JPH0835874A

JPH0835874A - 流量計

Info

Publication number: JPH0835874A
Application number: JP6173785A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Horiguchi; 浩幸堀口
Original assignee: Ricoh Seiki Co Ltd; Ricoh Elemex Corp; Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Seiki Co Ltd; Ricoh Elemex Corp; Ricoh Co Ltd
Priority date: 1994-07-26
Filing date: 1994-07-26
Publication date: 1996-02-06

Abstract

(57)【要約】【目的】流体の圧力を一定に保ち、流量の変動をなく
して測定精度を高めることが可能な流量計を提供する。【構成】流体振動式流量計１及び感熱式流量計２の２
つの流量計の上流側に圧力調整手段４を配置し流体３の
圧力を一定に調節することによって、圧力変動が生じた
ような場合でも、流入圧力と比例関係にある流量計へ流
入する流量の変動をなくし、流量を一定状態に保って測
定することができ、これにより、低流量域から大流量域
までの全域に渡って流量の測定精度を高めるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、都市ガスやＬＰガスな
どの流量の測定を行う流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば、都市ガスの消費量の増大
に伴い、ガスメータ（流量計）の形状を益々大きくする
必要があり、設置場所の占める割合が問題となってい
る。このようなことから、流体振動を利用した流量計、
例えば、フルイディック流量計（後述する図２参照）を
都市ガスのガスメータに利用する試みがなされている。
このような流体振動を利用した流量計においては、一定
時間当たりのガスの使用量は流体振動の振動数で表され
るため、ガスの消費量が増大しても流体振動の振動数が
増加するだけで、流体素子自体を大型化する必要がな
く、次世代のガスメータとして有望である。しかしなが
ら、そのような流体の振動を利用した流量計において
は、約２００Ｌ／Ｈ以下の低流量域における流体振動の
検出感度が悪く、正確な流体の流量を測定することがで
きない。低流量域の流量計としては、検出感度や耐久性
の点から、感熱式流量計、例えば、シリコン基板上に設
けたマイクロブリッジ型フローセンサ（後述する図３参
照）が用いられている。従って、低流量域から高流量域
までの流量を一様に検出するために、低流量域の測定用
としてマイクロブリッジ型フローセンサを用い、高流量
域の測定用としてフルイディック流量計を用い、これら
を組み合わせたものがある（特開平２−１６１３１３
号、特開平３−２６４８２１号、特開平３−９６８１７
号、特開平４−４７２２５号等）。

【０００３】そのような併用型の流量計としては、例え
ば、特開平５−３１２６０４号公報に「流体振動型ガス
メータ」として開示されているものがある（第一の従来
例）。この流量計は、流体振動を検出する差圧センサ
と、流速を検出する熱式フローセンサとの複合センサで
あり、この複合センサに一体的に組み込まれた圧力セン
サと温度センサとからの信号をもとに、流量計測演算、
圧力補正演算、流量異常を判断する演算の各演算機能
や、この演算結果を表示する機能を備えている。また、
特開平４−６４０２０号公報に「流量計」として開示さ
れているものがある（第二の従来例）。この流量計は、
熱式流量センサ型流量計の出力補正用流量計としてカル
マン渦流量計を用い、低流量域から高流量域まで高精度
で安定した測定を行うようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したような流体振
動を利用した流量計（フルイディック流量計など）にお
いては、単位時間当たりの流体振動数はその流体素子の
ノズルを通過する流体速度に比例するため、単位時間当
たりの振動数を何らかの手段で測定することにより、単
位時間当たりにノズルを通過する流体の体積を測定でき
る。一方、感熱式流量計（マイクロブリッジ型フローセ
ンサなど）においては、熱せられた素子が流体に奪われ
る熱量を検出するため、その出力値は一定時間に素子と
熱のやり取りをする流体の分子数すなわちモル数に比例
する。

【０００５】しかし、たとえ単位時間当たり一定体積の
流体が流れていて流体振動式流量計での出力値が一定で
ある場合でも、流体の圧力又は温度が異なれば、感熱式
流量計の出力値は異なることになり、これにより流量の
正確な測定を行うことができない。この場合、各流量計
の出力値から流量を求める際に、出力値−流量の校正曲
線を用いて測定値を補正する方式がある。しかし、流体
振動式流量計と感熱式流量計とを一体に組込んだ流量計
においては、環境温度の変動や、圧力変動などを十分に
考慮して設計されていないため、精度の良い測定を行う
ことができないという問題がある。

【０００６】第一の従来例（特開平５−３１２６０４
号）の場合、出力値−流量の校正曲線を予め標準状態で
求めておき、測定時に、圧力センサ及び温度センサを用
いて流体の圧力、温度を測定して標準状態に換算して比
較することにより、環境温度の変動や圧力変動を補正し
ている。しかし、このような測定方式では、今例えば、
環境温度を一定とし、流量計に流入する流体の入口圧を
Ｐin、出口圧をＰout としたとき、流量の値は（Ｐin−
Ｐout ）に比例し、現在の膜式ガスメータで要求されて
いる流量誤差として±１．５％の精度を満たすために
は、（Ｐin−Ｐout）の１％程度の極めて高い測定精度
の流量計が必要となる。一例として、ＬＰガスでは（Ｐ
in−Ｐout ）は最大３００ｍｍＨ₂Ｏ程度であるため、
圧力計の分解能として３ｍｍＨ₂Ｏが必要となる。ま
た、Ｐout は大気圧としてよいため、本方式の圧力計に
要求されるダイナミックレンジの値としては１００００
／３〜３３００程度となる。これにより、本方式におけ
る大気圧測定において、数ｍｍＨ₂Ｏの分解能をもつダ
イナミックレンジが３０００以上（精度：０．０３％Ｆ
Ｓ）の値を示すという極めて高精度の圧力計が必要とな
る。従って、このような極めて高精度の流量計は製造が
難しくコスト高となる。また、本従来方式の場合、装着
される圧力センサ自体に温度特性をもつため、温度変動
を考慮すると、その圧力センサの出力値も温度補正をし
なければならず、このような点を考慮しても極めて複雑
な構造となる。さらに、本従来方式の場合、計測される
流量を標準状態で表示するが、この標準状態の概念は一
般のユーザには難解であり、都市ガス又はＬＰガスの流
量計のような一般家庭を対象とする流量計には不適切で
ある。

【０００７】第二の従来例（特開平４−６４０２０号）
の場合、流体圧力が一定であるという条件を満たして目
的を達成できるものであり、熱式流量センサ型流量計の
体積流量は一定でも、カルマン渦流量計より求める流量
の流体圧力変動による誤差を考慮していないため、流体
の圧力変動によって熱式流量センサ型流量計の出力値は
変化してしまい、その結果、熱式流量センサ型流量計の
出力補正を十分に行えない。また、都市ガスにおいて
は、地域又は一日の時間でガス圧力が変動する場合があ
り、このような用途には本従来方式を使用することは不
可能に近い。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、流体素子による流体の振動を電気信号に変換して流
量を測定する流体振動式流量計と、流体の流速を電気信
号に変換して流量を測定する感熱式流量計とを流体の流
れる流路中に配置し、これら２つの流量計により低流量
域から大流量域までの流量を測定する流量計において、
前記２つの流量計の上流側に前記流体の圧力を一定に調
節する圧力調整手段を配設した。

【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、流体振動を利用した流体振動式流量計の
出力値から一定時間に流れる流体の体積を算出する流体
体積算出手段を設け、流体の流速を利用した感熱式流量
計の出力値から一定時間に流れる流体のモル数又は質量
数を算出する粒子情報算出手段を設け、前記流体体積算
出手段から求めた前記流体振動式流量計の単位時間当た
りの流体の体積を測温素子で計測された流体温度に基づ
いてモル数又は質量数に変換する粒子情報変換手段を設
けた。

【００１０】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
発明において、流体振動式流量計に一定時間内に流れる
流体のモル数又は質量数を用いて、感熱式流量計により
求める流量を校正する流量校正手段を設けた。

【００１１】請求項４記載の発明では、請求項３記載の
発明において、一定時間に通過する流体のモル数又は質
量数を表示する粒子情報表示手段を設けた。

【００１２】

【作用】請求項１記載の発明においては、圧力調整手段
により流体の圧力を一定に調節することにより、流体の
圧力変動が生じても、圧力と比例関係にある流量計へ流
入する流量の変動分をなくすことができ、これにより、
流量を変動成分を含まず一定状態に保って測定すること
が可能となる。

【００１３】請求項２記載の発明においては、感熱式流
量計の出力値を粒子情報算出手段によってモル数又は質
量数に換算すると共に、流体振動式流量計の出力値を流
体体積算出手段及び粒子情報変換手段によってモル数又
は質量数に変換することにより、流量の出力値は、環境
温度や流体圧力の因子が含まれない、モル数又は質量数
のみによって表示され、出力の一意性が保たれる。

【００１４】請求項３記載の発明においては、流量校正
手段を用い、流体振動式流量計の単位時間当たりに流れ
る流体のモル数又は質量数を求め、この求められたモル
数又は質量数に対応する出力値を感熱式流量計の出力値
とすることにより、感熱式流量計の出力値のドリフト分
を算出することができ、このドリフト分を校正曲線（出
力値からモル数を決定する）の各点で差し引くことによ
り、感熱式流量計の正しい校正曲線を求めることが可能
となる。

【００１５】請求項４記載の発明においては、粒子情報
表示手段を用い、校正された流体のモル数又は質量数か
ら、重量を容易に算出し表示することが可能となる。

【００１６】

【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１〜図４
に基づいて説明する。本実施例における流量計は、図１
に示すように、流体の振動を電気信号に変換して流量を
測定する流体振動式流量計としてのフルイディック流量
計１と、流体の流速を電気信号に変換して流量を測定す
る感熱式流量計としてのマイクロ（μ）ブリッジ型フロ
ーセンサ２（以下、感熱式フローセンサという）との２
つから構成されており、これら２つの流量計により低流
量域から大流量域までの流量が測定できるようになって
いる。この場合、２つの流量計に流体（ここでは、ＬＰ
ガス３）が流れ込む流路の上流側には、そのＬＰガス３
の圧力を一定に調節するための圧力調整手段としての圧
力調整器４が配置されている。この圧力調整器４として
は、ここでは、数Ｋｇ／ｃｍ² の入口圧に対して３００
ｍｍＨ₂Ｏの出口圧を持つものを用い、また、大気圧と
の差を常に３００ｍｍＨ₂Ｏの一定とするために、基準
圧力を大気圧とするものを用いる。

【００１７】図２は、高流量域の流量測定用として用い
られるフルイディック流量計１を構成する流量素子とし
てのフルイディック流量素子５の構造を示す。ＬＰガス
３は、素子内に導かれた後、ノズル６から噴射して流路
拡大部７内に導かれ、誘振子８に衝突して流路方向が切
替えられる。その誘振子８の後方には、ＬＰガス３の進
路を安定化させるための隔壁９が配置されている。これ
により、ＬＰガス３は、誘振子８の向きに応じて矢印で
示すような方向に沿って流れ、隔壁９の２つの湾曲部の
間で流量に応じて振動する。このようなＬＰガス３によ
る振動は、センサ（図示せず）により検出され電気信号
に変換されることによって、流量の測定が行われる。

【００１８】図３は、低流量域の流量測定用として用い
られる感熱式フローセンサ２の構造を示すものである。
シリコン基板１０をエッチングしてＬＰガス３の流れの
方向に沿った２箇所に堀１１ａ，１１ｂを形成する。堀
１１ａと堀１１ｂとの間には、絶縁膜からなるブリッジ
１２が設けられている。このブリッジ１２上には、白金
薄膜抵抗体からなるブリッジ１２の温度測定用の測温体
Ｒｓと、ブリッジ１２の温度設定用の発熱体Ｒｈとが配
線されている。堀１１ａ，１１ｂの周囲には、流体温度
測定用の抵抗Ｒｆ，Ｒｒが配線されている。図４は、感
熱式フローセンサ２の駆動回路の構成を示すものであ
り、Ｒ１，Ｒ２はホイーストンブリッジの基準抵抗であ
る。この駆動回路により、ブリッジ１２上の温度と、堀
１１ａ，１１ｂの周囲の温度との間に差が生じた場合に
は、その差によるアンプ１３からの出力値がトランジス
タ１４のベースに印加され、これによりトランジスタ１
４がオンして発熱体Ｒｈに電流が流れて発熱する。この
発熱体Ｒｈによる出力電圧Ｅｏは、シリコン基板１０が
ＬＰガス３に奪われる熱量に比例、すなわち、一定時間
に素子と熱のやり取りをする流体のモル数（分子数）に
比例するため、その出力電圧Ｅｏから流量の測定が行え
る。

【００１９】このような構成において、フルイディック
流量計１及び感熱式フローセンサ２の上流側に配置され
るＬＰガス３の圧力を一定に保つための圧力調整器４に
ついて述べる。ＬＰガス３は、通常での供給圧力は３０
０ｍｍＨ₂Ｏであるため、圧力調整器４としては、数Ｋ
ｇ／ｃｍ² の入口圧に対して３００ｍｍＨ₂Ｏの出口圧
を有し、また、大気圧との差を常に３００ｍｍＨ₂Ｏの
一定とするために、基準圧力を大気圧とするものを用い
る。このような圧力調整器４は上流側であればどこに配
置してもよいが、その圧力調整器４と流量計との間の圧
力損失がほとんどないか、ある程度あっても変動したり
することがないように、配管上考慮して設計する必要が
ある。また、この圧力調整器４の調整精度としては、流
量は流量計への流入圧力に比例するため、現在の膜式ガ
スメータで要求されている流量誤差として±１．５％の
精度を満たすために、ＬＰガス３のもと圧を３００ｍｍ
Ｈ₂Ｏとした場合、圧力調整器４の変動許容圧力は３ｍ
ｍＨ₂Ｏ以下である必要がある。また、このような圧力
調整は、本質的にはバネの力によるものであるため、温
度特性は無視することができる。

【００２０】上述したように、圧力調整器４をフルイデ
ィック流量計１及び感熱式フローセンサ２の上流側に配
置することにより、ＬＰガス３に圧力変動が生じるよう
な場合でも、圧力調整器４を通過した時点でのＬＰガス
３の流入圧力は一定に調節されているため、その流入圧
力と比例関係にある流量計へ流入する流量の変動がなく
なり、これにより、流量を変動成分の影響を受けること
なく一定状態に保って測定することができる。従って、
このようなことから、圧力変動や温度変動の影響を取り
除き、低流量域から大流量域に渡って高精度な流量の測
定が行える流量計を提供できる。

【００２１】なお、本実施例では、流体としてＬＰガス
３を用い、流体振動式流量計としてフルイディック流量
計１を用いたが、これに限るものではなく、例えば、流
体として都市ガスや空気のような気体を用いたり、流体
振動式流量計としてカルマン渦を使用したものでもよ
い。

【００２２】次に、請求項２記載の発明の一実施例を図
５に基づいて説明する。なお、前述した実施例（図１〜
図４）と同一部分についての説明は省略し、その同一部
分については同一符号を用いる。

【００２３】本実施例においても、高流量域の測定を行
う流体振動式流量計としてフルイディック流量計１が用
いられ、低流量域の測定を行う感熱式流量計として感熱
式フローセンサ２が用いられている。また、これらの流
量計の上流側には、流体（ＬＰガス３）からの圧力Ｐを
一定に調整するための圧力調整器４が配置されている。
そして、ここでは、図５に示すように、フルイディック
流量計１の出力値（振動数ｆ）から一定時間に流れるＬ
Ｐガス３の体積Ｖを算出する流体体積算出手段１５を設
けた。また、感熱式フローセンサ２の出力値（電圧Ｅ
ｏ）から一定時間に流れる流体のモル数ｎ₂ （又は質量
数）を算出する粒子情報算出手段１６を設けた。さら
に、流体体積算出手段１５から求めたフルイディック流
量計１の単位時間当たりのＬＰガス３の体積Ｖを測温素
子１７で計測された流体温度Ｔに基づいてモル数ｎ₁
（又は質量数）に変換する粒子情報変換手段１８を設け
た。

【００２４】このような構成において、流体体積算出手
段１５、粒子情報算出手段１６、粒子情報変換手段１８
の各動作を中心に述べる。今、圧力調整器４により２つ
の流量計に流れるＬＰガス３の圧力Ｐは一定に調整され
ている。そして、高流量域として、例えば、２００Ｌ／
Ｈ以上の場合、フルイディック流量計１から検出された
振動数ｆから、流体体積算出手段１５を構成するｆ−Ｖ
校正曲線によって流量（体積Ｖ）を求める。このように
して体積Ｖが求まると、ＬＰガス３の圧力Ｐは一定で、
測温素子１７で計測された流体温度Ｔは既知であるた
め、そのフルイディック流量計１をある一定時間に通過
したモル数をｎ₁ 、気体定数をＲとすると、粒子情報変
換手段１８を構成するＰＶ＝ｎＲＴの一般式から、モル
数ｎ₁ を求めることができる。一方、２００Ｌ／Ｈ以下
の感熱式フローセンサ２からは電圧Ｅｏが検出され、こ
の電圧Ｅｏから粒子情報算出手段１６を構成するＥ−ｎ
校正曲線によってモル数ｎ₂ を直接求める。そして、こ
のようにして求めたモル数ｎ₁ ，ｎ₂ を粒子情報表示手
段１９（詳細な説明は後述する）などを用いて表示する
ことにより、低流量域から高流量域までの流量をユーザ
が直ぐに認識することができる。

【００２５】上述したように、単位時間当たりの流量を
低流量域から高流量域まで、モル数ｎ₁ ，ｎ₂ （又は質
量数）表示することにより、環境温度の変動又は流体の
圧力変動による流量表示の差がなくなり、流量計として
の出力の一意性を保つことができる。これにより、検査
工程における流量計のチェックを確実に正確に行える。
なお、ここでは、流体温度Ｔを測定するために、感熱式
フローセンサ２に測温素子１７を設けたが、これに限る
ものではなく、例えば流量計の内部又は外部に熱電対を
取付け、温度を測定するような方式でもよい。また、モ
ル数の代わりに、質量数を求めても出力の一意性を保つ
ことができ同様な効果を有する。

【００２６】次に、請求項３記載の発明の一実施例を図
６及び図７に基づいて説明する。なお、前述した実施例
（図１〜図５）と同一部分についての説明は省略し、そ
の同一部分については同一符号を用いる。

【００２７】本実施例においては、流体振動式流量計
（フルイディック流量計１）に一定時間内に流れる流体
（ＬＰガス３）のモル数ｎ₁ （又は質量数）を用い、感
熱式流量計（感熱式フローセンサ２）により求める流量
を校正する流量校正手段を設けた。

【００２８】このような構成において、流量校正手段の
動作を中心に述べる。感熱式フローセンサ２の薄膜抵抗
としては一般に種々の気体と反応しにくく、かつ、抵抗
値の温度変化が３０００ｐｐｍと比較的大きい白金膜が
使用されている。しかし、環境温度が変化した場合や、
薄膜抵抗体が長期に渡って経時変化を受け抵抗値が変化
した場合には、センサ出力値はドリフトする。この場
合、出力値である電圧Ｅｏと単位時間に流れる流体のモ
ル数ｎ₂ との関係を示すＥ−ｎ校正曲線２０（図５参
照）は図６に示すように変化する。この変化によるセン
サ出力値Ｅｏのドリフト分δは、実際の使用時において
は不明であるため、既知流量でＥ−ｎ校正曲線２０を補
正する必要がある。

【００２９】そこで、本実施例では、フルイディック流
量計１と感熱式フローセンサ２とが共に感度をもつ図６
にハッチングで示した領域において、図７に示すよう
に、フルイディック流量計１から求められるモル数ｎ₁
を用いて、感熱式フローセンサ２のＥ−ｎ校正曲線２０
の補正処理を行う。すなわち、まず、感熱式フローセン
サ２の出力値Ｅｏ´を求めると共に、フルイディック流
量計１の出力値である振動数ｆから前述したようにｆ−
Ｖ校正曲線及びＰＶ＝ｎＲＴの式（図５参照）を用いて
一定時間に流れる流体のモル数ｎ₁ を求める。次に、そ
のフルイディック流量計１のモル数ｎ₁ を、感熱式フロ
ーセンサ２のＥ−ｎ校正曲線２０の補正用の既知流量と
し、感熱式フローセンサ２の出力値Ｅｏ´をモル数ｎ₁
が流れているときの出力値とする（Ｓ１）。一方、従来
のＥ−ｎ校正曲線２０によればモル数ｎ₁ に対応する感
熱式フローセンサ２の出力値はＥｏであるべきである。
従って、Ｅｏ−Ｅｏ´から、測定時点での感熱式フロー
センサ２の出力値のドリフト分δが求まるため（Ｓ２〜
Ｓ３）、このドリフト分δをＥ−ｎ校正曲線２０の各点
において差し引くことによって曲線の補正を行い正確な
Ｅ´−ｎ´校正曲線を求める（Ｓ４）。ただし、この新
たに求めたＥ´−ｎ´校正曲線は、流量が再度ハッチン
グ領域に入り新たなドリフト分δ´が算出されるまで使
用される。

【００３０】上述したように、フルイディック流量計１
の単位時間当たりに流れる流体のモル数ｎ₁ 又は質量数
を求め、このモル数ｎ₁ 又は質量数に対応する出力値を
感熱式フローセンサ２の出力値としてドリフト分δを算
出し正しい校正曲線を求めるようにしたので、感熱式フ
ローセンサ２の校正曲線に特別な変換処理を施すことな
く補正することができ、これにより演算処理の短縮化を
図ることができる。

【００３１】次に、請求項４記載の発明の一実施例につ
いて説明する。なお、前述した実施例（図１〜図７）と
同一部分についての説明は省略し、その同一部分につい
ては同一符号を用いる。

【００３２】流体としてＬＰガス３を用いた場合、この
ＬＰガス３はボンベを基準としているため、使用量は重
量で管理することが一般的であり、このようなことか
ら、各家庭のガスメータにおいても、従来のガスメータ
との違和感をなくすために流量表示することも必要であ
るが、積算消費量として重量表示とした方が取扱業者や
利用者にとって感覚的に受入れやすく便利である。ま
た、都市ガスを用いた一般家庭を対象とする流量計にお
いて、流量を標準状態で表示するという概念は一般の利
用者にはなじみがなく難解であり、正確でわかりやすい
重量表示とした方が望ましい。

【００３３】そこで、本実施例では、一定時間に通過す
る流体のモル数（又は質量数）を表示する粒子情報表示
手段１９を設けたものである。これにより、例えば、前
記図５に示したように、使用した流体のモル数を計算す
ることによって、使用した重量に容易に換算することが
でき、これにより、使用量を重量表示できるため、取扱
業者のみならず利用者も使用状況をすぐに理解すること
ができ便利である。この場合、従来のガスメータとの違
和感をなくすために、必要に応じて体積表示を併用して
もよい。

【００３４】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、２つの流量計の
上流側に配置された圧力調整手段を用いて流体の圧力を
一定に調節するようにしたので、圧力変動が生じたよう
な場合でも、その圧力と比例関係にある流量計へ流入す
る流量の変動分をなくし、流量を一定状態に保って測定
することができ、これにより、低流量域から大流量域ま
での流量の測定精度を高めることができる。

【００３５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、感熱式流量計の出力値を粒子情報算出手段
によって、また、流体振動式流量計の出力値を流体体積
算出手段及び粒子情報変換手段によって、それぞれモル
数又は質量数の値に変換するようにしたので、流量の出
力値は環境温度や流体圧力の因子を含まないモル数又は
質量数のみによって表示でき、これにより、出力の一意
性を保つことができるため、流量の測定される製品の検
査工程での取扱いの混乱がなくなり、また、厳しい測定
精度が要求されないため生産コストを低減させることが
できる。

【００３６】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、流量校正手段によって、流体振動式流量計
の単位時間当たりに流れる流体のモル数又は質量数を求
め、このときのモル数又は質量数に対応する出力値を感
熱式流量計の出力値としてドリフト分を算出し、このド
リフト分を感熱式流量計の校正曲線から差し引いて正し
い校正曲線を求めるようにしたので、感熱式流量計の校
正曲線に特別な変換処理を施すことなく補正することが
でき、これにより、流量の測定時間の短縮化及び省力化
を図ることができる。

【００３７】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、粒子情報表示手段によって、校正された流
体のモル数又は質量数から重量に換算して容易に表示す
ることができるので、ＬＰガスのようなボンベを基準と
して用いるような場合、流量の状態を取扱業者や利用者
に即座に理解させることができ取扱いが便利となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１記載の発明の一実施例を示すブロック
図である。

【図２】フルイディック流量計の構造を示す断面図であ
る。

【図３】感熱式フローセンサの表面形状を示す平面図で
ある。

【図４】感熱式フローセンサの駆動回路を示す回路図で
ある。

【図５】請求項２記載の発明の一実施例を示すブロック
図である。

【図６】請求項３記載の発明の一実施例である感熱式フ
ローセンサの校正曲線の補正処理を示す特性図である。

【図７】感熱式フローセンサの流量補正処理の流れを示
すフローチャートである。

【符号の説明】

１流体振動式流量計２感熱式流量計３流体４圧力調整手段５流体素子１５流体体積算出手段１６粒子情報算出手段１７測温素子１８粒子情報変換手段１９粒子情報表示手段Ｔ流体温度

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体素子による流体の振動を電気信号に
変換して流量を測定する流体振動式流量計と、流体の流
速を電気信号に変換して流量を測定する感熱式流量計と
を流体の流れる流路中に配置し、これらの２つの流量計
により低流量域から大流量域までの流量を測定する流量
計において、前記２つの流量計の上流側に前記流体の圧
力を一定に調節する圧力調整手段を配設したことを特徴
とする流量計。
【請求項２】流体振動を利用した流体振動式流量計の
出力値から一定時間に流れる流体の体積を算出する流体
体積算出手段を設け、流体の流速を利用した感熱式流量
計の出力値から一定時間に流れる流体のモル数又は質量
数を算出する粒子情報算出手段を設け、前記流体体積算
出手段から求めた前記流体振動式流量計の単位時間当た
りの流体の体積を測温素子で計測された流体温度に基づ
いてモル数又は質量数に変換する粒子情報変換手段を設
けたことを特徴とする請求項１記載の流量計。
【請求項３】流体振動式流量計に一定時間内に流れる
流体のモル数又は質量数を用いて、感熱式流量計により
求める流量を校正する流量校正手段を設けたことを特徴
とする請求項２記載の流量計。
【請求項４】一定時間に通過する流体のモル数又は質
量数を表示する粒子情報表示手段を設けたことを特徴と
する請求項３記載の流量計。