JPH083901Y2 - 冷却機能付きクリーン対応保管庫 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、工場等において設備される、冷却機能付き
クリーン対応保管庫に関する。

特に、安価な冷却システムで庫内温度を一定に保つこ
とのできる冷却機能付きクリーン対応保管庫に関するも
のである。

（従来の技術） 近年、クリーン対応の保管庫は、薬品，エレクトロニ
クス等の分野において広く利用されてきいる。

特にエレクトロニクス等の分野では、温度，湿度の管
理において非常にデリケートなウエハカセットなどの精
密機器を保管するために用いられている。

通常、このような精密機器を保管する場合の庫内の湿
度は、45％程度が最適とされている。しかしながら、保
管庫内にクリーンエアーを供給するファンモータの発熱
により庫内温度が変動することがある。

この庫内温度の変動に伴なって、庫内湿度も変化する
こととなり、例えば、保管庫内の温度が±１℃変動した
場合には、これに対する湿度は５％程度変化する。

そこで、従来より、このような庫内温度の変動を防止
するために、庫内温度を一定に保つ冷却手段が設けられ
ている。

第２図〜第４図は、このような庫内温度の上昇を防止
するための冷却手段を設けた冷却機能付きクリーン対応
保管庫の要部説明図である。

第2,3図に示す冷却機能付きクリーン対応保管庫は、
いずれも外気取入れタイプの保管庫である。このタイプ
の保管庫は、保管庫Ｈ内に外気を取り入れ、この取り入
れた外気を循環ファン１で循環させて庫内Ｋを冷却する
ようになっている。

外気の取り入れは、第２図に示す保管庫H1の場合、保
管庫H1の側面に設けたスリット２を介して行ない、第３
図に示す保管庫H2の場合、保管庫H2の下面に設けたグレ
ーチング３を介して行なうようになっている。

第４図に示す冷却機能付きクリーン対応保管庫は、ク
ーラ装置接続タイプの保管庫である。このタイプの保管
庫は、保管庫H3に隣接してフィルタ付のクーラ装置４を
設置し、このクーラ装置４から冷却空気を導入して保管
庫H3内の循環ファン１により循環させるようになってい
る。

（考案が解決しようとする課題） 上述した従来の冷却機能付きクリーン対応保管庫によ
ると、次のような問題点がある。

すなわち、第２図に示した外気取り入れタイプの保管
庫H1では、循環ファン１の運転音がスリット２から保管
庫H1の外部へ漏れ、騒音が響くという問題がある。

また、第３図に示した外気取入れタイプの保管庫H2で
は、外気の取り入れ口にグレーチング３を用いており、
グレーチング３の下面のダストが保管庫H2内に吸引され
るので、クリーン度の維持に問題がある。

さらに、第４図に示したクーラ装置接続タイプの保管
庫H3では、クーラ装置４の設置が高価であり、ランニン
グコストも高いという問題がある。また、保管庫近傍に
クーラ装置４の設置スペースを設けなければならず、省
スペース化を図ることができないという問題がある。

本考案の目的は、以上のような従来の冷却機能付きク
リーン対応保管庫における問題点を解決し、騒音が外部
に漏れるのを防止するとともに、クリーンエアの供給を
維持し、しかも安価で省スペース化を図ることのできる
冷却機能付きクリーン対応保管庫を提供することにあ
る。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本考案は、物品を保管する複
数の棚を有し、この複数の棚の背面側から棚に向けて冷
却された空気が供給される冷却機能付きクリーン対応保
管庫であって、保管庫内に設けられた水冷式の熱交換器
と、この熱交換器を通じて冷却された空気を保管庫内に
循環する循環ファンと、前記棚の背面側に設けられ、前
記熱交換器により冷却された空気を前記棚に供給するた
めの風洞とを備え、前記熱交換器の吸込側に吸込側フィ
ルタを設けるとともに、前記風洞の吹出口に沿って吹出
側フィルタを設け、かつ、この吹出側フィルタの吹出面
に近接した位置に前記棚が設けられている構成とした。

（作用効果） 本考案の冷却機能付きクリーン対応保管庫は、上記の
構成としたので、次のような作用効果を奏する。

すなわち、保管庫内の空気は、保管庫内に設けられた
水冷式の熱交換器により冷却され、循環ファンにより保
管庫内を循環する。

熱交換器を通じて冷却された空気は、循環ファンによ
り棚の背面側に設けられた風洞を通って棚に供給され
る。風洞には、その吹出口に沿って、吹出側フィルタが
設けられているので、棚に供給される冷却空気はその供
給直前で浄化されることとなる。したがって、保管物品
を高い清浄度で保管することができる。

しかも、吹出側フィルタの吹出面に近傍位置に棚が設
けられた構成となっているので、吹出側フィルタの近く
の極めて清浄度の高い場所に保管物品を配置することが
可能である。

棚へ吹き出された空気は、保管庫内を循環した後、吹
込側フィルタを通じて再び熱交換器に戻って冷却され
る。

このように、本考案の冷却機能付きクリーン対応保管
庫によれば、保管庫内を循環する空気が、熱交換器によ
り冷却されるとともに、熱交換器の吸込側と風洞の吹出
側とに設けられた２つのフィルタを通じて２段階に浄化
されることとなるので、清浄度の高い冷却機能付きクリ
ーン保管庫が実現されるという効果がある。

また、吹出側フィルタは風洞の吹出口に沿って設けら
れていて、この吹出側フィルタの吹出面に近接位置に棚
が設けられているので、清浄度の高い冷却空気を絶えず
棚に供給することができ、清浄度の高い物品の保管が実
現される。

さらに、熱交換器の吸込側には吸込側フィルタが設け
られているので、熱交換器に吸い込まれる空気は浄化さ
れることとなり、その結果、熱交換器の熱交換面の汚れ
が防止されるとともに、熱交換器の熱伝達効率の低下も
防止される。

また、外部から空気を取り入れることなく、保管庫内
の空気が冷却されて循環されるので、騒音が外部に漏れ
ないとともに、クリーンエアの供給を維持することがで
きる。

さらに、水冷式の熱交換器が保管庫内に設けてあるの
で、保管庫に隣接クーラ装置を設置する必要がなく、安
価で、省スペース化を図ることができる。

（実施例） 以下、図示の実施例について説明する。

第１図は本考案に係る冷却機能付きクリーン対応保管
庫の一実施例を示す構造説明図である。

同図において、10は保管庫、11,11は保管庫10の下部
に設けた一対の冷却ユニットである。この冷却ユニット
11の上方には、棚12がそれぞれ設けてあり、ウエハカセ
ットＷ等の精密機器が複数個保管されるようになってい
る。

冷却ユニット11は、水冷式の熱交換器13と、循環ファ
ン14と、風洞18と、埃除去用の複数個の吹出側フィルタ
（HEPA:high efficiency particulate air filterや高
性能微粒子除去フィルタ等）15および吸込部フィルタ16
とから構成されている。

熱交換器13には、水配管17が接続されており、図示し
ない循環ポンプ等を介して外部の冷水供給装置等から冷
水が送られてくるようになっている。

保管庫10内の空気は、このような熱交換器13を有する
冷却ユニット11により冷却され、循環ファン14により保
管庫10内を循環するようになっている。

風洞18は棚12の背面側に設けられており、熱交換器13
により冷却された空気を棚12に均一に供給する。

吹出側フィルタ15は、風洞18の吹出口に沿って設けら
れている。棚12はこの吹出側フィルタ15の吹出面に近接
した位置に設けられている。

吸込側フィルタ16は、熱交換器13の吸込側に設けられ
ている。

次に、このような構成を有する冷却機能付きクリーン
対応保管庫の作用を説明する。

冷却ユニット11の循環ファン14を作動させると、保管
庫10内の空気は、冷却ユニット11の吸込側フィルタ16を
介して風洞18内に吸い込まれ、熱交換器13を通過する。
ここで、熱交換器13にはあらかじめ冷水を供給してお
き、熱交換器13を冷却しておく。これにより、熱交換器
13を通過する空気は、熱交換器13により冷却され、循環
ファン14により吹出側フィルタ15を通じて棚12へ均一に
吹き出される（図中矢印Ａ参照）。

したがって、棚12に供給される空気はその供給直前で
吹出側フィルタ15により浄化されることとなる。

その後、棚12へ吹き出された空気は、保管庫10内を循
環して再び冷却ユニット11の吸込側フィルタ16を通じて
吸い込まれる（図中矢印Ｂ参照）。

以上のように、保管庫10内を循環する空気は、冷却ユ
ニット11の熱交換器13を通過する際に冷却されるので、
循環ファン14の発熱があっても保管庫10内の温度が上昇
することがない。

上述した本実施例の冷却機能付きクリーン対応保管庫
によれば、保管庫内を循環する空気が、熱交換器13によ
り冷却されるとともに、熱交換器13の吸込側と風洞18の
吹出側とに設けられた２つのフィルタ15,16を通じて浄
化されるようになっているので、清浄度の高い冷却機能
付きのクリーン保管庫が実現されるという効果がある。

また、吹出側フィルタ15は風洞18の吹出口に沿って設
けられていて、この吹出側フィルタ15の吹出面に近接位
置に棚12が設けられているので、清浄度の高い冷却空気
を絶えず棚12に供給することができ、清浄度の高い物品
の保管が実現される。

さらに、熱交換器13の吸込側には吸込側フィルタ16が
設けられているので、熱交換器13に吸い込まれる空気は
浄化されることとなり、その結果、熱交換器13の熱交換
面の汚れが防止されるとともに、熱交換器13の熱伝達効
率の低下も防止される。

また、外部から空気を取り入れることなく、保管庫内
の空気が冷却されて循環されるので、冷却ユニット11の
運転時における騒音が外部に漏れないとともに、クリー
ンエアの供給を維持することができる。

さらに、冷却ユニット11は水冷式の熱交換器13を組み
込んだ構成としてあるので、高価なクーラ装置を保管庫
本体10に隣接して設ける必要がなく、安価に冷却を行な
うことができ、省スペース化を図ることができる。

以上本考案の一実施例について説明したが、本考案は
上記の実施例に限定されるものではなく、本考案の要旨
の範囲内において適宜変形実施可能であることは言うま
でもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る冷却機能付きクリーン対応保管庫
の一実施例を示す構成説明図、第２図〜第４図はそれぞ
れ従来の冷却機能付きクリーン対応保管庫における冷却
手段を示す要部説明図である。 10……保管庫、11……冷却ユニット、13……熱交換器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 岡下 恭彦 千葉県館山市山本1580番地 株式会社エ ヌ・エム・ビーセミコンダクター館山工場 内 (56)参考文献 特開 昭57−37640（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−232442（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−28725（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】物品を保管する複数の棚を有し、この複数
   の棚の背面側から棚に向けて冷却された空気が供給され
   る冷却機能付きクリーン対応保管庫であって、保管庫内
   に設けられた水冷式の熱交換器と、この熱交換器を通じ
   て冷却された空気を保管庫内に循環する循環ファンと、
   前記棚の背面側に設けられ、前記熱交換器により冷却さ
   れた空気を前記棚に供給するための風洞とを備え、前記
   熱交換器の吸込側に吸込側フィルタを設けるとともに、
   前記風洞の吹出面に沿って吹出側フィルタを設け、か
   つ、この吹出側フィルタの吹出口に近接した位置に前記
   棚が設けられていることを特徴とする冷却機能付きクリ
   ーン対応保管庫。