JPH0834401B2 - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
- Publication number
- JPH0834401B2 JPH0834401B2 JP1186777A JP18677789A JPH0834401B2 JP H0834401 B2 JPH0834401 B2 JP H0834401B2 JP 1186777 A JP1186777 A JP 1186777A JP 18677789 A JP18677789 A JP 18677789A JP H0834401 B2 JPH0834401 B2 JP H0834401B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- piezoelectric resonator
- piezoelectric
- electrodes
- piezoelectric substrate
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、厚み縦振動の２倍波を用いた圧電共振子に
関する。
関する。
［背景技術］ 第５図に厚み縦振動を利用した２倍波の圧電共振子
（例えば２倍波圧電発振子）を示す。従来の２倍波圧電
共振子Ｃは、一対のグリーンシート51,52を積層して形
成される圧電基板53の内部に一方向に延びたストライプ
状の内部電極54を設け、圧電基板53の両外面に内部電極
54と対向させて円形の外部電極55,56（外部電極56は、
グリーンシート52の下面を投影した破線の枠内に示して
ある。）を設けていた。即ち、従来の２倍波圧電共振子
Ｃにあっては、圧電基板53の両面に設けられた外部電極
55,56はいずれも、内部電極の長さ方向と幅方向に対応
する寸法が等しくなっていた。
（例えば２倍波圧電発振子）を示す。従来の２倍波圧電
共振子Ｃは、一対のグリーンシート51,52を積層して形
成される圧電基板53の内部に一方向に延びたストライプ
状の内部電極54を設け、圧電基板53の両外面に内部電極
54と対向させて円形の外部電極55,56（外部電極56は、
グリーンシート52の下面を投影した破線の枠内に示して
ある。）を設けていた。即ち、従来の２倍波圧電共振子
Ｃにあっては、圧電基板53の両面に設けられた外部電極
55,56はいずれも、内部電極の長さ方向と幅方向に対応
する寸法が等しくなっていた。
［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来構造の２倍波圧電共振子の周波数−
インピーダンス特性を第６図に示す。第６図において、
縦軸はインピーダンスＺ、横軸は周波数ｆである。
インピーダンス特性を第６図に示す。第６図において、
縦軸はインピーダンスＺ、横軸は周波数ｆである。
このインピーダンス特性から明らかなように、従来の
２倍波共振子にあっては、反共振点Ａよりも少し高周波
側にスプリアスＳが発生しており、共振子の特性を損ね
るという問題がある。
２倍波共振子にあっては、反共振点Ａよりも少し高周波
側にスプリアスＳが発生しており、共振子の特性を損ね
るという問題がある。
しかして、本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところはインピーダン
ス特性において、反共振点よりも少し高周波側に発生し
ていたスプリアスを抑圧することのできる２倍波圧電共
振子を提供することにある。
れたものであり、その目的とするところはインピーダン
ス特性において、反共振点よりも少し高周波側に発生し
ていたスプリアスを抑圧することのできる２倍波圧電共
振子を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ このため本発明の圧電共振子は、圧電基板内部の厚み
方向ほぼ中央に、圧電基板の外面と平行で、かつ一方向
に延びた内部電極を設け、内部電極と対向させて圧電基
板の両外面にそれぞれ外部電極を設けた厚み縦振動の２
倍波を用いたエネルギー閉じ込め型圧電共振子におい
て、内部電極長さ方向における前記両外部電極の寸法
を、内部電極幅方向における前記両外部電極の寸法より
も短くしたことを特徴としている。
方向ほぼ中央に、圧電基板の外面と平行で、かつ一方向
に延びた内部電極を設け、内部電極と対向させて圧電基
板の両外面にそれぞれ外部電極を設けた厚み縦振動の２
倍波を用いたエネルギー閉じ込め型圧電共振子におい
て、内部電極長さ方向における前記両外部電極の寸法
を、内部電極幅方向における前記両外部電極の寸法より
も短くしたことを特徴としている。
［作用］ 本発明にあっては、圧電基板の内部に内部電極を設
け、両外面に内部電極と対向させて、それぞれ外部電極
を設けた２倍波圧電共振子において、両外部電極の内部
電極長さ方向の寸法を内部電極幅方向の寸法よりも短く
したところ、従来の圧電共振子の周波数−インピーダン
ス特性に表れていた反共振点の近くのスプリアスを消失
させることができた。
け、両外面に内部電極と対向させて、それぞれ外部電極
を設けた２倍波圧電共振子において、両外部電極の内部
電極長さ方向の寸法を内部電極幅方向の寸法よりも短く
したところ、従来の圧電共振子の周波数−インピーダン
ス特性に表れていた反共振点の近くのスプリアスを消失
させることができた。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を添付図に基づいて詳述する。
第１図に示すように、圧電基板１は圧電セラミックス
の一対のグリーンシート5,6を積層することによって形
成されている。一対のグリーンシート5,6のうち、一方
のグリーンシート５の上面には導電ペースト７を印刷す
ることにより、外部電極３と引き出し電極８が形成され
ている。また、他方のグリーンシート６の上面には導電
ペースト７を印刷することにより、端から端まで延びた
ストライプ状の内部電極２が形成されており、その下面
には導電ペースト７を印刷することにより外部電極４と
引き出し電極９（第１図では、グリーンシート６の下面
を投影した破線の枠内に示してある。）が形成されてい
る。しかして、各電極の位置を合わせて上記グリーンシ
ート5,6を積層し、圧着させて圧電基板１を形成し、こ
の後全体を焼成し、さらに圧電基板１の厚み方向に分極
処理を施して圧電共振子Ｂが製作される。
の一対のグリーンシート5,6を積層することによって形
成されている。一対のグリーンシート5,6のうち、一方
のグリーンシート５の上面には導電ペースト７を印刷す
ることにより、外部電極３と引き出し電極８が形成され
ている。また、他方のグリーンシート６の上面には導電
ペースト７を印刷することにより、端から端まで延びた
ストライプ状の内部電極２が形成されており、その下面
には導電ペースト７を印刷することにより外部電極４と
引き出し電極９（第１図では、グリーンシート６の下面
を投影した破線の枠内に示してある。）が形成されてい
る。しかして、各電極の位置を合わせて上記グリーンシ
ート5,6を積層し、圧着させて圧電基板１を形成し、こ
の後全体を焼成し、さらに圧電基板１の厚み方向に分極
処理を施して圧電共振子Ｂが製作される。
こうして製作された２倍波圧電共振子Ｂは、第２図
（ａ）（ｂ）に示すように圧電基板１の内部にストライ
プ状の内部電極２を有し、圧電基板１の両外面に内部電
極２と対向するようにして外部電極3,4が形成されてい
る。両外部電極3,4は、第２図（ａ）（ｂ）に示すよう
に、内部電極２の幅よりも若干大きな直径の円形から想
像線で囲んだ部分10を除去した形状となっており、この
ため内部電極長さ方向の寸法ｃが内部電極幅方向の寸法
ｄよりも短くなっている。ここで外部電極3,4の面積
は、元の円形の面積（除去部分10の面積を含めたもの）
の50％ないし90％程度となっている。
（ａ）（ｂ）に示すように圧電基板１の内部にストライ
プ状の内部電極２を有し、圧電基板１の両外面に内部電
極２と対向するようにして外部電極3,4が形成されてい
る。両外部電極3,4は、第２図（ａ）（ｂ）に示すよう
に、内部電極２の幅よりも若干大きな直径の円形から想
像線で囲んだ部分10を除去した形状となっており、この
ため内部電極長さ方向の寸法ｃが内部電極幅方向の寸法
ｄよりも短くなっている。ここで外部電極3,4の面積
は、元の円形の面積（除去部分10の面積を含めたもの）
の50％ないし90％程度となっている。
第３図に示すものは、両側の部分10を削除された外部
電極3,4の電極面積（元の円形の面積に対する百分率で
表してある。）と主振動のレスポンスα及びスプリアス
のレスポンスβとの関係を示すグラフである。このグラ
フから明らかなように、外部電極3,4を削除する面積が1
0％程度以下（電極面積90％程度以上）の場合にはスプ
リアスのレスポンスβが十分に小さくならず、スプリア
スの抑圧効果が小さい。また、外部電極４を50％程度以
上削った場合（電極面積が50％以下の場合）には、主振
動が分割する。したがって、外部電極3,4の面積として
は、元の円形の面積に対して50％〜90％程度が好適であ
る。
電極3,4の電極面積（元の円形の面積に対する百分率で
表してある。）と主振動のレスポンスα及びスプリアス
のレスポンスβとの関係を示すグラフである。このグラ
フから明らかなように、外部電極3,4を削除する面積が1
0％程度以下（電極面積90％程度以上）の場合にはスプ
リアスのレスポンスβが十分に小さくならず、スプリア
スの抑圧効果が小さい。また、外部電極４を50％程度以
上削った場合（電極面積が50％以下の場合）には、主振
動が分割する。したがって、外部電極3,4の面積として
は、元の円形の面積に対して50％〜90％程度が好適であ
る。
こうして、両外部電極3,4を元の円形の面積から10％
ないし50％程度削除したところ、第４図に示すように、
従来の圧電共振子のインピーダンス特性において反共振
点Ａの少し高周波側に表れていたスプリアスＳが抑圧さ
れ、第４図のように共振点Ｒと反共振点Ａの近くにスプ
リアスの発生しない良好なインピーダンス特性が得られ
た。また、表裏の外部電極3,4の形状を同一にすれば、
外部電極3,4となる部分に導電ペーストを塗布するため
のマスクが一種で足りる。
ないし50％程度削除したところ、第４図に示すように、
従来の圧電共振子のインピーダンス特性において反共振
点Ａの少し高周波側に表れていたスプリアスＳが抑圧さ
れ、第４図のように共振点Ｒと反共振点Ａの近くにスプ
リアスの発生しない良好なインピーダンス特性が得られ
た。また、表裏の外部電極3,4の形状を同一にすれば、
外部電極3,4となる部分に導電ペーストを塗布するため
のマスクが一種で足りる。
なお、本発明は上記実施例以外にも種々設計変更可能
であり、たとえば外部電極の元の形状は、円形でなく正
多角形となっていても良い。この場合も両外部電極につ
いて、内部電極長さ方向の寸法が内部電極幅方向の寸法
よりも短くなっている。
であり、たとえば外部電極の元の形状は、円形でなく正
多角形となっていても良い。この場合も両外部電極につ
いて、内部電極長さ方向の寸法が内部電極幅方向の寸法
よりも短くなっている。
また、内部電極長さ方向で短くなった外部電極を形成
する場合には、上記説明のように圧電基板の外面に円形
等の電極を設けた後、この円形等の電極の縁部を部分的
に削除することによって形成してもよく、あるいは初め
から内部電極長さ方向に短縮された形状の電極となるよ
うに形成してもよい。また、各電極は、真空蒸着やスパ
ッタリング等の方法によって設けてもよい。
する場合には、上記説明のように圧電基板の外面に円形
等の電極を設けた後、この円形等の電極の縁部を部分的
に削除することによって形成してもよく、あるいは初め
から内部電極長さ方向に短縮された形状の電極となるよ
うに形成してもよい。また、各電極は、真空蒸着やスパ
ッタリング等の方法によって設けてもよい。
［発明の効果］ 本発明によれば、従来の２倍波共振子のインピーダン
ス特性において反共振点の高周波側に生じていたスプリ
アスを抑圧することができ、良好な特性を有する厚み縦
振動２倍波圧電共振子を得ることができた。
ス特性において反共振点の高周波側に生じていたスプリ
アスを抑圧することができ、良好な特性を有する厚み縦
振動２倍波圧電共振子を得ることができた。
第１図は本発明の一実施例における圧電共振子の製造過
程を示す斜視図、第２図（ａ）（ｂ）は同上の圧電共振
子の上面図及び下面図、第３図は一方の外部電極の電極
面積と主振動及びスプリアスのレスポンスとの関係を示
すグラフ、第４図は同上の周波数−インピーダンス特性
を示すグラフ、第５図は従来例の製造過程における斜視
図、第６図は同上の周波数−インピーダンス特性を示す
グラフである。 １……圧電基板、２……内部電極 3,4……外部電極
程を示す斜視図、第２図（ａ）（ｂ）は同上の圧電共振
子の上面図及び下面図、第３図は一方の外部電極の電極
面積と主振動及びスプリアスのレスポンスとの関係を示
すグラフ、第４図は同上の周波数−インピーダンス特性
を示すグラフ、第５図は従来例の製造過程における斜視
図、第６図は同上の周波数−インピーダンス特性を示す
グラフである。 １……圧電基板、２……内部電極 3,4……外部電極
Claims (1)
- 【請求項１】圧電基板内部の厚み方向ほぼ中央に、圧電
基板の外面と平行で、かつ一方向に延びた内部電極を設
け、内部電極と対向させて圧電基板の両外面にそれぞれ
外部電極を設けた厚み縦振動の２倍波を用いたエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子において、 内部電極長さ方向における前記両外部電極の寸法を、内
部電極幅方向における前記両外部電極の寸法よりも短く
したことを特徴とする圧電共振子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186777A JPH0834401B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
| US07/554,783 US5065066A (en) | 1989-07-19 | 1990-07-18 | Piezoelectric resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186777A JPH0834401B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352313A JPH0352313A (ja) | 1991-03-06 |
| JPH0834401B2 true JPH0834401B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=16194428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186777A Expired - Lifetime JPH0834401B2 (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0834401B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04365213A (ja) * | 1991-06-13 | 1992-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
| JP2790178B2 (ja) * | 1987-06-26 | 1998-08-27 | 株式会社村田製作所 | 電歪共振装置 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP1186777A patent/JPH0834401B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0352313A (ja) | 1991-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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