応
性スパッタによる厚さ約２２ｎｍのＢｉＡｌＯx層、 −圧力３*１０-3ｍバールでアルゴン雰囲気中でのＡｇ
ターゲットのスパッタによる厚さ１２ｎｍのＡｇ層、 −圧力３*１０-3ｍバールでアルゴン−酸素雰囲気中で
のＴｉターゲットのスパッタによる厚さ２ｎｍの不足化
学量論的ＴｉＯx層、 −圧力３*１０-3ｍバールでアルゴン−酸素雰囲気中で
の、Ｍｇ１０ａｔ．％を有するＳｎＭｇターゲットの反
応性スパッタによる厚さ約３８ｎｍのＳｎＭｇＯ2層。
【００２３】例２〜６（表Ｉ）においては、その都度第
二層−ＺｎＯx−の厚さだけを変えた。
【００２４】製造された層系の個々の層厚および測定さ
れた光透過、反射および表面抵抗の正確な値は、表Ｉに
認められる。
【００２５】図１には、製造された層系の測定された表
面抵抗が、ＺｎＯxの厚さの関数として図示されてい
る。ＺｎＯxの厚さが約４ｎｍにまで増加するにつれて
Ａｇ層の抵抗が低下し、次いで一定にとどまることが認
められる。測定されたＡｇ導電率の増加率は３０％より
も大きい。
【００２６】表ＩＩには、３組の低放射率（Ｌｏｗ−
ｅ）被覆が示されている。１つの組に属する試料は、一
方がＺｎＯx層を有し、他方がかかる層を有しないこと
によって相違するにすぎない。薄いＺｎＯx層は導電率
を高めるだけでなく、光学的性質をも改善することが認
められる。これは、Ｔｙ＋Ｒｙの和においてことに明瞭
である。この値は、ＺｎＯx層を有するこれらの試料に
対しては常に高い。相違は、Ａｇ層の導電率の増加につ
れて増加する。透過値および反射値は、個々の層系が光
学性質に対し最適化されていなかったので、互いに明白
に比較できない。この場合には、評価にとりＴｙ＋Ｒｙ
の和だけが重要である。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【表２】
【００２９】表ＩＩＩには、双方の反射防止層に対しＳ
ｎＭｇ酸化物が利用された低放射率（Ｌｏｗ−ｅ）系が
示されている。この場合にも、ＺｎＯxを有する層は明
らかに高い導電率および高いＴｙ＋Ｒｙの和を有する。
【００３０】
【表３】
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｌｏｗ−ｅ被覆の抵抗を示す、ＺｎＯx層の厚
さ／面積抵抗線図
【図２】Ｌｏｗ−ｅ被覆の面積抵抗を示す、酸化亜鉛層
の有無におけるＡｇ層の厚さ／面積抵抗線図
【図３】Ｌｏｗ−ｅ被覆の透過および反射の和を示す、
酸化亜鉛層の有無におけるＡｇ層の厚さ／透過＋反射線
図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アントン ツメルティ ドイツ連邦共和国 ヘスバッハ バーンホ ーフシュトラーセ 39 (72)発明者 ヨアヒム スチルボフスキー ドイツ連邦共和国 ゴルトバッハ リング オーフェンシュトラーセ ５ (72)発明者 クリストフ ブラーツ ドイツ連邦共和国 ハインシュタット レ ッシングシュトラーセ 47

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板および基板の一方の側に構成された
    層系を有する、半透明の材料からなる平板において、基
    板上に ａ）酸化物群ＺｎＯ，ＳｎＯ2，Ｉｎ2Ｏ3，Ｂｉ2Ｏ3，
    ＴｉＯ2，ＺｒＯ2，Ｔａ2Ｏ5，ＳｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3また
    はその混合物、または窒化物ＡｌＮ，Ｓｉ3Ｎ4またはそ
    の混合物、またはアルミニウム−、チタン−、ジルコニ
    ウム−またはケイ素酸化窒化物またはその混合物からな
    る，２０ｎｍ〜７０ｎｍの厚さを有する第一層が析離さ
    れ、 ｂ）第二層は、金属Ｚｎおよび／またはＴａのいずれか
    １つまたはその混合物から金属亜酸化物（不足化学量論
    的酸化物）として１ｎｍ〜４０ｎｍの厚さで析離され、 ｃ）金属Ａｇ，Ｃｕのいずれか１つまたはその混合物か
    らなる、５〜３０ｎｍの厚さを有する第三層が設けら
    れ、 ｄ）第四層は、金属Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｂのいずれか１つま
    たはその混合物または金属のいずれか１つを少なくとも
    １５ａｔ．％有する合金から金属層または金属亜酸化物
    （不足化学量論的酸化物）として０．５〜５ｎｍの厚さ
    で設けられ、 ｅ）第五層は、第一層におけるような材料から析離され
    ていることを特徴とする半透明の材料からなる平板。
  2. 【請求項２】 第一層または第一層と第五層または第五
    層が、ＳｎＯ2，Ｉｎ2Ｏ3，ＴｉＯ2，Ｂｉ2０3から、な
    いしはＭｇ−，またはＡｌ−，またはＰ−，またはＴｉ
    −，またはＹ−，またはＺｒ−，またはＴａ酸化物０〜
    ２０ａｔ．％の含量を有するその混合酸化物、またはの
    周期表の原子番号５７〜７１を有する元素の酸化物のい
    ずれか１つ０〜５ａｔ．％の範囲からの含量を有する混
    合酸化物から製造されることを特徴とする請求項１記載
    の平板。
  3. 【請求項３】 第二層が約５ｎｍの厚さを有することを
    特徴とする請求項１記載の平板。
  4. 【請求項４】 第三層と第四層との間に、請求項１にお
    ける２つの層のような材料からなる付加的層が設けられ
    ていることを特徴とする請求項１記載の平板。
  5. 【請求項５】 幾つかの層パケットが相並んで一方の平
    板面上に構成されていることを特徴とする請求項１から
    ４までのいずれか１項記載の平板。
  6. 【請求項６】 基板として透明な無機のガラス板が利用
    されることを特徴とする請求項１記載の平板。
  7. 【請求項７】 基板として透明な有機のガラス板が利用
    されることを特徴とする請求項１記載の平板。
  8. 【請求項８】 基板として透明な有機のフィルムが利用
    される殊を特徴とする請求項１記載の平板。
  9. 【請求項９】 第一層または第五層または第１層および
    第五層が、請求項１における第一層とは異なる２つの材
    料からなる、２０ｎｍ〜７０ｎｍの全厚を有する二重層
    として析離されていることを特徴とする請求項１記載の
    平板。
  10. 【請求項１０】 第一層と第二層との間に、請求項１に
    おける第四層のような材料からなる付加的層が設けられ
    ていることを特徴とする請求項１記載の平板。
  11. 【請求項１１】 陰極スパッタにより透明な基板を被覆
    することにより可視スペクトル領域に高い透過特性およ
    び熱放射に対し高い反射特性を有する平板を製造する方
    法において、 ａ）、酸化物群ＺｎＯ，ＳｎＯ2，Ｉｎ2Ｏ3，Ｂｉ
    2Ｏ3，ＴｉＯ2，ＺｒＯ2，Ｔａ2Ｏ5，ＳｉＯ2，Ａｌ2０
    3またはその混合物の材料、または窒化物ＡｌＮ，Ｓｉ3
    Ｎ4のいずれか１つまたはその混合物、またはアルミニ
    ウム−、チタン−、ジルコニウム−またはケイ素酸化窒
    化物またはその混合物からなる第一層を２０ｎｍ〜７０
    ｎｍの厚さで設け、 ｂ）第二層を金属亜酸化物（不足化学量論的酸化物）と
    して、金属Ｚｎおよび／またはＴａのいずれか１つまた
    はその混合物から、１ｎｍ〜４０ｎｍの厚さで析離さ
    せ、 ｃ）金属Ａｇ，Ｃｕのいずれか１つまたはその混合物か
    らなる第三層を、５〜３０ｎｍの厚さで製造し、 ｄ）第四層を、金属層または金属亜酸化物（不足化学量
    論的酸化物）として、金属Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｂのいずれか
    １つまたはその混合物、または金属のいずれか１つを少
    なくとも１５ａｔ．％有する合金から、０．５〜２ｎｍ
    の厚さで製造し、 ｅ）第一層におけるような材料からなる第五層を設ける
    ことを特徴とする半透明な材料からなる平板の製造方
    法。
  12. 【請求項１２】 酸化物層を、中性ガス、とくにアルゴ
    ン（Ａｒ）および酸素（Ｏ2）からなる反応性雰囲気中
    で設け、窒化物層を中性ガス、とくにアルゴン（Ａｒ）
    および窒素（Ｎ2）からなる反応性雰囲気中で設け、酸
    化窒化物層をアルゴン（Ａｒ）、酸素（Ｏ2）および窒
    素（Ｎ2）を有する中性ガスからなる反応性雰囲気中で
    設け、金属層をとくにアルゴン（Ａｒ）からなる中性雰
    囲気中で設けることを特徴とする請求項９記載の方法。
  13. 【請求項１３】 酸化物層を、ＳｎＯ2，Ｂｉ2Ｏ3およ
    びＩｎ2Ｏ3，ないしはその０〜２０ａｔ．％のＭｇ−、
    またはＡｌ−、またはＰ−，またはＴｉ−，またはＹ
    −，またはＺｒ−，またはＴａ−酸化物含量、または０
    〜５ａｔ．％の範囲からの、周期表の原子番号５７〜７
    １の元素の酸化物のいずれか１つの含量を有する混合酸
    化物から製造することを特徴とする請求項９記載の方
    法。
  14. 【請求項１４】 ０〜１０ａｔ．％のＡｌ−酸化物を有
    するＺｎＯ層を製造することを特徴とする請求項９記載
    の方法。
  15. 【請求項１５】 層を陰極スパッタにより設けることを
    特徴とする請求項９記載の方法。
  16. 【請求項１６】 層を金属ターゲットからスパッタする
    ことを特徴とする請求項９記載の方法。
  17. 【請求項１７】 酸化物層を、群ＺｎＯ，ＳｎＯ2，Ｂ
    ｉ2Ｏ3，ＴｉＯ2およびＩｎ2０3またはその混合酸化物
    から、金属または請求項１１におけるような元素を混合
    した基体元素の金属合金からなるターゲットからスパッ
    タすることを特徴とする請求項９記載の方法。
  18. 【請求項１８】 第一層または第五層または第一層およ
    び第五層を二重層として、請求項１における第一層と異
    なる２つの材料から、２０ｎｍ〜７０ｎｍの全圧で析離
    することを特徴とする請求項９記載の方法。
  19. 【請求項１９】 第一層と第二層の間に、請求項１にお
    ける第四層のような材料からなる付加的層を設けること
    を特徴とする請求項９記載の方法。
JP14324996A 1995-06-08 1996-06-05 半透明の材料からなる平板ならびにその製造方法 Expired - Fee Related JP3998738B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19520843.9 1995-06-08
DE19520843A DE19520843A1 (de) 1995-06-08 1995-06-08 Scheibe aus durchscheinendem Werkstoff sowie Verfahren zu ihrer Herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08336928A true JPH08336928A (ja) 1996-12-24
JP3998738B2 JP3998738B2 (ja) 2007-10-31

Family

ID=7763863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14324996A Expired - Fee Related JP3998738B2 (ja) 1995-06-08 1996-06-05 半透明の材料からなる平板ならびにその製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5962115A (ja)
EP (1) EP0747330B1 (ja)
JP (1) JP3998738B2 (ja)
KR (1) KR0171175B1 (ja)
DE (2) DE19520843A1 (ja)
ES (1) ES2132805T3 (ja)
TW (1) TW327657B (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6413643B1 (en) 1998-02-06 2002-07-02 Nipon Sheet Glass Co., Ltd Sunlight shielding translucent glass panel and sunlight shielding translucent multilayer glass panel assembly
US6592996B1 (en) 1998-02-06 2003-07-15 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Solar-shading light-transmissive panel and solar-shading multi-layer light-transmissive panel using same
WO2007139029A1 (ja) * 2006-05-26 2007-12-06 Sony Corporation 透明積層膜及びその製造方法、並びに液体レンズ
JP2011175249A (ja) * 2010-01-29 2011-09-08 Sony Corp 光学体およびその製造方法
WO2019163811A1 (ja) * 2018-02-22 2019-08-29 三菱マテリアル株式会社 酸化物膜、酸化物膜の製造方法、及び、窒素含有酸化物スパッタリングターゲット
JP2022540483A (ja) * 2019-07-08 2022-09-15 ヴイディーアイ リミテッド ライアビリティ カンパニー 一方向及び双方向の波長選択的反射色発生のための誘電性薄膜コーティング

Families Citing this family (81)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5942338A (en) * 1996-04-25 1999-08-24 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated articles
US5821001A (en) 1996-04-25 1998-10-13 Ppg Industries, Inc. Coated articles
US6231999B1 (en) * 1996-06-21 2001-05-15 Cardinal Ig Company Heat temperable transparent coated glass article
IT1293394B1 (it) * 1996-07-25 1999-03-01 Glaverbel Substrati rivestiti di metallo
DE19726966C1 (de) 1997-06-25 1999-01-28 Flachglas Ag Verfahren zur Herstellung einer transparenten Silberschicht mit hoher spezifischer elektrischer Leitfähigkeit , Glasscheibe mit einem Dünnschichtsystem mit einer solchen Silberschicht und deren Verwendung
DE19733053A1 (de) * 1997-07-31 1999-02-04 Leybold Ag Transparentes Substrat
US6132881A (en) * 1997-09-16 2000-10-17 Guardian Industries Corp. High light transmission, low-E sputter coated layer systems and insulated glass units made therefrom
DE19751711A1 (de) * 1997-11-21 1999-05-27 Leybold Systems Gmbh Beschichtung
DE19808795C2 (de) * 1998-03-03 2001-02-22 Sekurit Saint Gobain Deutsch Wärmestrahlen reflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate
US6899953B1 (en) † 1998-05-08 2005-05-31 Ppg Industries Ohio, Inc. Shippable heat-treatable sputter coated article and zinc cathode sputtering target containing low amounts of tin
EP0963960A1 (fr) * 1998-06-08 1999-12-15 Glaverbel Substrat transparent revêtu d'une couche d'argent
US6040939A (en) * 1998-06-16 2000-03-21 Turkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. Anti-solar and low emissivity functioning multi-layer coatings on transparent substrates
FR2784984B1 (fr) * 1998-10-22 2001-10-26 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces
FR2784985B1 (fr) * 1998-10-22 2001-09-21 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces
JP2000171601A (ja) * 1998-12-08 2000-06-23 Sony Corp 反射防止膜および表示装置
DE19858226C1 (de) * 1998-12-17 2000-06-15 Sekurit Saint Gobain Deutsch Wärmereflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate
DE19858227C1 (de) * 1998-12-17 2000-06-15 Sekurit Saint Gobain Deutsch Wärmereflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate
SK8352001A3 (en) 1998-12-18 2001-11-06 Glaverbel Glazing panel
US6610410B2 (en) 1998-12-18 2003-08-26 Asahi Glass Company, Limited Glazing panel
US6398925B1 (en) * 1998-12-18 2002-06-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods and apparatus for producing silver based low emissivity coatings without the use of metal primer layers and articles produced thereby
PL349502A1 (en) * 1998-12-18 2002-07-29 Glaverbel Glazing panel
DE69907747T2 (de) * 1998-12-18 2004-02-26 Glaverbel Verglasungsscheibe
CA2355685C (en) † 1998-12-21 2004-04-06 Cardinal Ig Company Soil-resistant coating for glass surfaces
DE19859695A1 (de) 1998-12-23 2000-06-29 Leybold Systems Gmbh Verfahren zum Beschichten von Substraten aus Kunststoff
DE19948839A1 (de) 1999-10-11 2001-04-12 Bps Alzenau Gmbh Leitende transparente Schichten und Verfahren zu ihrer Herstellung
BR0015008B1 (pt) 1999-10-14 2010-10-19 vidro revestido e método de fabricação de um artigo de vidro revestido.
EP1754691B1 (en) * 1999-12-02 2009-02-11 Cardinal CG Company Haze-resistant transparent film stacks
JP3477148B2 (ja) * 1999-12-02 2003-12-10 カーディナル・シージー・カンパニー 耐曇り性透明フィルム積層体
FR2821349A1 (fr) * 2000-04-26 2002-08-30 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent comportant des elements metalliques et utilisation d'un tel substrat
FR2827855B1 (fr) 2001-07-25 2004-07-02 Saint Gobain Vitrage muni d'un empilement de couches minces reflechissant les infrarouges et/ou le rayonnement solaire
DE10140514A1 (de) 2001-08-17 2003-02-27 Heraeus Gmbh W C Sputtertarget auf Basis von Titandioxid
US20030049464A1 (en) 2001-09-04 2003-03-13 Afg Industries, Inc. Double silver low-emissivity and solar control coatings
US6936347B2 (en) * 2001-10-17 2005-08-30 Guardian Industries Corp. Coated article with high visible transmission and low emissivity
US6770321B2 (en) * 2002-01-25 2004-08-03 Afg Industries, Inc. Method of making transparent articles utilizing protective layers for optical coatings
DE60303368T2 (de) * 2002-03-01 2006-10-19 Cardinal Cg Co., Eden Prairie Dünnfilmbeschichtung mit einer niob-titan-lage
US6919133B2 (en) 2002-03-01 2005-07-19 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
DE20221864U1 (de) * 2002-06-10 2008-10-09 Scheuten Glasgroep Substrat beschichtet mit einem Schichtsystem
DE10252543A1 (de) * 2002-11-08 2004-05-27 Applied Films Gmbh & Co. Kg Beschichtung für ein Kunststoffsubstrat
US7005190B2 (en) * 2002-12-20 2006-02-28 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles
US20040121165A1 (en) * 2002-12-20 2004-06-24 Laird Ronald E. Coated article with reduced color shift at high viewing angles
NL1023880C2 (nl) * 2003-07-10 2005-01-11 Tno Emissieverhogende coating, voorwerp waarop de coating is aangebracht, en werkwijze voor het aanbrengen van de coating op een oppervlak.
DE102004001655A1 (de) * 2004-01-12 2005-08-04 Interpane Entwicklungs- Und Beratungsgesellschaft Mbh & Co.Kg Mit einer Wärmeschutzschicht beschichtetes Substrat
US7396852B2 (en) * 2005-11-16 2008-07-08 Xerox Corporation Compound having indolocarbazole moiety and divalent linkage
EP1773729B1 (en) 2004-07-12 2007-11-07 Cardinal CG Company Low-maintenance coatings
WO2006080968A2 (en) * 2004-11-15 2006-08-03 Cardinal Cg Company Methods and equipment for depositing coatings having sequenced structures
US7923114B2 (en) 2004-12-03 2011-04-12 Cardinal Cg Company Hydrophilic coatings, methods for depositing hydrophilic coatings, and improved deposition technology for thin films
US8092660B2 (en) 2004-12-03 2012-01-10 Cardinal Cg Company Methods and equipment for depositing hydrophilic coatings, and deposition technologies for thin films
US7537677B2 (en) * 2005-01-19 2009-05-26 Guardian Industries Corp. Method of making low-E coating using ceramic zinc inclusive target, and target used in same
CA2602675C (en) * 2005-03-31 2014-03-11 Cardinal Cg Company Haze-resistant low-emissivity coatings
US7597962B2 (en) * 2005-06-07 2009-10-06 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with IR reflecting layer and method of making same
DE102005038139B4 (de) * 2005-08-12 2008-05-21 Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem und dessen Verwendung
EP1829835A1 (de) * 2006-03-03 2007-09-05 Applied Materials GmbH & Co. KG Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem sowie Verfahren zu seiner Herstellung
JP2009534563A (ja) 2006-04-19 2009-09-24 日本板硝子株式会社 同等の単独の表面反射率を有する対向機能コーティング
DE102006024524A1 (de) * 2006-05-23 2007-12-06 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Infrarotstrahlung reflektierendes, transparentes Schichtsystem
US20080011599A1 (en) 2006-07-12 2008-01-17 Brabender Dennis M Sputtering apparatus including novel target mounting and/or control
WO2008029060A2 (fr) 2006-09-07 2008-03-13 Saint-Gobain Glass France Substrat pour dispositif electroluminescent organique, utilisation et procede de fabrication de ce substrat, ainsi que dispositif electroluminescent organique.
CL2007003233A1 (es) 2006-11-09 2008-05-30 Agc Flat Glass North America Recubrimiento optico sobre un sustrato que comprende, en direccion hacia afuera desde el sustrato, una capa aumentadora de la durabilidad, una capa de nucleacion y una capa reflectante de infrarrojos; unidad de ventana; y metodo para hacer una pelicu
JP5261397B2 (ja) * 2006-11-17 2013-08-14 サン−ゴバン グラス フランス 有機発光素子用の電極、その酸エッチング、及び、それを組み込んだ有機発光素子
FR2913146B1 (fr) * 2007-02-23 2009-05-01 Saint Gobain Electrode discontinue, dispositif electroluminescent organique l'incorporant, et leurs fabrications
EP1980539A1 (fr) 2007-03-19 2008-10-15 AGC Flat Glass Europe SA Vitrage à faible emissivite
CN101148329B (zh) * 2007-09-13 2011-02-16 上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司 双银复合结构的低辐射镀膜玻璃及工艺
KR101512166B1 (ko) 2007-09-14 2015-04-14 카디날 씨지 컴퍼니 관리가 용이한 코팅 기술
EP2042031B1 (de) * 2007-09-28 2010-03-31 Scheuten S.à.r.l. Gewächshaussystem
FR2924274B1 (fr) 2007-11-22 2012-11-30 Saint Gobain Substrat porteur d'une electrode, dispositif electroluminescent organique l'incorporant, et sa fabrication
FR2925981B1 (fr) 2007-12-27 2010-02-19 Saint Gobain Substrat porteur d'une electrode, dispositif electroluminescent organique l'incorporant.
US8409717B2 (en) 2008-04-21 2013-04-02 Guardian Industries Corp. Coated article with IR reflecting layer and method of making same
FR2936358B1 (fr) 2008-09-24 2011-01-21 Saint Gobain Procede de fabrication d'un masque a ouvertures submillimetriques pour grille electroconductrice submillimetrique, masque a ouverture submillimetriques, grille electroconductrice submillimetrique.
FR2936362B1 (fr) 2008-09-25 2010-09-10 Saint Gobain Procede de fabrication d'une grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une grille surgrille, grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille
EP2378855B1 (de) * 2008-11-19 2015-03-04 Scheuten S.à.r.l. Gewächshaussystem
FR2944145B1 (fr) 2009-04-02 2011-08-26 Saint Gobain Procede de fabrication d'une structure a surface texturee pour dispositif a diode electroluminescente organique et structure a surface texturee
EP2317562A1 (en) * 2009-11-03 2011-05-04 Fundacio Privada Institut De Ciencies Fotoniques Multilayer metallic electrodes for optoelectronics
FR2955575B1 (fr) 2010-01-22 2012-02-24 Saint Gobain Substrat verrier revetu d'une couche haut indice sous un revetement electrode et dispositif electroluminescent organique comportant un tel substrat.
FR2989923B1 (fr) * 2012-04-26 2014-05-16 Commissariat Energie Atomique Materiau multicouche resistant a l'oxydation en milieu nucleaire.
US20140170422A1 (en) * 2012-12-14 2014-06-19 Intermolecular Inc. Low emissivity coating with optimal base layer material and layer stack
FR3026403B1 (fr) * 2014-09-30 2016-11-25 Saint Gobain Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques et a couche intermediaire sur stoechiometrique
EP3779912A1 (en) * 2015-05-15 2021-02-17 J. Brasch Co., LLC A system and method for monitoring a person via an analog multi-zone pressure sensitive pad
CN104973804B (zh) * 2015-06-30 2018-09-14 太仓耀华玻璃有限公司 一种可钢化的三银low-e玻璃及其钢化处理工艺
CN105314888B (zh) * 2015-07-06 2018-12-25 信义节能玻璃（芜湖）有限公司 玫瑰金色低辐射镀膜玻璃及其制备方法和应用
EP3322677B1 (en) 2015-07-15 2018-11-28 Türkiye Sise Ve Cam Fabrikalari A.S. Architectural glass with low-e coating having multilayer layer structure with high durability
WO2018093985A1 (en) 2016-11-17 2018-05-24 Cardinal Cg Company Static-dissipative coating technology
CN109987857B (zh) * 2019-04-29 2021-11-23 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 新型低辐射节能膜系及其制备方法和应用

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3682528A (en) * 1970-09-10 1972-08-08 Optical Coating Laboratory Inc Infra-red interference filter
EP0035906B2 (en) * 1980-03-10 1989-11-08 Teijin Limited Selectively light-transmitting laminated structure
AU561315B2 (en) * 1984-10-29 1987-05-07 Ppg Industries Ohio, Inc. Sputtering films of metal alloy oxide
DE3543178A1 (de) * 1985-12-06 1987-06-11 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben
ES2000241T3 (es) * 1986-01-29 1995-04-01 Pilkington Plc Vidrio revestido.
US4895734A (en) * 1987-03-31 1990-01-23 Hitachi Chemical Company, Ltd. Process for forming insulating film used in thin film electroluminescent device
US4902081A (en) * 1987-05-22 1990-02-20 Viracon, Inc. Low emissivity, low shading coefficient low reflectance window
DE3825671A1 (de) * 1987-08-08 1989-03-02 Leybold Ag Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben
US5318685A (en) * 1987-08-18 1994-06-07 Cardinal Ig Company Method of making metal oxide films having barrier properties
JPH01114802A (ja) * 1987-10-28 1989-05-08 Toshiba Corp 光干渉膜
GB8900165D0 (en) * 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
GB8900166D0 (en) * 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
DE3906374A1 (de) * 1989-03-01 1990-09-06 Leybold Ag Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung
DE3940748A1 (de) * 1989-12-09 1991-06-13 Ver Glaswerke Gmbh Elektrisch beheizbare autoglasscheibe aus verbundglas
DE3942990A1 (de) * 1989-12-19 1991-06-20 Leybold Ag Belag, bestehend aus einem optisch wirkenden schichtsystem, fuer substrate, wobei das schichtsystem insbesondere eine hohe antireflexwirkung aufweist, und verfahren zur herstellung des belags
DE4006804A1 (de) * 1990-03-03 1991-09-05 Renker Gmbh & Co Kg Zweigniede Mehrschichtsystem mit hohem reflexionsvermoegen im infrarot-spektralbereich und mit hohem transmissionsvermoegen im sichtbaren bereich
DE69122554T2 (de) * 1990-07-05 1997-02-13 Asahi Glass Co Ltd Beschichtung mit geringem Emissionsvermögen
US5140457A (en) * 1990-11-13 1992-08-18 Bausch & Lomb Incorporated Reflector for display lighting
DE4135701C2 (de) * 1991-10-30 1995-09-28 Leybold Ag Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung
TW221703B (ja) * 1992-03-04 1994-03-11 Boc Group Inc
US5302449A (en) * 1992-03-27 1994-04-12 Cardinal Ig Company High transmittance, low emissivity coatings for substrates
US5296302A (en) * 1992-03-27 1994-03-22 Cardinal Ig Company Abrasion-resistant overcoat for coated substrates
DE4211363A1 (de) * 1992-04-04 1993-10-07 Leybold Ag Verfahren zum Herstellen von Scheiben mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung sowie durch das Verfahren hergestellte Scheiben
NO931606L (no) * 1992-05-26 1993-11-29 Saint Gobain Vitrage Vindusplate med en funksjonell film
FR2701475B1 (fr) * 1993-02-11 1995-03-31 Saint Gobain Vitrage Int Substrats en verre revêtus d'un empilement de couches minces, application à des vitrages à propriétés de réflexion dans l'infra-rouge et/ou à propriétés dans le domaine du rayonnement solaire.
CA2120875C (en) * 1993-04-28 1999-07-06 The Boc Group, Inc. Durable low-emissivity solar control thin film coating
DE4324576C1 (de) * 1993-07-22 1995-01-26 Ver Glaswerke Gmbh Verfahren zur Herstellung einer mit einer Mehrfachschicht versehenen Glasscheibe

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6413643B1 (en) 1998-02-06 2002-07-02 Nipon Sheet Glass Co., Ltd Sunlight shielding translucent glass panel and sunlight shielding translucent multilayer glass panel assembly
US6592996B1 (en) 1998-02-06 2003-07-15 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Solar-shading light-transmissive panel and solar-shading multi-layer light-transmissive panel using same
WO2007139029A1 (ja) * 2006-05-26 2007-12-06 Sony Corporation 透明積層膜及びその製造方法、並びに液体レンズ
JP2011175249A (ja) * 2010-01-29 2011-09-08 Sony Corp 光学体およびその製造方法
WO2019163811A1 (ja) * 2018-02-22 2019-08-29 三菱マテリアル株式会社 酸化物膜、酸化物膜の製造方法、及び、窒素含有酸化物スパッタリングターゲット
JP2022540483A (ja) * 2019-07-08 2022-09-15 ヴイディーアイ リミテッド ライアビリティ カンパニー 一方向及び双方向の波長選択的反射色発生のための誘電性薄膜コーティング

Also Published As

Publication number Publication date
DE59601582D1 (de) 1999-05-12
KR0171175B1 (ko) 1999-01-15
KR970001250A (ko) 1997-01-21
EP0747330B1 (de) 1999-04-07
DE19520843A1 (de) 1996-12-12
JP3998738B2 (ja) 2007-10-31
EP0747330A1 (de) 1996-12-11
US5962115A (en) 1999-10-05
ES2132805T3 (es) 1999-08-16
TW327657B (en) 1998-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08336928A (ja) 半透明の材料からなる平板ならびにその製造方法
JP4519136B2 (ja) 耐腐食性低放射率コーティング
EP1851354B2 (en) Method of making low-e coating using ceramic zinc inclusive target, and target used in same
EP3589596B1 (en) Coated article with low-e coating having protective doped silver or doped copper layer for protecting silver based ir reflecting layer(s), and method of making same
US7632572B2 (en) Double silver low-emissivity and solar control coatings
US6610410B2 (en) Glazing panel
EP3802448B1 (en) Coated article with ir reflecting layer(s) and silicon zirconium oxynitride layer(s) and method of making same
EP0622645A1 (en) Thin film coating and method of marking
JPH05221692A (ja) 可視スペクトル領域内で高い透過特性を有し、かつ熱放射に対して高い反射特性を有する板ガラスの製法及びその板ガラス
JPH0818849B2 (ja) 熱線遮蔽ガラス
EP3004015A2 (en) Low-emissivity glazing
JPS63247352A (ja) 反応性スパッタリングによる透明コーティング
EP3589592B1 (en) Coated article with low-e coating having ir reflecting system with silver and zinc based barrier layer(s)
JP2003502259A (ja) スパッター被覆物品のための保護層
WO2019186131A9 (en) Coated glass pane
CN110520390B (zh) 具有含掺杂银的ir反射层的低-e涂层的涂覆制品
JP2950886B2 (ja) 選択透過膜付きガラスの製造方法
KR20170086419A (ko) 저방사 유리 및 그의 제조방법
JPH03187955A (ja) 選択透過物品及びその製造方法
CN114430732A (zh) 具有吸收膜的低e可匹配涂覆制品及相应方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060308

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20060607

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20060612

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060907

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061215

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20070314

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20070319

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070614

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070801

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070808

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees