JPH0836028A - 半導体ｉｃ試験装置 - Google Patents
半導体ｉｃ試験装置Info
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- JPH0836028A JPH0836028A JP6191928A JP19192894A JPH0836028A JP H0836028 A JPH0836028 A JP H0836028A JP 6191928 A JP6191928 A JP 6191928A JP 19192894 A JP19192894 A JP 19192894A JP H0836028 A JPH0836028 A JP H0836028A
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 23
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体ＩＣ試験装置内の波形デジタイザ用フイ
ルタの位相直線性を自己診断評価する装置を提供する。 【構成】半導体ＩＣ試験装置に内蔵の任意波形発生器２
０に切替部Ｂ９０を設け、それは波形デジタイザ用フイ
ルタの位相直線性の評価用と他用途の切替え用に使用す
る。任意波形発生器２０の信号が波形デジタイザ用フイ
ルタ３０を介した場合と介さない場合の２通りの信号の
切替え部分として波形デジタザ用フイルタ３０と切替え
部分Ｂ９０との間に切替え部分Ａ６０を設け、波形デジ
タイザ用フイルタ３０を介した場合と介さない場合の２
通りの信号を受ける波形デジタイザ４０とデジタルシグ
ナルプロセッシング５０を設けた構成を特徴とする。
ルタの位相直線性を自己診断評価する装置を提供する。 【構成】半導体ＩＣ試験装置に内蔵の任意波形発生器２
０に切替部Ｂ９０を設け、それは波形デジタイザ用フイ
ルタの位相直線性の評価用と他用途の切替え用に使用す
る。任意波形発生器２０の信号が波形デジタイザ用フイ
ルタ３０を介した場合と介さない場合の２通りの信号の
切替え部分として波形デジタザ用フイルタ３０と切替え
部分Ｂ９０との間に切替え部分Ａ６０を設け、波形デジ
タイザ用フイルタ３０を介した場合と介さない場合の２
通りの信号を受ける波形デジタイザ４０とデジタルシグ
ナルプロセッシング５０を設けた構成を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ＩＣ試験装置内
の波形デジタイザ用フイルタの位相直線性を評価する半
導体ＩＣ試験装置に関する。
の波形デジタイザ用フイルタの位相直線性を評価する半
導体ＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来半導体ＩＣ試験装置内の波形デジタ
イザ用フイルタの位相直線性の評価は当該半導体ＩＣ試
験装置で自己診断が出来なかった。図３に従来の半導体
ＩＣ試験装置で行った波形デジタイザ用フイルタの位相
直線性の評価装置の一実施例であるブロック図を示す。
半導体ＩＣ試験装置９内の波形デジタイザ用フイルタ３
０と波形デジタイザ４０とデジタルシグナルプロセッシ
ング５０とＸ側接続ケーブル７０とＹ側接続ケーブル８
０より構成された。波形デジタイザ用フイルタ３０を評
価する場合、半導体ＩＣ試験装置９内の波形デジタイザ
用フイルタ３０に外部より波形信号発生器１９を接続し
て、波形デジタイザ用フイルタ３０を介した場合と介さ
ない場合の２通りを波形デジタイザ４０とデジタルシグ
ナルプロセッシング５０を介して測定データを得る。波
形デジタイザ用フイルタ３０を測定評価する場合、外部
の波形信号発生器１９を準備し、評価用信号波形の品質
を確認、半導体ＩＣ試験装置内蔵の波形デジタイザ用フ
イルタ３０の場所を確認する作業、測定のための配線作
業、外部の波形信号発生器１９が変わるたびにデータの
補正を必要とした。
イザ用フイルタの位相直線性の評価は当該半導体ＩＣ試
験装置で自己診断が出来なかった。図３に従来の半導体
ＩＣ試験装置で行った波形デジタイザ用フイルタの位相
直線性の評価装置の一実施例であるブロック図を示す。
半導体ＩＣ試験装置９内の波形デジタイザ用フイルタ３
０と波形デジタイザ４０とデジタルシグナルプロセッシ
ング５０とＸ側接続ケーブル７０とＹ側接続ケーブル８
０より構成された。波形デジタイザ用フイルタ３０を評
価する場合、半導体ＩＣ試験装置９内の波形デジタイザ
用フイルタ３０に外部より波形信号発生器１９を接続し
て、波形デジタイザ用フイルタ３０を介した場合と介さ
ない場合の２通りを波形デジタイザ４０とデジタルシグ
ナルプロセッシング５０を介して測定データを得る。波
形デジタイザ用フイルタ３０を測定評価する場合、外部
の波形信号発生器１９を準備し、評価用信号波形の品質
を確認、半導体ＩＣ試験装置内蔵の波形デジタイザ用フ
イルタ３０の場所を確認する作業、測定のための配線作
業、外部の波形信号発生器１９が変わるたびにデータの
補正を必要とした。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように波形デジ
タイザ用フイルタの位相直線性の評価をする場合大変な
準備作業を必要とした、評価をしようにもすぐ出来なか
った。準備の時間は機材の準備、配線の準備、外部波形
信号発生器の準備、その外部波形信号発生器が評価の都
度異なる可能性があり外部信号発生器のバラツキを、評
価の都度補正する必要が生じ、測定精度が問題となり大
変煩雑であった。この問題を解決するするために、半導
体ＩＣ試験装置に内蔵の任意波形発生器を波形信号発生
器として使用する。外部の波形信号発生器が評価の都度
装置が変わる可能性を排除し、定まった波形信号発生器
を使用できるようにした、外部接続の波形信号発生器ご
との誤差を少なく出来る。半導体ＩＣ試験装置内蔵の波
形デジタイザ用フイルタの位相直線性の評価を自己診断
する新たな装置を提供するものである。
タイザ用フイルタの位相直線性の評価をする場合大変な
準備作業を必要とした、評価をしようにもすぐ出来なか
った。準備の時間は機材の準備、配線の準備、外部波形
信号発生器の準備、その外部波形信号発生器が評価の都
度異なる可能性があり外部信号発生器のバラツキを、評
価の都度補正する必要が生じ、測定精度が問題となり大
変煩雑であった。この問題を解決するするために、半導
体ＩＣ試験装置に内蔵の任意波形発生器を波形信号発生
器として使用する。外部の波形信号発生器が評価の都度
装置が変わる可能性を排除し、定まった波形信号発生器
を使用できるようにした、外部接続の波形信号発生器ご
との誤差を少なく出来る。半導体ＩＣ試験装置内蔵の波
形デジタイザ用フイルタの位相直線性の評価を自己診断
する新たな装置を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】波形デジタイザ用フイル
タの位相直線性の評価を自己診断を行うために、半導体
ＩＣ試験装置内蔵の任意波形発生器を波形信号発生器と
して使用出来る手段として切替部Ｂを設け、任意波形発
生器の信号を波形デジタイザ用フイルタを介した場合と
介さない場合の切り替え用手段として切替部Ａを設け、 １、波形デジタイザ用フイルタを介した場合、任意波形
発生器の信号を切替部Ｂと切替部Ａと波形デジタイザ用
フイルタと波形デジタイザとデジタルシグナルプロセッ
シングを直列に接続して測定データを得る。 ２、波形デジタイザ用フイルタを介さない場合、任意波
形発生器の信号を切替部Ｂと切替部Ａと波形デジタイザ
とデジタルシグナルプロセッシングを直列に接続して測
定データを得る。波形デジタイザ用フイルタの位相直線
性の評価を本発明の半導体ＩＣ試験装置で自己診断を行
うことが可能となった。
タの位相直線性の評価を自己診断を行うために、半導体
ＩＣ試験装置内蔵の任意波形発生器を波形信号発生器と
して使用出来る手段として切替部Ｂを設け、任意波形発
生器の信号を波形デジタイザ用フイルタを介した場合と
介さない場合の切り替え用手段として切替部Ａを設け、 １、波形デジタイザ用フイルタを介した場合、任意波形
発生器の信号を切替部Ｂと切替部Ａと波形デジタイザ用
フイルタと波形デジタイザとデジタルシグナルプロセッ
シングを直列に接続して測定データを得る。 ２、波形デジタイザ用フイルタを介さない場合、任意波
形発生器の信号を切替部Ｂと切替部Ａと波形デジタイザ
とデジタルシグナルプロセッシングを直列に接続して測
定データを得る。波形デジタイザ用フイルタの位相直線
性の評価を本発明の半導体ＩＣ試験装置で自己診断を行
うことが可能となった。
【０００５】
【実施例】図１にこの発明の一実施例のブロック図を、
図２に他の実施例のブロック図を示す。半導体ＩＣ試験
装置１０内蔵の任意波形発生器２０に切替部Ｂ９０を設
け、それは波形デジタイザ用フイルタの位相直線性の評
価用と従来用途との切替に使用する、任意波形発生器２
０の信号が波形デジタイザ用フイルタ３０を介した場合
と介さない場合の２通りの信号の切替え用として切替部
Ａ６０を設け、波形デジタイザ用フイルタ３０を介した
場合と介さない場合の２通りの信号の制御を切替部Ａ６
０が行い、波形デジタイザ用フイルタ３０と接続する側
と波形デジタイザ４０に接続する２通りがある。波形デ
ジタイザ用フイルタ３０と波形デジタイザ４０を接続す
るケーブルをＸ側接続ケーブル７０とし、切替部Ａ６０
と波形デジタイザ４０を接続するケーブルをＹ側接続ケ
ーブル８０として設け、切替部Ａ６０の操作によって波
形デジタイザ用フイルタ３０を介した場合と介さない場
合の２通りの信号を波形デジタイザ４０とデジタルシグ
ナルプロセッシング５０を介して比較データを得る。
図２に他の実施例のブロック図を示す。半導体ＩＣ試験
装置１０内蔵の任意波形発生器２０に切替部Ｂ９０を設
け、それは波形デジタイザ用フイルタの位相直線性の評
価用と従来用途との切替に使用する、任意波形発生器２
０の信号が波形デジタイザ用フイルタ３０を介した場合
と介さない場合の２通りの信号の切替え用として切替部
Ａ６０を設け、波形デジタイザ用フイルタ３０を介した
場合と介さない場合の２通りの信号の制御を切替部Ａ６
０が行い、波形デジタイザ用フイルタ３０と接続する側
と波形デジタイザ４０に接続する２通りがある。波形デ
ジタイザ用フイルタ３０と波形デジタイザ４０を接続す
るケーブルをＸ側接続ケーブル７０とし、切替部Ａ６０
と波形デジタイザ４０を接続するケーブルをＹ側接続ケ
ーブル８０として設け、切替部Ａ６０の操作によって波
形デジタイザ用フイルタ３０を介した場合と介さない場
合の２通りの信号を波形デジタイザ４０とデジタルシグ
ナルプロセッシング５０を介して比較データを得る。
【０００６】波形デジタイザ用フイルタの操作を一実施
例を図１のブロック図で説明する。 半導体ＩＣ試験装置に内蔵の任意波形発生器２０から
Ｓｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形を出力するよう切替部Ｂを測定
に入れる、切替部Ｂ９０は切替部Ａ６０に信号を入力で
きるようにセットする。 切替部Ａ６０を波形デジタザ用フイルタ３０の方に切
替る、任意波形発生器２０からＳｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形
を入力して波形デジタザ用フイルタ３０を通過させＸ側
接続ケーブル７０より波形デジタイザ４０に入れデジタ
ルシグナルプロセッシング５０を介して測定データを得
る。 次に任意波形発生器２０のＳｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形を
通過させないもう一方は波形デジタザ用フイルタ３０の
切替部Ａ６０をＹ側接続ケーブル８０に接続当該ケーブ
ルを波形デジタイザ４０の入力側に接続する測定データ
はデジタルシグナルプロセッシング５０を介して測定デ
ータを得る。 Ｘ側とＹ側の位相差データを取り位相直線性を評価す
る。被評価用波形デジタザ用フイルタを任意波形発生器
２０のＳｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形が通過する方をＸ側と
し、波形デジタザ用フイルタを通過しない方をＹ側とＺ
側とする。
例を図１のブロック図で説明する。 半導体ＩＣ試験装置に内蔵の任意波形発生器２０から
Ｓｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形を出力するよう切替部Ｂを測定
に入れる、切替部Ｂ９０は切替部Ａ６０に信号を入力で
きるようにセットする。 切替部Ａ６０を波形デジタザ用フイルタ３０の方に切
替る、任意波形発生器２０からＳｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形
を入力して波形デジタザ用フイルタ３０を通過させＸ側
接続ケーブル７０より波形デジタイザ４０に入れデジタ
ルシグナルプロセッシング５０を介して測定データを得
る。 次に任意波形発生器２０のＳｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形を
通過させないもう一方は波形デジタザ用フイルタ３０の
切替部Ａ６０をＹ側接続ケーブル８０に接続当該ケーブ
ルを波形デジタイザ４０の入力側に接続する測定データ
はデジタルシグナルプロセッシング５０を介して測定デ
ータを得る。 Ｘ側とＹ側の位相差データを取り位相直線性を評価す
る。被評価用波形デジタザ用フイルタを任意波形発生器
２０のＳｗｅｐｔ Ｓｉｎ波形が通過する方をＸ側と
し、波形デジタザ用フイルタを通過しない方をＹ側とＺ
側とする。
【０００７】その他の一実施例のブロック図を図２に示
す。半導体ＩＣ試験装置１１内蔵の任意波形発生器２０
に切替部Ｂ９０を設け、それは波形デジタイザ用フイル
タの位相直線性の評価用と従来用途との切替に使用す
る。任意波形発生器２０の信号が波形デジタイザ用フイ
ルタ３０を介した場合と介さない場合の２通りの一方を
Ｘ側接続ケーブル７０と波形デジタイザ４０と接続しそ
の出力をデジタルシグナルプロセッシング５０に入力す
るよう設け、もう一方はＺ接続ケーブル１００側に波形
デジタイザ４１を接続しその出力をデジタルシグナルプ
ロセッシング５１に入力するよう設け、Ｘ側とＺ側は同
時に測定ができ、デジタルシグナルプロセッシング５
０、５１よりＸ側とＺ側の測定データを取り位相差を算
出して位相直線性を評価する。
す。半導体ＩＣ試験装置１１内蔵の任意波形発生器２０
に切替部Ｂ９０を設け、それは波形デジタイザ用フイル
タの位相直線性の評価用と従来用途との切替に使用す
る。任意波形発生器２０の信号が波形デジタイザ用フイ
ルタ３０を介した場合と介さない場合の２通りの一方を
Ｘ側接続ケーブル７０と波形デジタイザ４０と接続しそ
の出力をデジタルシグナルプロセッシング５０に入力す
るよう設け、もう一方はＺ接続ケーブル１００側に波形
デジタイザ４１を接続しその出力をデジタルシグナルプ
ロセッシング５１に入力するよう設け、Ｘ側とＺ側は同
時に測定ができ、デジタルシグナルプロセッシング５
０、５１よりＸ側とＺ側の測定データを取り位相差を算
出して位相直線性を評価する。
【０００８】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので以下に掲載されるような効果を奏する。 １、半導体ＩＣ試験装置内蔵の任意波形発生器に切替部
Ａを設けたので波形信号発生器のように作動し、波形デ
ジタイザ用フイルタを介する測定と介さない測定の切替
部Ｂを設けたので波形デジタイザ用フイルタの比較が簡
単に行えるようになった、任意波形発生器を波形信号発
生器として利用出来るので、評価を行う都度外部より波
形信号発生器を取り付ける必要がなくなり、測定準備工
数の削減ができ、波形信号発生器ごとのバラツキ誤差が
無くなり、評価の都度補正する必要が無くなり測定精度
が向上した。波形デジタイザは切替部Ａを切替えＸ側と
Ｙ側の測定データを取り位相差を算出して位相直線性を
評価する。 ２、波形デジタイザとデジタルシグナルプロセッシング
をＸ側とＺ側に設け、同時にＸ側とＺ側を計測が行え、
Ｘ側とＺ側の測定データを取り位相差を算出して位相直
線性を評価する。 ３、波形デジタイザ用フイルタの位相直線性の評価は本
発明の半導体ＩＣ試験装置で自己診断を行うことが可能
となった。
ているので以下に掲載されるような効果を奏する。 １、半導体ＩＣ試験装置内蔵の任意波形発生器に切替部
Ａを設けたので波形信号発生器のように作動し、波形デ
ジタイザ用フイルタを介する測定と介さない測定の切替
部Ｂを設けたので波形デジタイザ用フイルタの比較が簡
単に行えるようになった、任意波形発生器を波形信号発
生器として利用出来るので、評価を行う都度外部より波
形信号発生器を取り付ける必要がなくなり、測定準備工
数の削減ができ、波形信号発生器ごとのバラツキ誤差が
無くなり、評価の都度補正する必要が無くなり測定精度
が向上した。波形デジタイザは切替部Ａを切替えＸ側と
Ｙ側の測定データを取り位相差を算出して位相直線性を
評価する。 ２、波形デジタイザとデジタルシグナルプロセッシング
をＸ側とＺ側に設け、同時にＸ側とＺ側を計測が行え、
Ｘ側とＺ側の測定データを取り位相差を算出して位相直
線性を評価する。 ３、波形デジタイザ用フイルタの位相直線性の評価は本
発明の半導体ＩＣ試験装置で自己診断を行うことが可能
となった。
【図１】本発明の一実施例のブロック図である。
【図２】本発明の他の実施例のブロック図である。
【図３】従来技術の実施例のブロック図である。
９、１０、１１ 半導体ＩＣ試験装置 １９ 外部の波形信号発生器 ２０ 任意波形発生器 ３０ 波形デジタイザ用フイルタ ４０、４１ 波形デジタイザ ５０、５１ デジタルシグナルプロセッシング ６０ 切替部分Ａ ７０ Ｘ側接続ケーブル ８０ Ｙ側接続ケーブル ９０ 切替部分Ｂ １００ Ｚ側接続ケーブル
Claims (2)
- 【請求項１】装置内蔵の波形デジタイザ用フイルタの位
相直線性の自己診断を行う半導体ＩＣ試験装置におい
て、 半導体ＩＣ試験装置（１０）に内蔵の任意波形発生器
（２０）を接続できる切替部Ｂ（９０）を設け、 一方には波形デジタイザ用フイルタ（３０）とＸ側接続
ケーブル（７０）と波形デジタイザ（４０）とデジタル
シグナルプロセッシング（５０）と直列に接続でき、他
方にはＹ側接続ケーブル（８０）と波形デジタイザ（４
０）とデジタルシグナルプロセッシング（５０）と直列
に接続できる切替部Ａ（６０）を設け、 以上の構成を具備することを特徴とする半導体ＩＣ試験
装置。 - 【請求項２】装置内蔵の波形デジタイザ用フイルタの位
相直線性の自己診断半導体ＩＣ試験装置において、 半導体ＩＣ試験装置（１１）に内蔵の任意波形発生器
（２０）を接続できる切替部Ｂ（９０）を設け、 一方には波形デジタイザ用フイルタ（３０）とＸ側接続
ケーブル（７０）と波形デジタイザ（４０）とデジタル
シグナルプロセッシング（５０）と直列に接続でき、他
方には直列に接続したＺ側接続ケーブル（１００）と波
形デジタイザ（４１）とデジタルシグナルプロセッシン
グ（５１）とを設け、 以上の構成を具備することを特徴とする半導体ＩＣ試験
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19192894A JP3614889B2 (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | 半導体ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19192894A JP3614889B2 (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | 半導体ｉｃ試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0836028A true JPH0836028A (ja) | 1996-02-06 |
| JP3614889B2 JP3614889B2 (ja) | 2005-01-26 |
Family
ID=16282782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19192894A Expired - Fee Related JP3614889B2 (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | 半導体ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3614889B2 (ja) |
-
1994
- 1994-07-22 JP JP19192894A patent/JP3614889B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3614889B2 (ja) | 2005-01-26 |
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