JPH0836157A - 可変波長フィルタ - Google Patents
可変波長フィルタInfo
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- JPH0836157A JPH0836157A JP17671494A JP17671494A JPH0836157A JP H0836157 A JPH0836157 A JP H0836157A JP 17671494 A JP17671494 A JP 17671494A JP 17671494 A JP17671494 A JP 17671494A JP H0836157 A JPH0836157 A JP H0836157A
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- light
- polarization
- filter
- wavelength
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の任意の波長・周波数の光信号をロスな
く選択でき、しかも透過スペクトル形状を任意に設定で
きる可変波長フィルタを提供する。 【構成】 複屈折板32の両面に1/4波長板33,3
4を設け、さらに一方には反射面35を設け、他方には
複数の透過スペクトルを有するファブリペロー干渉型フ
ィルタ36及び偏波面の角度を任意に制御可能な偏光制
御反射素子アレイ37を設け、ファブリペロー干渉型フ
ィルタ36の透過スペクトル毎の光に対して、偏光制御
反射素子アレイ37が与える偏波面の回転角度を制御す
ることにより、複屈折板32の一端より入射された光の
うち、該一端側に戻ってくる光の波長及びその割合を変
化させる。
く選択でき、しかも透過スペクトル形状を任意に設定で
きる可変波長フィルタを提供する。 【構成】 複屈折板32の両面に1/4波長板33,3
4を設け、さらに一方には反射面35を設け、他方には
複数の透過スペクトルを有するファブリペロー干渉型フ
ィルタ36及び偏波面の角度を任意に制御可能な偏光制
御反射素子アレイ37を設け、ファブリペロー干渉型フ
ィルタ36の透過スペクトル毎の光に対して、偏光制御
反射素子アレイ37が与える偏波面の回転角度を制御す
ることにより、複屈折板32の一端より入射された光の
うち、該一端側に戻ってくる光の波長及びその割合を変
化させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、波長・周波数多重され
た光信号から任意の複数の波長・周波数の光信号を選択
的に取り出したり、透過スペクトルの形状を任意に設定
可能な可変波長フィルタに関するものである。
た光信号から任意の複数の波長・周波数の光信号を選択
的に取り出したり、透過スペクトルの形状を任意に設定
可能な可変波長フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】光ファイバによる光通信は大容量の情報
を高速に伝送することができるため、近年、急速に実用
化されつつある。現時点では、特定の波長・周波数の光
パルスを伝送しているのみであるが、多数の異なる波長
・周波数の光パルスを伝送することができれば、さらに
大容量の情報を伝送することが可能となる。これを波長
多重(WDM)・周波数多重(FDM)通信と呼び、現
在、活発に研究されている。該波長・周波数多重通信に
おいては多数の異なる波長・周波数の光パルスの中か
ら、任意の波長・周波数の光パルスのみを選択的に取り
出す可変波長フィルタがキーデバイスとなる。このた
め、各種の可変波長フィルタが研究され、実用化されて
いる。
を高速に伝送することができるため、近年、急速に実用
化されつつある。現時点では、特定の波長・周波数の光
パルスを伝送しているのみであるが、多数の異なる波長
・周波数の光パルスを伝送することができれば、さらに
大容量の情報を伝送することが可能となる。これを波長
多重(WDM)・周波数多重(FDM)通信と呼び、現
在、活発に研究されている。該波長・周波数多重通信に
おいては多数の異なる波長・周波数の光パルスの中か
ら、任意の波長・周波数の光パルスのみを選択的に取り
出す可変波長フィルタがキーデバイスとなる。このた
め、各種の可変波長フィルタが研究され、実用化されて
いる。
【0003】しかしながら、これらの多くは波長・周波
数多重された光信号の中から1つの波長・周波数の光信
号しか取り出すことができなかった。また、その透過ス
ペクトルの形状はフィルタの原理によって決ってしま
い、電気的なフィルタのように任意の透過スペクトルを
持つ光のフィルタは形成できなかった。将来の波長・周
波数多重通信においては、複数の任意の波長・周波数の
光信号を取り出したり、任意の透過スペクトルを設定で
きる可変波長フィルタが非常に重要になる。例えば、将
来の交換機は光をそのまま交換する光交換機になること
が予想されるが、その中で複数の任意の波長・周波数の
光信号を同時に選択できるマルチチャンネルフィルタが
重要になる。
数多重された光信号の中から1つの波長・周波数の光信
号しか取り出すことができなかった。また、その透過ス
ペクトルの形状はフィルタの原理によって決ってしま
い、電気的なフィルタのように任意の透過スペクトルを
持つ光のフィルタは形成できなかった。将来の波長・周
波数多重通信においては、複数の任意の波長・周波数の
光信号を取り出したり、任意の透過スペクトルを設定で
きる可変波長フィルタが非常に重要になる。例えば、将
来の交換機は光をそのまま交換する光交換機になること
が予想されるが、その中で複数の任意の波長・周波数の
光信号を同時に選択できるマルチチャンネルフィルタが
重要になる。
【0004】図1は波長光交換の概念を示すもので、図
中、1は複数の入力光ファイバ、2は複数の光分岐器、
3は複数の可変波長フィルタ、4,7は複数の波長変換
素子、5は複数の光カップラ、6は複数のマルチチャン
ネル可変波長フィルタ、8は複数の光合波器、9は複数
の出力光ファイバである。
中、1は複数の入力光ファイバ、2は複数の光分岐器、
3は複数の可変波長フィルタ、4,7は複数の波長変換
素子、5は複数の光カップラ、6は複数のマルチチャン
ネル可変波長フィルタ、8は複数の光合波器、9は複数
の出力光ファイバである。
【0005】加入者より入力光ファイバ1を介して送ら
れてきた、波長多重された光信号は光分岐器2で分波さ
れ、可変波長フィルタ3で選択され、波長変換素子4で
各加入者に対応した波長の光に波長変換され、光カップ
ラ5によって波長多重化される。波長多重された光信号
の中からマルチチャンネル可変波長フィルタ6で複数の
波長を選択し、波長変換素子7で次の波長変換を繰り返
すことにより、波長領域での光交換が実現される。
れてきた、波長多重された光信号は光分岐器2で分波さ
れ、可変波長フィルタ3で選択され、波長変換素子4で
各加入者に対応した波長の光に波長変換され、光カップ
ラ5によって波長多重化される。波長多重された光信号
の中からマルチチャンネル可変波長フィルタ6で複数の
波長を選択し、波長変換素子7で次の波長変換を繰り返
すことにより、波長領域での光交換が実現される。
【0006】また、透過スペクトル形状を任意に制御可
能なフィルタは、光学部品の波長依存性を補正するため
に非常に重要である。例えば、Erドープ光ファイバ増
幅器は、その光増幅特性に大きな波長依存性がある。こ
のため、 1.536μmにて2nmの帯域しかなく、また、
1.552μmにて4nmの帯域しかない。光ファイバ増幅
器の後段に、この増幅特性を補正する光フィルタを置く
ことによって、その帯域を数10nmまで広げられれ
ば、さらに多くの波長を多重することが可能となる。
能なフィルタは、光学部品の波長依存性を補正するため
に非常に重要である。例えば、Erドープ光ファイバ増
幅器は、その光増幅特性に大きな波長依存性がある。こ
のため、 1.536μmにて2nmの帯域しかなく、また、
1.552μmにて4nmの帯域しかない。光ファイバ増幅
器の後段に、この増幅特性を補正する光フィルタを置く
ことによって、その帯域を数10nmまで広げられれ
ば、さらに多くの波長を多重することが可能となる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の任意の複数の波
長・周波数の光信号を同時に取り出すことが可能なフィ
ルタとしては、光音響フィルタがある。光音響フィルタ
は、印加する高周波電圧の周波数を変えることにより波
長を変更して選択でき、複数の高周波電圧を一度に印加
すると複数の波長を同時に選択できる。しかしながら、
印加する電圧が複数になると素子の発熱が大きくなり、
実際に選択できる波長の数は高々5つ程度にすぎなかっ
た(例えば、ECOC, 89, Gothenburg, Sweeden, Sept.,
1989, K.W.Cheung et a1., pp10-14)。
長・周波数の光信号を同時に取り出すことが可能なフィ
ルタとしては、光音響フィルタがある。光音響フィルタ
は、印加する高周波電圧の周波数を変えることにより波
長を変更して選択でき、複数の高周波電圧を一度に印加
すると複数の波長を同時に選択できる。しかしながら、
印加する電圧が複数になると素子の発熱が大きくなり、
実際に選択できる波長の数は高々5つ程度にすぎなかっ
た(例えば、ECOC, 89, Gothenburg, Sweeden, Sept.,
1989, K.W.Cheung et a1., pp10-14)。
【0008】また、液晶をファブリペローエタロン内に
充填した液晶可変波長フィルタの電極を微細に分離し、
これらを通過するように光ビームを広げて複数の波長を
選択するという報告もあるが、選択波長数が高々4つ程
度であり、波長数が増加するに従ってロスも増加すると
いう問題があった(例えば、IEEE Phon. Tech. Lett.,
vol.3, 1991, J.S.Patel and M.W.Maeda, pp.643-64
4)。
充填した液晶可変波長フィルタの電極を微細に分離し、
これらを通過するように光ビームを広げて複数の波長を
選択するという報告もあるが、選択波長数が高々4つ程
度であり、波長数が増加するに従ってロスも増加すると
いう問題があった(例えば、IEEE Phon. Tech. Lett.,
vol.3, 1991, J.S.Patel and M.W.Maeda, pp.643-64
4)。
【0009】また、光導波路によるマッハツェンダ干渉
計と位相シフタとを組み合わせたマルチチャンネルフィ
ルタについて報告されている(例えば、信学技報、pst9
1-46、笹山、奥野、葉原)が、選択周波数の数が増加す
るに従ってロスが増加し、素子の駆動が複雑になるとい
う問題があった。
計と位相シフタとを組み合わせたマルチチャンネルフィ
ルタについて報告されている(例えば、信学技報、pst9
1-46、笹山、奥野、葉原)が、選択周波数の数が増加す
るに従ってロスが増加し、素子の駆動が複雑になるとい
う問題があった。
【0010】本発明は前述した従来の問題点に鑑み、複
数の任意の波長・周波数の光信号をロスなく選択でき、
しかも透過スペクトル形状を任意に設定できる可変波長
フィルタを提供することを目的とする。
数の任意の波長・周波数の光信号をロスなく選択でき、
しかも透過スペクトル形状を任意に設定できる可変波長
フィルタを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明では前記目的を達
成するため、光信号から任意の波長の光信号を選択的に
取り出す可変波長フィルタにおいて、光信号の伝達媒体
となる複屈折板と、該複屈折板を挟み且つ光信号の偏波
面を所定の角度回転させる偏光回転手段と、光信号から
任意の波長の光信号を選択するフィルタと、任意の部分
の偏光回転角度を制御可能な偏光制御素子と、これら全
体を挟むように配置された反射面とを備えた可変波長フ
ィルタを提案する。
成するため、光信号から任意の波長の光信号を選択的に
取り出す可変波長フィルタにおいて、光信号の伝達媒体
となる複屈折板と、該複屈折板を挟み且つ光信号の偏波
面を所定の角度回転させる偏光回転手段と、光信号から
任意の波長の光信号を選択するフィルタと、任意の部分
の偏光回転角度を制御可能な偏光制御素子と、これら全
体を挟むように配置された反射面とを備えた可変波長フ
ィルタを提案する。
【0012】
【作用】複屈折板に直線偏光の光ビームを垂直に入射し
た場合、複屈折板中の光ビームの光路は該光ビームの偏
光方向によって異なる。
た場合、複屈折板中の光ビームの光路は該光ビームの偏
光方向によって異なる。
【0013】例えば、図2に示すように複屈折板10
(10aは光軸の方向)に、紙面に垂直な方向(図中、
●で示す。)11に電界振動を持つ光ビーム12を入射
すると、該光ビーム12は複屈折板10内を直進する。
この光ビーム12は常光線(屈折の法則に従う光線)と
呼ばれる。また、紙面に平行な方向(図中、矢印で示
す。)13に電界振動を持つ光ビーム14は複屈折板1
0内を斜めに進む。この光ビーム14は異常光線(屈折
の法則に従わない光線)と呼ばれる。従って、入射光ビ
ームの偏光方向を制御することによって、複屈折板中で
の光の光路を直進又は斜めのどちらかに選択できる。
(10aは光軸の方向)に、紙面に垂直な方向(図中、
●で示す。)11に電界振動を持つ光ビーム12を入射
すると、該光ビーム12は複屈折板10内を直進する。
この光ビーム12は常光線(屈折の法則に従う光線)と
呼ばれる。また、紙面に平行な方向(図中、矢印で示
す。)13に電界振動を持つ光ビーム14は複屈折板1
0内を斜めに進む。この光ビーム14は異常光線(屈折
の法則に従わない光線)と呼ばれる。従って、入射光ビ
ームの偏光方向を制御することによって、複屈折板中で
の光の光路を直進又は斜めのどちらかに選択できる。
【0014】図3に示すように、複屈折板20の両面に
光の偏光を90°回転し且つ反射する偏光回転反射手段
21,22を設けると、複屈折板20の一端から入射し
た光を他端に導く光の伝達機構を実現できる。即ち、紙
面に垂直な方向(図中、●で示す。)23に電界振動を
持つ常光線の光24を一方の面のA点から入射すると、
該光24は複屈折板20内を直進し、他方の面のB点に
達する。そこで、光24は偏光回転反射手段21により
反射され、複屈折板20内に戻されるとともに90°偏
波面の回転を受ける。
光の偏光を90°回転し且つ反射する偏光回転反射手段
21,22を設けると、複屈折板20の一端から入射し
た光を他端に導く光の伝達機構を実現できる。即ち、紙
面に垂直な方向(図中、●で示す。)23に電界振動を
持つ常光線の光24を一方の面のA点から入射すると、
該光24は複屈折板20内を直進し、他方の面のB点に
達する。そこで、光24は偏光回転反射手段21により
反射され、複屈折板20内に戻されるとともに90°偏
波面の回転を受ける。
【0015】その結果、光24は紙面に平行な方向(図
中、矢印で示す。)25に電界振動を持つ異常光線に変
換され(常光線と異常光線の偏波面は互いに直交してい
るため)、前述したように複屈折板20内を斜めに進
み、B点からC点に進む。また、ここで、光は偏光回転
反射手段22により、前記同様に反射され且つ90°偏
波面の回転を受け、再び常光線になる。従って、今度は
複屈折板20を直進してD点に向かう。以下同様にし
て、光は順次、複屈折板20の両面で反射されながら紙
面の右方向に進んでいき、出力(26)される。
中、矢印で示す。)25に電界振動を持つ異常光線に変
換され(常光線と異常光線の偏波面は互いに直交してい
るため)、前述したように複屈折板20内を斜めに進
み、B点からC点に進む。また、ここで、光は偏光回転
反射手段22により、前記同様に反射され且つ90°偏
波面の回転を受け、再び常光線になる。従って、今度は
複屈折板20を直進してD点に向かう。以下同様にし
て、光は順次、複屈折板20の両面で反射されながら紙
面の右方向に進んでいき、出力(26)される。
【0016】前述した反射機構は、対向する2枚のミラ
ーでも実現できるが、ミラーの平行度を完全とし、その
間隔を制御して入射光の角度を正確に制御しないと、反
射の繰り返しピッチを正確に制御することができない。
このような3次元のアライメントを実行することは困難
である。この点、複屈折板は単結晶であるので、結晶面
が利用でき、完全平行を実現するのは容易であり、ま
た、繰り返しピッチはその厚さによって決まるが、該厚
さを制御するのは容易である。入射光の角度も複屈折板
に垂直に入射すれば良いので容易である。このように、
本構造を採用することにより、アライメントが容易にな
る。
ーでも実現できるが、ミラーの平行度を完全とし、その
間隔を制御して入射光の角度を正確に制御しないと、反
射の繰り返しピッチを正確に制御することができない。
このような3次元のアライメントを実行することは困難
である。この点、複屈折板は単結晶であるので、結晶面
が利用でき、完全平行を実現するのは容易であり、ま
た、繰り返しピッチはその厚さによって決まるが、該厚
さを制御するのは容易である。入射光の角度も複屈折板
に垂直に入射すれば良いので容易である。このように、
本構造を採用することにより、アライメントが容易にな
る。
【0017】次に、前述した複屈折板と偏光回転反射手
段とを組み合わせた光の伝達機構において、図4に示す
ように複屈折板20と偏光回転反射手段21との間に、
偏光回転手段27及びフィルタ、例えばファブリペロー
干渉型フィルタ28を配置し、偏光回転反射手段21の
一部分、ここではD点に対応する部分21aの偏光面の
回転角度を何らかの方法で変化させて0°又は180°
の整数倍とする。
段とを組み合わせた光の伝達機構において、図4に示す
ように複屈折板20と偏光回転反射手段21との間に、
偏光回転手段27及びフィルタ、例えばファブリペロー
干渉型フィルタ28を配置し、偏光回転反射手段21の
一部分、ここではD点に対応する部分21aの偏光面の
回転角度を何らかの方法で変化させて0°又は180°
の整数倍とする。
【0018】この場合、D点に入射された光は、偏光回
転手段27により円偏光に変換されてファブリペロー干
渉型フィルタ28に達する。入射した光がファブリペロ
ー干渉型フィルタ28の透過波長に一致すると、該光は
ファブリペロー干渉型フィルタ28を通過し、偏光回転
反射手段21に達する。
転手段27により円偏光に変換されてファブリペロー干
渉型フィルタ28に達する。入射した光がファブリペロ
ー干渉型フィルタ28の透過波長に一致すると、該光は
ファブリペロー干渉型フィルタ28を通過し、偏光回転
反射手段21に達する。
【0019】ここで、偏光回転反射手段21の部分21
aの偏光面の回転角度は0°又は180°の整数倍であ
るので、該偏光回転反射手段21によって反射された光
の偏波状態は変化せず、再度、ファブリペロー干渉型フ
ィルタ28に入射されることになる。前述したように、
この光はファブリペロー干渉型フィルタ28の透過波長
に一致しているため、ファブリペロー干渉型フィルタ2
8を通過後、偏光回転手段27により偏波が直線偏光に
変換されるが、該偏波の方向はD点に最初に入射された
時の偏波とは直交しているので異常光となり、E点に向
かって進む。
aの偏光面の回転角度は0°又は180°の整数倍であ
るので、該偏光回転反射手段21によって反射された光
の偏波状態は変化せず、再度、ファブリペロー干渉型フ
ィルタ28に入射されることになる。前述したように、
この光はファブリペロー干渉型フィルタ28の透過波長
に一致しているため、ファブリペロー干渉型フィルタ2
8を通過後、偏光回転手段27により偏波が直線偏光に
変換されるが、該偏波の方向はD点に最初に入射された
時の偏波とは直交しているので異常光となり、E点に向
かって進む。
【0020】一方、偏光回転反射手段21の偏光面の回
転角度を90°の整数倍とすると、ファブリペロー干渉
型フィルタ28及び偏光回転手段27を通過した光は前
記同様、直線偏光に変換されるが、その偏波の方向はD
点に最初に入射された時の偏波と平行、即ち常光とな
り、今度はC点に向かって進み、入射点Aに出射(2
9)することになる。
転角度を90°の整数倍とすると、ファブリペロー干渉
型フィルタ28及び偏光回転手段27を通過した光は前
記同様、直線偏光に変換されるが、その偏波の方向はD
点に最初に入射された時の偏波と平行、即ち常光とな
り、今度はC点に向かって進み、入射点Aに出射(2
9)することになる。
【0021】この時、入力光24のスペクトルが白色光
(24a)の場合、出力光29のスペクトルはファブリ
ペロー干渉型フィルタ28を2回通過したのと同じスペ
クトル(29a)になり、シャープな透過スペクトルが
得られる。従って、1回通過の場合に比べてフィルタ特
性は良くなる。
(24a)の場合、出力光29のスペクトルはファブリ
ペロー干渉型フィルタ28を2回通過したのと同じスペ
クトル(29a)になり、シャープな透過スペクトルが
得られる。従って、1回通過の場合に比べてフィルタ特
性は良くなる。
【0022】また、D点に入射した光の波長がファブリ
ペロー干渉型フィルタ28の透過波長に一致しない場合
は、ファブリペロー干渉型フィルタ28は単にミラーと
して働き、光を反射する。その結果、異常光となり、光
はE点の方向に進む。
ペロー干渉型フィルタ28の透過波長に一致しない場合
は、ファブリペロー干渉型フィルタ28は単にミラーと
して働き、光を反射する。その結果、異常光となり、光
はE点の方向に進む。
【0023】また、D点に入射した光の波長がファブリ
ペロー干渉型フィルタ28の透過波長に一致した場合、
偏光回転反射手段21の偏光面の回転角度を0°,90
°,180°等の90°の整数倍以外に設定すると、常
光と異常光とが混在することになり、C点及びE点へ出
射する光の割合を任意に変えることができる。従って、
出射側で得られる光の透過スペクトルの透過率を任意に
設定できることになる。
ペロー干渉型フィルタ28の透過波長に一致した場合、
偏光回転反射手段21の偏光面の回転角度を0°,90
°,180°等の90°の整数倍以外に設定すると、常
光と異常光とが混在することになり、C点及びE点へ出
射する光の割合を任意に変えることができる。従って、
出射側で得られる光の透過スペクトルの透過率を任意に
設定できることになる。
【0024】また、B,D,……点でのファブリペロー
干渉型フィルタ28のキャビティギャップもしくはキャ
ビティロスあるいはミラーの反射率を変えることによ
り、そのフィルタ特性(透過スペクトル波長、透過率、
バンド幅)を変化させることができる。また、前述した
動作をB,C,D,E,……点で繰り返すことにより、
それぞれの点での偏光回転反射手段を制御することによ
り、出射点にはそれぞれの点でのフィルタ特性の任意の
和のフィルタ特性が得られることになる。以下、実施例
に従って具体的に説明する。
干渉型フィルタ28のキャビティギャップもしくはキャ
ビティロスあるいはミラーの反射率を変えることによ
り、そのフィルタ特性(透過スペクトル波長、透過率、
バンド幅)を変化させることができる。また、前述した
動作をB,C,D,E,……点で繰り返すことにより、
それぞれの点での偏光回転反射手段を制御することによ
り、出射点にはそれぞれの点でのフィルタ特性の任意の
和のフィルタ特性が得られることになる。以下、実施例
に従って具体的に説明する。
【0025】
【実施例】図5,6は本発明の第1の実施例を示すもの
で、図中、30は偏光ビームスプリッタ、31はファラ
デー回転子、32は複屈折板、33,34は1/4波長
板(λ/4板)、35は反射面、36はファブリペロー
干渉型フィルタ、37は偏光制御反射素子アレイ、41
は入力光、42は出力光、43は光ビームの進路を示す
線である。また、A〜Jは複屈折板32の表面における
光ビームの入/出射点、B’〜J’はλ/4板33,3
4まで進んだ点、B”〜J”はファブリペロー干渉計フ
ィルタ36まで進んだ点を示す。また、Xは光ビームの
入射点、Yは光ビームの出射点、実線矢印は往路の光ビ
ームの伝搬方向を示す矢印、破線矢印は復路の光ビーム
の伝搬方向を示す矢印である。複屈折板32としてはカ
ルサイトを用い、その厚さは 4.6mmであり、ビームの
ピッチは 0.5mmである。
で、図中、30は偏光ビームスプリッタ、31はファラ
デー回転子、32は複屈折板、33,34は1/4波長
板(λ/4板)、35は反射面、36はファブリペロー
干渉型フィルタ、37は偏光制御反射素子アレイ、41
は入力光、42は出力光、43は光ビームの進路を示す
線である。また、A〜Jは複屈折板32の表面における
光ビームの入/出射点、B’〜J’はλ/4板33,3
4まで進んだ点、B”〜J”はファブリペロー干渉計フ
ィルタ36まで進んだ点を示す。また、Xは光ビームの
入射点、Yは光ビームの出射点、実線矢印は往路の光ビ
ームの伝搬方向を示す矢印、破線矢印は復路の光ビーム
の伝搬方向を示す矢印である。複屈折板32としてはカ
ルサイトを用い、その厚さは 4.6mmであり、ビームの
ピッチは 0.5mmである。
【0026】ファブリペロー干渉型フィルタ36の構造
及びそのB’〜J’点での透過スペクトルを図7に示
す。図中、361 は薄いガラス基板であり、テーパ状に研
磨されている。また、362 ,363 は誘電体ミラーであ
る。B’点におけるガラス基板361 の厚さをL、屈折率
をnとすると、本フィルタ36のB’点での透過ピーク
波長は、 λm =2nL/m ………(1) となる。但し、mは整数であり、mに対応した複数の透
過ピークが現れる。
及びそのB’〜J’点での透過スペクトルを図7に示
す。図中、361 は薄いガラス基板であり、テーパ状に研
磨されている。また、362 ,363 は誘電体ミラーであ
る。B’点におけるガラス基板361 の厚さをL、屈折率
をnとすると、本フィルタ36のB’点での透過ピーク
波長は、 λm =2nL/m ………(1) となる。但し、mは整数であり、mに対応した複数の透
過ピークが現れる。
【0027】ピーク間隔をFSRと呼ぶが、該FSR
は、 FSRm =λm /(m+1) ……(2) となる。ガラス基板361 がテーパ状である場合には、図
示したように、透過スペクトルは点B’〜J’によって
異なる。キャビティギャップが増加すると、透過スペク
トル波長が少しづつ長波長にシフトすることがわかる。
は、 FSRm =λm /(m+1) ……(2) となる。ガラス基板361 がテーパ状である場合には、図
示したように、透過スペクトルは点B’〜J’によって
異なる。キャビティギャップが増加すると、透過スペク
トル波長が少しづつ長波長にシフトすることがわかる。
【0028】例えば、L=70μm、n=1.5 、m=13
5 の場合、λ135 は1.55μmとなり、FSRは約11n
mとなる。ここで、ファブリペローエタロンのキャビテ
ィギャップが完全平行でなく、1μm/cmのテーパを
持つ場合、キャビティギャップが大きくなると、透過ピ
ーク波長はFSR/5、即ち 2.2nmづつ大きくなる。
スペクトルのバンド幅はミラーの反射率、基板の面精度
に依存するが、通常、99%程度の反射率のミラー、λ
/20の面精度の場合、スペクトル幅は約 0.036nm
( 4.5GHz)程度となり、フィネス(=FSR/スペ
クトル幅)は約 300程度、透過率は90%となる。
5 の場合、λ135 は1.55μmとなり、FSRは約11n
mとなる。ここで、ファブリペローエタロンのキャビテ
ィギャップが完全平行でなく、1μm/cmのテーパを
持つ場合、キャビティギャップが大きくなると、透過ピ
ーク波長はFSR/5、即ち 2.2nmづつ大きくなる。
スペクトルのバンド幅はミラーの反射率、基板の面精度
に依存するが、通常、99%程度の反射率のミラー、λ
/20の面精度の場合、スペクトル幅は約 0.036nm
( 4.5GHz)程度となり、フィネス(=FSR/スペ
クトル幅)は約 300程度、透過率は90%となる。
【0029】図5において、p偏光の入力光41は偏光
ビームスプリッタ30を通過してファラデー回転子31
に入射する。該光はファラデー回転子31により、その
偏光面が45°回転し、複屈折板32に入射する。複屈
折板32への入射時点において、入射光の偏光方向は紙
面に垂直な方向であり、常光線として振舞うため、複屈
折板32内を直進してB点からλ/4板33に入射し、
B’点に達する。
ビームスプリッタ30を通過してファラデー回転子31
に入射する。該光はファラデー回転子31により、その
偏光面が45°回転し、複屈折板32に入射する。複屈
折板32への入射時点において、入射光の偏光方向は紙
面に垂直な方向であり、常光線として振舞うため、複屈
折板32内を直進してB点からλ/4板33に入射し、
B’点に達する。
【0030】入射した光の波長がB’点におけるファブ
リペロー干渉型フィルタ36の透過波長に一致しない場
合には、ファブリペロー干渉型フィルタ36は100%
近い反射率を持つ反射面として働き、光はB点へ反射さ
れる。この時、λ/4板を2回通過するので、1/2波
長板(λ/2板)を1回通過したのと等価になり、光の
偏波面は90°回転する。このため、複屈折板32に入
射した光は異常光となり、C点に達する。C点において
もλ/4板34及び反射面35により同様に反射され、
以下、D点、E点、F点、……と反射を繰り返す。
リペロー干渉型フィルタ36の透過波長に一致しない場
合には、ファブリペロー干渉型フィルタ36は100%
近い反射率を持つ反射面として働き、光はB点へ反射さ
れる。この時、λ/4板を2回通過するので、1/2波
長板(λ/2板)を1回通過したのと等価になり、光の
偏波面は90°回転する。このため、複屈折板32に入
射した光は異常光となり、C点に達する。C点において
もλ/4板34及び反射面35により同様に反射され、
以下、D点、E点、F点、……と反射を繰り返す。
【0031】しかしながら、入射光の波長がファブリペ
ロー干渉型フィルタ36の透過波長と一致した場合は、
この限りではない。例えば、D’点で光の波長とファブ
リペロー干渉型フィルタ36の波長が一致した場合、該
光はファブリペロー干渉型フィルタ36を通過し、D”
点に達し、偏光制御反射素子アレイ37に入射する。
ロー干渉型フィルタ36の透過波長と一致した場合は、
この限りではない。例えば、D’点で光の波長とファブ
リペロー干渉型フィルタ36の波長が一致した場合、該
光はファブリペロー干渉型フィルタ36を通過し、D”
点に達し、偏光制御反射素子アレイ37に入射する。
【0032】偏光制御反射素子アレイ37の構造を図8
に示す。偏光制御反射素子アレイ37は偏光制御反射素
子を複数個、1次元的に配列したものである。各偏光制
御反射素子のピッチは 500μmであり、光のビームの反
射繰り返しピッチと一致している。偏光制御反射素子ア
レイ37は外部から加わる制御信号(例えば、電界や磁
界)に従い、その偏光回転特性が変化する。具体例とし
て、液晶を用いた偏光制御反射素子を考える。
に示す。偏光制御反射素子アレイ37は偏光制御反射素
子を複数個、1次元的に配列したものである。各偏光制
御反射素子のピッチは 500μmであり、光のビームの反
射繰り返しピッチと一致している。偏光制御反射素子ア
レイ37は外部から加わる制御信号(例えば、電界や磁
界)に従い、その偏光回転特性が変化する。具体例とし
て、液晶を用いた偏光制御反射素子を考える。
【0033】図8において、371 はホモジニアス配向し
たネマチック液晶(入射した偏波に対して45°の角度
で配向している)、372 は反射膜電極、373 は透明電
極、374 ,375 はガラス板、376 ,377 はスペーサであ
る。本素子では電極間に電圧を印加すると、その複屈折
性が変化する。透明電極373 又は反射膜電極372 はスト
ライプ状に分離されており、それぞれに印加する電圧を
個別に制御でき、 500μmピッチでそれぞれの複屈折性
を制御することが可能である。
たネマチック液晶(入射した偏波に対して45°の角度
で配向している)、372 は反射膜電極、373 は透明電
極、374 ,375 はガラス板、376 ,377 はスペーサであ
る。本素子では電極間に電圧を印加すると、その複屈折
性が変化する。透明電極373 又は反射膜電極372 はスト
ライプ状に分離されており、それぞれに印加する電圧を
個別に制御でき、 500μmピッチでそれぞれの複屈折性
を制御することが可能である。
【0034】図9に前記偏光制御反射素子の印加電圧と
位相変化量との関係を示す。なお、ここに示した位相変
化量は光の1回のパスに対しての値である。
位相変化量との関係を示す。なお、ここに示した位相変
化量は光の1回のパスに対しての値である。
【0035】π/4の位相変化量を与える電圧を印加
し、B”点において光を反射させるとλ/2板を通した
のと等価となる。その結果、λ/4板33を通過した時
には最初に入射した偏波と同じ(常光)に戻り、光はA
点に反射される。一方、π/2の位相変化量を与える電
圧を印加し、B”点において光を反射させると、B’点
で偏波は元に戻り、今度はλ/4板33に入射して、B
点において異常光となり、斜めに進行してC点に達す
る。その他の位相を与える電圧を印加すると、反射して
戻る成分と進行する成分とを任意に調整することが可能
となる。
し、B”点において光を反射させるとλ/2板を通した
のと等価となる。その結果、λ/4板33を通過した時
には最初に入射した偏波と同じ(常光)に戻り、光はA
点に反射される。一方、π/2の位相変化量を与える電
圧を印加し、B”点において光を反射させると、B’点
で偏波は元に戻り、今度はλ/4板33に入射して、B
点において異常光となり、斜めに進行してC点に達す
る。その他の位相を与える電圧を印加すると、反射して
戻る成分と進行する成分とを任意に調整することが可能
となる。
【0036】入力光41のスペクトルが白色光の場合、
出力側で得られるスペクトルを図10に示す。同図(a)
は入射した白色光、同図(b) は全ての偏光制御反射素子
の位相変化量をπ/4に設定した場合、同図(c) は偏光
制御反射素子の位相変化量をπ/4あるいはπ/2に設
定した場合、同図(d) は偏光制御反射素子に任意の電圧
を印加した場合である。
出力側で得られるスペクトルを図10に示す。同図(a)
は入射した白色光、同図(b) は全ての偏光制御反射素子
の位相変化量をπ/4に設定した場合、同図(c) は偏光
制御反射素子の位相変化量をπ/4あるいはπ/2に設
定した場合、同図(d) は偏光制御反射素子に任意の電圧
を印加した場合である。
【0037】同図(b) ではファブリペロー干渉型フィル
タ36に入射した光は全て反射されて戻る。その結果、
各点の透過スペクトルの合計のスペクトルが得られる。
同図(c) では選択した部分の波長のみが戻り、同図(d)
では各電圧を調整することにより、透過スペクトルの透
過率を任意に設定できる。
タ36に入射した光は全て反射されて戻る。その結果、
各点の透過スペクトルの合計のスペクトルが得られる。
同図(c) では選択した部分の波長のみが戻り、同図(d)
では各電圧を調整することにより、透過スペクトルの透
過率を任意に設定できる。
【0038】図10ではファブリペロー干渉型フィルタ
のミラーの反射率を高くしてフィネスを高くし、各点の
透過スペクトルピーク同士は互いに重ならないように設
定した場合の透過スペクトルを示したが、ミラーの反射
率を落としてフィネスを下げ、各点の透過ピークが重な
るようにした場合の透過スペクトルを図11に示す。
のミラーの反射率を高くしてフィネスを高くし、各点の
透過スペクトルピーク同士は互いに重ならないように設
定した場合の透過スペクトルを示したが、ミラーの反射
率を落としてフィネスを下げ、各点の透過ピークが重な
るようにした場合の透過スペクトルを図11に示す。
【0039】同図(a)(a)’は偏光制御反射素子の位相変
化量を全てπ/4に調整した場合の透過スペクトルであ
る。同図(a) は個々の点の透過スペクトルを分けて示し
たものであり、同図 (a)’は合計したスペクトルであ
る。また、同図(b)(b)’は偏光制御素子を調整して、E
rドープ光ファイバ増幅器の光増幅特性の波長依存性を
補正するようにした場合の透過スペクトルである。同図
(b) は個々の点の透過スペクトルを分けて示したもので
あり、同図 (b)’は合計したスペクトルである。このよ
うに任意の形の透過スペクトルを持つ光フィルタを実現
できるため、光ファイバ増幅器の波長依存性を補正で
き、光ファイバ増幅器の帯域を数10nmまで広げるこ
とができる。
化量を全てπ/4に調整した場合の透過スペクトルであ
る。同図(a) は個々の点の透過スペクトルを分けて示し
たものであり、同図 (a)’は合計したスペクトルであ
る。また、同図(b)(b)’は偏光制御素子を調整して、E
rドープ光ファイバ増幅器の光増幅特性の波長依存性を
補正するようにした場合の透過スペクトルである。同図
(b) は個々の点の透過スペクトルを分けて示したもので
あり、同図 (b)’は合計したスペクトルである。このよ
うに任意の形の透過スペクトルを持つ光フィルタを実現
できるため、光ファイバ増幅器の波長依存性を補正で
き、光ファイバ増幅器の帯域を数10nmまで広げるこ
とができる。
【0040】前記実施例では、キャビティギャップが面
内で変化するファブリペロー干渉型フィルタを用いた
が、面内でキャビティロスやミラーの反射率が異なるフ
ァブリペロー干渉型フィルタを用いても同様の効果があ
る。
内で変化するファブリペロー干渉型フィルタを用いた
が、面内でキャビティロスやミラーの反射率が異なるフ
ァブリペロー干渉型フィルタを用いても同様の効果があ
る。
【0041】第1の実施例では、素子内にレンズを含ん
でいない。通常、光ファイバからのコリメート(平行)
光は伝搬距離とともにビームの径が広がる。従って、反
射の回数が増加するとビームサイズが大きくなり、特性
が劣化する。また、出射した光のビーム径が大きいと、
出力側の光ファイバにカップリングさせる際に大きなロ
スを発生させる原因となる。
でいない。通常、光ファイバからのコリメート(平行)
光は伝搬距離とともにビームの径が広がる。従って、反
射の回数が増加するとビームサイズが大きくなり、特性
が劣化する。また、出射した光のビーム径が大きいと、
出力側の光ファイバにカップリングさせる際に大きなロ
スを発生させる原因となる。
【0042】図12は前述した点を解決した本発明の第
2の実施例を示すものである。図中、38はマイクロレ
ンズアレイであり、このようにビームの広がりを抑える
ようにレンズを挿入する方法が有効である。一般に、こ
のような機能のレンズをリレーレンズと呼ぶ。ここでは
ビームの広がり方を模式的に示してある。
2の実施例を示すものである。図中、38はマイクロレ
ンズアレイであり、このようにビームの広がりを抑える
ようにレンズを挿入する方法が有効である。一般に、こ
のような機能のレンズをリレーレンズと呼ぶ。ここでは
ビームの広がり方を模式的に示してある。
【0043】図13は図12の等価光学回路を示す。複
屈折板32、λ/4板33、ファブリペロー干渉型フィ
ルタ36及び偏光制御反射素子アレイ37の合計の厚さ
に相当する焦点距離fを持つレンズを用いることによ
り、常にビームウエストがレンズの中間に来るようにな
り、光の伝搬距離が長くなってもビームウエストは広が
らず一定となる。
屈折板32、λ/4板33、ファブリペロー干渉型フィ
ルタ36及び偏光制御反射素子アレイ37の合計の厚さ
に相当する焦点距離fを持つレンズを用いることによ
り、常にビームウエストがレンズの中間に来るようにな
り、光の伝搬距離が長くなってもビームウエストは広が
らず一定となる。
【0044】第1及び第2の実施例では、入力光として
特定方向の偏波面を持つ直線偏光しか扱えないという制
限がある。
特定方向の偏波面を持つ直線偏光しか扱えないという制
限がある。
【0045】図14は前述した点を解決した本発明の第
3の実施例、即ちどのような光(任意の方向の直線偏
光、楕円偏光、無偏光)に対しても使用可能な偏光無依
存の可変波長フィルタを示す。図中、50は第1の実施
例において入出力分離手段、即ち偏光ビームスプリッタ
30及びファラデー回転子31を除いた部分(以下、フ
ィルタ本体と称す。)、51はλ/2板、52は複屈折
板、53は入出力分離手段である。
3の実施例、即ちどのような光(任意の方向の直線偏
光、楕円偏光、無偏光)に対しても使用可能な偏光無依
存の可変波長フィルタを示す。図中、50は第1の実施
例において入出力分離手段、即ち偏光ビームスプリッタ
30及びファラデー回転子31を除いた部分(以下、フ
ィルタ本体と称す。)、51はλ/2板、52は複屈折
板、53は入出力分離手段である。
【0046】本実施例では、偏光無依存とするため、複
屈折板の入射面に対して偏光方向毎に光の成分を2つの
光ビームに分割し、それぞれ独立にフィルタ本体50に
光ビームを通す。但し、フィルタの特性はその場所によ
って変化するため、2本に分けられた光ビームは近接
(1mm以下)させている。以下、図面に従って詳細に
説明する。
屈折板の入射面に対して偏光方向毎に光の成分を2つの
光ビームに分割し、それぞれ独立にフィルタ本体50に
光ビームを通す。但し、フィルタの特性はその場所によ
って変化するため、2本に分けられた光ビームは近接
(1mm以下)させている。以下、図面に従って詳細に
説明する。
【0047】任意の偏光状態を持つ入力光41は、入出
力分離手段53を通過して複屈折板52に入射する。複
屈折板52により、入力光41は常光及び異常光に分離
される。異常光はλ/2板51により常光に変換され、
フィルタ本体50に入力される。複屈折板52に入力さ
れた2つの常光は平行に近接しながら、第1及び第2の
実施例で説明したように反射を繰り返し、所定のフィル
タ動作を行った後、出射側に出力される。出射側では入
射側と同様にλ/2板51、複屈折板52及び入出力分
離手段53を通り、Y点に出力される。
力分離手段53を通過して複屈折板52に入射する。複
屈折板52により、入力光41は常光及び異常光に分離
される。異常光はλ/2板51により常光に変換され、
フィルタ本体50に入力される。複屈折板52に入力さ
れた2つの常光は平行に近接しながら、第1及び第2の
実施例で説明したように反射を繰り返し、所定のフィル
タ動作を行った後、出射側に出力される。出射側では入
射側と同様にλ/2板51、複屈折板52及び入出力分
離手段53を通り、Y点に出力される。
【0048】入出力分離手段53としては偏光依存性の
ないものが必要であり、例えばハーフミラーが使用でき
るが、3dBの原理的な損失を生じる。このような損失
を除くためには、公知のサーキュレータを用いれば良
い。
ないものが必要であり、例えばハーフミラーが使用でき
るが、3dBの原理的な損失を生じる。このような損失
を除くためには、公知のサーキュレータを用いれば良
い。
【0049】図15はサーキュレータの一例を示すもの
で、任意の偏光面を持つ入力光41を、偏光ビームスプ
リッタ61により直交する2つの偏光成分に分離し、そ
れぞれ独立にファラデー回転子62及び1/2波長板
(λ/2板)63を通過させる。各々の偏光成分はファ
ラデー回転子(偏光面を45°回転する)62及びλ/
2板63を通過する際に90°偏光面が回転し、p偏波
はs偏波に、s偏波はp偏波に変換される。さらにこれ
らを偏光ビームスプリッタ64により再び合成し、V点
から複屈折板52(図示せず)に入射する。
で、任意の偏光面を持つ入力光41を、偏光ビームスプ
リッタ61により直交する2つの偏光成分に分離し、そ
れぞれ独立にファラデー回転子62及び1/2波長板
(λ/2板)63を通過させる。各々の偏光成分はファ
ラデー回転子(偏光面を45°回転する)62及びλ/
2板63を通過する際に90°偏光面が回転し、p偏波
はs偏波に、s偏波はp偏波に変換される。さらにこれ
らを偏光ビームスプリッタ64により再び合成し、V点
から複屈折板52(図示せず)に入射する。
【0050】一方、出射光はV点から偏光ビームスプリ
ッタ64に入射し、p偏光とs偏光に分離され、λ/2
板63とファラデー回転子62を通過する。この時、フ
ァラデー回転子62では進行方向に対して往路と同方向
に45°偏光面が回転するのに対して、λ/2板63で
は進行方向に対して往路と逆方向に45°偏光面が回転
する。このため、ファラデー回転子62とλ/2板63
による偏光回転が打ち消され、結果として、p偏光はp
偏光のまま、s偏光はs偏光のまま、偏光ビームスプリ
ッタ61に入射し、Y点から出射する。このようにし
て、入射光と出射光を分離することができる。なお、6
5,66は直角プリズムである。
ッタ64に入射し、p偏光とs偏光に分離され、λ/2
板63とファラデー回転子62を通過する。この時、フ
ァラデー回転子62では進行方向に対して往路と同方向
に45°偏光面が回転するのに対して、λ/2板63で
は進行方向に対して往路と逆方向に45°偏光面が回転
する。このため、ファラデー回転子62とλ/2板63
による偏光回転が打ち消され、結果として、p偏光はp
偏光のまま、s偏光はs偏光のまま、偏光ビームスプリ
ッタ61に入射し、Y点から出射する。このようにし
て、入射光と出射光を分離することができる。なお、6
5,66は直角プリズムである。
【0051】図16は損失のない入出力分離手段のさら
に別の例を示すもので、同図(a) は平面図、同図(b) は
正面図、同図(c) は側面図である。
に別の例を示すもので、同図(a) は平面図、同図(b) は
正面図、同図(c) は側面図である。
【0052】任意の偏光面を持つ入力光41は、複屈折
板71によりp偏光(ここでは常光線)とs偏光(異常
光)に分離される。複屈折板71に対して直角に配置さ
れた複屈折板72中で、p偏光は斜めに、s偏光は直進
する。p偏光は分割1/2波長板(分割λ/2板)73
中のλ/2板の部分により偏光面が90°回転し、s偏
光に変換される。また、複屈折板72中のs偏光は分割
λ/2板73の透明媒質部分をs偏光のまま通過する。
これらは偏光ビームスプリッタ74,75により、ファ
ラデー回転子76に送られる。ファラデー回転子76を
通過する際、これらの光の偏波面は45°回転し、これ
らはV点とW点から複屈折板52(図示せず)に入射す
る。
板71によりp偏光(ここでは常光線)とs偏光(異常
光)に分離される。複屈折板71に対して直角に配置さ
れた複屈折板72中で、p偏光は斜めに、s偏光は直進
する。p偏光は分割1/2波長板(分割λ/2板)73
中のλ/2板の部分により偏光面が90°回転し、s偏
光に変換される。また、複屈折板72中のs偏光は分割
λ/2板73の透明媒質部分をs偏光のまま通過する。
これらは偏光ビームスプリッタ74,75により、ファ
ラデー回転子76に送られる。ファラデー回転子76を
通過する際、これらの光の偏波面は45°回転し、これ
らはV点とW点から複屈折板52(図示せず)に入射す
る。
【0053】一方、出射光はV点とW点からファラデー
回転子76に入射する。その際、それぞれ偏光面が45
°回転し、共にp偏光になり、偏光ビームスプリッタ7
5を通過する。さらに複屈折板72,71により、これ
らは合成され(往路と逆の手順で)、Y点から出射され
る。このようにして、入射光と出射光を分離することが
できる。
回転子76に入射する。その際、それぞれ偏光面が45
°回転し、共にp偏光になり、偏光ビームスプリッタ7
5を通過する。さらに複屈折板72,71により、これ
らは合成され(往路と逆の手順で)、Y点から出射され
る。このようにして、入射光と出射光を分離することが
できる。
【0054】図15又は図16に示した入出力分離手段
を、図14における入出力分離手段53として用いるこ
とにより、無損失且つ偏光無依存化が可能となる。図1
7は本発明の第4の実施例を示すもので、図中、81は
コリメートレンズ付き入力光ファイバ、82はコリメー
トレンズ付き出力光ファイバ、83,84は複屈折板、
85,86,87,88は1/4波長板(λ/4板)、
89,90はフィルタ、91,92,93はガラス板、
94,95は反射膜、96は液晶、97,98は透明電
極、99は入力光、100は出力光である。
を、図14における入出力分離手段53として用いるこ
とにより、無損失且つ偏光無依存化が可能となる。図1
7は本発明の第4の実施例を示すもので、図中、81は
コリメートレンズ付き入力光ファイバ、82はコリメー
トレンズ付き出力光ファイバ、83,84は複屈折板、
85,86,87,88は1/4波長板(λ/4板)、
89,90はフィルタ、91,92,93はガラス板、
94,95は反射膜、96は液晶、97,98は透明電
極、99は入力光、100は出力光である。
【0055】フィルタ89,90は多層膜によって形成
した干渉膜フィルタであり、蒸着膜の形成時に基板を傾
けて形成することにより、透過波長に面内分布を持たせ
たものである。ここでは約1nm/mmで波長が変化す
るフィルタを用いた。液晶96はホモジニアス配向され
たネマチック液晶であり、一方の透明電極97はストラ
イプ状にパターニングされており、全面がパターニング
された他方の透明電極98上には反射膜95が形成され
ている。ここでは通常のネマチック液晶を用いたが、高
速な切り替えを行うためには強誘電性液晶を用いること
が有効となる。即ちネマチック液晶ではmsec 程度の速
度であったものが、強誘電性液晶を用いるとμsec 程度
の高速が実現できる。
した干渉膜フィルタであり、蒸着膜の形成時に基板を傾
けて形成することにより、透過波長に面内分布を持たせ
たものである。ここでは約1nm/mmで波長が変化す
るフィルタを用いた。液晶96はホモジニアス配向され
たネマチック液晶であり、一方の透明電極97はストラ
イプ状にパターニングされており、全面がパターニング
された他方の透明電極98上には反射膜95が形成され
ている。ここでは通常のネマチック液晶を用いたが、高
速な切り替えを行うためには強誘電性液晶を用いること
が有効となる。即ちネマチック液晶ではmsec 程度の速
度であったものが、強誘電性液晶を用いるとμsec 程度
の高速が実現できる。
【0056】本実施例が第1乃至第3の実施例と大きく
異なる点は、1/4波長板で挟んだ複屈折板とフィルタ
とからなる回路を2段重ね合わせた点である。また、第
1乃至第3の実施例では入力光と出力光とが同一な光路
上にあり、これらを分離する必要があったが、本実施例
では光は下側から入力されて上側に出力されるため、入
力光と出力光とを分離する必要はない。
異なる点は、1/4波長板で挟んだ複屈折板とフィルタ
とからなる回路を2段重ね合わせた点である。また、第
1乃至第3の実施例では入力光と出力光とが同一な光路
上にあり、これらを分離する必要があったが、本実施例
では光は下側から入力されて上側に出力されるため、入
力光と出力光とを分離する必要はない。
【0057】次に、本実施例の動作について説明する。
光ファイバ81から入力された入力光99はA点を通っ
てB点に達する。ここで、B点でのフィルタ89の透過
波長をλB とすると、λB の波長の光のみが該フィルタ
89を通過してC’点に達する。C’点に達した光はフ
ィルタ89の前後で1/4波長板を2回(1/4波長板
86,87)を通過しているので偏波面が90°回転さ
れ、B’点の方向へ曲げられる。B’点から光は1/4
波長板88、フィルタ90、ガラス板92、透明電極9
7を通して液晶96に入射し、反射膜95によって反射
される(なお、フィルタ90はそのB’,D’,F’,
H’……点での透過波長が、フィルタ89のB,D,
F,H……点での透過波長とそれぞれ一致する如く設定
されているものとする。)。
光ファイバ81から入力された入力光99はA点を通っ
てB点に達する。ここで、B点でのフィルタ89の透過
波長をλB とすると、λB の波長の光のみが該フィルタ
89を通過してC’点に達する。C’点に達した光はフ
ィルタ89の前後で1/4波長板を2回(1/4波長板
86,87)を通過しているので偏波面が90°回転さ
れ、B’点の方向へ曲げられる。B’点から光は1/4
波長板88、フィルタ90、ガラス板92、透明電極9
7を通して液晶96に入射し、反射膜95によって反射
される(なお、フィルタ90はそのB’,D’,F’,
H’……点での透過波長が、フィルタ89のB,D,
F,H……点での透過波長とそれぞれ一致する如く設定
されているものとする。)。
【0058】ここで、この部分のストライプ状の透明電
極97に適当な電圧を印加して液晶96の複屈折性を制
御すると、B’点からの光の偏波面を制御することがで
き、これによって反射される光の進行方向及び2つの方
向における光の強度比を変化することができる。
極97に適当な電圧を印加して液晶96の複屈折性を制
御すると、B’点からの光の偏波面を制御することがで
き、これによって反射される光の進行方向及び2つの方
向における光の強度比を変化することができる。
【0059】即ち、液晶96がB’点からの光の偏波状
態に何ら影響を及ぼさない場合、反射された光はB’点
からA’点に向い、A’点で反射されて出力光100と
なり、光ファイバ82にカップリングする。なお、A’
点で出力側に反射されるのはA’点のフィルタ89の透
過波長λA ’とλB とが異なるためである(即ち、フィ
ルタ89,90は透過する波長に対しては透明である
が、それ以外の波長に対してはミラーとして働く。)。
また、液晶96がB’点からの光の偏波面を90°回転
するように作用する場合、光はB’点からC’点へ戻
り、フィルタ89を再度通過して入力側へ戻る。
態に何ら影響を及ぼさない場合、反射された光はB’点
からA’点に向い、A’点で反射されて出力光100と
なり、光ファイバ82にカップリングする。なお、A’
点で出力側に反射されるのはA’点のフィルタ89の透
過波長λA ’とλB とが異なるためである(即ち、フィ
ルタ89,90は透過する波長に対しては透明である
が、それ以外の波長に対してはミラーとして働く。)。
また、液晶96がB’点からの光の偏波面を90°回転
するように作用する場合、光はB’点からC’点へ戻
り、フィルタ89を再度通過して入力側へ戻る。
【0060】一方、最初の点Bにおいて、λB 以外の波
長の光はフィルタ89で反射され、B点に戻るが、1/
4波長板86を2回通過することになるため、その方向
が曲げられてC点に達し、さらに1/4波長板85を通
過して反射膜94のC’点で反射されて再びC点に達す
るが、この場合も1/4波長板85を2回通過すること
になるため、直進してD点に達する。このD点ではλD
の波長の光のみがフィルタ89を通過し、以下、波長λ
B の光の場合と同様に伝搬する。
長の光はフィルタ89で反射され、B点に戻るが、1/
4波長板86を2回通過することになるため、その方向
が曲げられてC点に達し、さらに1/4波長板85を通
過して反射膜94のC’点で反射されて再びC点に達す
るが、この場合も1/4波長板85を2回通過すること
になるため、直進してD点に達する。このD点ではλD
の波長の光のみがフィルタ89を通過し、以下、波長λ
B の光の場合と同様に伝搬する。
【0061】このように本実施例によれば、フィルタ8
9.90を通過した光の進行方向及びその強度比を、ス
トライプ状の透明電極97に加える電圧によって制御す
ることができ、これによって出力光ファイバ82にカッ
プリングする光の波長及びその強度分布を調整すること
ができ、任意の波長・周波数の光信号を同時に取り出す
こと、つまり複数の波長を同時に選択したり、全く選択
しなかったり、また、選択した波長の光の強度を制御す
ることが可能となる。また、理想的な透過スペクトルを
持つフィルタを実現することが可能となる。
9.90を通過した光の進行方向及びその強度比を、ス
トライプ状の透明電極97に加える電圧によって制御す
ることができ、これによって出力光ファイバ82にカッ
プリングする光の波長及びその強度分布を調整すること
ができ、任意の波長・周波数の光信号を同時に取り出す
こと、つまり複数の波長を同時に選択したり、全く選択
しなかったり、また、選択した波長の光の強度を制御す
ることが可能となる。また、理想的な透過スペクトルを
持つフィルタを実現することが可能となる。
【0062】本実施例では透過波長特性が場所によって
異なる干渉膜フィルタを用いたが、ファブリペロー干渉
計の中に液晶を充填した液晶可変波長フィルタを用いて
も同様の効果を持たせることができる。
異なる干渉膜フィルタを用いたが、ファブリペロー干渉
計の中に液晶を充填した液晶可変波長フィルタを用いて
も同様の効果を持たせることができる。
【0063】図18は前述した液晶可変波長フィルタの
一例、ここではIEEE Photon Technol. Lett., vol.3, 1
991, K.Hirabayashi, H.Tsuda and T.Kurokawa, Narrow
-Band Tunable Wavelength-Selective Filters of Fabr
y-Perot Interferometers with a Liquid Crystal Intr
acavitu, P213 に記載された液晶可変波長フィルタを示
すもので、図中、101,102はガラス基板、10
3,104は透明電極、105,106は誘電体ミラ
ー、107,108は液晶用配向膜、109は液晶であ
る。
一例、ここではIEEE Photon Technol. Lett., vol.3, 1
991, K.Hirabayashi, H.Tsuda and T.Kurokawa, Narrow
-Band Tunable Wavelength-Selective Filters of Fabr
y-Perot Interferometers with a Liquid Crystal Intr
acavitu, P213 に記載された液晶可変波長フィルタを示
すもので、図中、101,102はガラス基板、10
3,104は透明電極、105,106は誘電体ミラ
ー、107,108は液晶用配向膜、109は液晶であ
る。
【0064】前記透明電極103は全面にパターニング
されているが、透明電極104はストライプ状にパター
ニングされており、それぞれの電極に印加する電圧を調
整することにより、平行配向された液晶109の屈折率
を変化させ、透過スペクトルの波長に面分布を持たせる
ようになしている。従って、この液晶可変波長フィルタ
を本発明の可変波長フィルタに適用すると、任意の数、
任意の強度、任意の波長の透過スペクトルを選択可能な
フィルタを実現できる。
されているが、透明電極104はストライプ状にパター
ニングされており、それぞれの電極に印加する電圧を調
整することにより、平行配向された液晶109の屈折率
を変化させ、透過スペクトルの波長に面分布を持たせる
ようになしている。従って、この液晶可変波長フィルタ
を本発明の可変波長フィルタに適用すると、任意の数、
任意の強度、任意の波長の透過スペクトルを選択可能な
フィルタを実現できる。
【0065】また、短冊状に切り出した異なる波長を有
するフィルタをアレイ状に並べても透過波長に面分布を
持つフィルタを実現することができる。このようなフィ
ルタでは予めフィルタの透過絶対波長を指定できるの
で、例えば1mm間隔で波長が階段状に変化するフィル
タも容易に実現できる。
するフィルタをアレイ状に並べても透過波長に面分布を
持つフィルタを実現することができる。このようなフィ
ルタでは予めフィルタの透過絶対波長を指定できるの
で、例えば1mm間隔で波長が階段状に変化するフィル
タも容易に実現できる。
【0066】さらにまた、本実施例では、通常のネマチ
ック液晶を用いて光の進路を変更したが、強誘電性液晶
を用いることにより、切り替え時間がμsec まで高速化
できる。従って、高速に波長を切り替えることができ、
さらにその波長は絶対安定であるフィルタが実現でき
る。
ック液晶を用いて光の進路を変更したが、強誘電性液晶
を用いることにより、切り替え時間がμsec まで高速化
できる。従って、高速に波長を切り替えることができ、
さらにその波長は絶対安定であるフィルタが実現でき
る。
【0067】図19は本発明の第5の実施例を示すもの
で、図中、111はコリメートレンズ付き入力光ファイ
バ、112はコリメートレンズ付き出力光ファイバ、1
13,114は複屈折板、115,116,117,1
18は1/4波長板(λ/4板)、119,120はフ
ィルタ、121,122はガラス板、123,124は
反射膜、125は液晶、126,127は透明電極、1
28は入力光、129は出力光である。
で、図中、111はコリメートレンズ付き入力光ファイ
バ、112はコリメートレンズ付き出力光ファイバ、1
13,114は複屈折板、115,116,117,1
18は1/4波長板(λ/4板)、119,120はフ
ィルタ、121,122はガラス板、123,124は
反射膜、125は液晶、126,127は透明電極、1
28は入力光、129は出力光である。
【0068】フィルタ119,120は第4の実施例の
ものと同様の約1nm/mmで波長が変化する面内分布
を持つ多層膜干渉フィルタである。本実施例が第4の実
施例と大きく異なる点は、1/4波長板で挟まれた複屈
折板とフィルタとからなる回路を2段重ね合わせる接合
部に偏光制御部を設けた点である。また、第4の実施例
では選択される波長により入力から出力までの光路長が
異なるが、本実施例では入力から出力までの光路長は光
のパスに依存しないので、選択チャネルによってロスが
変化することはない。
ものと同様の約1nm/mmで波長が変化する面内分布
を持つ多層膜干渉フィルタである。本実施例が第4の実
施例と大きく異なる点は、1/4波長板で挟まれた複屈
折板とフィルタとからなる回路を2段重ね合わせる接合
部に偏光制御部を設けた点である。また、第4の実施例
では選択される波長により入力から出力までの光路長が
異なるが、本実施例では入力から出力までの光路長は光
のパスに依存しないので、選択チャネルによってロスが
変化することはない。
【0069】以下、本実施例の動作について説明する。
光ファイバ111から入力された光128はA点を通
り、B点に達する。ここで、B点でのフィルタ119の
透過波長をλB とすると、λB の波長の光のみが該フィ
ルタ119を通過し、B´点に達する(なお、フィルタ
120はそのB´,D´,F´,H´,……点での透過
波長が、フィルタ119のB,D,F,H,……点での
透過波長とそれぞれ一致する如く設定されているものと
する。)。
光ファイバ111から入力された光128はA点を通
り、B点に達する。ここで、B点でのフィルタ119の
透過波長をλB とすると、λB の波長の光のみが該フィ
ルタ119を通過し、B´点に達する(なお、フィルタ
120はそのB´,D´,F´,H´,……点での透過
波長が、フィルタ119のB,D,F,H,……点での
透過波長とそれぞれ一致する如く設定されているものと
する。)。
【0070】B´点に達した光はフィルタ119とフィ
ルタ120との間のガラス板121、透明電極126、
液晶125、透明電極127及びガラス板122からな
る偏光制御部を通過しているので、この部分のストライ
プ状の透明電極126に適当な電圧を印加し、液晶12
5の複屈折性を制御すると、B点からの光の偏波面を制
御することができ、これにより通過光の進行方向及び2
つの方向における光の強度比を変化することができる。
ルタ120との間のガラス板121、透明電極126、
液晶125、透明電極127及びガラス板122からな
る偏光制御部を通過しているので、この部分のストライ
プ状の透明電極126に適当な電圧を印加し、液晶12
5の複屈折性を制御すると、B点からの光の偏波面を制
御することができ、これにより通過光の進行方向及び2
つの方向における光の強度比を変化することができる。
【0071】即ち、液晶125がB点からの光の偏波状
態に何ら影響を及ぼさない場合、透過した波長λB の光
はB−B´点間で1/4波長板116,117を通過す
るため、偏波面が90度回転され、光軸が曲げられ、C
´点に達し、C´点での反射の際に1/4波長板118
を2回通過するため、偏波面が90度回転され、直進し
てD´点へ達する。
態に何ら影響を及ぼさない場合、透過した波長λB の光
はB−B´点間で1/4波長板116,117を通過す
るため、偏波面が90度回転され、光軸が曲げられ、C
´点に達し、C´点での反射の際に1/4波長板118
を2回通過するため、偏波面が90度回転され、直進し
てD´点へ達する。
【0072】D´点では透過波長が異なるため、フィル
タ120はミラーとして働き、波長λB の光は反射され
ることになる。この場合の反射光も1/4波長板117
を2回通過するため、偏波面が90度回転され、E´点
へ向かい、以後、波長λB の光はフィルタ120と反射
膜124との間で偏波面の回転と反射を繰返し、Z´点
から出力され、光ファイバ112にカップリングする。
また、液晶125がB点からの光の偏波面を90度回転
するように作用する場合、光はB´点からA´点に達
し、出力側とは逆方向へ反射を繰返し、複屈折板114
外へ出ることになり、光ファイバ112にはカップリン
グされない。
タ120はミラーとして働き、波長λB の光は反射され
ることになる。この場合の反射光も1/4波長板117
を2回通過するため、偏波面が90度回転され、E´点
へ向かい、以後、波長λB の光はフィルタ120と反射
膜124との間で偏波面の回転と反射を繰返し、Z´点
から出力され、光ファイバ112にカップリングする。
また、液晶125がB点からの光の偏波面を90度回転
するように作用する場合、光はB´点からA´点に達
し、出力側とは逆方向へ反射を繰返し、複屈折板114
外へ出ることになり、光ファイバ112にはカップリン
グされない。
【0073】一方、最初のB点において、λB 以外の波
長の光はフィルタ119で反射され、B点に戻るが、そ
の時、1/4波長板116を2回通過するため、偏波面
が90度回転され、光軸が曲げられ、C点に達し、ここ
で偏波面の回転と反射を受けてD点に向かう。このD点
では波長λD の光のみがフィルタ119を通過し、以
下、波長λB の光の場合と同様に伝搬する。
長の光はフィルタ119で反射され、B点に戻るが、そ
の時、1/4波長板116を2回通過するため、偏波面
が90度回転され、光軸が曲げられ、C点に達し、ここ
で偏波面の回転と反射を受けてD点に向かう。このD点
では波長λD の光のみがフィルタ119を通過し、以
下、波長λB の光の場合と同様に伝搬する。
【0074】図20は本実施例によって得られた光の透
過スペクトルを示すものである。図中、左側は1本ある
いは多数本のスペクトルを選択した例を示し、右側は多
数本のスペクトルの透過率を制御した例を示している。
干渉膜フィルタを2回通過するので消光比は良く、18
dB以上の消光比を実現できる。
過スペクトルを示すものである。図中、左側は1本ある
いは多数本のスペクトルを選択した例を示し、右側は多
数本のスペクトルの透過率を制御した例を示している。
干渉膜フィルタを2回通過するので消光比は良く、18
dB以上の消光比を実現できる。
【0075】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1に
よれば、光信号から任意の波長の光信号を選択的に取り
出す可変波長フィルタにおいて、光信号の伝達媒体とな
る複屈折板と、該複屈折板を挟み且つ光信号の偏波面を
所定の角度回転させる偏光回転手段と、光信号から任意
の波長の光信号を選択するフィルタと、任意の部分の偏
光回転角度を制御可能な偏光制御素子と、これら全体を
挟むように配置された反射面とを備えたため、入力光を
フィルタを順次伝搬させて出力光の透過スペクトルを制
御でき、複数の波長の光を同時に選択したり、また、こ
れらの複数の透過スペクトルの透過率を任意に設定した
り、さらにまた、任意の透過スペクトルを有する可変波
長フィルタを実現できる。
よれば、光信号から任意の波長の光信号を選択的に取り
出す可変波長フィルタにおいて、光信号の伝達媒体とな
る複屈折板と、該複屈折板を挟み且つ光信号の偏波面を
所定の角度回転させる偏光回転手段と、光信号から任意
の波長の光信号を選択するフィルタと、任意の部分の偏
光回転角度を制御可能な偏光制御素子と、これら全体を
挟むように配置された反射面とを備えたため、入力光を
フィルタを順次伝搬させて出力光の透過スペクトルを制
御でき、複数の波長の光を同時に選択したり、また、こ
れらの複数の透過スペクトルの透過率を任意に設定した
り、さらにまた、任意の透過スペクトルを有する可変波
長フィルタを実現できる。
【0076】また、本発明の請求項2によれば、複数の
レンズを備えたため、ビームサイズの増加を防止するこ
とができ、特性の劣化やカップリングロスを減少させる
ことができる。
レンズを備えたため、ビームサイズの増加を防止するこ
とができ、特性の劣化やカップリングロスを減少させる
ことができる。
【0077】また、本発明の請求項3によれば、入出射
端で光信号を直交する2つの偏波成分に分離又は合成す
る入出力分離手段と、これらの直交する偏波成分を平行
及びその逆とする偏波制御手段とを備えたため、光信号
を直交する2つの平行な偏波成分に分離してフィルタ中
を伝搬させ、出射時に合成することができ、どのような
偏光状態の光に対しても使用可能な可変波長フィルタを
実現できる。
端で光信号を直交する2つの偏波成分に分離又は合成す
る入出力分離手段と、これらの直交する偏波成分を平行
及びその逆とする偏波制御手段とを備えたため、光信号
を直交する2つの平行な偏波成分に分離してフィルタ中
を伝搬させ、出射時に合成することができ、どのような
偏光状態の光に対しても使用可能な可変波長フィルタを
実現できる。
【図1】波長光交換の概念を示す図
【図2】複屈折板に対する常光及び異常光の進行のよう
すを示す図
すを示す図
【図3】複屈折板と偏光回転反射手段とを一体化した回
路を示す図
路を示す図
【図4】複屈折板と偏光回転反射手段とファブリペロー
干渉型フィルタとを一体化した回路を示す図
干渉型フィルタとを一体化した回路を示す図
【図5】本発明の可変波長フィルタの第1の実施例を示
す構成図
す構成図
【図6】図5中の入出力分離手段の拡大側面図
【図7】ファブリペロー干渉型フィルタの構造及び透過
スペクトルを示す図
スペクトルを示す図
【図8】偏光制御反射素子アレイの具体的な構造を示す
図
図
【図9】図8の偏光制御反射素子アレイの印加電圧と位
相変化量との関係を示す図
相変化量との関係を示す図
【図10】第1の実施例における入力光及び出力光のス
ペクトルの一例を示す図
ペクトルの一例を示す図
【図11】第1の実施例における入力光及び出力光のス
ペクトルの他の例を示す図
ペクトルの他の例を示す図
【図12】本発明の可変波長フィルタの第2の実施例を
示す構成図
示す構成図
【図13】図12の等価光学回路を示す図
【図14】本発明の可変波長フィルタの第3の実施例を
示す構成図
示す構成図
【図15】第3の実施例における入出力分離手段の一例
を示す図
を示す図
【図16】第3の実施例における入出力分離手段の他の
例を示す図
例を示す図
【図17】本発明の可変波長フィルタの第4の実施例を
示す構成図
示す構成図
【図18】第4の実施例におけるフィルタの他の例を示
す図
す図
【図19】本発明の可変波長フィルタの第5の実施例を
示す構成図
示す構成図
【図20】第5の実施例における光の透過スペクトルの
一例を示す図
一例を示す図
30…偏光ビームスプリッタ、31…ファラデー回転
子、32,52,83,84,113,114…複屈折
板、33,34,85,86,87,88,115,1
16,117,118…λ/4板、35…反射面、36
…ファブリペロー干渉型フィルタ、37…偏光制御反射
素子アレイ、38…マイクロレンズアレイ、51…λ/
2板、53…入出力分離手段、89,90,119,1
20…フィルタ、94,95,123,124…反射
膜、96,125…液晶、97,98,126,127
…透明電極。
子、32,52,83,84,113,114…複屈折
板、33,34,85,86,87,88,115,1
16,117,118…λ/4板、35…反射面、36
…ファブリペロー干渉型フィルタ、37…偏光制御反射
素子アレイ、38…マイクロレンズアレイ、51…λ/
2板、53…入出力分離手段、89,90,119,1
20…フィルタ、94,95,123,124…反射
膜、96,125…液晶、97,98,126,127
…透明電極。
Claims (4)
- 【請求項1】 光信号から任意の波長の光信号を選択的
に取り出す可変波長フィルタにおいて、 光信号の伝達媒体となる複屈折板と、 該複屈折板を挟み且つ光信号の偏波面を所定の角度回転
させる偏光回転手段と、 光信号から任意の波長の光信号を選択するフィルタと、 任意の部分の偏光回転角度を制御可能な偏光制御素子
と、 これら全体を挟むように配置された反射面とを備えたこ
とを特徴とする可変波長フィルタ。 - 【請求項2】 複数のレンズを備えたことを特徴とする
請求項1記載の可変波長フィルタ。 - 【請求項3】 入出射端で光信号を直交する2つの偏波
成分に分離又は合成する入出力分離手段と、これらの直
交する偏波成分を平行及びその逆とする偏波制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の可変波
長フィルタ。 - 【請求項4】 透過スペクトル波長もしくは透過率ある
いはバンド幅が面内で不均一な分布を持つフィルタを用
いたことを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載の可
変波長フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17671494A JPH0836157A (ja) | 1993-08-02 | 1994-07-28 | 可変波長フィルタ |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19114593 | 1993-08-02 | ||
| JP5-191145 | 1994-05-20 | ||
| JP10689094 | 1994-05-20 | ||
| JP6-106890 | 1994-05-20 | ||
| JP17671494A JPH0836157A (ja) | 1993-08-02 | 1994-07-28 | 可変波長フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0836157A true JPH0836157A (ja) | 1996-02-06 |
Family
ID=27310860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17671494A Pending JPH0836157A (ja) | 1993-08-02 | 1994-07-28 | 可変波長フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0836157A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084775A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Nikon Corp | 波長分離光学素子、色温度可変光源装置、色温度補正光学装置および撮像システム |
| JP2009265196A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Epson Toyocom Corp | 波長フィルタ |
| JP2014096510A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光増幅器 |
| JPWO2021235151A1 (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | ||
| CN114942226A (zh) * | 2022-06-16 | 2022-08-26 | 广州标旗光电科技发展股份有限公司 | 一种用于滤光片镀膜面检测方法、装置及应用 |
-
1994
- 1994-07-28 JP JP17671494A patent/JPH0836157A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084775A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Nikon Corp | 波長分離光学素子、色温度可変光源装置、色温度補正光学装置および撮像システム |
| JP2009265196A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Epson Toyocom Corp | 波長フィルタ |
| JP2014096510A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光増幅器 |
| JPWO2021235151A1 (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | ||
| WO2021235151A1 (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | フィルタアレイおよび光検出システム |
| CN114942226A (zh) * | 2022-06-16 | 2022-08-26 | 广州标旗光电科技发展股份有限公司 | 一种用于滤光片镀膜面检测方法、装置及应用 |
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