JPH08339775A - 試料に対する精密作業を行う装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目 的】 電子顕微鏡等の壁部材（鏡筒）に連結され
るセンサ冷却用冷媒容器内の液状冷媒の泡の発生および
液面の変化等に基づいて振動が発生する際、前記壁部材
に支持された電子レンズ等の精密作業機器および試料に
伝達される前記振動を減少させること。 【構 成】 基礎部材２により支持されるとともに内部
に真空の試料収容部が設けられた壁部材５と、前記壁部
材５に支持されるとともに前記壁部材５の内外を連通さ
せるセンサ挿入孔３９が形成された挿入孔形成部材３２
と、前記基礎部材２に絶縁部材２１を介して支持され且
つ前記挿入孔形成部材３２の外端部に絶縁材３４を介し
て連結された連結部材２３と、前記センサ挿入孔３９を
貫通して内端部にセンサＳを支持する棒状の高伝熱率の
センサ支持部材４８と、を備えた試料に対する精密作業
機器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、内部が真空に保持され
た壁部材（鏡筒等）内部の試料収容部に保持された試料
に対する精密作業を行う装置（電子顕微鏡装置、電子、
Ｘ線等を用いた分析装置、等）に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記電子顕微鏡等のような、試料収容部
に保持された試料に対する精密作業を行う装置において
は、試料から放射されるＸ線等を検出するためのセンサ
を前記壁部材内部に挿入して作業が行われる。例えばＥ
ＤＳ（エネルギー分散形Ｘ線分析）においては、試料か
ら放出されるＸ線を検出するセンサおよびセンサ冷却装
置等を前記壁部材（鏡筒等）に直接取り付けて使用して
いる。最近、この種の試料に対する精密作業を行う装置
の性能が向上したことにより、今まで問題となっていな
かった振動が問題となっている。例えば、冷却装置の冷
媒である液体窒素のバブリング（冷媒容器内の液体窒素
の泡の発生等）および液面変化等に起因して発生する振
動が前記壁部材（鏡筒）から、前記壁部材に支持された
試料、電子レンズ等に伝達され、装置の性能に悪影響が
出るようになった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記問題
点に鑑み、前記壁部材に支持された挿入孔形成部材の挿
入孔を通って出入されるセンサやセンサ冷却用の液状冷
媒を収容する冷媒容器等の分析用部材を支持する連結部
材を前記壁部材に連結した装置において、液状冷媒の泡
の発生に基づく振動の影響を減少させる研究を行った。
その結果、前記連結部材を前記壁部材（鏡筒等）とは別
の基礎部材によって支持することにより前記液状冷媒の
泡の発生に基づく振動の影響を減少できることを実験に
より確かめた。前記液状冷媒の泡の発生に基づいて発生
する振動の一部は、前記基礎部材に伝達され吸収され
る。このため、前記連結部材、挿入孔形成部材を介して
前記壁部材に伝達される振動が減少される。このため、
前記壁部材（鏡筒等）およびその壁部材に支持された試
料ホルダ、電子レンズ等の振動が低減されることにな
る。

【０００４】本発明は、前述の研究結果に鑑み、下記の
記載内容を課題とする。（Ｏ01）電子顕微鏡等の壁部材
（鏡筒）に連結されるセンサ冷却用冷媒容器内の液状冷
媒の泡の発生および液面の変化等に基づいて振動が発生
する際、前記壁部材に支持された電子レンズ等の精密作
業機器および試料に伝達される前記振動を減少させるこ
と。

【０００５】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００６】前記課題を解決するために、本発明の試料
に対する精密作業を行う装置は、下記の要件を備えたこ
とを特徴とする、（Ｙ01）基礎部材（２）により支持さ
れるとともに内部に真空の試料収容部が設けられた壁部
材（５）、（Ｙ02）前記壁部材（５）に支持されるとと
もに前記壁部材（５）の内外を連通させるセンサ挿入孔
（３９）が形成された挿入孔形成部材（３２）、（Ｙ0
3）前記基礎部材（２）に絶縁部材（２１）を介して支
持され且つ前記挿入孔形成部材（３２）の外端部に絶縁
材（３４）を介して連結された連結部材（２３）、（Ｙ
04）前記センサ挿入孔（３９）を貫通して内端部にセン
サ（Ｓ）を支持する棒状の高伝熱率のセンサ支持部材
（４８）と、内部に液状冷媒を収容した冷媒容器（４
６）と、前記センサ支持部材（４８）の熱を冷媒容器
（４６）内の冷媒に伝達する伝熱手段（４９）とを有
し、前記連結部材（２３）によって前記センサ挿入孔
（３９）の軸線方向に移動可能に支持された移動部材
（４４〜４９）、（Ｙ05）前記センサ支持部材（４８）
が前記センサ挿入孔（３９）を貫通する状態で前記セン
サ挿入孔（３９）を外部に対して密封する密封手段（５
０）。

【０００７】

【作用】次に、前述の特徴を備えた本発明の作用を説明
する。前述の特徴を備えた本出願の第１発明の試料に対
する精密作業を行う装置では、基礎部材（２）により支
持されるとともに内部に真空の試料収容部が設けられた
壁部材（５）は、前記壁部材（５）の内外を連通させる
センサ挿入孔（３９）が形成された挿入孔形成部材（３
２）を支持する。連結部材（２３）は、前記基礎部材
（２）に絶縁部材（２１）を介して支持され且つ前記挿
入孔形成部材（３２）の外端部に絶縁材（３４）を介し
て連結される。前記連結部材（２３）によって前記セン
サ挿入孔（３９）の軸線方向に移動可能に支持された移
動部材（４４〜４９）は、前記センサ挿入孔（３９）を
貫通して内端部にセンサ（Ｓ）を支持する棒状の高伝熱
率のセンサ支持部材（４８）と、内部に液状冷媒を収容
した冷媒容器（４６）と、前記センサ支持部材（４８）
および冷媒容器（４６）を接続する伝熱性の良い接続部
材とを有している。

【０００８】したがって、前記移動部材（４４〜４９）
の冷媒容器（４６）内の液状冷媒の泡の発生および液面
変化等により発生した振動は、移動部材（４４〜４９）
から連結部材（２３）に伝達される。前記連結部材（２
３）は絶縁部材（２１）を介して基礎部材（２）に支持
されているので、連結部材（２３）の振動の一部は基礎
部材（２）により吸収される。このため、連結部材（２
３）から挿入孔形成部材（３２）を介して壁部材（５）
に伝達される振動は低減されることになる。したがっ
て、壁部材（５）に支持された要素（試料収容部材およ
び電子レンズ等）の振動を低減することができる。ま
た、センサ支持部材（４８）の振動も低減することがで
きるので、センサ支持部材（４８）先端に保持されたセ
ンサ（Ｓ）の振動を低減することができる。また、密封
手段（５０）は、前記センサ支持部材（４８）が前記セ
ンサ挿入孔（３９）を貫通する状態で前記センサ挿入孔
（３９）の外側部を密封する。このため、前記壁部材
（５）内部を真空に保持することが可能となる。

【０００９】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例の
試料に対する精密作業を行う装置を説明するが、本発明
は以下の実施例に限定されるものではない。 （実施例）図１は本発明の一実施例の試料に対する精密
作業を行う装置としてＥＤＳ装置を装着した電子顕微鏡
の正面図である。図２は同実施例の側面図である。図３
は同実施例の要部拡大平面図である。図４は前記図１の
IＶ−IＶ線断面図である。図５は前記図４のＶ−Ｖ線断
面図である。図６は支持板１８上に絶縁部材２１を介し
てＥＤＳ支持部材（連結部材）２３を支持する構造の説
明図である。図７は前記支持板１８上にＥＤＳ支持部材
２３を固定する構造の説明図で、図７Ａは平面図、図７
Ｂは前記図７ＡのＶIIＢ−ＶIIＢ線断面図である。図８
は前記支持板１８上にＥＤＳ支持部材２３を固定する構
成の斜視図である。

【００１０】図１において、床１上に支持された基礎部
材２は、上端部にベースプレート３を有している。前記
ベースプレート３によって電子顕微鏡本体４が支持され
ている。図４，５において、前記電子顕微鏡本体４は、
内部が真空に保持される鉛直な円筒状の鏡筒（壁部材）
５を有している。また、電子顕微鏡本体４は、上下方向
の中間部にゴニオメータ６を有している。ゴニオメータ
６は、鏡筒（壁部材）５に保持されたホルダ支持部材７
を有しており、ホルダ支持部材７は、ホルダ貫通孔７a
を有している。ホルダ貫通孔７aは電子顕微鏡本体４を
内外に貫通して形成されている。前記ホルダ支持部材７
のホルダ貫通孔７a内に挿入された試料ホルダＨは、直
交する３軸周りに所定の角度範囲で回転自在に支持され
る。図４において、電子顕微鏡本体４の前記ホルダ支持
部材７と反対側には試料ホルダＨの内端が当接するホル
ダ位置決め部材８および前記ホルダ位置決め部材８の位
置を調整する位置調整装置９等が配置されている。前記
位置調整装置９および前記ゴニオメータ６等により前記
試料ホルダＨ先端部に保持された試料は電子顕微鏡本体
４の中心軸上に配置されるようになっている。なお、前
記ホルダ位置決め部材８、位置調整装置９および前記ゴ
ニオメータ６等の構成としては従来公知の種々の構成を
採用することができる。

【００１１】前記鏡筒部材（壁部材）５を有する電子顕
微鏡本体４の上端部に設けられた電子銃（図示せず）か
ら出射した電子ビームが前記試料ホルダＨ先端部に保持
された試料に照射されたときに、試料からは２次Ｘ線が
放出される。図４に示すように、２次Ｘ線を検出するＥ
ＤＳセンサＳは、電子顕微鏡本体４の軸線（鏡筒部材の
中心線）に対して前記試料ホルダＨから９０°ずれた位
置に配置される。

【００１２】次に、前記ＥＤＳセンサＳの支持構造につ
いて説明する。図２において、前記ベースプレート３上
には支柱１１の下端が固定支持されている。支柱１１上
端には支持台１２が固定支持されている。支持台１２
は、前記支柱１１上端外側に配置される円筒部材１３、
この円筒部材１３上端に固着された平板部材１４、およ
び前記円筒部材１３および平板部材１４を連結する補強
部材１５を有している。前記円筒部材１３の外周には、
前記支柱１１の外周に先端が当接する上下一対の姿勢調
整ネジ１６，１６が設けられている。また、平板部材１
４には、支柱１１上端面に先端が当接する上下位置調整
ネジ１７が設けられている。前記支持台１２の平板部材
１４上には支持板１８が４本のネジ１９により固定支持
されている。

【００１３】前記支持板１８上に配置されたジュラコン
（登録商標）により構成された合計４個の絶縁部材２１
（図６参照）は、下方に突出するネジ部分２１aがナッ
ト２２により支持板１８に固定されている。前記絶縁部
材２１上にはＥＤＳ支持部材（連結部材）２３が載置さ
れている。このＥＤＳ支持部材２３は、図２〜８に示す
ように、前記電子顕微鏡本体４に向かって延びる底板２
４およびその長手方向両端部に設けられた垂直壁２５，
２６を有している。なお、前記電子顕微鏡本体４に接近
して配置された前記垂直壁２５を前側垂直壁２５とい
い、電子顕微鏡本体４から離れて配置されている垂直壁
２６を後側垂直壁２６ということにする。底板２４はそ
の長手方向に沿って両側縁に高さの低い段部２４a，２
４a（図７参照）が設けられている。

【００１４】図７において、前記支持板１８上には、前
記ＥＤＳ支持部材２３を固定するための４個の固定部材
２７が配置されている。固定部材２７は絶縁材（例えば
シュラコン）により構成された凸型固定部材２８および
押圧部材２９を有している。凸型固定部材２８は中央部
上面に円柱状突出部２８aを有しており、円柱状突出部
２８aにはネジ孔が形成されている。前記押圧部材２９
は前記円柱状突出部２８aのネジ孔にねじ込まれるネジ
部２９aおよび円柱状の押圧部２９bを有している。前記
固定部材２７の凸型固定部材２８は、円柱状突出部２８
aの両側に設けたネジ貫通孔２８b，２８b（図７Ａ参
照）を貫通するネジ３１，３１を用いて支持板１８上に
固定されている。そして、前記４個の各固定部材２７の
各押圧部２９bが前記底板２４の段部２４aを下方に押圧
することにより、前記ＥＤＳ支持部材２３は前記支持板
１８上の４個の絶縁部材２１（図６，７Ｂ参照）上に固
定されている。したがって、ＥＤＳ支持部材２３は、前
記支持板１８に対して絶縁された状態で固定されてい
る。

【００１５】図４，５において、前記ＥＤＳ支持部材２
３の前側垂直壁２５は、前記電子顕微鏡本体４に装着さ
れたＥＤＳホルダ（挿入孔形成部材）３２の外端に設け
られたフランジ３３に連結されている。すなわち、図４
に示すように、フランジ３３と前記前側垂直壁２５との
間に絶縁材３４を配置し、且つそれらの外側にも絶縁材
３５，３６を配置して、前記絶縁材３５，３６の外側を
挟持部材３７，３８により挟持することにより前記前側
垂直壁２５をフランジ３３に連結する。前記絶縁材３４
〜３６および挟持部材３７，３８によりＥＤＳ支持部材
２３は、前記電子顕微鏡本体４およびＥＤＳホルダ３２
に対して絶縁されている。前記ＥＤＳホルダ３２、フラ
ンジ３３、絶縁材３４〜３６、および前記前側垂直壁２
５にはそれぞれ孔が形成されており、それらの孔は連続
してセンサ挿入孔３９を形成している。前記センサ挿入
孔３９は、ＥＤＳセンサＳを電子顕微鏡本体４の外側か
ら内側に挿入するための孔である。

【００１６】前記ＥＤＳ支持部材２３の前側垂直壁２５
および後側垂直壁２６にはスクリューシャフト４２が回
転自在に支持されている。このスクリューシャフト４２
は後側垂直壁２６に固着されたモータユニット４３によ
って正逆両方に回転制御されるようになっている。図
２，５に示すように、スクリューシャフト４２にはナッ
トブロック４４が螺合しており、このナットブロック４
４はスクリューシャフト４２が回転するとスクリューシ
ャフト４２に沿って移動するようになっている。前記ナ
ットブロック４４には、冷媒容器４６の下端に設けられ
たセンサケース４７が固着されている。前記センサケー
ス４７内側には、先端部にＥＤＳセンサＳを支持する棒
状のセンサ支持部材４８が支持されている。前記棒状の
センサ支持部材４８は伝熱率の高い金属例えばアルミに
より構成されている。

【００１７】前記冷媒容器４６内には液体窒素が充填さ
れている。冷媒容器４６底面と前記センサ支持部材４８
の後端との間には連通管４９が設けられており、連通管
４９内には冷媒容器４６内の液体窒素が充填されてい
る。この液体窒素が充填された連通管４９は、センサ支
持部材４８の熱を冷媒容器４６内の冷媒に伝達する伝熱
手段としての機能を有している。したがって、ＥＤＳセ
ンサＳを支持するセンサ支持部材４８先端部の熱量は高
伝熱率のセンサ支持部材４８を伝導して、連通管４９お
よび冷媒容器４６内の液体窒素（冷媒）に吸収されるよ
うになっている。このように、ＥＤＳセンサＳを冷却す
る理由を次に説明する。すなわち、ＥＤＳセンサＳ（半
導体検出素子）にＸ線が入射すると、電子正孔対を作
り、Ｘ線の検出に寄与する。しかし、常温では半導体検
出素子は熱エネルギによって同様の現象が起こってお
り、正確なＸ線の検出ができない。この影響を避けるた
めに検出素子を冷却するのである。

【００１８】センサ支持部材４８の外側には円筒状のジ
ャバラ構造を有する金属製の伸縮自在カバー５０が設け
られている。伸縮自在カバー５０の前端は前側垂直壁２
５に気密に連結され、後端はセンサケース４７に気密に
連結されている。したがって、前記伸縮自在カバー５０
により、センサ挿入孔３９および電子顕微鏡本体４内は
外部に対して気密に保持されるようになっている。すな
わち、伸縮自在カバー５０は密封手段としての機能を有
している。そして、前記スクリューシャフト４２を回転
駆動してナットブロック４４を移動させると、ナットブ
ロック４４、冷媒容器４６、センサケース４７、センサ
支持部材４８、および連通管４９等により構成される移
動部材（４４〜４９）が、前記伸縮自在カバー５０を伸
縮させながら移動するように構成されている。

【００１９】（実施例の作用）次に、前述の構成を備え
た本発明の実施例の作用を説明する。前記図４，５に示
すゴニオメータ６および位置調整装置９等によって、前
記試料ホルダＨの姿勢および位置を調整する。そして、
試料ホルダＨ先端部に保持された試料を、電子顕微鏡本
体４内の所定位置に保持する。前記ＥＤＳ支持部材２３
の前記前側垂直壁２５を電子顕微鏡本体４に装着された
前記ＥＤＳホルダ３２のフランジ３３に絶縁材３４〜３
６および挟持部材３７，３８により連結する。この場
合、ＥＤＳ支持部材２３は電子顕微鏡本体４およびＥＤ
Ｓホルダ３２に対して絶縁される。

【００２０】また、前記４個の絶縁部材２１および固定
部材２７により、ＥＤＳ支持部材２３を支持板１８に固
定する。支持板１８は、前記支持台１２の平板部材１４
上に固定されているので、前記支持台１２の高さおよび
姿勢を調整することにより、位置を調節される。すなわ
ち、ベースプレート３に支持された支柱１１上の支持台
１２の高さは上下位置調整ネジ１７により調整され、支
持台１２の姿勢は、上下一対の姿勢調整ネジ１６，１６
により調整される。このようにして、支持台１２上の前
記支持板１８に支持されたＥＤＳ支持部材２３の位置が
調整される。この支持板１８上において前記４個の絶縁
部材２１および固定部材２７により固定されたＥＤＳ支
持部材２３は、支持板１８およびベースプレート３等に
対して絶縁されている。

【００２１】したがって、前記ＥＤＳ支持部材２３に支
持された冷媒容器４６、センサケース４７、センサ支持
部材４８、およびＥＤＳセンサＳ等は、前記ベースプレ
ート３、電子顕微鏡本体４等に対して電気的に絶縁状態
にある。このように、ＥＤＳセンサＳ側を本体側に対し
て絶縁する理由は、両者間の電位差により電流が生じ
て、ノイズが発生し検出器の性能が低下するのを防止す
るためである。

【００２２】前記モータユニット４３を回転駆動して、
スクリューシャフト４２を回転させ、前記ナットブロッ
ク４４をスクリューシャフト４２に沿って進退移動させ
ると、ナットブロック４４、センサケース４７、および
冷媒容器４６等の移動部材（４４〜４９）の位置は電子
顕微鏡本体４に対して進退移動する。このとき、センサ
ケース４７に支持されたセンサ支持部材４８は前記セン
サ挿入孔３９内で進退移動する。したがって、前記モー
タユニット４３により、ナットブロック４４を進退移動
させることにより、センサ支持部材４８の内端部に配置
したＥＤＳセンサＳの位置を調節する。

【００２３】前記試料ホルダＨ先端部の試料およびＥＤ
ＳセンサＳを所定位置に保持した状態で、前記試料に電
子ビームを照射してＥＤＳ分析を行う。ＥＤＳ分析の作
業中、前記試料から２次Ｘ線が放出される。この２次Ｘ
線は前記ＥＤＳセンサＳによって検出される。この検出
信号は、センサ支持部材４８に沿って設けられた図示し
ない信号ケーブルを通って図示しない検出回路に伝送さ
れ、ＥＤＳ分析に使用される。前記ＥＤＳ分析の作業
中、前記冷媒容器４６内の冷媒（液体窒素）が気化して
気泡が発生したり、気泡が冷媒の液面から出たりすると
きに、冷媒が振動し、この振動が冷媒容器４６を介して
センサケース４７等に伝達される。

【００２４】センサケース４７は、ナットブロック４４
に固着され、このナットブロック４４はスクリューシャ
フト４２に支持され、スクリューシャフト４２はＥＤＳ
支持部材２３により支持されているので、前記冷媒から
冷媒容器４６を介してセンサケース４７に伝達された振
動は、ＥＤＳ支持部材２３に伝達され、さらに支持板１
８、支持台１２、ベースプレート３、基礎部材２等に伝
達され、それらの部材により吸収される。したがって、
前記冷媒で発生した振動のうちで、前記センサケース４
７からセンサ支持部材４８を介して前記ＥＤＳセンサＳ
およびセンサケース４７からナットブロック４４、ＥＤ
Ｓ支持部材２３、およびＥＤＳホルダ３２等を介して電
子顕微鏡本体４に伝達される振動を小さくすることがで
きるので、ＥＤＳ分析に対する振動の影響を小さくする
ことができる。このため、高精度のＥＤＳ分析を行うこ
とが可能となる。

【００２５】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。

【００２６】（Ｈ01）床１上に支持された基礎部材２上
端部のベースプレート３は、前記床１に対して弾性ブロ
ック、バネ等の振動吸収部材を介して支持することが可
能である。 （Ｈ02）前記支柱１１下端は、ベースプレート３を貫通
させて基礎部材２に直接支持させることが可能である。

【００２７】

【発明の効果】前述の本発明の試料に対する精密作業を
行う装置は、下記の効果を奏することができる。 （Ｏ01）電子顕微鏡等の壁部材（鏡筒）に連結されるセ
ンサ冷却用の冷媒容器内の液状冷媒の気泡の発生および
液面の変化等に基づいて振動が発生する際、前記壁部材
に支持された電子レンズ等の精密作業機器および試料に
伝達される前記振動を減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の一実施例の試料に対する精密
作業を行う装置としてＥＤＳ装置装着した電子顕微鏡の
正面図である。

【図２】 図２は同実施例の側面図である。

【図３】 図３は同実施例の要部拡大平面図である。

【図４】 図４は前記図１のIＶ−IＶ線断面図である。

【図５】 図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】 図６は支持板１８上にＥＤＳ支持部材２３を
絶縁部材２１を介して支持する構造の説明図である。

【図７】 図７は前記支持板１８上にＥＤＳ支持部材２
３を固定する構造の説明図で、図７Ａは平面図、図７Ｂ
は前記図７ＡのＶIIＢ−ＶIIＢ線断面図である。

【図８】 図８は前記支持板１８上にＥＤＳ支持部材２
３を固定する構成の斜視図である。

【符号の説明】

Ｓ…センサ（ＥＤＳセンサ）、２…基礎部材、５…壁部
材、２１…絶縁部材、２３…連結部材（ＥＤＳ支持部
材）、３２…挿入孔形成部材（ＥＤＳホルダ）、３４…
絶縁材、３９…センサ挿入孔、４６…冷媒容器、４８…
センサ支持部材、４９…伝熱手段、（４４〜４９）…移
動部材、５０…密封手段、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたことを特徴とする試
   料に対する精密作業を行う装置、（Ｙ01）基礎部材によ
   り支持されるとともに内部に真空の試料収容部が設けら
   れた壁部材、（Ｙ02）前記壁部材に支持されるとともに
   前記壁部材の内外を連通させるセンサ挿入孔が形成され
   た挿入孔形成部材、（Ｙ03）前記基礎部材に絶縁部材を
   介して支持され且つ前記挿入孔形成部材の外端部に絶縁
   材を介して連結された連結部材、（Ｙ04）前記センサ挿
   入孔を貫通して内端部にセンサを支持する棒状の高伝熱
   率のセンサ支持部材と、内部に液状冷媒を収容した冷媒
   容器と、前記センサ支持部材の熱を冷媒容器内の冷媒に
   伝達する伝熱手段とを有し、前記連結部材によって前記
   センサ挿入孔の軸線方向に移動可能に支持された移動部
   材、（Ｙ05）前記センサ支持部材が前記センサ挿入孔を
   貫通する状態で前記センサ挿入孔を外部に対して密封す
   る密封手段。