JPH0837258A - 炭素/炭素複合体およびそれを含む電気機器 - Google Patents

炭素/炭素複合体およびそれを含む電気機器

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JPH0837258A
JPH0837258A JP7066278A JP6627895A JPH0837258A JP H0837258 A JPH0837258 A JP H0837258A JP 7066278 A JP7066278 A JP 7066278A JP 6627895 A JP6627895 A JP 6627895A JP H0837258 A JPH0837258 A JP H0837258A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 有益な熱膨脹率および良好な熱伝導率を有す
る炭素−炭素複合体を提供する。 【構成】 炭素繊維の予備成形物を炭素マトリックスで
部分的に高密化して高密度炭素複合体となし、次いで、
これに炭素複合体の熱膨脹率を増大させるような少なく
とも一つの材料を浸透させて、炭素−炭素複合体を得
る。また、これを電子基板等の電子装置に用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、炭素−炭素複合体およ
びそれを含む電気機器に関する。この炭素−炭素複合体
は、炭素複合体の熱膨脹率を増大させることができる材
料を含む。
【0002】
【従来の技術】電子部品包装にとっての大きな問題は、
熱管理である。電子デバイスのサイズが小さくなると、
熱放散の必要性が決定的となる。これは、特に、コンピ
ューターチップ、例えば新規で一層強力なチップや多重
チップモジュール(MCM)の場合に真実である。チッ
プのパワーが増大しそのサイズが小さくなると、良好な
性能を得るために熱を除去することの要求が重要とな
る。
【0003】チップ設計の他の態様として、チップは、
チップキャリア面に出来るだけ近接して配置される。熱
エネルギーが累積すると、部品および接合部の温度が上
がり始める。ハンダ結合部での剪断歪の増大は、熱膨脹
率における変化および接合材料の温度変化に直接正比例
する。ハンダ結合部での高剪断歪は、ハンダの接合破壊
を引き起こす原因となり、電子部品包装の信頼性を低下
する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】良好な熱伝導性を有す
る熱スプレダーおよび/またはヒートシンクとしての材
料を入手すること、そしてチップとチップ基板との熱伝
導率が近接した材料を入手することが望まれている。本
発明は、このような材料を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、炭素繊維の予
備成形物を炭素マトリックスで部分的に高密化して高密
度炭素複合体となし、次いでこの高密度炭素複合体に炭
素複合体の熱膨脹率を増大することができる少なくとも
一つの材料を浸透させるにより作製される炭素−炭素複
合体を提供する。また、本発明は、その炭素−炭素複合
体を含んでなる装置を提供する。これらの炭素−炭素複
合体は、有益な熱膨脹率と良好な熱伝導率を有する。
【0006】本明細書およびその請求項において用いら
れているが、CVIは、化学的気相浸透法のことを言
い、CVDは、化学的気相析出法のことを言う。そし
て、等方向性炭素複合体とは、各方向にほゞ等しい特性
を有する炭素複合体のことである。熱スプレッダは、コ
ンピュータチップのような電子デバイスから熱を運び去
る役割を果す。熱スプレッダの例には、熱プレーンがあ
る。
【0007】前述したように、本発明は、炭素繊維の予
備成形物を炭素マトリックスで部分的に高密化し、次い
でこの高密度炭素複合体に高密度炭素複合体の熱膨脹率
を増大することができる材料を浸透させることによって
作製する炭素−炭素複合体に関する。その高密度炭素複
合体の密度は、約0.75〜約1.8、また、約1.0
〜約1.7、また、約1.1〜約1.6g/ccである。
この高密度炭素−炭素複合体は、その炭素を黒鉛化する
ために加熱される。黒鉛化は、炭素複合体の熱伝導性を
改善する。その温度は、典型的には約2000℃〜約4
000℃、また、約2300℃〜約3500℃、また、
約2500℃〜約3100℃である。この黒鉛化は、約
0.5〜約5時間かけて達成される。
【0008】前述したように、炭素−炭素複合体は、炭
素繊維の予備成形物を炭素マトリックスで高密化するこ
とによって作製される。炭素繊維の予備成形物は、加熱
によって炭素または黒鉛になしうるいかなる繊維から作
製してもよい。繊維は、PAN(ポリアクリロニトリ
ル)繊維、予備酸化されたアクリロニトリル樹脂繊維、
ピッチ繊維、CVD炭素繊維、熱分解天然繊維、例えば
熱分解綿繊維、およびそれらの混合物を含む。この繊維
は、当業者に周知の方法で炭素繊維の予備成形物となす
ために配列される。その予備成形物は、織成物または不
織布であってよい。予備成形物は、ブレード繊維、典型
的にはストレートブレード繊維から形成されてもよい。
ブレード繊維は、Morris,Jr外に発行された米
国特許第5,217,770号に記載されている。炭素
繊維の予備成形物は、1D(一次元)、2D(二次
元)、ニードルド2D、または3D(三次元)であって
よい。
【0009】炭素繊維の予備成形物は、炭素マトリック
スの存在で高密化される。炭素マトリックスは、黒鉛に
変えられる炭素源を供給する。炭素マトリックスは、化
学的気相浸透法(CVI)によって、またはピッチ含浸
法によって炭素繊維の予備成形物に導入される。炭素マ
トリックスは、CVI炭素、熱分解性炭素源、例えばメ
タンもしくはピッチ、またはそれらの混合物を含む。
【0010】部分的に高密化した炭素複合体は、その
後、高密度炭素複合体の熱膨脹率を増大させることでが
できる一以上の材料で浸透される。この材料は、炭素複
合体における空隙をうめる。この空隙は連続しているの
が好ましい。熱膨脹率を改善する材料は、一般に、約5
容量%〜約60容量%、また、約7容量%〜約40容量
%、また、約10容量%〜約25容量%の量で存在す
る。本方法の一つの利点は、炭素−炭素複合体と電子基
板と電子デバイスの熱膨脹率が等しいか、もしくはほぼ
等しいならば、ハンダが部品を接合するのに用いうると
いうことである。この熱膨脹率の整合性は、熱歪を減少
し、そして信頼性のある電子デバイスを提供する。ハン
ダは、熱伝導性が良好であるため有益である。
【0011】材料は、少なくとも一つのポリマー、セラ
ミックまたは金属を含む。ポリマーは、エポキシポリマ
ー、ポリイミド、イソシアネートエステル、並びに熱膨
脹率を増大することができる熱硬化および熱可塑性ポリ
マーを含む。有用なセラミックは、アルミナ、窒化アル
ミニウム、炭化珪素、窒化珪素、炭化硼素、窒化硼素、
およびそれらの混合物、並びに例えばポリカルボシラン
のようなセラミック先駆物質を含む。例えば、炭素複合
体は、CVI法によって炭化珪素を浸透させてもよい。
【0012】一つの実施態様において、高密度炭素複合
体の熱膨脹率を上げることができる材料は、金属および
金属の合金を含む。特定の例では、アルミニウム、アル
ミニウム−シリコン(40%)合金、銅、銅(40%)
−タングステン合金、銅−モリブデン(15%)合金、
モリブデン、銀、ニッケル、および鉄−タングステン合
金を含む。一つの実施態様では、この金属は、アルミニ
ウム、銅、銀、並びにそれらの混合物および合金を含
む。例えば、金属または金属合金は、最初に炭素複合体
の表面を真空に引いてこの複合体を脱ガスすることによ
って、炭素析出物中に浸透されるようにしてもよい。こ
の金属または金属合金は、次いでその溶融点もしくはそ
の近くまで加熱されて、圧力下で炭素複合体中に浸透さ
れる。
【0013】
【実施例】以下の実施例は、上記炭素−炭素複合体に関
する。明細書および特許請求の範囲の項におけるこゝ並
びに他の個所で他に指示がない限り、重量および比率は
容量当りであり、温度は℃、圧力は大気圧である。
【0014】(実施例):ニードルドPAN炭素繊維の
予備成形物を、CVD法によって以下に示される密度に
なるまで処理し、次いでその炭素マトリックスが黒鉛と
なるまで3000℃に加熱した。この高密度炭素複合体
に、カリフォルニア州キャッツワースのAmercom
Inc.になる圧力浸透法と信じられている処理法を
用いて、アルミニウムか銅のいずれかを浸透させた。熱
膨脹率および熱伝導率を測定し、以下に示す。
【0015】熱膨脹率は、DuPont Chemic
al Company製のDMA機器における膨脹計で
測定した。熱伝導率は、レーザパルス熱放散計により測
定した。
【0016】
【表1】
【0017】
【表2】
【0018】他の実施態様において、本発明は、電子基
板に接合された少なくとも一つの電子デバイスおよび電
子基板に接合された炭素−炭素複合体(これは、前述さ
れている)を含んでなる装置に関する。この電子デバイ
スは、コンピュータチップ、キャパシタ、回路部品等を
含む。電子基板は、電子デバイスを支持するために用い
られるものを含む。一つの態様では、電子基板は、電子
チップの基板または印刷回路板の基板である。電子基板
の例は、ガラス繊維−エポキシ基板およびセラミック基
板、例えば、窒化アルミニウム、酸化ベリリウム、炭化
珪素、シリコン、アルミナ、砒化ガリウム等の基板、を
含む。
【0019】電子デバイスは、当該技術分野における周
知の手段によって、電子基板上にマウントされる。本発
明の炭素−炭素付着体は、熱スプレッダおよびヒートシ
ンクとして使用される。炭素−炭素付着体は、電子基板
に接合され、そして好ましくは、0.0254〜約0.
127mm(1〜約5ミル)の厚さを有する接着剤層で接
合される。この接着剤層は、均一の接着剤層であること
が好ましい。典型的には、デバイスおよび炭素−炭素複
合体は、ハンダ、金属フラックス、またはシリコンベー
スの接着剤のようなポリマー接着剤によってマウントさ
れてよい。一つの実施態様では、このポリマー接着剤
は、エポキシ濃縮物中に窒化アルミニウムと銀を有する
熱接着剤である。この接着剤は、ニュージャージィー州
トレントンのA.I.Technologyより入手で
きる。
【0020】上記炭素−炭素複合体は、アルミナPW
B、つまり印刷配線板の表面にハンダ付けされた熱スプ
レッダとして、薄膜多重チップモジュール用の基板とし
て、高出力電子コンピュータチップ用のヒートシンクと
して、およびインバール/コバール金属の代替品として
用いることができる。
【0021】図面について述べると、図1は、MCM、
つまり多重チップモジュールの断面図であり、炭素−炭
素複合体熱スプレッダ(10)には、例えばポリマー層
やダイアモンド層のような誘電体層(11)を用いて、
薄膜回路部品(12)およびコンピュータチップ(1
3)(これは、ハンダ(14)で接合されている)が接
合されている。
【0022】図2は、接着剤、ハンダ、またはろう付け
(21)を用いてPWB、つまり印刷配線板(22)を
接合した炭素−炭素複合体熱スプレッダ(20)を備え
たMCMの断面図である。PWB(22)は、ハンダ
(24)でコンピュータチップ(23)を接合してい
る。所望により、熱スプレッダ(20)は、ハンダ、ろ
う付けもしくは接着剤を用いてヒートシンク(25)を
接合している。
【0023】図3に関して、熱スプレッダ(30)は、
樹脂ベースの接着剤、ハンダもしくはろう付け(32)
を用いてセラミック基板(31)に接合している。セラ
ミック基板(31)は、ハンダ(34)でコンピュータ
チップ(33)を、そしてハンダでフィルタキャパシタ
(36)を接合している。所望により、熱スプレッダ
(30)は、ハンダ、ろう付け、もしくは接着剤を用い
てヒートシンク(35)を接合している。
【0024】本発明は、その好ましい実施態様に関して
説明したが、その種々の変更がこの明細書を読む当業者
に明らかになるであろうことが理解される。それ故、こ
ゝに開示した本発明は、特許請求の範囲に入るような変
更を含むことを意図しているものと理解されるべきであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、薄膜回路部品を用いたMCM(多重チ
ップモジュール)の断面図である。
【図2】図2は、PWP(印刷配線板)を用いたMCM
の断面図である。
【図3】図3は、セラミック基板を用いたMCMの断面
図である。
【符号の説明】
10…炭素−炭素複合体熱スプレッダ 11…誘電体層 12…薄膜回路部品 13…コンピュータチップ 14…ハンダ 20…炭素−炭素複合体熱スプレッダ 21…接着剤、ハンダ、またはろう付 22…PWB(印刷配線板) 23…コンピュータチップ 24…ハンダ 25…ヒートシンク 30…熱スプレッダ 31…セラミック基板 32…樹脂ベース接着剤、ハンダ、またはろう付 33…コンピュータチップ 34…ハンダ 35…ヒートシンク 36…フィルターキャパシタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C04B 41/83 E 41/87 S 41/88 V H05K 1/03 630 C 7511−4E 7/20 C C04B 35/80 K

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭素繊維の予備成形物を炭素マトリック
    スで部分的に高密化して高密度炭素複合体となし、次い
    でこの高密度炭素複合体に炭素複合体の熱膨脹率を増大
    することができる少なくとも一つの材料を浸透させるこ
    とにより作製される炭素−炭素複合体。
  2. 【請求項2】 炭素複合体が、浸透前に約0.75〜約
    1.8g/ccの密度を有する、請求項1に記載の炭素複
    合体。
  3. 【請求項3】 炭素繊維の予備成形物が、ポリアクリロ
    ニトリル繊維、ピッチ繊維、CVD炭素繊維、熱分解天
    然繊維およびそれらの混合物からなる群より選択される
    繊維から作製される、請求項1に記載の炭素複合体。
  4. 【請求項4】 炭素繊維の予備成形物が、織成物または
    不織布である、請求項1に記載の炭素複合体。
  5. 【請求項5】 炭素繊維の予備成形物が、ブレード繊維
    から形成される、請求項1に記載の炭素複合体。
  6. 【請求項6】 炭素繊維の予備成形物が、1次元、2次
    元、または3次元の炭素繊維の予備成形物である、請求
    項1に記載の炭素複合体。
  7. 【請求項7】 炭素繊維の予備成形物が、ニードルド2
    次元または3次元の炭素繊維の予備成形物である、請求
    項1に記載の炭素複合体。
  8. 【請求項8】 炭素マトリックスが、CVI炭素、黒鉛
    化炭素源またはそれらの混合物である、請求項1に記載
    の複合体。
  9. 【請求項9】 材料が、少なくとも1つのポリマー、セ
    ラミック、または金属を含む、請求項1に記載の複合
    体。
  10. 【請求項10】 材料が、エポキシポリマー、ポリイミ
    ドおよびそれらの混合物から選択されるポリマーであ
    る、請求項1に記載の複合体。
  11. 【請求項11】 材料が、炭化珪素、炭化硼素、窒化ア
    ルミニウム、またはそれらの混合物からなる群より選択
    されるセラミックである、請求項1に記載の複合体。
  12. 【請求項12】 材料が、アルミニウム、銅、銀並びに
    それらの混合物および合金からなる群より選択される、
    請求項1に記載の複合体。
  13. 【請求項13】 材料が、約5容量%〜約60容量%の
    量で存在する、請求項1に記載の炭素複合体。
  14. 【請求項14】 高密度炭素複合体が、少なくとも約2
    000℃に加熱されて熱伝導性が改善されている、請求
    項1に記載の炭素複合体。
  15. 【請求項15】 炭素繊維の予備成形物を炭素マトリッ
    クスで部分的に高密化して約1.0〜約1.8g/ccの
    密度を有する高密度炭素複合体となし、次いでこの高密
    度炭素複合体にアルミニウム、銅、銀並びにそれらの混
    合物および合金からなる群より選択される金属の約5容
    量%〜約60容量%を浸透させることにより作製される
    炭素−炭素複合体。
  16. 【請求項16】 炭素の予備成形物が、ニードルド2次
    元または3次元の炭素繊維の予備成形物である、請求項
    15に記載の炭素複合体。
  17. 【請求項17】 高密度炭素複合体が、少なくとも約2
    000℃に加熱されて熱伝導性が改善されている、請求
    項15に記載の炭素複合体。
  18. 【請求項18】 電子基板に接合された少なくとも一つ
    の電子デバイスと、その電子基板に接合された炭素−炭
    素複合体を含んでなる装置であって、前記炭素−炭素複
    合体が、炭素繊維の予備成形物を炭素マトリックスで部
    分的に高密化して高密度炭素複合体となし、次いでこの
    高密度炭素複合体に炭素複合体の熱膨脹率を増大するこ
    とができる少なくとも一つの材料を浸透してなる、装
    置。
  19. 【請求項19】 電子基板が、電子回路図印刷配線板で
    ある請求項18に記載の装置。
  20. 【請求項20】 電子デバイスが、コンピューターチッ
    プまたはキャパシタである、請求項18に記載の装置。
JP7066278A 1994-03-25 1995-03-24 炭素/炭素複合体およびそれを含む電気機器 Pending JPH0837258A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US21820894A 1994-03-25 1994-03-25
US218208 1994-03-25

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Publication Number Publication Date
JPH0837258A true JPH0837258A (ja) 1996-02-06

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ID=22814179

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JP7066278A Pending JPH0837258A (ja) 1994-03-25 1995-03-24 炭素/炭素複合体およびそれを含む電気機器

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JP (1) JPH0837258A (ja)

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