JPH0837334A - レーザ波長制御装置 - Google Patents

レーザ波長制御装置

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JPH0837334A
JPH0837334A JP17117394A JP17117394A JPH0837334A JP H0837334 A JPH0837334 A JP H0837334A JP 17117394 A JP17117394 A JP 17117394A JP 17117394 A JP17117394 A JP 17117394A JP H0837334 A JPH0837334 A JP H0837334A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 特別な調整を行う必要がなく、レーザ光の発
振中心波長を所望の値に確実に保つことのできるレーザ
波長制御装置を実現する。 【構成】 LDモジュール43内にはレーザダイオード
42とその温度を制御するペルチェ効果素子41が配置
されている。ここから出力されるレーザ光45は、光狭
帯域ハイパスフィルタ46と光狭帯域ローパスフィルタ
51に入射され、これらの透過光がフォトダイオード4
8、53で検出される。各フィルタ46、51はレーザ
光の所望の発振中心波長から長波長側と短波長側に同じ
波長だけわずかにずれた波長位置の光を透過させる。し
たがって、フォトダイオード48、53の検出した光が
等しくなるように温度調整回路58でペルチェ効果素子
41の制御を行えば、レーザ光を所望の発振中心波長に
設定できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザダイオードから出
力されるレーザ光の波長を制御するレーザ波長制御装置
に係わり、詳細にはその発振中心波長の温度変動を防止
するようにしたレーザ波長制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザダイオードの出力するレーザ光
は、そのレーザダイオードを収容したモジュール(以下
LDモジュールと略称する。)内の温度変化によってそ
の特性が変動する。このため、このような変動が好まし
くない機器にLDモジュールを使用する際には、モジュ
ール内に温度制御を行うための素子を組み込んで発振中
心波長の変動を防止するようになっている。
【0003】特開昭58−96794号公報では、レー
ザダイオードの温度を感熱素子によって感知し、温度を
表わした信号を増幅した後に温度制御回路に入力してい
る。温度制御回路は、感知した温度に応じて電子冷却器
を制御し、レーザダイオードの出力を一定に保つように
している。
【0004】また、特開平3−119776号公報では
レーザダイオードの歪特性をモニタするモニタ回路を設
けており、モニタ回路の出力信号に応じてレーザダイオ
ードの動作温度を変更するようにしている。これによ
り、長期間にわたって安定な光出力特性を維持すること
のできる装置を得ることができる。
【0005】図4は、このようなLDモジュールの温度
制御を行うための回路の一般的な構成を表わしたもので
ある。LDモジュール11内には、レーザダイオード1
2と、これに隣接した形でサーミスタ13と電子冷却器
としてのペルチェ効果素子14が配置されている。LD
モジュール11の外には比較器15が配置されている。
LDモジュール11内のレーザダイオード12の温度
は、サーミスタ13によって検知され、その検知出力1
6が比較器15の一端に入力する。比較器15の他端に
は指定の電位の基準信号が入力されるようになってい
る。比較器15から出力される比較結果18はペルチェ
効果素子14に入力され、レーザダイオード12を所望
の特性に保つための温度制御が行われる。
【0006】以上は、レーザ光の出力を一定にしたり低
歪特性に保つための技術である。LDモジュール内の温
度が変動すると発振中心波長がシフトするという問題も
あり、この点については平成4年1月23日に出願され
た特願平4−032675号公報に開示がある。
【0007】図5は、この公報に示されたレーザ波長制
御装置の構成を示したものである。LDモジュール21
には、レーザダイオード(LD)22とペルチェ効果素
子23が配置されている。レーザダイオード22の出力
するレーザ光24は、光狭帯域フィルタ25に入射し、
その出力光26がフォトダイオード(PD)27で受光
される。フォトダイオード27の検出出力28は温度調
整回路29に入力され、ここからレーザダイオード22
の発振中心波長の温度変動を防止するための制御信号3
1が出力される。この制御信号31は、ペルチェ効果素
子23に供給され、LDモジュール21の温度制御が行
われる。
【0008】図6は、このレーザ波長制御装置の温度制
御の原理を示したものである。図で左側の曲線は発振中
心波長が所望の波長λのときのレーザ光24L の波形
(光出力パワー)を示している。右側の曲線はこれより
も所定の温度だけ高温になったときのレーザ光26H の
波形を示している。このときの発振中心波長はλよりも
長いλ′である。また、図で斜線で示した波長領域35
は、光狭帯域フィルタ25によって透過する波長の範囲
を示したものである。
【0009】図5に示した温度調整回路29は、波長領
域35におけるレーザ光24の受光出力が最大値になる
ようにLDモジュール21内の温度を制御させ、これに
よってレーザダイオード22の発振中心波長をλに保つ
ように制御するようにしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図5に示し
た従来のレーザ波長制御装置では、光狭帯域フィルタ2
5を1つだけ使用したので、温度が急激に変化したとき
や装置の立ち上がり時にレーザ光24の発振中心波長が
大きくシフトしていると、フォトダイオード27の検出
出力そのものを得ることができず、ペルチェ効果素子2
3を冷却させる方向に制御していいか発熱させる方向に
制御していいかが分からず、制御に手間取ったり誤動作
するという問題があった。また、レーザ光24の発振中
心波長近傍の光出力パワーが平坦な特性を持っている
と、所望の波長λに正確に発振中心波長を設定すること
が困難であるという問題があった。
【0011】また、図4に示したような一般的な回路装
置を使用してレーザ波長制御装置を構成すると、設定し
た波長を得るように比較器15から出力される比較結果
18を演算する必要があり、あるいは図示しないルック
アップテーブルを用いて実験結果に応じた制御手段でペ
ルチェ効果素子14の制御を行う必要があって、装置の
構成が煩雑になるという問題があった。また、サーミス
タ13を使用しているので、その出力特性を用いて制御
を高精度で行うことが困難であり、更に個々のレーザダ
イオードはこれらの発振波長が同一温度でも異なるた
め、個々のレーザ波長制御装置の細かな調整が必要であ
るという問題があった。
【0012】そこで本発明の目的は、特別な調整を行う
必要がなく、レーザ光の発振中心波長を所望の値に確実
に保つことのできるレーザ波長制御装置を提供すること
にある。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、(イ)レーザ光を出力するレーザ光出力手段と、
(ロ)このレーザ光出力手段から出力されるレーザ光
を、予め定めた発振中心波長を中心として長波長側と短
波長側に同じ波長だけわずかにずれた波長位置で透過さ
せる長波長側フィルタおよび短波長側フィルタと、
(ハ)これら長波長側フィルタおよび短波長側フィルタ
を透過したレーザ光の強度が等しくなるようにレーザ光
出力手段の温度制御を行う温度制御手段とをレーザ波長
制御装置に具備させる。
【0014】すなわち請求項1記載の発明では、予め定
めた発振中心波長を中心として長波長側と短波長側に同
じ波長だけわずかにずれた波長位置で透過させる長波長
側フィルタおよび短波長側フィルタを用意しておき、こ
れらのフィルタを透過したレーザ光の強度が等しくなる
ようにレーザ光出力手段の温度制御を行うことで、レー
ザ光の発振中心波長を予め定めた発振中心波長に設定す
ることができる。
【0015】請求項2記載の発明では、(イ)レーザ光
を出力するレーザ光出力手段と、(ロ)このレーザ光出
力手段から出力されるレーザ光を、予め定めた発振中心
波長を中心として長波長側と短波長側にそれぞれ任意の
波長だけわずかにずれた波長位置で透過させる長波長側
フィルタおよび短波長側フィルタと、(ハ)これら長波
長側フィルタおよび短波長側フィルタを透過したレーザ
光の強度がレーザ光の出力波長特性と長波長側と短波長
側に設定されたフィルタとの関係で定まる所定の比とな
るようにレーザ光出力手段の温度制御を行う温度制御手
段とをレーザ波長制御装置に具備させる。
【0016】すなわち請求項2記載の発明では、予め定
めた発振中心波長を中心として長波長側と短波長側にそ
れぞれ任意の波長だけわずかにずれた波長位置で透過さ
せる長波長側フィルタおよび短波長側フィルタを用意し
ておき、これらのフィルタを透過したレーザ光の強度が
レーザ光の出力波長特性と長波長側と短波長側に設定さ
れたフィルタとの関係で定まる所定の比となるようにレ
ーザ光出力手段の温度制御を行うことで、レーザ光の発
振中心波長を予め定めた発振中心波長に設定することが
できる。
【0017】請求項3記載の発明では、(イ)レーザ光
を出力するレーザ光出力手段と、(ロ)このレーザ光出
力手段から出力されるレーザ光の発振中心波長を設定す
る発振中心波長設定手段と、(ハ)この発振中心波長設
定手段によって設定された発振中心波長を中心として長
波長側と短波長側にそれぞれ任意の波長だけわずかにず
れた波長位置で透過させる長波長側フィルタおよび短波
長側フィルタと、(ニ)これら長波長側フィルタおよび
短波長側フィルタを透過したレーザ光の強度がレーザ光
の出力波長特性と長波長側と短波長側に設定されたフィ
ルタとの関係で定まる所定の比となるようにレーザ光出
力手段の温度制御を行う温度制御手段とをレーザ波長制
御装置に具備させる。
【0018】すなわち請求項3記載の発明では、レーザ
光の発振中心波長を発振中心波長設定手段によって設定
し、この発振中心波長設定手段によって設定された発振
中心波長を中心として長波長側と短波長側にそれぞれ任
意の波長だけわずかにずれた波長位置で透過させる長波
長側フィルタおよび短波長側フィルタを用いて、これら
のフィルタを透過したレーザ光の強度がレーザ光の出力
波長特性と長波長側と短波長側に設定されたフィルタと
の関係で定まる所定の比となるようにレーザ光出力手段
の温度制御を行うことで、レーザ光の発振中心波長を任
意の発振中心波長に設定することができる。
【0019】請求項4記載の発明では、請求項1〜請求
項3記載の発明における温度制御手段を、レーザ光出力
手段の近傍に配置されたペルチェ効果素子によって実現
した。
【0020】請求項5記載の発明では、請求項1〜請求
項3記載の発明におけるレーザ光出力手段をレーザダイ
オードとし、温度制御手段は、レーザ光出力手段の出力
したレーザ光を光学的な狭帯域の長波長側フィルタおよ
び短波長側フィルタを透過させた光をフォトダイオード
でそれぞれ光電変換して得られた電気信号を用いて温度
制御を行うものであることとした。
【0021】
【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【0022】図1は本発明の一実施例におけるレーザ波
長制御装置の回路構成を原理的に表わしたものである。
本実施例のレーザ波長制御装置は、ペルチェ効果素子4
1とレーザダイオード(LD)42を配置したLDモジ
ュール43を使用している。LDモジュール43内には
サーミスタが配置されていない。レーザダイオード42
から出力されるレーザ光45は、2つに分岐されて一方
が光狭帯域ハイパスフィルタ46を通過し透過光47と
して第1のフォトダイオード48に入射するようになっ
ている。分岐された他方のレーザ光45は光狭帯域ロー
パスフィルタ51を通過し透過光52として第2のフォ
トダイオード53に入射する。第1のフォトダイオード
48によって光電変換されて出力された第1の検知出力
54と第2のフォトダイオード53によって光電変換さ
れて出力された第2の検知出力55とは、比較器56に
入力され、両レベルの相違がアナログ的に比較される。
比較結果57は温度調整回路58に入力され、ここから
出力される制御信号59によって電子冷却器としてのペ
ルチェ効果素子41の制御が行われる。
【0023】図2は、レーザ波長制御装置の要部の回路
構成を具体的に表わしたものである。図1の光狭帯域ハ
イパスフィルタ46の透過光47を受光する第1のフォ
トダイオード48のカソードは、比較器56の一端を接
地した入力電圧調整用の抵抗61の他端に接続されてい
る。また、アノードは電流調整用の抵抗62を介して図
示しない電位−Vの負の電源ラインに接続されている。
同様に、光狭帯域ローパスフィルタ51の透過光52を
受光する第2のフォトダイオード53のカソードは、比
較器56の一端を接地した入力電圧調整用の抵抗63の
他端に接続されている。また、アノードは電流調整用の
抵抗64を介して前記した負の電源ラインに接続されて
いる。2つの抵抗61、63の抵抗値は互いに等しく、
他の2つの抵抗62、64の抵抗値も互いに等しくなっ
ている。
【0024】比較器56は、エミッタを共通した定電流
源65に接続した2つのトランジスタ66、67を備え
ている。定電流源65の他端は、前記した負の電源ライ
ンに接続されている。第1のトランジスタ66のベース
は抵抗68を介して第1のフォトダイオード48のカソ
ード側に接続されている。また、コレクタは電圧レベル
調整用の抵抗69を介して接地される他、温度調整回路
58内の抵抗71を介してトランジスタ72のベースに
接続されている。第2のトランジスタ67のベースは抵
抗74を介して第2のフォトダイオード53のカソード
側に接続されている。また、そのコレクタは電圧レベル
調整用の抵抗75を介して接地されている。温度調整回
路58内のトランジスタ72のエミッタは電流調整用の
抵抗77を介して前記した負の電源ラインに接続されて
おり、コレクタは一端を接地したペルチェ効果素子41
の他端に接続されている。
【0025】図3は、このような構成のレーザ波長制御
装置の動作原理を示したものである。この図で左側の曲
線は発振中心波長が所望の波長λのときのレーザ光45
L の波形(光出力パワー)を示している。右側の曲線は
これよりも所定の温度だけ高温になったときのレーザ光
45H の波形を示している。このときの発振中心波長は
λよりも長いλ′である。また、図で斜線で示した左側
の波長領域81は、光狭帯域ハイパスフィルタ46(図
1)によって透過する波長の範囲を示したものであり、
右側の波長領域82は、光狭帯域ローパスフィルタ51
(図1)によって透過する波長の範囲を示したものであ
る。左側の波長領域81の中心波長は波長λよりもΔλ
だけ短波長となっており、右側の波長領域82の中心波
長は波長λよりもΔλだけ長波長となっている。ここで
Δλは、発振中心波長からわずかにずれた長さであり、
具体的には図3で示した光パワーを示す曲線の傾斜部分
に位置する程度の量となる。
【0026】図1に示したレーザダイオード42が出力
するレーザ光45の中心波長が波長λに正しく設定され
ているとき、この図3でレーザ光45H が得られている
状態となっている。レーザ光45の光パワーが発振中心
波長を中心にして対称形で減衰しているものと仮定する
と、この状態で第1および第2のフォトダイオード4
8、53は同一量の光を受光する。このとき、第1およ
び第2のトランジスタ66、67は定電流源65に流れ
る電流を2分し、このとき抵抗69によって生じる電圧
降下分に相当する電圧が比較結果57として温度調整回
路58に入力される。温度調整回路58はこれに応じて
トランジスタ72を動作させ、そのコレクタ電流でペル
チェ効果素子41がその温度を保つように温度制御を行
うことになる。
【0027】一方、何らかの状況の変化でLDモジュー
ル43内の温度が高温側に変化してレーザ光45の発振
中心波長がλ′になったとする。すると、図3に示した
ように光パワーが全体として図で右側にシフトし、その
特性曲線の左肩部分に2つの波長領域81、82が対応
することになる。この状態では、第1の波長領域81を
透過する光よりも第2の波長領域82を透過する光の方
が多くなる。したがって、第1のフォトダイオード48
の方が第2のフォトダイオード53よりも多くの光を受
光することになる。この状態では、図2に示した抵抗6
1の方が抵抗63よりも多くの電流が流れ、電位差が大
きくなる。この結果、第1のトランジスタ66のベース
電位は第2のトランジスタ67のそれよりも低くなり、
第1のトランジスタ66のコレクタ電流は第2のトラン
ジスタ67のそれよりも少なくなる。すなわち、レーザ
光45の中心波長が長波長側にシフトすると、比較結果
57としての電圧が次第に接地電位側に上昇していく。
温度調整回路58はこれに応じてトランジスタ72のコ
レクタ電流が増加し、ペルチェ効果素子41がより強く
冷却を行って、レーザ光45の中心波長をλ′からλに
移行させる。
【0028】これとは逆に、LDモジュール43内の温
度がより低温側に変化した場合には、ペルチェ効果素子
41の冷却が弱まる方向の温度制御が行われ、レーザ光
45の中心波長を所望の波長λに移行させることにな
る。
【0029】なお、以上説明した実施例ではペルチェ効
果素子を温度制御のための電子冷却器として使用した
が、これに限るものではない。また、必要に応じて加熱
制御を行うことも可能である。
【0030】更に実施例では所望の波長λから対称の波
長位置に2つのフィルタを設けたが、必ずしも対称位置
の光を検出する必要はない。ただし、この場合にはレー
ザ光の光パワーの特性曲線とそれぞれのフィルタの配置
位置との関係で定まる関係式を用いて温度制御を行う必
要がある。また、実施例ではレーザダイオードをレーザ
光出力手段として使用したが、他のレーザ光出力手段に
本発明を適用することは自由である。また、実施例では
2つのフィルタを固定した波長位置の光を透過させるよ
うにしたが、これらの透過する波長位置を任意に設定で
きるようにして、レーザ光の発振中心波長を自由に調整
できるようにしてもよい。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
によれば、予め定めた発振中心波長を中心として長波長
側と短波長側に同じ波長だけわずかにずれた波長位置で
透過させる長波長側フィルタおよび短波長側フィルタを
用意しておき、これらのフィルタを透過したレーザ光の
強度が等しくなるようにレーザ光出力手段の温度制御を
行うことにした。したがって、極めて単純な回路構成で
レーザ光の発振中心波長を一定に制御することができ
る。
【0032】また、請求項2記載の発明によれば、予め
定めた発振中心波長を中心として長波長側と短波長側に
それぞれ任意の波長だけわずかにずれた波長位置で透過
させる長波長側フィルタおよび短波長側フィルタを用意
しておき、これらのフィルタを透過したレーザ光の強度
がレーザ光の出力波長特性と長波長側と短波長側に設定
されたフィルタとの関係で定まる所定の比となるように
レーザ光出力手段の温度制御を行うことにした。したが
って、光パワーの特性が対称形でないようなレーザ光出
力手段を使用したような場合にも、レーザ光の発振中心
波長を一定に制御することができる。
【0033】更に請求項3記載の発明によれば、レーザ
光の発振中心波長を発振中心波長設定手段によって設定
し、この発振中心波長設定手段によって設定された発振
中心波長を中心として長波長側と短波長側にそれぞれ任
意の波長だけわずかにずれた波長位置で透過させる長波
長側フィルタおよび短波長側フィルタを用いて、これら
のフィルタを透過したレーザ光の強度がレーザ光の出力
波長特性と長波長側と短波長側に設定されたフィルタと
の関係で定まる所定の比となるようにレーザ光出力手段
の温度制御を行うことにした。したがって、レーザ光の
発振中心波長自体を自由に設定することができ、その設
定された発振中心波長に保持することができる。
【0034】また、請求項4記載の発明によれば、ペル
チェ効果素子を温度制御手段に使用したので、単に冷却
を行うだけでなく、加熱を行うこともでき、レーザ波長
制御装置の温度制御範囲を広範囲に設定することができ
る。
【0035】更に請求項5記載の発明では、狭帯域フィ
ルタを使用したので、温度制御を安定かつ高精度に行う
ことができる。また、サーミスタを使用しないで温度制
御を行うことができるので、この点でも制御の高精度化
を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例におけるレーザ波長制御装置
の回路構成を原理的に表わした原理図である。
【図2】本実施例のレーザ波長制御装置の要部の回路構
成を具体的に表わした回路図である。
【図3】本実施例のレーザ波長制御装置の動作原理を示
した説明図である。
【図4】従来の一般的なレーザダイオードを使用した温
度制御回路の構成を示すブロック図である。
【図5】先に提案されたレーザ波長制御装置の回路構成
の概要を示すブロック図である。
【図6】この提案されたレーザ波長制御装置の動作原理
を示した原理図である。
【符号の説明】
41 ペルチェ効果素子 42 レーザダイオード 43 LDモジュール 46 光狭帯域ハイパスフィルタ 48 第1のフォトダイオード 51 光狭帯域ローパスフィルタ 53 第2のフォトダイオード 56 比較器 58 温度調整回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を出力するレーザ光出力手段
    と、 このレーザ光出力手段から出力されるレーザ光を、予め
    定めた発振中心波長を中心として長波長側と短波長側に
    同じ波長だけわずかにずれた波長位置で透過させる長波
    長側フィルタおよび短波長側フィルタと、 これら長波長側フィルタおよび短波長側フィルタを透過
    したレーザ光の強度が等しくなるように前記レーザ光出
    力手段の温度制御を行う温度制御手段とを具備すること
    を特徴とするレーザ波長制御装置。
  2. 【請求項2】 レーザ光を出力するレーザ光出力手段
    と、 このレーザ光出力手段から出力されるレーザ光を、予め
    定めた発振中心波長を中心として長波長側と短波長側に
    それぞれ任意の波長だけわずかにずれた波長位置で透過
    させる長波長側フィルタおよび短波長側フィルタと、 これら長波長側フィルタおよび短波長側フィルタを透過
    したレーザ光の強度がレーザ光の出力波長特性と前記長
    波長側と短波長側に設定されたフィルタとの関係で定ま
    る所定の比となるように前記レーザ光出力手段の温度制
    御を行う温度制御手段とを具備することを特徴とするレ
    ーザ波長制御装置。
  3. 【請求項3】 レーザ光を出力するレーザ光出力手段
    と、 このレーザ光出力手段から出力されるレーザ光の発振中
    心波長を設定する発振中心波長設定手段と、 この発振中心波長設定手段によって設定された発振中心
    波長を中心として長波長側と短波長側にそれぞれ任意の
    波長だけわずかにずれた波長位置で透過させる長波長側
    フィルタおよび短波長側フィルタと、 これら長波長側フィルタおよび短波長側フィルタを透過
    したレーザ光の強度がレーザ光の出力波長特性と前記長
    波長側と短波長側に設定されたフィルタとの関係で定ま
    る所定の比となるように前記レーザ光出力手段の温度制
    御を行う温度制御手段とを具備することを特徴とするレ
    ーザ波長制御装置。
  4. 【請求項4】 前記温度制御手段は、レーザ光出力手段
    の近傍に配置されたペルチェ効果素子を制御することに
    よって温度の制御を行うことを特徴とする請求項1〜請
    求項3記載のレーザ波長制御装置。
  5. 【請求項5】 前記レーザ光出力手段はレーザダイオー
    ドであり、前記温度制御手段は、レーザ光出力手段の出
    力したレーザ光を光学的な狭帯域の長波長側フィルタお
    よび短波長側フィルタを透過させた光をフォトダイオー
    ドでそれぞれ光電変換して得られた電気信号を用いて温
    度制御を行うことを特徴とする請求項1〜請求項3記載
    のレーザ波長制御装置。
JP6171173A 1994-07-22 1994-07-22 レーザ波長制御装置 Expired - Lifetime JP3006822B2 (ja)

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