JPH0839078A - 過酸化水素の分解方法 - Google Patents
過酸化水素の分解方法Info
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- JPH0839078A JPH0839078A JP18237794A JP18237794A JPH0839078A JP H0839078 A JPH0839078 A JP H0839078A JP 18237794 A JP18237794 A JP 18237794A JP 18237794 A JP18237794 A JP 18237794A JP H0839078 A JPH0839078 A JP H0839078A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｈ2 Ｏ2 を活性炭により効率的に分解除去す
る。 【構成】 活性炭とアルカリ剤とを接触させた後、この
活性炭にＨ2 Ｏ2 含有水を接触させる。 【効果】 活性炭をアルカリ剤で処理することにより活
性炭のＨ2 Ｏ2 分解能力を著しく高めることができる。
る。 【構成】 活性炭とアルカリ剤とを接触させた後、この
活性炭にＨ2 Ｏ2 含有水を接触させる。 【効果】 活性炭をアルカリ剤で処理することにより活
性炭のＨ2 Ｏ2 分解能力を著しく高めることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は過酸化水素の分解方法に
係り、特に、半導体製造工程から排出される半導体洗浄
排水中に含有される過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）を活性炭に
より効率的に分解除去する方法に関する。
係り、特に、半導体製造工程から排出される半導体洗浄
排水中に含有される過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）を活性炭に
より効率的に分解除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程から排出される半導体洗
浄排水には、エッチング剤として使用されたＨ2 Ｏ2 が
含有されている。この半導体洗浄排水を処理して超純水
として回収するに当り、半導体洗浄排水中に含有される
Ｈ2 Ｏ2 は、凝集沈殿汚泥の浮上を引き起こし、また、
ＣＯＤ源となることから除去する必要がある。
浄排水には、エッチング剤として使用されたＨ2 Ｏ2 が
含有されている。この半導体洗浄排水を処理して超純水
として回収するに当り、半導体洗浄排水中に含有される
Ｈ2 Ｏ2 は、凝集沈殿汚泥の浮上を引き起こし、また、
ＣＯＤ源となることから除去する必要がある。
【０００３】従来、半導体製造工程から排出される半導
体洗浄排水は、活性炭（ＡＣ）塔、弱塩基性アニオン交
換樹脂（ＷＡ）塔、強酸性カチオン交換樹脂（ＳＣ）塔
及び強塩基性アニオン交換樹脂（ＳＡ）塔に順次通水処
理された後、純水製造装置に通水処理され、超純水とし
て再使用されている（特公昭６１−１１９２号公報）。
この方法において、半導体洗浄排水中のＨ2 Ｏ2 はＡＣ
塔において分解除去される。
体洗浄排水は、活性炭（ＡＣ）塔、弱塩基性アニオン交
換樹脂（ＷＡ）塔、強酸性カチオン交換樹脂（ＳＣ）塔
及び強塩基性アニオン交換樹脂（ＳＡ）塔に順次通水処
理された後、純水製造装置に通水処理され、超純水とし
て再使用されている（特公昭６１−１１９２号公報）。
この方法において、半導体洗浄排水中のＨ2 Ｏ2 はＡＣ
塔において分解除去される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法におい
て、５０〜５００ｐｐｍのＨ2 Ｏ2 を含むｐＨ２〜４の
半導体洗浄排水を処理する場合、ＡＣ塔からＨ2 Ｏ2 が
リークし、例えば、後段のイオン交換樹脂塔の樹脂や純
水製造装置の逆浸透膜分離装置の分離膜を劣化させるな
ど、後段の装置に悪影響を及ぼすという問題があった。
て、５０〜５００ｐｐｍのＨ2 Ｏ2 を含むｐＨ２〜４の
半導体洗浄排水を処理する場合、ＡＣ塔からＨ2 Ｏ2 が
リークし、例えば、後段のイオン交換樹脂塔の樹脂や純
水製造装置の逆浸透膜分離装置の分離膜を劣化させるな
ど、後段の装置に悪影響を及ぼすという問題があった。
【０００５】これは、 排水のｐＨが２〜４の酸性側であるため、ＡＣによ
るＨ2 Ｏ2 の分解が困難になる。 通水を継続することにより、ＡＣが劣化してＨ2 Ｏ
2 分解能力が低下してくる。 ためである。
るＨ2 Ｏ2 の分解が困難になる。 通水を継続することにより、ＡＣが劣化してＨ2 Ｏ
2 分解能力が低下してくる。 ためである。
【０００６】従来、ＡＣ塔からリークしたＨ2 Ｏ2 は、
亜硫酸ナトリウム等の還元剤を用いて分解している。し
かしながら、Ｈ2 Ｏ2 のリーク量は一定でないため、最
適な還元剤の注入量を制御することが困難であることか
ら、還元剤を使用することなくＨ2 Ｏ2 のリークを防止
する方法が望まれている。
亜硫酸ナトリウム等の還元剤を用いて分解している。し
かしながら、Ｈ2 Ｏ2 のリーク量は一定でないため、最
適な還元剤の注入量を制御することが困難であることか
ら、還元剤を使用することなくＨ2 Ｏ2 のリークを防止
する方法が望まれている。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決し、ＡＣ
塔におけるＨ2 Ｏ2 分解効率を高く維持し、極低濃度に
までＨ2 Ｏ2 が除去された処理水を得る方法を提供する
ことを目的とする。
塔におけるＨ2 Ｏ2 分解効率を高く維持し、極低濃度に
までＨ2 Ｏ2 が除去された処理水を得る方法を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の過酸化水素の分
解方法は、過酸化水素を含む水を活性炭と接触させて過
酸化水素を分解する方法において、活性炭をアルカリ剤
と接触させた後、該活性炭に過酸化水素を含む水を接触
させることを特徴とする。
解方法は、過酸化水素を含む水を活性炭と接触させて過
酸化水素を分解する方法において、活性炭をアルカリ剤
と接触させた後、該活性炭に過酸化水素を含む水を接触
させることを特徴とする。
【０００９】なお、本発明の方法において、アルカリ剤
としては、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）、水酸化カリ
ウム（ＫＯＨ）等のアルカリ塩の水溶液、又は、アニオ
ン交換樹脂をアルカリ剤で再生する際に得られる再生排
水などを用いることができ、そのｐＨは１１以上である
ことが好ましい。
としては、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）、水酸化カリ
ウム（ＫＯＨ）等のアルカリ塩の水溶液、又は、アニオ
ン交換樹脂をアルカリ剤で再生する際に得られる再生排
水などを用いることができ、そのｐＨは１１以上である
ことが好ましい。
【００１０】また、このようなアルカリ剤による処理後
は、活性炭を十分に水洗浄することが好ましい。この場
合、洗浄水の水質には特に制限はなく、原水のＨ2 Ｏ2
含有水を用いても良い。
は、活性炭を十分に水洗浄することが好ましい。この場
合、洗浄水の水質には特に制限はなく、原水のＨ2 Ｏ2
含有水を用いても良い。
【００１１】一般に、ＡＣ塔に充填された活性炭を処理
する場合、次のような通水条件でアルカリ剤を通水した
後、水洗浄するのが望ましい。
する場合、次のような通水条件でアルカリ剤を通水した
後、水洗浄するのが望ましい。
【００１２】アルカリ剤通水方法：特に制限されず、上
向流でも下向流でも良い アルカリ剤通水速度：特に制限はないが、通常の場合、
ＳＶ＝１〜２０ｈｒ-1程度 アルカリ剤通水時間：１〜３０分，好ましくは５〜１０
分 水洗浄方法：ＳＶ＝２ｈｒ-1以上で５分以上 以下、図面を参照して本発明の過酸化水素の分解方法を
詳細に説明する。
向流でも下向流でも良い アルカリ剤通水速度：特に制限はないが、通常の場合、
ＳＶ＝１〜２０ｈｒ-1程度 アルカリ剤通水時間：１〜３０分，好ましくは５〜１０
分 水洗浄方法：ＳＶ＝２ｈｒ-1以上で５分以上 以下、図面を参照して本発明の過酸化水素の分解方法を
詳細に説明する。
【００１３】図１，２は本発明の過酸化水素の分解方法
の一実施例方法を示す系統図である。
の一実施例方法を示す系統図である。
【００１４】図１は、原水（Ｈ2 Ｏ2 含有水）を配管１
１よりＡＣ塔１に下向流通水して配管１２より処理水を
得る系において、ＡＣ塔１に水酸化ナトリウム（ＮａＯ
Ｈ）等のアルカリ水溶液を通水して活性炭の再生を行う
ものである。
１よりＡＣ塔１に下向流通水して配管１２より処理水を
得る系において、ＡＣ塔１に水酸化ナトリウム（ＮａＯ
Ｈ）等のアルカリ水溶液を通水して活性炭の再生を行う
ものである。
【００１５】即ち、再生に当っては、まず、原水の供給
を停止し、ポンプＰ1 を作動させて、アルカリ水槽２内
のアルカリ水溶液を配管１３，１４を経て、上向流にて
ＡＣ塔１に通水し、再生排水は配管１５より排出させ
る。アルカリ水溶液により十分に洗浄を行った後は、ポ
ンプＰ1 を停止し、ポンプＰ2 を作動させて、逆洗水槽
３内の逆洗水を配管１６，１４を経てＡＣ塔１に上向流
にて通水し、アルカリを十分に洗い出す。この洗浄排水
は配管１５より排出させる。
を停止し、ポンプＰ1 を作動させて、アルカリ水槽２内
のアルカリ水溶液を配管１３，１４を経て、上向流にて
ＡＣ塔１に通水し、再生排水は配管１５より排出させ
る。アルカリ水溶液により十分に洗浄を行った後は、ポ
ンプＰ1 を停止し、ポンプＰ2 を作動させて、逆洗水槽
３内の逆洗水を配管１６，１４を経てＡＣ塔１に上向流
にて通水し、アルカリを十分に洗い出す。この洗浄排水
は配管１５より排出させる。
【００１６】このようにしてアルカリ水溶液による再生
及び水洗浄を行った後は、ポンプＰ2 を停止して、原水
の通水処理を再開する。
及び水洗浄を行った後は、ポンプＰ2 を停止して、原水
の通水処理を再開する。
【００１７】図２は、原水を配管２１よりＡＣ塔１に下
向流通水し、ＡＣ塔の流出水を配管２２よりＷＡ塔４に
下向流通水して処理水を配管２３より得る系において、
ＷＡ塔４の再生排水を用いてＡＣ塔１の活性炭の再生を
行うものである。
向流通水し、ＡＣ塔の流出水を配管２２よりＷＡ塔４に
下向流通水して処理水を配管２３より得る系において、
ＷＡ塔４の再生排水を用いてＡＣ塔１の活性炭の再生を
行うものである。
【００１８】即ち、再生に当っては、配管２４よりＷＡ
塔４にＷＡの再生液を下向流にて通水し、配管２５から
排出されるＷＡ塔の再生排水をＡＣ塔１に上向流にて通
水し、ＡＣ塔１の再生排水を配管２６より排出させる。
塔４にＷＡの再生液を下向流にて通水し、配管２５から
排出されるＷＡ塔の再生排水をＡＣ塔１に上向流にて通
水し、ＡＣ塔１の再生排水を配管２６より排出させる。
【００１９】この再生後のＡＣ塔１の水洗浄は、ＷＡ塔
の水洗浄の際に得られる排水を配管２５より通水して行
っても良く、別途設けた洗浄水槽から洗浄水を通水する
ことにより行っても良い。
の水洗浄の際に得られる排水を配管２５より通水して行
っても良く、別途設けた洗浄水槽から洗浄水を通水する
ことにより行っても良い。
【００２０】このように、アルカリ剤としてＷＡ塔の再
生排水を用いる方法であれば、特に、半導体洗浄排水
を、ＡＣ塔、ＷＡ塔、ＳＣ塔及びＳＡ塔に順次通水処理
する方法において、ＡＣ塔の後段に設けたＷＡ塔の再生
排水を有効利用することができるという利点がある。
生排水を用いる方法であれば、特に、半導体洗浄排水
を、ＡＣ塔、ＷＡ塔、ＳＣ塔及びＳＡ塔に順次通水処理
する方法において、ＡＣ塔の後段に設けたＷＡ塔の再生
排水を有効利用することができるという利点がある。
【００２１】このような本発明の過酸化水素の分解方法
は、５０〜１０００ｐｐｍのＨ2 Ｏ2 を含む、ｐＨ２〜
５の酸性排水、特に、半導体洗浄排水の処理に極めて有
効である。
は、５０〜１０００ｐｐｍのＨ2 Ｏ2 を含む、ｐＨ２〜
５の酸性排水、特に、半導体洗浄排水の処理に極めて有
効である。
【００２２】また、本発明の方法は、Ｈ2 Ｏ2 の分解除
去処理に使用してそのＨ2 Ｏ2 分解性能が劣化した活性
炭のみならず、新品の活性炭に対しても有効に適用する
ことができ、使用後の活性炭のＨ2 Ｏ2 分解性能の回
復、及び、新品活性炭のＨ2 Ｏ2 分解性能の向上を図る
ことができる。
去処理に使用してそのＨ2 Ｏ2 分解性能が劣化した活性
炭のみならず、新品の活性炭に対しても有効に適用する
ことができ、使用後の活性炭のＨ2 Ｏ2 分解性能の回
復、及び、新品活性炭のＨ2 Ｏ2 分解性能の向上を図る
ことができる。
【００２３】
【作用】活性炭をアルカリ剤で処理することにより活性
炭のＨ2 Ｏ2 分解能力を著しく高めることができる。
炭のＨ2 Ｏ2 分解能力を著しく高めることができる。
【００２４】このアルカリ剤による活性炭のＨ2 Ｏ2 分
解能力の改善効果は、下記要因に基くものと推定され
る。
解能力の改善効果は、下記要因に基くものと推定され
る。
【００２５】(i) 活性炭の細孔部がアルカリ側とな
り、Ｈ2 Ｏ2 を分解し易くなる。 (ii) 活性炭の表面がアルカリ剤により洗浄され、表面
活性が高められることにより、Ｈ2 Ｏ2 分解能力が向上
する。
り、Ｈ2 Ｏ2 を分解し易くなる。 (ii) 活性炭の表面がアルカリ剤により洗浄され、表面
活性が高められることにより、Ｈ2 Ｏ2 分解能力が向上
する。
【００２６】
【実施例】以下に具体的な実施例を挙げて本発明をより
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００２７】実施例１ ｐＨ３〜４，Ｈ2 Ｏ2 濃度３５０ｐｐｍの半導体洗浄排
水を下記サンプルNo.１〜４のＡＣ塔にＳＶ＝１０ｈｒ
-1で通水し、得られた処理水（ＡＣ塔流出水）のＨ2 Ｏ
2 濃度を表１に示した。なお、サンプルNo. ３，４につ
いては、通水（再開）後１ヶ月目の値である。
水を下記サンプルNo.１〜４のＡＣ塔にＳＶ＝１０ｈｒ
-1で通水し、得られた処理水（ＡＣ塔流出水）のＨ2 Ｏ
2 濃度を表１に示した。なお、サンプルNo. ３，４につ
いては、通水（再開）後１ヶ月目の値である。
【００２８】サンプルNo. １：新品の活性炭を充填した
もの サンプルNo. ２：サンプルNo. １のＡＣ塔に上記半導体
洗浄排水を３ヶ月通水したもの サンプルNo. ３：サンプルNo. ２のＡＣ塔に４重量％Ｎ
ａＯＨ水溶液をＳＶ＝１５ｈｒ-1で３０分間通水し、そ
の後純水をＳＶ＝３０ｈｒ-1で３０分通水してＮａＯＨ
を洗い出したもの サンプルNo. ４：サンプルNo. ２のＡＣ塔にＷＡ塔をＮ
ａＯＨ水溶液で再生した際に得られた再生排水をＳＶ＝
１５ｈｒ-1で３０分間通水し、その後純水をＳＶ＝３０
ｈｒ-1で３０分間通水して洗浄したもの
もの サンプルNo. ２：サンプルNo. １のＡＣ塔に上記半導体
洗浄排水を３ヶ月通水したもの サンプルNo. ３：サンプルNo. ２のＡＣ塔に４重量％Ｎ
ａＯＨ水溶液をＳＶ＝１５ｈｒ-1で３０分間通水し、そ
の後純水をＳＶ＝３０ｈｒ-1で３０分通水してＮａＯＨ
を洗い出したもの サンプルNo. ４：サンプルNo. ２のＡＣ塔にＷＡ塔をＮ
ａＯＨ水溶液で再生した際に得られた再生排水をＳＶ＝
１５ｈｒ-1で３０分間通水し、その後純水をＳＶ＝３０
ｈｒ-1で３０分間通水して洗浄したもの
【００２９】
【表１】
【００３０】表１より、長期使用によりＨ2 Ｏ2 分解能
力が低下した活性炭に、ＮａＯＨやＮａＯＨ再生廃液の
ようなアルカリを通水することにより、Ｈ2 Ｏ2 の分解
能力を新品の活性炭と同等に回復させることができるこ
とがわかる。
力が低下した活性炭に、ＮａＯＨやＮａＯＨ再生廃液の
ようなアルカリを通水することにより、Ｈ2 Ｏ2 の分解
能力を新品の活性炭と同等に回復させることができるこ
とがわかる。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の過酸化水素
の分解方法によれば、活性炭のＨ2 Ｏ2 分解能力を簡便
な操作で効果的に回復若しくは向上させることができ、
Ｈ2 Ｏ2 の効率的な分解除去処理を行うことができる。
の分解方法によれば、活性炭のＨ2 Ｏ2 分解能力を簡便
な操作で効果的に回復若しくは向上させることができ、
Ｈ2 Ｏ2 の効率的な分解除去処理を行うことができる。
【図１】本発明の過酸化水素の分解方法の一実施例方法
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【図２】本発明の過酸化水素の分解方法の他の実施例方
法を示す系統図である。
法を示す系統図である。
１ ＡＣ塔 ２ アルカリ水槽 ３ 逆洗水槽 ４ ＷＡ塔
Claims (1)
- 【請求項１】 過酸化水素を含む水を活性炭と接触させ
て過酸化水素を分解する方法において、活性炭をアルカ
リ剤と接触させた後、該活性炭に過酸化水素を含む水を
接触させることを特徴とする過酸化水素の分解方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18237794A JPH0839078A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 過酸化水素の分解方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18237794A JPH0839078A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 過酸化水素の分解方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839078A true JPH0839078A (ja) | 1996-02-13 |
Family
ID=16117251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18237794A Pending JPH0839078A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 過酸化水素の分解方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0839078A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013084855A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-04-27 | 栗田工業株式会社 | 過酸化水素含有水の処理方法 |
| CN105618102A (zh) * | 2015-09-21 | 2016-06-01 | 江苏华天通纳米科技有限公司 | 片状结构上嵌碳纳米粒子的氮化碳光催化剂 |
-
1994
- 1994-08-03 JP JP18237794A patent/JPH0839078A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013084855A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-04-27 | 栗田工業株式会社 | 過酸化水素含有水の処理方法 |
| CN105618102A (zh) * | 2015-09-21 | 2016-06-01 | 江苏华天通纳米科技有限公司 | 片状结构上嵌碳纳米粒子的氮化碳光催化剂 |
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