JPH083559B2 - 軟ｘ線取出し窓 - Google Patents
軟ｘ線取出し窓Info
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- JPH083559B2 JPH083559B2 JP1092921A JP9292189A JPH083559B2 JP H083559 B2 JPH083559 B2 JP H083559B2 JP 1092921 A JP1092921 A JP 1092921A JP 9292189 A JP9292189 A JP 9292189A JP H083559 B2 JPH083559 B2 JP H083559B2
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 title claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000009432 framing Methods 0.000 claims 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 8
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
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- Particle Accelerators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、超高真空容器に設けられる軟Ｘ線取出し窓
に関し、特にその構造に関する。
に関し、特にその構造に関する。
［従来の技術］ 従来より、Ｘ線透過材料として、Ｘ線の透過性，機械
的強度，熱放射の良好さ，透過材料自身の気密性等を考
慮して、金属ベリリウムの箔が広く用いられている。ま
た、軟Ｘ線領域では、雰囲気によるＸ線の減衰を除くた
めにＸ線の通路を超高真空にする必要があるが、Ｘ線透
過材料自身のみならず、これと超高真空容器との接合部
も気密でなければならない。気密性と機械的固定の両方
を満足するような金属ベリリウム箔と超高真空容器との
接合方法として、ロウ接，電子ビーム溶接，エポキシ系
樹脂による接着などが用いられている。
的強度，熱放射の良好さ，透過材料自身の気密性等を考
慮して、金属ベリリウムの箔が広く用いられている。ま
た、軟Ｘ線領域では、雰囲気によるＸ線の減衰を除くた
めにＸ線の通路を超高真空にする必要があるが、Ｘ線透
過材料自身のみならず、これと超高真空容器との接合部
も気密でなければならない。気密性と機械的固定の両方
を満足するような金属ベリリウム箔と超高真空容器との
接合方法として、ロウ接，電子ビーム溶接，エポキシ系
樹脂による接着などが用いられている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来行われている金属ベリリウム箔と
超高真空容器壁との接合法のうち、ロウ接や電子ビーム
溶接等の如く、透過材料の全部あるいは一部の温度を上
げる方法では、金属ベリリウムの結晶粒径の増大や粒界
偏折を引き起こすので、金属ベリリウムの機械的強度が
劣化したり、接合前に有していた箔の気密性が失われる
という欠点がある。
超高真空容器壁との接合法のうち、ロウ接や電子ビーム
溶接等の如く、透過材料の全部あるいは一部の温度を上
げる方法では、金属ベリリウムの結晶粒径の増大や粒界
偏折を引き起こすので、金属ベリリウムの機械的強度が
劣化したり、接合前に有していた箔の気密性が失われる
という欠点がある。
また、エポキシ系樹脂による接着では、接合に際して
温度上昇がないので、前記の機械的強度や気密性の劣化
は起きないが、Ｘ線取出し窓として使用中に、有機物で
あるエポキシ系樹脂がＸ線による放射線劣化が生じ、長
期間にわたる信頼性は望めないという欠点がある。
温度上昇がないので、前記の機械的強度や気密性の劣化
は起きないが、Ｘ線取出し窓として使用中に、有機物で
あるエポキシ系樹脂がＸ線による放射線劣化が生じ、長
期間にわたる信頼性は望めないという欠点がある。
本発明の目的は、上記の課題を解決して、軟Ｘ線透過
材料の機械的強度や気密性の劣化および窓の放射線劣化
を招くことなく、高信頼かつ長寿命の気密保持が可能
で、窓の修理再生が容易な構造の軟Ｘ線取出し窓を提供
することにある。
材料の機械的強度や気密性の劣化および窓の放射線劣化
を招くことなく、高信頼かつ長寿命の気密保持が可能
で、窓の修理再生が容易な構造の軟Ｘ線取出し窓を提供
することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、超高真空容器の開口部にあってＸ線透過材
で形成されてなる軟Ｘ線取出し窓において、開口部を縁
取る窓枠には、該窓枠の最も内側に形成された表面が平
坦かつ平滑な環状の隆起と、該隆起の外周に形成された
鋸歯状のナイフエッジとを備え、前記隆起の外周には所
定の軟度と蒸気圧特性を有する金属で形成され、かつ平
滑な表面と矩形断面を持つ環状部材が嵌合され、該環状
部材と押え板との間にＸ線透過材が締結されていること
を特徴とする軟Ｘ線取出し窓である。
で形成されてなる軟Ｘ線取出し窓において、開口部を縁
取る窓枠には、該窓枠の最も内側に形成された表面が平
坦かつ平滑な環状の隆起と、該隆起の外周に形成された
鋸歯状のナイフエッジとを備え、前記隆起の外周には所
定の軟度と蒸気圧特性を有する金属で形成され、かつ平
滑な表面と矩形断面を持つ環状部材が嵌合され、該環状
部材と押え板との間にＸ線透過材が締結されていること
を特徴とする軟Ｘ線取出し窓である。
［作用］ 矩形断面をもつ円筒状の無酸素銅板を両側から鋸歯状
断面のナイフエッジではさむ気密方法は、超高真空フラ
ンジの締結手段としては実用化されてる。
断面のナイフエッジではさむ気密方法は、超高真空フラ
ンジの締結手段としては実用化されてる。
第２図は、上記の気密封止の原理を説明する断面図
で、回転対称軸の下半分の断面だけを示している。２本
のパイプ21aおよび21bをその軸芯を共通にして接合する
場合、断面が鋸歯状の円周状のナイフエッジ22を有する
フランジ23をパイプ21aおよび21bに溶接し、断面が矩形
で円環状の無酸素銅製ガスケット24をナイフエッジ22の
間に挟んで、２枚のフランジ23を互いに対向させてボル
トで締め付ける。第２図はガスケット24を挟んだだけで
未だ締め付けていない状態を示している。フランジを締
め付けるため、図中Ａの力を作用させると、硬いナイフ
エッジ22は軟らかいガスケット24を押しつぶし、ナイフ
エッジの勾配によりガスケット24中にはＢの力が働く。
力Ｃは押しつぶされたガスケット24の外周がフランジ23
の壁にぶつかった後に壁から受ける反作用で、これによ
りガスケット24はナイフエッジ22に押し付けられ、気密
封止が達成される。
で、回転対称軸の下半分の断面だけを示している。２本
のパイプ21aおよび21bをその軸芯を共通にして接合する
場合、断面が鋸歯状の円周状のナイフエッジ22を有する
フランジ23をパイプ21aおよび21bに溶接し、断面が矩形
で円環状の無酸素銅製ガスケット24をナイフエッジ22の
間に挟んで、２枚のフランジ23を互いに対向させてボル
トで締め付ける。第２図はガスケット24を挟んだだけで
未だ締め付けていない状態を示している。フランジを締
め付けるため、図中Ａの力を作用させると、硬いナイフ
エッジ22は軟らかいガスケット24を押しつぶし、ナイフ
エッジの勾配によりガスケット24中にはＢの力が働く。
力Ｃは押しつぶされたガスケット24の外周がフランジ23
の壁にぶつかった後に壁から受ける反作用で、これによ
りガスケット24はナイフエッジ22に押し付けられ、気密
封止が達成される。
一方、本発明の軟Ｘ線取出し窓では、窓枠フランジの
最も内側に表面が平坦かつ平滑な幅の狭い円環状の隆起
を設け、またその外側には該隆起に向かって傾斜する勾
配をもつ円周状のナイフエッジを有している。その隆起
の外周に隙間なくはまる内周径をもち、所定の軟度と蒸
気圧特性を有する金属で形成された環状部材をはめ込
み、この上に窓材となるＸ線透過材を載せて押え板で押
さえつける。例えば、六角穴付ボルトで締め付けるに従
い、環状部材はナイフエッジに押しつぶされ、エッジの
勾配の向きから金属環中に隆起を押す方向の力が生じ
る。この押しつける力と隆起からの反作用によりエッジ
の勾配の面への力とで気密が保たれる。一方、環状部材
とＸ線透過材との接触部も気密でなくてはならないが、
平坦かつ平滑な環状部材表面とＸ線透過材との間の擦り
合わせにより、これが達成される。
最も内側に表面が平坦かつ平滑な幅の狭い円環状の隆起
を設け、またその外側には該隆起に向かって傾斜する勾
配をもつ円周状のナイフエッジを有している。その隆起
の外周に隙間なくはまる内周径をもち、所定の軟度と蒸
気圧特性を有する金属で形成された環状部材をはめ込
み、この上に窓材となるＸ線透過材を載せて押え板で押
さえつける。例えば、六角穴付ボルトで締め付けるに従
い、環状部材はナイフエッジに押しつぶされ、エッジの
勾配の向きから金属環中に隆起を押す方向の力が生じ
る。この押しつける力と隆起からの反作用によりエッジ
の勾配の面への力とで気密が保たれる。一方、環状部材
とＸ線透過材との接触部も気密でなくてはならないが、
平坦かつ平滑な環状部材表面とＸ線透過材との間の擦り
合わせにより、これが達成される。
［実施例］ 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の一実施例の構造を模式的に示す断
面図である。図中、１は外径152mmのステンレス鋼SUS30
4製両面コンフラット窓枠フランジで、中央部に直径35m
mの円形通孔を有し、該通孔に接する内縁に幅2mm,高さ3
mmの円環状隆起２を有している。該隆起２の上表面は平
坦かつ平滑に仕上げられ、隆起の外周は真円かつ平滑に
仕上げられている。また、フランジ１の隆起２の外側に
は、隆起２側に向って勾配を形成されたナイフエッジ３
が設けられている。隆起２の外側には該隆起の外周径と
等しい内径で矩形断面を有する厚み3mm,幅6mmの無酸素
銅製円環４が焼きばめられる。該円環４も上下の表面は
平坦かつ平滑に仕上げられ、内側面は真円かつ平滑に仕
上げられていて、上表面には厚み約1.5μｍの金薄膜５
が積層されている。この面に厚み30μm,直径50mmの気密
試験済の金属バリウム箔６を載置し、厚み12mmのステン
レス鋼製押え板７で押圧して、８本のM8六角穴付ボルト
８およびバネ座金9,平座金10を用いて締め付ける。締め
付けは、隆起２の上面と押え板７の下面とが金属バリリ
ム箔６を挟持して固定するまで行う。銅円環４の上面の
金薄膜５はベリリウム箔６の表面の凹凸を埋めて気密を
完全にするためのものである。
面図である。図中、１は外径152mmのステンレス鋼SUS30
4製両面コンフラット窓枠フランジで、中央部に直径35m
mの円形通孔を有し、該通孔に接する内縁に幅2mm,高さ3
mmの円環状隆起２を有している。該隆起２の上表面は平
坦かつ平滑に仕上げられ、隆起の外周は真円かつ平滑に
仕上げられている。また、フランジ１の隆起２の外側に
は、隆起２側に向って勾配を形成されたナイフエッジ３
が設けられている。隆起２の外側には該隆起の外周径と
等しい内径で矩形断面を有する厚み3mm,幅6mmの無酸素
銅製円環４が焼きばめられる。該円環４も上下の表面は
平坦かつ平滑に仕上げられ、内側面は真円かつ平滑に仕
上げられていて、上表面には厚み約1.5μｍの金薄膜５
が積層されている。この面に厚み30μm,直径50mmの気密
試験済の金属バリウム箔６を載置し、厚み12mmのステン
レス鋼製押え板７で押圧して、８本のM8六角穴付ボルト
８およびバネ座金9,平座金10を用いて締め付ける。締め
付けは、隆起２の上面と押え板７の下面とが金属バリリ
ム箔６を挟持して固定するまで行う。銅円環４の上面の
金薄膜５はベリリウム箔６の表面の凹凸を埋めて気密を
完全にするためのものである。
組み立てを完了したベリリウム窓付フランジ１は、通
常のコンフラットエッジ12と無酸素銅ガスケット（図示
せず）とを用いて貫通タップ穴13をボルト締めすること
により、一般の超高真空装置に取り付けられる。
常のコンフラットエッジ12と無酸素銅ガスケット（図示
せず）とを用いて貫通タップ穴13をボルト締めすること
により、一般の超高真空装置に取り付けられる。
なお、軟らかい金属の円環としては金を積層した無酸
素銅の他に、銀等も用いられる。
素銅の他に、銀等も用いられる。
本発明の構造によれば、気密性の高い接合が容易に表
現でき、窓作製に際してＸ線透過材料に熱を加えないた
め窓材料を強度劣化がないことから、信頼性の高い軟Ｘ
線取出し窓が得られる。また、有機物質を全く使用して
いないので、有機物質の飛散による真空劣化および放射
線劣化に起因する短寿命のいずれにも無縁である。さら
に、ロウ接，溶接，エポキシ接着のいずれとも異なり、
Ｘ線透過材料の経年変化や疲労に際しても交換が容易
で、窓の再生使用が可能である。
現でき、窓作製に際してＸ線透過材料に熱を加えないた
め窓材料を強度劣化がないことから、信頼性の高い軟Ｘ
線取出し窓が得られる。また、有機物質を全く使用して
いないので、有機物質の飛散による真空劣化および放射
線劣化に起因する短寿命のいずれにも無縁である。さら
に、ロウ接，溶接，エポキシ接着のいずれとも異なり、
Ｘ線透過材料の経年変化や疲労に際しても交換が容易
で、窓の再生使用が可能である。
これらの効果はすべて軟Ｘ線取出し窓の信頼性向上と
価格低減に有効に寄与するものである。
価格低減に有効に寄与するものである。
［発明の効果］ 以上、説明したとおり、本発明によれば、Ｘ線透過材
料の機械的強度や気密性の劣化および窓自体の放射線劣
化を招くことなく、高信頼かつ長寿命の気密保持が可能
で、窓の修理再生が容易な構造の軟Ｘ線取出し窓を提供
することができる。
料の機械的強度や気密性の劣化および窓自体の放射線劣
化を招くことなく、高信頼かつ長寿命の気密保持が可能
で、窓の修理再生が容易な構造の軟Ｘ線取出し窓を提供
することができる。
第１図は本発明による軟Ｘ線取出し窓の一実施例の断面
図、第２図は気密封止の作用を説明する真空シールの断
面図である。 １……窓枠フランジ、２……円環状隆起 3,22……ナイフエッジ、４……円環 ５……金薄膜、６……金属ベリリウム箔 ７……ステンレス製押え板 ８……六角穴付ボルト、９……バネ座金 10……平座金、11……タップ穴 12……コンフラットエッジ 13……貫通タップ穴、21……パイプ 23……フランジ、24……ガスケット
図、第２図は気密封止の作用を説明する真空シールの断
面図である。 １……窓枠フランジ、２……円環状隆起 3,22……ナイフエッジ、４……円環 ５……金薄膜、６……金属ベリリウム箔 ７……ステンレス製押え板 ８……六角穴付ボルト、９……バネ座金 10……平座金、11……タップ穴 12……コンフラットエッジ 13……貫通タップ穴、21……パイプ 23……フランジ、24……ガスケット
Claims (1)
- 【請求項１】超高真空容器の開口部にあってＸ線透過材
で形成されてなる軟Ｘ線取出し窓において、開口部を縁
取る窓枠には、該窓枠の最も内側に形成された表面が平
坦かつ平滑な環状の隆起と、該隆起の外周に形成された
鋸歯状のナイフエッジとを備え、前記隆起の外周には所
定の軟度と蒸気圧特性を有する金属で形成され、かつ平
滑な表面と矩形断面を持つ環状部材が嵌合され、該環状
部材と押え板との間にＸ線透過材が締結されていること
を特徴とする軟Ｘ線取出し窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1092921A JPH083559B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 軟ｘ線取出し窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1092921A JPH083559B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 軟ｘ線取出し窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02272399A JPH02272399A (ja) | 1990-11-07 |
| JPH083559B2 true JPH083559B2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=14067950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1092921A Expired - Fee Related JPH083559B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 軟ｘ線取出し窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083559B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3022014B2 (ja) * | 1992-01-17 | 2000-03-15 | 三菱電機株式会社 | 光透過型真空分離窓及び軟ｘ線透過窓 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5012198U (ja) * | 1973-05-30 | 1975-02-07 |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP1092921A patent/JPH083559B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02272399A (ja) | 1990-11-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |