JPH0834233B2 - 試料のトレ−詰め装置 - Google Patents
試料のトレ−詰め装置Info
- Publication number
- JPH0834233B2 JPH0834233B2 JP61053120A JP5312086A JPH0834233B2 JP H0834233 B2 JPH0834233 B2 JP H0834233B2 JP 61053120 A JP61053120 A JP 61053120A JP 5312086 A JP5312086 A JP 5312086A JP H0834233 B2 JPH0834233 B2 JP H0834233B2
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- Japan
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- tray
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- drive
- coordinate
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えば半導体ペレットのトレー詰め分類
装置として使用され、Ｘ−Ｙ駆動による収納位置の位置
決めを行なう試料のトレー詰め装置に関する。
装置として使用され、Ｘ−Ｙ駆動による収納位置の位置
決めを行なう試料のトレー詰め装置に関する。
（従来の技術） 従来、この種のトレー詰め装置にあっては、原点にお
かれた半導体ペレットを特性試験等の分類結果に従って
Ｎ個のトレーに選択的に収納するようにしている。この
際、各トレーの第１ペレットの座標をＸ−Ｙ駆動装置に
よって管理し、トレーピッチデータ（１つのトレーの中
のピッチデータ）と各々のトレーへの収納済ペレットの
数を計算して半導体ペレットを順次トレーに詰めてい
る。このような制御は、各トレーの位置を機械ゲージで
設定し、各々のトレーの第１ペレットの座標を基準とし
てＸ−Ｙ方向の移動量を決めて行なう。
かれた半導体ペレットを特性試験等の分類結果に従って
Ｎ個のトレーに選択的に収納するようにしている。この
際、各トレーの第１ペレットの座標をＸ−Ｙ駆動装置に
よって管理し、トレーピッチデータ（１つのトレーの中
のピッチデータ）と各々のトレーへの収納済ペレットの
数を計算して半導体ペレットを順次トレーに詰めてい
る。このような制御は、各トレーの位置を機械ゲージで
設定し、各々のトレーの第１ペレットの座標を基準とし
てＸ−Ｙ方向の移動量を決めて行なう。
ところで、半導体ペレットを順番にトレーに詰める装
置では、そのＸ−Ｙ駆動装置の分解能（位置決め精度）
に、比較的高精度（例えば±50μｍ程度）を必要とす
る。
置では、そのＸ−Ｙ駆動装置の分解能（位置決め精度）
に、比較的高精度（例えば±50μｍ程度）を必要とす
る。
しかし、上述したような各トレーの基準座標の設定方
式、すなわち、機械的な寸法に合わせてＸ−Ｙ駆動装置
を制御するのでは、機械ゲージの寸法誤差や取次誤差の
ため高精度な位置決めが困難であり、調整も難しい欠点
がある。
式、すなわち、機械的な寸法に合わせてＸ−Ｙ駆動装置
を制御するのでは、機械ゲージの寸法誤差や取次誤差の
ため高精度な位置決めが困難であり、調整も難しい欠点
がある。
（発明が解決しようとする問題点） 上述したように、各トレーを機械ゲージに合わせて基
準座標を設定するのでは高精度な位置決めが困難であ
る。
準座標を設定するのでは高精度な位置決めが困難であ
る。
そこでこの発明は、機械ゲージの寸法誤差や取付誤差
を低減でき、高精度な位置決めが行なえる試料のトレー
詰め装置を提供することである。
を低減でき、高精度な位置決めが行なえる試料のトレー
詰め装置を提供することである。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） この発明による試料のトレー詰め装置は、それぞれ位
置決めされ、かつ、分類された複数のトレーに、分類さ
れた試料をＸ−Ｙ方向に移動するコレットを用いて対応
するトレーに詰める試料のトレー詰め装置において、各
トレーの共通原点から各トレーの第１区画までの距離を
示すＸ座標およびＹ座標を表す基準座標信号が各トレー
の基準値として供給される各トレー基準値外部設定手段
と、この各トレー基準値外部設定手段から出力される各
トレーの第１区画のＸ座標およびＹ座標を記憶する基準
値記憶手段と、この基準値記憶手段の記憶情報とトレー
ピッチデータとに基づいてコレットのＸ軸方向およびＹ
軸方向の駆動量を算出するＸ−Ｙ駆動値計算手段と、こ
れらの各手段を制御する主制御手段と、上記Ｘ−Ｙ駆動
値計算手段によって算出された駆動量に基づいてコレッ
トをＸ方向およびＹ方向に駆動するＸ−Ｙ駆動手段とを
具備することを特徴とする。
置決めされ、かつ、分類された複数のトレーに、分類さ
れた試料をＸ−Ｙ方向に移動するコレットを用いて対応
するトレーに詰める試料のトレー詰め装置において、各
トレーの共通原点から各トレーの第１区画までの距離を
示すＸ座標およびＹ座標を表す基準座標信号が各トレー
の基準値として供給される各トレー基準値外部設定手段
と、この各トレー基準値外部設定手段から出力される各
トレーの第１区画のＸ座標およびＹ座標を記憶する基準
値記憶手段と、この基準値記憶手段の記憶情報とトレー
ピッチデータとに基づいてコレットのＸ軸方向およびＹ
軸方向の駆動量を算出するＸ−Ｙ駆動値計算手段と、こ
れらの各手段を制御する主制御手段と、上記Ｘ−Ｙ駆動
値計算手段によって算出された駆動量に基づいてコレッ
トをＸ方向およびＹ方向に駆動するＸ−Ｙ駆動手段とを
具備することを特徴とする。
（作用） この発明の作用について説明すると、被収納ペレット
の位置（原点）に対する各トレーの第１ペレットの座標
を予め求め、この座標を基準座標信号として各トレー基
準値外部設定部に供給する。この各トレー基準値外部設
定部の出力は、Ｘ軸およびＹ軸基準値設定エリアに各ト
レー毎に記憶される。これら基準値設定エリアの記憶情
報とトレーピッチデータとに基づいてＸ−Ｙ駆動値計算
部によりＸ方向およびＹ方向の駆動量が算出される。そ
して、上記Ｘ−Ｙ駆動値計算部の出力に応じてＸ−Ｙ駆
動装置がＸ軸パルスモータ,Y軸パルスモータを駆動し、
コレットを移動する。
の位置（原点）に対する各トレーの第１ペレットの座標
を予め求め、この座標を基準座標信号として各トレー基
準値外部設定部に供給する。この各トレー基準値外部設
定部の出力は、Ｘ軸およびＹ軸基準値設定エリアに各ト
レー毎に記憶される。これら基準値設定エリアの記憶情
報とトレーピッチデータとに基づいてＸ−Ｙ駆動値計算
部によりＸ方向およびＹ方向の駆動量が算出される。そ
して、上記Ｘ−Ｙ駆動値計算部の出力に応じてＸ−Ｙ駆
動装置がＸ軸パルスモータ,Y軸パルスモータを駆動し、
コレットを移動する。
（実施例） 以下、この発明の一実施例について図面を参照して説
明する。第２図は、この発明による試料のトレー詰め装
置の概略構成を示している。第２図において、10はＸ−
Ｙ駆動装置、11は試料をピックアップし上記Ｘ−Ｙ駆動
装置10によってＸ−Ｙ方向に移動されるコレット、121
〜12Nは第１ないし第Ｎトレー、131〜13Nは機械ゲージ
である。座標（0,0）は原点（被収納ペレットの位置）
であり、この原点に対するＸ方向,Y方向の座標（x1,
y1），（x2,y2），…，（xN,yN）が各々のトレー121〜1
2Nの第１ペレット121a〜12Naに割り付けられている。
明する。第２図は、この発明による試料のトレー詰め装
置の概略構成を示している。第２図において、10はＸ−
Ｙ駆動装置、11は試料をピックアップし上記Ｘ−Ｙ駆動
装置10によってＸ−Ｙ方向に移動されるコレット、121
〜12Nは第１ないし第Ｎトレー、131〜13Nは機械ゲージ
である。座標（0,0）は原点（被収納ペレットの位置）
であり、この原点に対するＸ方向,Y方向の座標（x1,
y1），（x2,y2），…，（xN,yN）が各々のトレー121〜1
2Nの第１ペレット121a〜12Naに割り付けられている。
第１図は、前記第２図に示した試料のトレー詰め装置
における電気回路の要部を示すブロック図である。各ト
レー基準値外部設定部14には、外部からの基準座標信号
SRにより、原点（0,0）からの各トレー121〜12Nの第１
ペレット121a〜12Naの座標（x1,y1），（x2,y2），…
（xN,yN）が設定される。この各トレー基準値外部設定
部14の出力は、第１ないし第Ｎトレー軸基準値設定エリ
ア15X1〜15XN、および第１ないし第ＮトレーＹ軸基準値
設定エリア15Y1〜15YNにそれぞれ供給され、外部からの
基準座標信号SRに基づいて各トレー121〜12Nの第１ペレ
ット121a〜12Naの座標が記憶される。上記各基準値設定
エリア15X1〜15XN,15Y1〜15YNの出力およびトレーピッ
チデータTPDはそれぞれ、Ｘ−Ｙ駆動値計算部16に供給
され、Ｘ方向およびＹ方向の駆動量が算出される。上記
各トレー基準値外部設定部14、各基準値設定エリア15X1
〜15XN,15Y1〜15YN、およびＸ−Ｙ駆動値計算部16はそ
れぞれ、主制御部17の出力によって制御される。そし
て、上記Ｘ−Ｙ駆動値計算部16の出力がＸ−Ｙ駆動装置
10に供給され、このＸ−Ｙ駆動装置10の出力によりＸ軸
パルスモータ18,Y軸パルスモータ19が制御され、コレッ
ト11の移動位置が決定される。
における電気回路の要部を示すブロック図である。各ト
レー基準値外部設定部14には、外部からの基準座標信号
SRにより、原点（0,0）からの各トレー121〜12Nの第１
ペレット121a〜12Naの座標（x1,y1），（x2,y2），…
（xN,yN）が設定される。この各トレー基準値外部設定
部14の出力は、第１ないし第Ｎトレー軸基準値設定エリ
ア15X1〜15XN、および第１ないし第ＮトレーＹ軸基準値
設定エリア15Y1〜15YNにそれぞれ供給され、外部からの
基準座標信号SRに基づいて各トレー121〜12Nの第１ペレ
ット121a〜12Naの座標が記憶される。上記各基準値設定
エリア15X1〜15XN,15Y1〜15YNの出力およびトレーピッ
チデータTPDはそれぞれ、Ｘ−Ｙ駆動値計算部16に供給
され、Ｘ方向およびＹ方向の駆動量が算出される。上記
各トレー基準値外部設定部14、各基準値設定エリア15X1
〜15XN,15Y1〜15YN、およびＸ−Ｙ駆動値計算部16はそ
れぞれ、主制御部17の出力によって制御される。そし
て、上記Ｘ−Ｙ駆動値計算部16の出力がＸ−Ｙ駆動装置
10に供給され、このＸ−Ｙ駆動装置10の出力によりＸ軸
パルスモータ18,Y軸パルスモータ19が制御され、コレッ
ト11の移動位置が決定される。
次に、上記のような構成において動作を説明する。ま
ず、各トレー基準値外部設定部14には、外部からの基準
座標信号SRにより、原点（0,0）に対する各トレー121〜
12Nの第１ペレット121a〜12Naの座標（x1,y1），（x2,y
2），…，（xN,yN）が与えられる。この各トレー基準値
外部設定部14の出力は、各基準値設定エリア15X1〜15N,
15Y1〜15YNに供給されて記憶される。これら基準値設定
エリア15X1〜15XN,15Y1〜15YNの記憶データとトレーピ
ッチデータTPDとに基づいて上記Ｘ−Ｙ駆動値計算部16
で計算が行なわれ、Ｘ方向およびＹ方向のコレット11の
移動量が算出される。このＸ−Ｙ駆動値計算部16の出力
に基づいてＸ−Ｙ駆動装置11がＸ軸パルスモータ18,Y軸
パルスモータ19の駆動を行ない、外部から設定した座標
にコレット11を移動させる。
ず、各トレー基準値外部設定部14には、外部からの基準
座標信号SRにより、原点（0,0）に対する各トレー121〜
12Nの第１ペレット121a〜12Naの座標（x1,y1），（x2,y
2），…，（xN,yN）が与えられる。この各トレー基準値
外部設定部14の出力は、各基準値設定エリア15X1〜15N,
15Y1〜15YNに供給されて記憶される。これら基準値設定
エリア15X1〜15XN,15Y1〜15YNの記憶データとトレーピ
ッチデータTPDとに基づいて上記Ｘ−Ｙ駆動値計算部16
で計算が行なわれ、Ｘ方向およびＹ方向のコレット11の
移動量が算出される。このＸ−Ｙ駆動値計算部16の出力
に基づいてＸ−Ｙ駆動装置11がＸ軸パルスモータ18,Y軸
パルスモータ19の駆動を行ない、外部から設定した座標
にコレット11を移動させる。
このような構成によれば、機械ゲージの寸法精度や取
次精度に係わらず、高精度に基準座標（x1,y1），（x2,
y2），…，（xN,yN）を設定できる。
次精度に係わらず、高精度に基準座標（x1,y1），（x2,
y2），…，（xN,yN）を設定できる。
なお、上記実施例では、外部からのデータ（基準座標
信号SR）のみで基準座標（x1,y1），（x2,y2），…，
（xN,yN）を設定する場合について説明したが、機械ゲ
ージ131〜13Nで予め粗く基準座標を設定した後、この基
準座標を外部からの基準座標信号SR（この場合は補正量
を示す信号）に基づいて補正するようにしても良い。こ
の際、基準座標の補正はＸ−Ｙ駆動装置10の分解能の単
位で行なうことができるため、高い精度を保証できる。
信号SR）のみで基準座標（x1,y1），（x2,y2），…，
（xN,yN）を設定する場合について説明したが、機械ゲ
ージ131〜13Nで予め粗く基準座標を設定した後、この基
準座標を外部からの基準座標信号SR（この場合は補正量
を示す信号）に基づいて補正するようにしても良い。こ
の際、基準座標の補正はＸ−Ｙ駆動装置10の分解能の単
位で行なうことができるため、高い精度を保証できる。
［発明の効果］ 以上説明したようにこの発明によれば、機械ゲージの
寸法誤差や取付誤差を低減でき、高精度な位置決めが行
なえる試料のトレー詰め装置が得られる。
寸法誤差や取付誤差を低減でき、高精度な位置決めが行
なえる試料のトレー詰め装置が得られる。
第１図はこの発明の一実施例に係わる試料のトレー詰め
装置の電気回路を示すブロック図、第２図は試料のトレ
ー詰め装置の概略構成を示す図である。 10……Ｘ−Ｙ駆動装置、11……コレット、121〜12N……
トレー、14……各トレー基準値外部設定部、15X1〜15XN
……第１ないし第ＮトレーＸ軸基準値設定エリア、15Y1
〜15YN……第１ないし第ＮトレーＹ軸基準値設定エリ
ア、16……Ｘ−Ｙ駆動値計算部、17……主制御部、18…
…Ｘ軸パルスモータ、19……Ｙ軸パルスモータ、SR……
基準座標信号、TPD……トレーピッチデータ。
装置の電気回路を示すブロック図、第２図は試料のトレ
ー詰め装置の概略構成を示す図である。 10……Ｘ−Ｙ駆動装置、11……コレット、121〜12N……
トレー、14……各トレー基準値外部設定部、15X1〜15XN
……第１ないし第ＮトレーＸ軸基準値設定エリア、15Y1
〜15YN……第１ないし第ＮトレーＹ軸基準値設定エリ
ア、16……Ｘ−Ｙ駆動値計算部、17……主制御部、18…
…Ｘ軸パルスモータ、19……Ｙ軸パルスモータ、SR……
基準座標信号、TPD……トレーピッチデータ。
Claims (1)
- 【請求項１】それぞれ位置決めされ、かつ、分類された
複数のトレーに、分類された試料をＸ−Ｙ方向に移動す
るコレットを用いて対応するトレーに詰める試料のトレ
ー詰め装置において、各トレーの共通原点から各トレー
の第１区画までの距離を示すＸ座標およびＹ座標を表す
基準座標信号が各トレーの基準値として供給される各ト
レー基準値外部設定手段と、この各トレー基準値外部設
定手段から出力される各トレーの第１区画のＸ座標およ
びＹ座標を記憶する基準値記憶手段と、この基準値記憶
手段の記憶情報とトレーピッチデータとに基づいてコレ
ットのＸ軸方向およびＹ軸方向の駆動量を算出するＸ−
Ｙ駆動値計算手段と、これらの各手段を制御する主制御
手段と、上記Ｘ−Ｙ駆動値計算手段によって算出された
駆動量に基づいてコレットをＸ方向およびＹ方向に駆動
するＸ−Ｙ駆動手段とを具備することを特徴とする試料
のトレー詰め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61053120A JPH0834233B2 (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 試料のトレ−詰め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61053120A JPH0834233B2 (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 試料のトレ−詰め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62210637A JPS62210637A (ja) | 1987-09-16 |
| JPH0834233B2 true JPH0834233B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=12933941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61053120A Expired - Lifetime JPH0834233B2 (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 試料のトレ−詰め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0834233B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0936267A (ja) * | 1995-05-15 | 1997-02-07 | Komatsu Ltd | Ｉｃパッケージ加工計測方法および装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5873187A (ja) * | 1981-10-28 | 1983-05-02 | 株式会社日立製作所 | 部品搭載制御装置 |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP61053120A patent/JPH0834233B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62210637A (ja) | 1987-09-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |