JPH0842748A - 真空バルブのためのバルブ装置 - Google Patents

真空バルブのためのバルブ装置

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JPH0842748A JP7124092A JP12409295A JPH0842748A JP H0842748 A JPH0842748 A JP H0842748A JP 7124092 A JP7124092 A JP 7124092A JP 12409295 A JP12409295 A JP 12409295A JP H0842748 A JPH0842748 A JP H0842748A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来技術の真空バルブ、気体の流れの制御の
ためのバルブ装置を改良し、粒子が負圧空間に侵入する
のを防止することにより、粒子汚染のないバルブを提供
する。 【構成】 負圧空間(27)が、製作された調整エレメント
の相対的運動から切り離され、バルブヘッド(4) の運動
が負圧空間(27)の外から誘導される真空−スライドバル
ブであって少なくとも1 つの駆動−負圧空間(27)に配置
される少なくとも1 つのバルブヘッド(4) を2 つの軸の
運動によって通過開口部に対して密着するように動か
し、その際バルブヘッド(4) は、隙間なく負圧空間(27)
から外へ導かれ駆動される少なくとも1 つの棒と結合す
ることにより構成される通過開口部(2、3) の開閉のため
の粒子汚染のないバルブのためのバルブ装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空バルブ、とりわけ
粒子汚染のないバルブのためのバルブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような真空バルブは、気体の流れを
制御するための真空技術で使用される。このような負圧
バルブでは、バルブ装置で制御されるバルブヘッドはバ
ルブフェ−スの横に配置され、駆動装置によりバルブフ
ェ−スを離れて動くことにより自由に気体が流れる。
【０００３】今まで知られている負圧バルブでは、バル
ブヘッドを操作するバルブ装置は、負圧を受ける空間に
配置されていた。これにより、負圧空間に、場合によっ
ては油を差さねばならない摩擦する部分が存在するとい
う欠点が生じていた。このような部分の負圧空間との関
係から、その部分から粒子が離れるあるいは潤滑剤の粒
子が負圧空間に侵入するという危険が生じる。
【０００４】上述の種類のバルブは例えばヨ−ロッパ特
許出願第 0 441 646号で述べられている。ここで扱われ
るのはスライディングバルブであり、１つの棒の駆動に
より開閉できる。ここではバルブは、２つの軸で相対的
な動きをしなければならない。この際駆動・調整エレメ
ントは部分的に負圧空間の内部にある。その結果、この
駆動・調整エレメントにより粒子発生の危険が生じ、あ
る種の利用にとって望ましくない。
【０００５】従ってこのようなバルブは例えば半導体工
業では使用不可能である、なぜなら負圧空間での粒子汚
染の危険があるからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このため本発明の目的
は、上記種類の従来技術の負圧バルブのためのバルブ装
置を改良し、粒子が負圧空間に侵入するのを防止する、
粒子汚染のないバルブを作るという課題を解決すること
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の主要な特徴は、
全てのバルブ装置（バルブヘッドのための駆動装置）が
負圧を受ける空間の外に配置されることである。本発明
の技術的工夫により、全ての摩擦する、また場合によっ
ては油を差される部分が負圧空間の外に配置され、その
結果この装置により粒子が負圧を受ける空間に達せず気
体の流れが汚染されない。
【０００８】バルブ装置の改良にはいくつかの可能性が
あり、本発明はこれら全てを包括するものである。基本
的に、簡単で作動の確実な製作形態が優先される。この
ような形態では、バルブヘッドと連結した棒の移動が、
圧力媒体により移動可能なシリンダ−ハウジング中で動
くピストンを介してなされ、その際ピストンはバルブヘ
ッドを伴う棒を動かす。
【０００９】本発明の利点は、このピストンの領域に、
バルブヘッドが開閉箇所で動くことができるように働く
運動制御装置が配置されることである。このような運動
制御装置は主としてリンク装置として働く。本発明の他
の利点は、棒の運動制御装置（縦移動）と棒の傾き運動
が駆動装置により達成され、その際各々の駆動装置にピ
ストンが配置されることである。
【００１０】それゆえ本発明はリンク装置の改良だけで
なく、こうした運動制御装置が負圧を受ける空間の外に
配置されることを基本的な特徴とする。本発明のさらな
る重要な利点は、バルブの開閉のために並進的な運動が
なされず、簡単で容易に扱いやすい傾き運動がなされる
ことである。ここではバルブヘッドに連結されている棒
がピポット軸受けにより回転可能であり、その際バルブ
ヘッドの２つの腕を持つハンドルとなっている棒の１つ
の自由な終端と他のハンドル終端に傾け装置が配置され
ている。
【００１１】ここでは、この傾け装置がリンク装置とな
っていることが好ましい。しかしリンク装置の代わりに
他のピストンが傾き運動の制御のために使用されること
もまた可能である。同様に、例えば電磁、あるいは油圧
や気体により動くピストンのような他の傾け駆動装置が
用いられることもある。
【００１２】傾け駆動装置は１方向でのみ駆動される
が、プルバック運動は適切なプルバックスプリングによ
って行なわれる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明を、複数の製作方法をもとに
詳述する。ここでは、本発明にとって基本的なさらなる
特徴と本発明の利点は、図とその説明から明らかにな
る。負圧バルブのハウジング１中には上部・下部フラン
ジ接続2、3 が配置され、これらを通り適切な気体の流れ
が導かれる。
【００１４】図１はバルブの開ききった状態を示してい
ない。なぜなら開ききった状態ではバルブヘッド４は矢
印方向25に移動し、フランジ接続2、3 の領域から引き上
げられているからである。バルブヘッド４は、２つの腕
を持つレバ−として作られている棒７としっかりと結合
し、その際棒の終端7aはバルブヘッドを保持し、他の棒
の終端7bは棒の運動制御のために働く。この時棒７はハ
ウジング１中のピポット軸受け８を中心に矢印方向24
（図５参照）に旋回可能である。
【００１５】バルブヘッド４にはパッキン５があり、こ
れはフランジ接続３のところでバルブフェ−ス６と共に
働く。棒７とバルブヘッド４の運動制御（縦移動）のた
めに、ハウジング１のシリンダ−空間10で矢印方向25と
これに反対の方向に移動可能なピストン９が備えられ
る。更にピストン９はパッキン15によりシリンダ−ハウ
ジングに対して隙間がなく、ピストンは下方のシリンダ
−空間10の中に存在する。
【００１６】一方の終端がケ−シング１のストッパ−13
にあり、他の終端がピストン９のストッパ−21にあるス
プリング１２を介してピストン９のプルバック運動が行
なわれる。このため上方のシリンダ−空間11は圧力媒体
により衝撃を受けない。しかし他の詳細に説明しない製
作形態では、スプリング12がなくてもよく、その場合に
はシリンダ−空間11が圧力媒体により影響を受ける。
【００１７】ピストン９の縦移動のために、シリンダ−
空間10は圧力を受け、その際同時に棒７の棒の終端7bに
は回転に強い横ボルト16が配置され、ボルトは棒７の下
方の移動箇所でハウジング１のストッパ−10のところに
ある。圧力空間10が圧力を受けると、ピストン９は 矢
印方向25に動き、同時に横ボルト16は斜めの案内17をの
上方から下方（図１参照）へ移動し、ピストン９が上方
に動くことによりバルブヘッド４が開くようになってい
る。このため問題となるのはバルブヘッドとそれに伴う
全ての傾斜制御の制限誘導である、なぜならピストン９
が矢印方向25に移動すると横ボルトの下方が斜めの案内
17に到達し、バルブフェ−ス６からバルブヘッド４が持
ち上げられることによって棒７が矢印方向25に移動する
からである。
【００１８】これとは逆にバルブヘッド４の閉鎖は、ス
プリング12の作用により、ピストン９が矢印方向25と逆
方向に図３のように下方に動き、これによりシリンダ−
空間10が小さくなることによって行なわれる。この下方
への運動の中で横ボルト16は斜めの案内17の領域の上方
のストッパ−位置に達し、これにより棒７はピポット軸
受け８のまわりで矢印方向24に回転し、パッキン５はこ
れによりバルブフェ−ス６にあてがわれる。
【００１９】同時にスライドバ−18は横ボルト16のため
のスライドバ−である。これと同時にハウジングの側壁
中に、互いに向き合うスリットが配置され、スリット中
には横ボルト16の終端が噛み合う。スリット26の終端は
スライドバ−の形で、その拡大図は図２に示される。横
ボルト16がスリット26の領域に存在する限り、棒７はピ
ポット軸受け８のまわりで回転できない。
【００２０】しかし横ボルト16がスリット26の終端でス
プリング12の力を受け、圧力空間10が同時に小さくなっ
てスライドバ−18の領域に動くとすぐに、横ボルト16は
ストッパ−20に移動する。このストッパ−20の長さはス
リット26の高さより小さいため、このストッパ−20の領
域の横ボルトはピポット軸受け８のまわりで回転され
る。
【００２１】ここで説明される連結リンク14は他の手段
によっても実現できる。本発明は連結リンクの機能のみ
を対象としない。図５では、棒７を矢印方向24へ動かす
ことができる一般的な形態を示す。任意の方法での矢印
方向22への駆動が棒の終端7bを移動させ、その結果矢印
方向24の傾斜が遂行されることが図によって示される。
【００２２】同様に一般的形態で、棒７を矢印方向23へ
移動させるための他の駆動が棒の終端７に影響すること
が表される。全ての製作形態で重要なのは、負圧バルブ
の運動装置が排気された空間の外に配置され、その際
（図では示されていないが）付加的に金属の蛇腹がバル
ブ棒７とハウジング１の間のパッキンとして組み込まれ
ていることである。
【００２３】付加的に用いられる金属の蛇腹は、要求さ
れる粒子汚染のなさを実現するためのパッキンとして役
立つ。
【図面の簡単な説明】
【図１】開いた状態での本発明による負圧バルブの断面
図である。
【図２】バルブハウジングの案内スロットを示す図であ
る。
【図３】図１のバルブの閉じた状態を示す図である。
【図４】図1、３のバルブの閉じた状態を示す図である。
【図５】本発明の棒の動きの一般的な形態を示す図であ
る。
【符号の説明】
１ ハウジング ２，３ フランジ接続 ４ バルブヘッド ５，１５ パッキング ６ バルブフェース ７ 棒 ７ａ，７ｂ 終端 ８ 軸受け ９ ピストン １０，１１ シリンダー空間 １２ スプリング １３ ストッパー １４ 連結リンク １６ 横ボルト １７ 案内 １８ スライドバー ２０，２１ ストッパー ２６ スリット

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 負圧空間(27)が、製作された調整エレメ
    ントの相対的運動から切り離され、バルブヘッド(4) の
    運動が負圧空間(27)の外から誘導される真空−スライド
    バルブであって、少なくとも１つの駆動−負圧空間(27)
    に配置される少なくとも１つのバルブヘッド(4) を２つ
    の軸の運動によって通過開口部に対して密着するように
    動かし、その際バルブヘッド(4) は、隙間なく負圧空間
    (27)から外へ導かれ駆動される少なくとも１つの棒と結
    合することにより構成される通過開口部(2、3) の開閉の
    ための粒子汚染のないバルブのためのバルブ装置。
  2. 【請求項２】 バルブヘッド(4) が棒(7) を介しピスト
    ン(9) によって縦方向(25)に可動なことを特徴とする請
    求項１記載のバルブ装置。
  3. 【請求項３】 ピストン(9) が移動可能にハウジング
    (1) のシリンダ−空間(10)中に配置されることを特徴と
    する請求項１又は２記載のバルブ装置。
  4. 【請求項４】 棒(7) が軸(8) の上に可動に位置するこ
    とを特徴とする請求項１乃至３のうちのいずれか１項記
    載のバルブ装置。
  5. 【請求項５】 軸(8) のまわりの棒(7) の運動がリンク
    装置(14)により行なわれることを特徴とする請求項１乃
    至４のうちいずれか１項記載のバルブ装置。
  6. 【請求項６】 棒(7) の縦方向(25)の運動制御と軸(8)
    まわりの運動制御が別々の駆動装置により行なわれるこ
    とを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項記載
    のバルブ装置。
  7. 【請求項７】 ピストン(9) の戻り運動が運動方向(25)
    と反対に、プルバックスプリング(12)により行なわれる
    ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項記
    載のバルブ装置。
  8. 【請求項８】 棒(7) とハウジング(1) との間に金属蛇
    腹が配置されていることを特徴とする請求項１乃至７の
    うちいずれか１項記載のバルブ装置。
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DE (2) DE4418019A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002276844A (ja) * 2001-01-11 2002-09-25 Vat Holding Ag 真空バルブ

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5934646A (en) * 1997-04-04 1999-08-10 Nok Corporation Gate valve and cylinder apparatus
US6215897B1 (en) 1998-05-20 2001-04-10 Applied Komatsu Technology, Inc. Automated substrate processing system
US6079693A (en) * 1998-05-20 2000-06-27 Applied Komatsu Technology, Inc. Isolation valves
EP1113112B1 (en) 1998-09-01 2011-02-23 Nippon Soda Co., Ltd. Slime remover and slime preventing/removing agent
RU2155285C2 (ru) * 1998-11-10 2000-08-27 Сибирский химический комбинат Шиберный клапан
DE60030559T2 (de) * 1999-06-02 2007-08-30 Tokyo Electron Ltd. Schieberventil für halbleiterbehandlungsvorrichtung
US7086638B2 (en) 2003-05-13 2006-08-08 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber
JP4079157B2 (ja) * 2005-04-12 2008-04-23 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置及び処理システム
US7281700B2 (en) 2005-04-12 2007-10-16 Tokyo Electron Limited Gate valve apparatus for vacuum processing system
WO2007000321A1 (de) 2005-06-27 2007-01-04 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Ventilvorrichtung
DE102005037410A1 (de) * 2005-08-08 2007-02-22 G-Light Display Corp. Ventilkonstruktion
DE102007030006B4 (de) * 2006-07-19 2009-12-17 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008049353A1 (de) * 2008-09-29 2010-04-08 Vat Holding Ag Vakuumventil
CN102755137B (zh) * 2011-04-25 2014-09-10 莱克电气股份有限公司 具有放气阀的吸尘器地刷
EP2728226B1 (de) 2012-10-31 2015-03-25 VAT Holding AG Vakuumventil
US10024438B2 (en) * 2014-06-30 2018-07-17 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Double eccentric valve
CN108426049B (zh) * 2018-04-13 2019-05-17 浙江工贸职业技术学院 一种双闸板闸阀
CN109237093B (zh) * 2018-10-02 2020-05-15 盐城欧润石化设备制造有限公司 一种水管阀门
DE102019001115A1 (de) * 2019-02-15 2020-08-20 Vat Holding Ag Torventil mit Kulissenführung
CN115899292B (zh) * 2021-09-29 2025-10-10 广东万和新电气股份有限公司 调节阀以及燃具

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3046802A (en) * 1959-09-28 1962-07-31 Cupedo Douwe Janse Apparatus for hydraulically or pneumatically operating a member, such as the slide or the valve member of a stop valve
US3120944A (en) * 1960-06-29 1964-02-11 Commissariat Energie Atomique Mechanical movement gate-valve having positive reduction means
FR1281001A (fr) * 1961-02-13 1962-01-08 Williamson Inc T Obturateur de conduite
US3442295A (en) * 1967-01-12 1969-05-06 Williamson Inc T Pipeline plugger
US4381100A (en) * 1981-01-02 1983-04-26 Fairchild Industries, Inc. Valve and valving apparatus
CH664198A5 (de) * 1983-12-13 1988-02-15 Cetec Ag Absperrvorrichtung.
NL8401658A (nl) * 1984-05-24 1985-12-16 Schelde Nv Afsluitinrichting voor een pijp.
SU1302071A1 (ru) * 1985-07-17 1987-04-07 Тартуский государственный университет Вакуумный вентиль
US4721282A (en) * 1986-12-16 1988-01-26 Lam Research Corporation Vacuum chamber gate valve
DE68917661T2 (de) * 1988-08-05 1994-12-22 Osaka Kikiseizo K K Klappenventil und Antrieb für die Drehbewegung und Auf- und Abbewegung der Klappe.
US5002255A (en) * 1989-03-03 1991-03-26 Irie Koken Kabushiki Kaisha Non-sliding gate valve for high vacuum use
US5120019A (en) * 1989-08-03 1992-06-09 Brooks Automation, Inc. Valve
JPH03234979A (ja) * 1990-02-09 1991-10-18 Canon Inc 仕切り弁
JP2613171B2 (ja) * 1993-07-22 1997-05-21 株式会社岸川特殊バルブ ゲートバルブ
JP2766190B2 (ja) * 1994-07-28 1998-06-18 入江工研株式会社 無しゅう動真空ゲートバルブ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002276844A (ja) * 2001-01-11 2002-09-25 Vat Holding Ag 真空バルブ

Also Published As

Publication number Publication date
CA2149986A1 (en) 1995-11-25
US5755426A (en) 1998-05-26
DE59506627D1 (de) 1999-09-23
CA2149986C (en) 2006-04-04
EP0684415A1 (de) 1995-11-29
EP0684415B1 (de) 1999-08-18
DE4418019A1 (de) 1995-11-30
JP3678457B2 (ja) 2005-08-03
ATE183577T1 (de) 1999-09-15

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