JPH0843478A - パワー・デバイス回路用特性測定方法 - Google Patents
パワー・デバイス回路用特性測定方法Info
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- JPH0843478A JPH0843478A JP19604894A JP19604894A JPH0843478A JP H0843478 A JPH0843478 A JP H0843478A JP 19604894 A JP19604894 A JP 19604894A JP 19604894 A JP19604894 A JP 19604894A JP H0843478 A JPH0843478 A JP H0843478A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 IGBT回路のパラメータを精度良く測定す
る。 【構成】 IGBTをオフ状態にしてダイオードに電力
を供給し(ステップ50)、ダイオードからのコレクタ
電流を抵抗を用いて検出し(ステップ52)、抵抗器の
出力信号をサンプリングして複数のデジタル・データを
生成し(ステップ54)、これら複数のデジタル・デー
タからコレクタ電流の誘導性負荷による傾斜直線を最小
2乗法で算出する(ステップ56)。そして、コレクタ
電流のピークとその時点における傾斜直線との差分を算
出すれば、ダイオードのリカバリー電流を算出できる
(ステップ58)。
る。 【構成】 IGBTをオフ状態にしてダイオードに電力
を供給し(ステップ50)、ダイオードからのコレクタ
電流を抵抗を用いて検出し(ステップ52)、抵抗器の
出力信号をサンプリングして複数のデジタル・データを
生成し(ステップ54)、これら複数のデジタル・デー
タからコレクタ電流の誘導性負荷による傾斜直線を最小
2乗法で算出する(ステップ56)。そして、コレクタ
電流のピークとその時点における傾斜直線との差分を算
出すれば、ダイオードのリカバリー電流を算出できる
(ステップ58)。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、IGBTやパワーMO
SFET等で構成されるパワー・デバイス回路用特性測
定方法に関し、特にパワー・デバイス回路の種々のパラ
メータを測定するのに適したパワー・デバイス回路用特
性測定方法に関する。
SFET等で構成されるパワー・デバイス回路用特性測
定方法に関し、特にパワー・デバイス回路の種々のパラ
メータを測定するのに適したパワー・デバイス回路用特
性測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ
(IGBT)やパワーMOSFETのようなパワー・デ
バイスは、比較的大きな電流をスイッチングできる半導
体であり、電車のモータなど誘導性負荷を駆動する電力
の制御への応用が期待されている。これにともない、パ
ワー・デバイス回路の特性を測定又は試験する必要があ
る。
(IGBT)やパワーMOSFETのようなパワー・デ
バイスは、比較的大きな電流をスイッチングできる半導
体であり、電車のモータなど誘導性負荷を駆動する電力
の制御への応用が期待されている。これにともない、パ
ワー・デバイス回路の特性を測定又は試験する必要があ
る。
【0003】パワー・デバイス回路は、その電流入力端
子及び電流出力端子間にスイッチング特性が高速なファ
ースト・リカバリー・ダイオードを逆方向に接続してい
ることが多い。例えば、IGBTはそのコレクタ・エミ
ッタ間にエミッタからコレクタ方向を順方向として、パ
ワーMOSFETの場合にはそのドレイン・ソース間に
ソースからドレイン方向を順方向としてダイオードを接
続する。このダイオードは、誘導性負荷に蓄積された電
磁エネルギーによって生じる電流出力端子から電流入力
端子(エミッタからコレクタ又はソースからドレイン)
方向へのフライホイール電流を流す経路を形成する。ダ
イオードに高速スイッチング特性のものを使用するの
は、パワー・デバイスがオンになるときのスイッチング
特性を良くするためである。こうしたダイオードは別個
に外付けする場合と、最初からパワー・デバイス回路に
内臓(パッケージ化)されている場合とがある。いずれ
にしても、このダイオードには、パワー・デバイスの出
力電流(コレクタ電流又はドレイン電流)定格と同程度
のものを使用することが望ましい。
子及び電流出力端子間にスイッチング特性が高速なファ
ースト・リカバリー・ダイオードを逆方向に接続してい
ることが多い。例えば、IGBTはそのコレクタ・エミ
ッタ間にエミッタからコレクタ方向を順方向として、パ
ワーMOSFETの場合にはそのドレイン・ソース間に
ソースからドレイン方向を順方向としてダイオードを接
続する。このダイオードは、誘導性負荷に蓄積された電
磁エネルギーによって生じる電流出力端子から電流入力
端子(エミッタからコレクタ又はソースからドレイン)
方向へのフライホイール電流を流す経路を形成する。ダ
イオードに高速スイッチング特性のものを使用するの
は、パワー・デバイスがオンになるときのスイッチング
特性を良くするためである。こうしたダイオードは別個
に外付けする場合と、最初からパワー・デバイス回路に
内臓(パッケージ化)されている場合とがある。いずれ
にしても、このダイオードには、パワー・デバイスの出
力電流(コレクタ電流又はドレイン電流)定格と同程度
のものを使用することが望ましい。
【0004】図4は、誘導性負荷20に対するパワー・
デバイス回路の特性測定回路の1例を示すブロック図で
ある。ここでは、パワー・デバイス回路(被測定回路)
10としてIGBT12及びダイオード14で構成した
IGBT回路の例を示すが、パワーMOSFETでも同
様である。半導体スイッチ16には、IGBT12と同
じIGBTを使用し、被測定回路10に流れる大電流を
スイッチングできるようにした例を示している。電源1
8は、被測定回路10及び誘導性負荷20に電力を供給
する。差動増幅器24は、電流検出抵抗器Rs22の両
端間電圧を検出する。なお、非内臓型のダイオードを使
用する場合には、そのダイオードを単体で使用しても良
い。
デバイス回路の特性測定回路の1例を示すブロック図で
ある。ここでは、パワー・デバイス回路(被測定回路)
10としてIGBT12及びダイオード14で構成した
IGBT回路の例を示すが、パワーMOSFETでも同
様である。半導体スイッチ16には、IGBT12と同
じIGBTを使用し、被測定回路10に流れる大電流を
スイッチングできるようにした例を示している。電源1
8は、被測定回路10及び誘導性負荷20に電力を供給
する。差動増幅器24は、電流検出抵抗器Rs22の両
端間電圧を検出する。なお、非内臓型のダイオードを使
用する場合には、そのダイオードを単体で使用しても良
い。
【0005】差動増幅器24の出力信号は、アナログ・
デジタル変換器(A/D)26でデジタル・データに変
換され、マイクロプロセッサ・システム28中のメモリ
に記憶されるとともに表示器30に表示されたり、演算
処理に使用される。電流検出抵抗器Rs22の抵抗値は
既知であるから、差動増幅器24の出力信号を用いれ
ば、被測定回路10に流れる電流値は容易に算出でき
る。同じく差動増幅器32は、半導体スイッチ16のコ
レクタ・エミッタ間電圧VCEを検出し、A/D34によ
りその値がマイクロプロセッサ・システム28に送られ
る。また、同様に被測定回路10の各端子間電圧の検出
を行っても良い。さらには、単に被測定回路10の電流
特性を測定する場合には電流検出抵抗器Rf23を設
け、同様にして差動増幅器25及びA/D27で電流を
測定しそのデータをμP28に転送することもある。
デジタル変換器(A/D)26でデジタル・データに変
換され、マイクロプロセッサ・システム28中のメモリ
に記憶されるとともに表示器30に表示されたり、演算
処理に使用される。電流検出抵抗器Rs22の抵抗値は
既知であるから、差動増幅器24の出力信号を用いれ
ば、被測定回路10に流れる電流値は容易に算出でき
る。同じく差動増幅器32は、半導体スイッチ16のコ
レクタ・エミッタ間電圧VCEを検出し、A/D34によ
りその値がマイクロプロセッサ・システム28に送られ
る。また、同様に被測定回路10の各端子間電圧の検出
を行っても良い。さらには、単に被測定回路10の電流
特性を測定する場合には電流検出抵抗器Rf23を設
け、同様にして差動増幅器25及びA/D27で電流を
測定しそのデータをμP28に転送することもある。
【0006】これらデジタル的な処理は、周知のマイク
ロプロセッサ・システム(μP)28で行えば良い。マ
イクロプロセッサ・システム28は上述したメモリ等を
有し、予め作成し記憶したプログラムに従って動作す
る。また、μP28が半導体スイッチ16に供給するパ
ルス信号や電源18の動作等をも制御するようにしても
良い。
ロプロセッサ・システム(μP)28で行えば良い。マ
イクロプロセッサ・システム28は上述したメモリ等を
有し、予め作成し記憶したプログラムに従って動作す
る。また、μP28が半導体スイッチ16に供給するパ
ルス信号や電源18の動作等をも制御するようにしても
良い。
【0007】誘導性負荷20に対するパワー・デバイス
回路(被測定回路)10の特性、特にダイオード14の
特性の測定は、以下のようにして行われる。まず、パワ
ー・デバイス(IGBT)12の制御端子(ゲート)と
電流出力端子(エミッタ)は短絡され、IGBTがオフ
状態に維持される。この状態でパワー・デバイス回路1
0の出力電流(コレクタ電流Ic、実際にはダイオード
14からの出力電流)を測定すれば、ダイオード14の
特性を測定できる。
回路(被測定回路)10の特性、特にダイオード14の
特性の測定は、以下のようにして行われる。まず、パワ
ー・デバイス(IGBT)12の制御端子(ゲート)と
電流出力端子(エミッタ)は短絡され、IGBTがオフ
状態に維持される。この状態でパワー・デバイス回路1
0の出力電流(コレクタ電流Ic、実際にはダイオード
14からの出力電流)を測定すれば、ダイオード14の
特性を測定できる。
【0008】半導体スイッチ(IGBT)16の制御端
子(ゲート)には、2つのパルス信号が入力される。1
回目のパルス信号をスイッチ16のゲートに印加し、ス
イッチ16をオンにすると、誘導性負荷(コイルL)2
0に電源Vcc18からの電流が流れ電磁エネルギーが蓄
積される。このため、コレクタ電流IcはVcc/L(V
ccは電源電圧)の傾斜で上昇する。スイッチ16がオフ
になると、コイル20の起電力によるフライホイール電
流がその順方向に流れダイオード14を充電する。2回
目のパルス信号によりスイッチ16がオンになると、ダ
イオード14は充電されているために瞬間的に逆方向の
リカバリー電流が流れる。このため、コレクタ電流Ic
は、2回目のパルスの立ち上がりでダイオード14のリ
カバリー電流によるピークが観測される。
子(ゲート)には、2つのパルス信号が入力される。1
回目のパルス信号をスイッチ16のゲートに印加し、ス
イッチ16をオンにすると、誘導性負荷(コイルL)2
0に電源Vcc18からの電流が流れ電磁エネルギーが蓄
積される。このため、コレクタ電流IcはVcc/L(V
ccは電源電圧)の傾斜で上昇する。スイッチ16がオフ
になると、コイル20の起電力によるフライホイール電
流がその順方向に流れダイオード14を充電する。2回
目のパルス信号によりスイッチ16がオンになると、ダ
イオード14は充電されているために瞬間的に逆方向の
リカバリー電流が流れる。このため、コレクタ電流Ic
は、2回目のパルスの立ち上がりでダイオード14のリ
カバリー電流によるピークが観測される。
【0009】図3は、半導体スイッチ16のゲートに印
加されるパルス信号と電流検出抵抗器Rs22で検出し
たIGBT回路からのコレクタ電流Icを同一時間軸上
で示した図である。これからわかるように、IGBT回
路10からの出力電流(コレクタ電流Ic)は、ダイオ
ード14からの出力電流と誘導性負荷20による電流が
合成された形になっている。また、電流検出抵抗器Rs
22で検出した場合には、半導体スイッチ16のコレク
タ電流特性も関係している。
加されるパルス信号と電流検出抵抗器Rs22で検出し
たIGBT回路からのコレクタ電流Icを同一時間軸上
で示した図である。これからわかるように、IGBT回
路10からの出力電流(コレクタ電流Ic)は、ダイオ
ード14からの出力電流と誘導性負荷20による電流が
合成された形になっている。また、電流検出抵抗器Rs
22で検出した場合には、半導体スイッチ16のコレク
タ電流特性も関係している。
【0010】図2は、2回目のパルス信号の立ち上がり
部分におけるコレクタ電流Icの曲線を示す図である。
ここでは、簡単のために時間0の時点(任意に設定可
能)においてコレクタ電流Icのピーク値Ipkを設定
している。ダイオードに蓄積された電荷がなくなると、
コレクタ電流が理想的にはVcc/Lの傾斜で線形に上昇
していくことになる。この傾斜直線40とピーク時点に
おけるコレクタ電流の値の差を求めれば、ダイオード1
4のリカバリー電流Irmを求めることができる。同様に
傾斜直線40とコレクタ電流Icのとピークの山で囲ま
れる領域について電流値を時間に関して積分すれば、リ
カバリー電荷Qrrが求められる。以下同様に、傾斜直線
40とコレクタ電流Icが交差する時点とピーク時点の
時間差からta、同様にtb、リカバリー時間trrが求
まる。なお、tb/taは、ソフトネスと呼ばれ、この
値が0.01以下のときにはEMI(電磁干渉)で問題
となる振動波形が発生する。
部分におけるコレクタ電流Icの曲線を示す図である。
ここでは、簡単のために時間0の時点(任意に設定可
能)においてコレクタ電流Icのピーク値Ipkを設定
している。ダイオードに蓄積された電荷がなくなると、
コレクタ電流が理想的にはVcc/Lの傾斜で線形に上昇
していくことになる。この傾斜直線40とピーク時点に
おけるコレクタ電流の値の差を求めれば、ダイオード1
4のリカバリー電流Irmを求めることができる。同様に
傾斜直線40とコレクタ電流Icのとピークの山で囲ま
れる領域について電流値を時間に関して積分すれば、リ
カバリー電荷Qrrが求められる。以下同様に、傾斜直線
40とコレクタ電流Icが交差する時点とピーク時点の
時間差からta、同様にtb、リカバリー時間trrが求
まる。なお、tb/taは、ソフトネスと呼ばれ、この
値が0.01以下のときにはEMI(電磁干渉)で問題
となる振動波形が発生する。
【0011】また、コレクタ電流Icと半導体スイッチ
(IGBT)16のコレクタ・エミッタ間電圧VCEの積
を時間に関して積分することにより、IGBT回路のタ
ーンオン及びターンオフ時に消費するエネルギーEon及
びEoffが求まる。なお、この場合には、半導体スイッ
チ16にIGBT回路10を構成するIGBTと同じI
GBTを使用する。Eon及びEoffは、IGBTの発熱
量を知る上で重要なパラメータである。
(IGBT)16のコレクタ・エミッタ間電圧VCEの積
を時間に関して積分することにより、IGBT回路のタ
ーンオン及びターンオフ時に消費するエネルギーEon及
びEoffが求まる。なお、この場合には、半導体スイッ
チ16にIGBT回路10を構成するIGBTと同じI
GBTを使用する。Eon及びEoffは、IGBTの発熱
量を知る上で重要なパラメータである。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上述のようにパワー・
デバイス回路の出力電流(コレクタ電流Ic)は、ダイ
オード14からの出力電流と誘導性負荷20による電流
が合成された形になっているので、誘導性負荷20によ
る傾斜電流、即ち、傾斜直線40の分を差し引かないと
ダイオード14のリカバリー電流を測定することができ
ない。しかし、誘導性負荷20による傾斜電流は、ダイ
オード14のリカバリー電流によるピークの山が終わっ
ても、図2に示すように傾斜は直線にはならない。むし
ろ、波打つ現象が観測され、このままでは傾斜直線40
を決定できない。従って、リカバリー電流Irm、リカバ
リー電荷Qrr、リカバリー時間trr等のパラメータを精
度良く決定できない。
デバイス回路の出力電流(コレクタ電流Ic)は、ダイ
オード14からの出力電流と誘導性負荷20による電流
が合成された形になっているので、誘導性負荷20によ
る傾斜電流、即ち、傾斜直線40の分を差し引かないと
ダイオード14のリカバリー電流を測定することができ
ない。しかし、誘導性負荷20による傾斜電流は、ダイ
オード14のリカバリー電流によるピークの山が終わっ
ても、図2に示すように傾斜は直線にはならない。むし
ろ、波打つ現象が観測され、このままでは傾斜直線40
を決定できない。従って、リカバリー電流Irm、リカバ
リー電荷Qrr、リカバリー時間trr等のパラメータを精
度良く決定できない。
【0013】そこで本発明の目的は、パワー・デバイス
回路を構成するダイオード特性を測定するのに適したパ
ワー・デバイス回路用特性測定方法を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、パワー・デバイス回路のパラ
メータを測定するのに適したパワー・デバイス回路用特
性測定方法を提供することにある。
回路を構成するダイオード特性を測定するのに適したパ
ワー・デバイス回路用特性測定方法を提供することにあ
る。本発明の他の目的は、パワー・デバイス回路のパラ
メータを測定するのに適したパワー・デバイス回路用特
性測定方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、パワ
ー・デバイス回路を構成するパワー・デバイス及びダイ
オードの誘導性負荷に対する特性を測定するパワー・デ
バイス回路用特性測定方法に関する。この方法は、誘導
性負荷に並列に接続された上記ダイオードに電力を供給
し、ダイオードからの出力電流を抵抗を用いて検出す
る。さらに、抵抗の出力信号をサンプリングして複数の
デジタル・データを生成し、これら複数のデジタル・デ
ータから出力電流の誘導性負荷による傾斜直線を算出す
る。
ー・デバイス回路を構成するパワー・デバイス及びダイ
オードの誘導性負荷に対する特性を測定するパワー・デ
バイス回路用特性測定方法に関する。この方法は、誘導
性負荷に並列に接続された上記ダイオードに電力を供給
し、ダイオードからの出力電流を抵抗を用いて検出す
る。さらに、抵抗の出力信号をサンプリングして複数の
デジタル・データを生成し、これら複数のデジタル・デ
ータから出力電流の誘導性負荷による傾斜直線を算出す
る。
【0015】ダイオードのリカバリー電流を求める場合
には、ダイオードからの出力電流のピークと、このピー
クの時点における傾斜直線との差分を算出すれば良い。
また、ピークを中心とするコレクタ電流と傾斜直線とで
囲まれる領域について出力電流の値を時間に関して積分
することにより、リカバリー電荷を求めることができ
る。さらに、ダイオードからの出力電流と傾斜直線との
交点からリカバリー時間を求めることができる。また、
ダイオードに供給する電力をスイッチングするスイッチ
に上記パワー・デバイスと同じデバイスを使用し、この
デバイスの電流入力端子及び電流出力端子間の電圧を測
定してダイオードからの出力電流との積を時間に関して
積分すれば、パワー・デバイス回路のターンオン及びオ
フ・エネルギーを求めることもできる。
には、ダイオードからの出力電流のピークと、このピー
クの時点における傾斜直線との差分を算出すれば良い。
また、ピークを中心とするコレクタ電流と傾斜直線とで
囲まれる領域について出力電流の値を時間に関して積分
することにより、リカバリー電荷を求めることができ
る。さらに、ダイオードからの出力電流と傾斜直線との
交点からリカバリー時間を求めることができる。また、
ダイオードに供給する電力をスイッチングするスイッチ
に上記パワー・デバイスと同じデバイスを使用し、この
デバイスの電流入力端子及び電流出力端子間の電圧を測
定してダイオードからの出力電流との積を時間に関して
積分すれば、パワー・デバイス回路のターンオン及びオ
フ・エネルギーを求めることもできる。
【0016】
【実施例】図1は、本発明による測定方法のフローチャ
ートであり、特にIGBT回路を構成するダイオードの
リカバリー電流Irmの算出する場合を代表して示してい
る。使用する測定回路は、図4に示した従来のものと同
じである。
ートであり、特にIGBT回路を構成するダイオードの
リカバリー電流Irmの算出する場合を代表して示してい
る。使用する測定回路は、図4に示した従来のものと同
じである。
【0017】まず、半導体スイッチ16をオンにする
と、電源18がダイオード14に電力を供給する(ステ
ップ50)。電流検出抵抗器22がダイオード14から
のコレクタ電流(出力電流)を電圧に変換するので、差
動増幅器26でその出力信号を検出する(ステップ5
2)。電流検出抵抗器22の出力信号は、アナログ・デ
ジタル変換器(A/D)26でΔt時間毎にサンプリン
グされて複数のデジタル・データに変換される(ステッ
プ54)。これら複数のデジタル・データからコレクタ
電流の誘導性負荷による傾斜直線を算出する(ステップ
56)。
と、電源18がダイオード14に電力を供給する(ステ
ップ50)。電流検出抵抗器22がダイオード14から
のコレクタ電流(出力電流)を電圧に変換するので、差
動増幅器26でその出力信号を検出する(ステップ5
2)。電流検出抵抗器22の出力信号は、アナログ・デ
ジタル変換器(A/D)26でΔt時間毎にサンプリン
グされて複数のデジタル・データに変換される(ステッ
プ54)。これら複数のデジタル・データからコレクタ
電流の誘導性負荷による傾斜直線を算出する(ステップ
56)。
【0018】ステップ56を図2を用いてより詳細に説
明する。先にアナログ・デジタル変換器(A/D)26
で生成した複数のデジタル・データの内、誘導性負荷2
0による傾斜直線に対応する任意のn個のデジタル・デ
ータから傾斜直線40を演算により算出する。図2で
は、kΔt時点から(k+n−1)Δt時点までのn個
のデジタル・データが傾斜直線に対応しており、これら
n個のデータから例えば周知の最小2乗法を用いてマイ
クロプロセッサ・システム28が傾斜直線を近似的に算
出する。
明する。先にアナログ・デジタル変換器(A/D)26
で生成した複数のデジタル・データの内、誘導性負荷2
0による傾斜直線に対応する任意のn個のデジタル・デ
ータから傾斜直線40を演算により算出する。図2で
は、kΔt時点から(k+n−1)Δt時点までのn個
のデジタル・データが傾斜直線に対応しており、これら
n個のデータから例えば周知の最小2乗法を用いてマイ
クロプロセッサ・システム28が傾斜直線を近似的に算
出する。
【0019】kΔt時点(使用する最初のデジタル・デ
ータのサンプリング時点)及び(k+n−1)Δt時点
(同、最後のサンプリング時点)をどのように決定する
かについては、A/D26からのデジタル・データがメ
モリに記憶されているので、操作者がメモリから表示器
30にコレクタ電流特性曲線を表示しながら任意に設定
しても良い。また、通常測定は同じ被測定回路(IGB
T回路)に対して複数回繰り返し行われ、よって傾斜直
線が生じる時点は例えばピーク値(図2のIpkの時
点)からほぼ一定の時点に生じるので、Ipkが発生し
た時点から任意に設定した時点をkΔt時点としても良
い。さらに比較器を用いて、コレクタ電流が基準電圧以
下になった時点を基準時点として、自動的にkΔt時点
を設定するようにしても良い。
ータのサンプリング時点)及び(k+n−1)Δt時点
(同、最後のサンプリング時点)をどのように決定する
かについては、A/D26からのデジタル・データがメ
モリに記憶されているので、操作者がメモリから表示器
30にコレクタ電流特性曲線を表示しながら任意に設定
しても良い。また、通常測定は同じ被測定回路(IGB
T回路)に対して複数回繰り返し行われ、よって傾斜直
線が生じる時点は例えばピーク値(図2のIpkの時
点)からほぼ一定の時点に生じるので、Ipkが発生し
た時点から任意に設定した時点をkΔt時点としても良
い。さらに比較器を用いて、コレクタ電流が基準電圧以
下になった時点を基準時点として、自動的にkΔt時点
を設定するようにしても良い。
【0020】傾斜直線が求めまったところで、コレクタ
電流のピーク値Ipkが発生した時点における傾斜直線
の値(Ioで示す)とピーク値Ipkの差をとれば、ダ
イオード14によるリカバリー電流Irmが算出できる
(ステップ58)。同様に、ピークを中心とするコレク
タ電流と傾斜直線とで囲まれる領域についてコレクタ電
流の値を時間に関して積分すれば、リカバリー電荷Qrr
を求めることができる。さらに、傾斜直線とコレクタ電
流曲線との交点を求めれば、リカバリー時間trrやt
a、tbを求めれることができる。
電流のピーク値Ipkが発生した時点における傾斜直線
の値(Ioで示す)とピーク値Ipkの差をとれば、ダ
イオード14によるリカバリー電流Irmが算出できる
(ステップ58)。同様に、ピークを中心とするコレク
タ電流と傾斜直線とで囲まれる領域についてコレクタ電
流の値を時間に関して積分すれば、リカバリー電荷Qrr
を求めることができる。さらに、傾斜直線とコレクタ電
流曲線との交点を求めれば、リカバリー時間trrやt
a、tbを求めれることができる。
【0021】さらに、半導体スイッチ16に、パワー・
デバイス12と同じデバイスを使用し、このデバイスの
電流入力端子及び電流出力端子間の電圧、ここでは、コ
レクタ・エミッタ間電圧VCEを測定してパワー・デバイ
ス回路の出力電流との積を時間に関して積分すれば、目
的のパワー・デバイス回路のターンオン及びターンオフ
・エネルギーEon及びEoffを求めることも同時にでき
る。この場合、従来のように被測定回路10のみの特性
を測定するために、電流検出抵抗器Rf23等を設ける
必要はなく、電流検出抵抗器Rs22等だけで良い。
デバイス12と同じデバイスを使用し、このデバイスの
電流入力端子及び電流出力端子間の電圧、ここでは、コ
レクタ・エミッタ間電圧VCEを測定してパワー・デバイ
ス回路の出力電流との積を時間に関して積分すれば、目
的のパワー・デバイス回路のターンオン及びターンオフ
・エネルギーEon及びEoffを求めることも同時にでき
る。この場合、従来のように被測定回路10のみの特性
を測定するために、電流検出抵抗器Rf23等を設ける
必要はなく、電流検出抵抗器Rs22等だけで良い。
【0022】以上、本発明の好適実施例を説明したが、
本発明はここに説明した実施例のみに限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱することなく必要に応じて
種々の変形及び変更を実施し得ることは当業者には明ら
かである。例えば、従来例でも説明したように、ダイオ
ード14はパワー・デバイス回路を構成するためのダイ
オードであるから、ダイオード14単体を被測定回路1
0としても良い。
本発明はここに説明した実施例のみに限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱することなく必要に応じて
種々の変形及び変更を実施し得ることは当業者には明ら
かである。例えば、従来例でも説明したように、ダイオ
ード14はパワー・デバイス回路を構成するためのダイ
オードであるから、ダイオード14単体を被測定回路1
0としても良い。
【0023】
【発明の効果】誘導性負荷に対するパワー・デバイス回
路の特性を測定しようとすると、その出力電流の誘導性
負荷による傾斜電流は波打って振動しており、パワー・
デバイス回路を構成するダイオードによる電流を測定で
きなかった。しかし、本発明によればパワー・デバイス
回路(被測定回路)を構成するダイオードによる電流等
を特定し測定できる。また、被測定回路に供給する電力
をスイッチングするのにパワー・デバイスを構成するの
と同じパワー・デバイスを使用すれば、パワー・デバイ
ス回路のパラメータも同時に測定でき、測定時間を短縮
できる。
路の特性を測定しようとすると、その出力電流の誘導性
負荷による傾斜電流は波打って振動しており、パワー・
デバイス回路を構成するダイオードによる電流を測定で
きなかった。しかし、本発明によればパワー・デバイス
回路(被測定回路)を構成するダイオードによる電流等
を特定し測定できる。また、被測定回路に供給する電力
をスイッチングするのにパワー・デバイスを構成するの
と同じパワー・デバイスを使用すれば、パワー・デバイ
ス回路のパラメータも同時に測定でき、測定時間を短縮
できる。
【図1】本発明によるIGBT回路の特性測定方法のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図2】2回目のパルス信号の立ち上がり部分における
コレクタ電流Icの曲線を示す図である。
コレクタ電流Icの曲線を示す図である。
【図3】半導体スイッチのゲート端子に印加されるパル
ス信号とIGBT回路からのコレクタ電流Icを同一時
間軸上で示した図である。
ス信号とIGBT回路からのコレクタ電流Icを同一時
間軸上で示した図である。
【図4】誘導性負荷に対するIGBT回路の特性測定回
路の1従来例を示すブロック図である。
路の1従来例を示すブロック図である。
10 IGBT回路 12 IGBT 14 ダイオード 16 半導体スイッチ 18 電源 20 誘導性負荷 22 電流検出抵抗器 23 電流検出抵抗器 24 差動増幅器 25 差動増幅器 26 アナログ・デジタル変換器 27 アナログ・デジタル変換器 28 マイクロプロセッサ・システム 30 表示器 32 差動増幅器 34 アナログ・デジタル変換器
Claims (5)
- 【請求項1】 パワー・デバイス回路を構成するパワー
・デバイス及びダイオードの誘導性負荷に対する特性を
測定するパワー・デバイス回路用特性測定方法であっ
て、 上記誘導性負荷に並列に接続された上記ダイオードに電
力を供給し、 上記ダイオードからの出力電流を抵抗を用いて検出し、 上記抵抗の出力信号をサンプリングして複数のデジタル
・データを生成し、 該複数のデジタル・データから上記出力電流の上記誘導
性負荷による傾斜直線を算出することを特徴とするパワ
ー・デバイス回路用特性測定方法。 - 【請求項2】 上記出力電流のピークと該ピークの時点
における上記傾斜直線の値との差分を算出することによ
り、上記ダイオードの上記リカバリー電流を求めること
を特徴とする請求項1記載のパワー・デバイス回路用特
性測定方法。 - 【請求項3】 上記ピークを中心とする上記出力電流と
上記傾斜直線とで囲まれる領域について上記出力電流の
値を時間に関して積分することにより、リカバリー電荷
を求めることを特徴とする請求項1記載のパワー・デバ
イス回路用特性測定方法。 - 【請求項4】 上記出力電流と上記傾斜直線との交点か
らリカバリー時間を求めることを特徴とする請求項1記
載のパワー・デバイス回路用特性測定方法。 - 【請求項5】 上記ダイオードに供給する電力をスイッ
チングするスイッチに上記パワー・デバイスと同じデバ
イスを使用し、 該デバイスの電流入力端子及び電流出力端子間の電圧を
測定し、 該電圧と上記出力電流との積を時間に関して積分するこ
とにより、上記パワー・デバイス回路のターンオン及び
ターンオフ・エネルギーを求めることを特徴とする請求
項1記載のパワー・デバイス回路用特性測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19604894A JPH0843478A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | パワー・デバイス回路用特性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19604894A JPH0843478A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | パワー・デバイス回路用特性測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843478A true JPH0843478A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16351333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19604894A Pending JPH0843478A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | パワー・デバイス回路用特性測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843478A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016142698A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 株式会社明電舎 | パワー半導体デバイスのスイッチングエネルギー損失評価装置および評価方法 |
| WO2016208141A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | 株式会社デンソー | 半導体素子の検査装置および検査方法 |
| CN119310330A (zh) * | 2024-12-17 | 2025-01-14 | 广东德鸿感应微电子有限公司 | 一种基于电感元件的电流检测系统 |
-
1994
- 1994-07-28 JP JP19604894A patent/JPH0843478A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016142698A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 株式会社明電舎 | パワー半導体デバイスのスイッチングエネルギー損失評価装置および評価方法 |
| WO2016208141A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | 株式会社デンソー | 半導体素子の検査装置および検査方法 |
| JP2017009537A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 株式会社デンソー | 半導体素子の検査装置および検査方法 |
| CN119310330A (zh) * | 2024-12-17 | 2025-01-14 | 广东德鸿感应微电子有限公司 | 一种基于电感元件的电流检测系统 |
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