JPH08338574A - 管継手 - Google Patents
管継手Info
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- JPH08338574A JPH08338574A JP14779995A JP14779995A JPH08338574A JP H08338574 A JPH08338574 A JP H08338574A JP 14779995 A JP14779995 A JP 14779995A JP 14779995 A JP14779995 A JP 14779995A JP H08338574 A JPH08338574 A JP H08338574A
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Landscapes
- Joints With Pressure Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】締付力の大幅減少、パーティクルの完全排除。
【構成】袋ナット部材４０の雌ねじ４１の表面のうち少
くとも雄ねじ１１を螺合する部分にふっ素樹脂層４５を
形成した。
くとも雄ねじ１１を螺合する部分にふっ素樹脂層４５を
形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、管継手に関し、特に完
璧なシール性が求められる半導体工業分野に利用され
る。
璧なシール性が求められる半導体工業分野に利用され
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＩＣやＬＳＩ等の半導体工業分
野ではパーティクル（微粒子）等を排除したクリーンル
ームでの作業となり、製造作業の環境および条件は一段
と厳しいものとなっている。
野ではパーティクル（微粒子）等を排除したクリーンル
ームでの作業となり、製造作業の環境および条件は一段
と厳しいものとなっている。
【０００３】この製造作業において使用される特殊ガス
は、クリーンルーム外部より配管を通じてルーム内に導
入されるが、この特殊ガス中にパーティクル等が混入す
ることは極端に嫌われる。
は、クリーンルーム外部より配管を通じてルーム内に導
入されるが、この特殊ガス中にパーティクル等が混入す
ることは極端に嫌われる。
【０００４】このため、配管はもとより、配管同志を接
続する管継手の超精密度化が要求されている。また、高
圧ガス容器等の管継手の場合にも保安等の見地から完璧
なシール性が要求される。
続する管継手の超精密度化が要求されている。また、高
圧ガス容器等の管継手の場合にも保安等の見地から完璧
なシール性が要求される。
【０００５】従来の一般的な管継手は、図３に示すよう
に、一方配管１に密封取付けられた一方ピース１０の押
圧面１５と、他方配管２に密封取付けられた他方ピース
２０の押圧面２５との間に金属ガスケット３０を介装さ
せ、一方ピース１０に設けられた雄ねじ１１と他方ピー
ス２０に被嵌された袋ナット部材４０の雌ねじ４１とを
螺合させ、袋ナット部材４０を回動させて両ピース（１
０，２０）を軸線Ｐ方向に締付けることにより金属ガス
ケット３０を押圧して両配管（１，２）をシール接続す
るものとされている。
に、一方配管１に密封取付けられた一方ピース１０の押
圧面１５と、他方配管２に密封取付けられた他方ピース
２０の押圧面２５との間に金属ガスケット３０を介装さ
せ、一方ピース１０に設けられた雄ねじ１１と他方ピー
ス２０に被嵌された袋ナット部材４０の雌ねじ４１とを
螺合させ、袋ナット部材４０を回動させて両ピース（１
０，２０）を軸線Ｐ方向に締付けることにより金属ガス
ケット３０を押圧して両配管（１，２）をシール接続す
るものとされている。
【０００６】上記管継手においてシール性を高めるに
は、金属ガスケット３０に両ピース（１０，２０）の押
圧面（１５，２５）がある程度食い込むように、袋ナッ
ト部材４０による締付力を大きくする必要がある。
は、金属ガスケット３０に両ピース（１０，２０）の押
圧面（１５，２５）がある程度食い込むように、袋ナッ
ト部材４０による締付力を大きくする必要がある。
【０００７】ここにおいて、一方ピース１０の雄ねじ１
１等は、パーティクル排除のため完全脱脂処理してある
ので、袋ナット部材４０で締付ける際に雌ねじ４１にか
じりが生じないように、当該雌ねじ４１は銀鍍金されて
いる。
１等は、パーティクル排除のため完全脱脂処理してある
ので、袋ナット部材４０で締付ける際に雌ねじ４１にか
じりが生じないように、当該雌ねじ４１は銀鍍金されて
いる。
【０００８】すなわち、袋ナット部材４０の雌ねじ４１
は、図４に示すように、まず脱脂処理（Ａ’１）された
後、銅鍍金（Ａ’２），ニッケル鍍金（Ａ’３）され銀
鍍金（Ａ’４）される。そして、外観上の美観を図るた
め、袋ナット部材４０は、バレル研磨され，雌ねじ４１
を除いた外面部分の銀鍍金が剥がされる。
は、図４に示すように、まず脱脂処理（Ａ’１）された
後、銅鍍金（Ａ’２），ニッケル鍍金（Ａ’３）され銀
鍍金（Ａ’４）される。そして、外観上の美観を図るた
め、袋ナット部材４０は、バレル研磨され，雌ねじ４１
を除いた外面部分の銀鍍金が剥がされる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来の管継手では、完璧シールを達成するには，袋ナット
部材４０をレンチ等で回動させて両ピース（１０，２
０）を強い力（例えば、２７０〜３５０ｋｇｆ・ｃｍ）
で締付けなければならないが、配管場所によっては作業
者が強い力で締付けることが困難なこともあり、作業性
の観点から改善が強く求められている。
来の管継手では、完璧シールを達成するには，袋ナット
部材４０をレンチ等で回動させて両ピース（１０，２
０）を強い力（例えば、２７０〜３５０ｋｇｆ・ｃｍ）
で締付けなければならないが、配管場所によっては作業
者が強い力で締付けることが困難なこともあり、作業性
の観点から改善が強く求められている。
【００１０】また、袋ナット部材４０を回動させて両ピ
ース（１０，２０）を強く締付けた場合に、雌ねじ４１
から銀鍍金の一部が剥がれパーティクルとなって配管
（１，２）のガス流路中に混入してしまうという致命的
な事態が生じることがある。
ース（１０，２０）を強く締付けた場合に、雌ねじ４１
から銀鍍金の一部が剥がれパーティクルとなって配管
（１，２）のガス流路中に混入してしまうという致命的
な事態が生じることがある。
【００１１】本発明の目的は、上記事情に鑑み、完璧シ
ールを達成するのに必要な締付力を大幅に減少させるこ
とができ、かつパーティクルを完全排除することができ
る管継手を提供することにある。
ールを達成するのに必要な締付力を大幅に減少させるこ
とができ、かつパーティクルを完全排除することができ
る管継手を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、一方ピースに
設けられた雄ねじと、他方ピースに被嵌された袋ナット
部材の雌ねじとを螺合させ、袋ナット部材を回動させて
一方ピースと他方ピースとを締付けることにより両ピー
ス間に介装されたガスケットを押圧して両ピースをシー
ル接続する管継手において、前記袋ナット部材の雌ねじ
表面のうち少くとも前記雄ねじと螺合する部分にふっ素
樹脂層を形成したことを特徴とする。
設けられた雄ねじと、他方ピースに被嵌された袋ナット
部材の雌ねじとを螺合させ、袋ナット部材を回動させて
一方ピースと他方ピースとを締付けることにより両ピー
ス間に介装されたガスケットを押圧して両ピースをシー
ル接続する管継手において、前記袋ナット部材の雌ねじ
表面のうち少くとも前記雄ねじと螺合する部分にふっ素
樹脂層を形成したことを特徴とする。
【００１３】
【作用】上記構成による本発明では、袋ナット部材の雌
ねじと一方ピースの雄ねじとを螺合させた状態で当該袋
ナット部材を回動させて一方ピースと他方ピースとを締
付ける際、雌ねじの雄ねじと螺合する部分にはふっ素樹
脂層が形成されているので、従来の銀鍍金に比べて両ね
じ間に発生する摩擦力は大幅に減少する。
ねじと一方ピースの雄ねじとを螺合させた状態で当該袋
ナット部材を回動させて一方ピースと他方ピースとを締
付ける際、雌ねじの雄ねじと螺合する部分にはふっ素樹
脂層が形成されているので、従来の銀鍍金に比べて両ね
じ間に発生する摩擦力は大幅に減少する。
【００１４】そのため、完璧シールを達成するのに必要
な締付け力を大幅に減少させることができる。また、ふ
っ素樹脂層は、雌ねじ表面に強く密着しており、上記し
たように締付力も大きくする必要がないので、締付時に
剥離されることはなくパーティクルとして配管中のガス
流路に混入してしまうこともない。
な締付け力を大幅に減少させることができる。また、ふ
っ素樹脂層は、雌ねじ表面に強く密着しており、上記し
たように締付力も大きくする必要がないので、締付時に
剥離されることはなくパーティクルとして配管中のガス
流路に混入してしまうこともない。
【００１５】したがって、完璧シールを達成するのに必
要な締付力を大幅に減少させることができ、かつパーテ
ィクルを完全排除することができる。
要な締付力を大幅に減少させることができ、かつパーテ
ィクルを完全排除することができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本管継手は、図１および図２に示す如く、基本的
構成は従来例（図３）と同様とされているが、袋ナット
部材４０の雌ねじ４１にふっ素樹脂層４５を設け、当該
袋ナット部材４０による締付力の大幅減少とパーティク
ルの完全排除とを達成可能に構成されている。
する。本管継手は、図１および図２に示す如く、基本的
構成は従来例（図３）と同様とされているが、袋ナット
部材４０の雌ねじ４１にふっ素樹脂層４５を設け、当該
袋ナット部材４０による締付力の大幅減少とパーティク
ルの完全排除とを達成可能に構成されている。
【００１７】なお、従来例（図３）と共通する構成要素
については同一の符号を付し、その説明を簡略化または
省略する。
については同一の符号を付し、その説明を簡略化または
省略する。
【００１８】本発明の特徴部であるふっ素樹脂層４５
は、袋ナット部材４０の雌ねじ４１の表面のうち少くと
も雄ねじ１１と螺合する部分〔図１（Ａ）中、長さＬ１
範囲部分〕に形成されている。この実施例では、雌ねじ
４１の表面全域〔同図中、長さＬ範囲部分〕にふっ素樹
脂層４５を形成している。
は、袋ナット部材４０の雌ねじ４１の表面のうち少くと
も雄ねじ１１と螺合する部分〔図１（Ａ）中、長さＬ１
範囲部分〕に形成されている。この実施例では、雌ねじ
４１の表面全域〔同図中、長さＬ範囲部分〕にふっ素樹
脂層４５を形成している。
【００１９】すなわち、袋ナット部材４０の雌ねじ４１
は、図２に示すように、まず脱脂処理（Ａ１）され、次
にふっ素樹脂（例えば、四ふっ化エチレン樹脂を含有し
た液体）の吹き付け（Ａ２）がスプレー等を用いてなさ
れる。吹付後、熱処理（Ａ３）され加熱硬化される。こ
れにより、図１（Ｂ）に示すように、雌ねじ４１の表面
に滑り感のある低摩擦な所定厚さ（例えば、８〜１５μ
ｍ）のふっ素樹脂層４５が形成される。
は、図２に示すように、まず脱脂処理（Ａ１）され、次
にふっ素樹脂（例えば、四ふっ化エチレン樹脂を含有し
た液体）の吹き付け（Ａ２）がスプレー等を用いてなさ
れる。吹付後、熱処理（Ａ３）され加熱硬化される。こ
れにより、図１（Ｂ）に示すように、雌ねじ４１の表面
に滑り感のある低摩擦な所定厚さ（例えば、８〜１５μ
ｍ）のふっ素樹脂層４５が形成される。
【００２０】ここにおいて、四ふっ化エチレン樹脂を含
有した液体は、加熱硬化後、半光沢の堅い皮膜となり、
耐折曲性，耐衝撃性に優れた特性を示す。静摩擦係数は
０．０６〜０．０８と極めて小さい。
有した液体は、加熱硬化後、半光沢の堅い皮膜となり、
耐折曲性，耐衝撃性に優れた特性を示す。静摩擦係数は
０．０６〜０．０８と極めて小さい。
【００２１】なお、図１（Ａ）中、８はスラストベアリ
ングで、袋ナット部材４０の内面と他方ピース２０との
間に軸方向力は伝達するが回転力は伝達しない手段とし
て介装されている。これにより、両ピース（１０，２
０）および金属ガスケット３０に捩じり変形を生じさせ
ることなく、一定値以上の締付力を確保することができ
る。
ングで、袋ナット部材４０の内面と他方ピース２０との
間に軸方向力は伝達するが回転力は伝達しない手段とし
て介装されている。これにより、両ピース（１０，２
０）および金属ガスケット３０に捩じり変形を生じさせ
ることなく、一定値以上の締付力を確保することができ
る。
【００２２】上記構成により、袋ナット部材４０の雌ね
じ４１と一方ピース１０の雄ねじ１１とを螺合させ、そ
の状態で袋ナット部材４０をレンチ等を用いて回動させ
て一方ピース１０と他方ピース２０とを締付ける際、両
ねじ（１１，４１）間に発生する摩擦力はふっ素樹脂層
４５によって従来に比べて大幅に減少する。そのため、
小さな締付力（例えば、１３５〜１６０ｋｇｆ・ｃｍ）
で金属ガスケット３０を十分に押圧して完璧シールを達
成することができる。
じ４１と一方ピース１０の雄ねじ１１とを螺合させ、そ
の状態で袋ナット部材４０をレンチ等を用いて回動させ
て一方ピース１０と他方ピース２０とを締付ける際、両
ねじ（１１，４１）間に発生する摩擦力はふっ素樹脂層
４５によって従来に比べて大幅に減少する。そのため、
小さな締付力（例えば、１３５〜１６０ｋｇｆ・ｃｍ）
で金属ガスケット３０を十分に押圧して完璧シールを達
成することができる。
【００２３】このように、従来に比べて締付力を大幅に
減少することができるので、例えば本管継手が高所に配
設され締付けにくい場合でも完璧シールを達成すること
ができる。また、ふっ素樹脂層４５は、雌ねじ４１の表
面に強く密着しているので、締付力を大きくしないで済
むことと相俟って、締付時に一部が剥離しパーティクル
として配管（１，２）中に混入してしまうようなことも
ない。
減少することができるので、例えば本管継手が高所に配
設され締付けにくい場合でも完璧シールを達成すること
ができる。また、ふっ素樹脂層４５は、雌ねじ４１の表
面に強く密着しているので、締付力を大きくしないで済
むことと相俟って、締付時に一部が剥離しパーティクル
として配管（１，２）中に混入してしまうようなことも
ない。
【００２４】したがって、完璧シールを達成するのに必
要な締付力を大幅に減少させることができ、かつパーテ
ィクルを完全排除することができる。
要な締付力を大幅に減少させることができ、かつパーテ
ィクルを完全排除することができる。
【００２５】また、従来の銀鍍金では、ステンレス鋼等
から形成された袋ナット部材４０の表面と同様な光沢を
しており、銀鍍金されているか否か、銀鍍金の品質等を
目視で確認するのは至難であったが、ふっ素樹脂層４５
は加熱硬化後半光沢となるので、雌ねじ４１にふっ素樹
脂層４５が形成されているか否か、その品質等を目視に
より容易に確認することができる。
から形成された袋ナット部材４０の表面と同様な光沢を
しており、銀鍍金されているか否か、銀鍍金の品質等を
目視で確認するのは至難であったが、ふっ素樹脂層４５
は加熱硬化後半光沢となるので、雌ねじ４１にふっ素樹
脂層４５が形成されているか否か、その品質等を目視に
より容易に確認することができる。
【００２６】四ふっ化エチレン樹脂を含有した液体に顔
料ペーストを添加して、ふっ素樹脂層４５を着色しても
よい。これにより、ふっ素樹脂層４５の形成の有無およ
び品質等を一段と簡単に目視により確認できる。
料ペーストを添加して、ふっ素樹脂層４５を着色しても
よい。これにより、ふっ素樹脂層４５の形成の有無およ
び品質等を一段と簡単に目視により確認できる。
【００２７】なお、上記実施例では、ふっ素樹脂層４５
を四ふっ化エチレン樹脂を利用して形成したが、これ以
外のふっ素樹脂を用いて形成してもよい。
を四ふっ化エチレン樹脂を利用して形成したが、これ以
外のふっ素樹脂を用いて形成してもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、袋ナット部材の雌ねじ
の表面のうち少くとも雄ねじと螺合する部分にふっ素樹
脂層を形成したので、完璧シールを達成するのに必要な
締付力を大幅に減少させることができ、かつパーティク
ルを完全排除することができる。
の表面のうち少くとも雄ねじと螺合する部分にふっ素樹
脂層を形成したので、完璧シールを達成するのに必要な
締付力を大幅に減少させることができ、かつパーティク
ルを完全排除することができる。
【図１】本発明の実施例を説明するための面である。
【図２】同じく、ふっ素樹脂層を形成するための工程を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図３】管継手の従来構成を説明するための図である。
【図４】同じく、袋ナット部材の雌ねじに銀鍍金する工
程を説明するための図である。
程を説明するための図である。
１０ 一方ピース １１ 雄ねじ ２０ 他方ピース ３０ 金属ガスケット ４０ 袋ナット部材 ４１ 雌ねじ ４５ ふっ素樹脂層
Claims (1)
- 【請求項１】 一方ピースに設けられた雄ねじと、他方
ピースに被嵌された袋ナット部材の雌ねじとを螺合さ
せ、袋ナット部材を回動させて一方ピースと他方ピース
とを締付けることにより両ピース間に介装されたガスケ
ットを押圧して両ピースをシール接続する管継手におい
て、 前記袋ナット部材の雌ねじ表面のうち少くとも前記雄ね
じと螺合する部分にふっ素樹脂層を形成したことを特徴
とする管継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14779995A JPH08338574A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 管継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14779995A JPH08338574A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 管継手 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08338574A true JPH08338574A (ja) | 1996-12-24 |
Family
ID=15438483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14779995A Pending JPH08338574A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 管継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08338574A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1144443A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | クリーンルーム、半導体素子製造方法、半導体素子製造用処理室、半導体素子製造装置および半導体素子用部材の洗浄方法 |
| KR20140050557A (ko) * | 2012-10-19 | 2014-04-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 파이프 조인트 |
-
1995
- 1995-06-14 JP JP14779995A patent/JPH08338574A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1144443A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | クリーンルーム、半導体素子製造方法、半導体素子製造用処理室、半導体素子製造装置および半導体素子用部材の洗浄方法 |
| KR20140050557A (ko) * | 2012-10-19 | 2014-04-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 파이프 조인트 |
| CN103775759A (zh) * | 2012-10-19 | 2014-05-07 | 株式会社富士金 | 管接头 |
| JP2014084886A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Tokyo Electron Ltd | 管継手 |
| US9371946B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-06-21 | Tokyo Electron Limited | Pipe joint |
| TWI573947B (zh) * | 2012-10-19 | 2017-03-11 | 東京威力科創股份有限公司 | 管接頭 |
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Legal Events
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