JPH0843617A - カラーフィルターの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】電極を有する被塗装物に所望色相の塗膜を電着
塗装によって形成する工程を含むカラーフィルターの製
造法において、該電着塗装を行なう前に、被塗装物と、
電着液及び／又は回収液とを相対的に移動させて、少な
くとも電極を電着液及び／又は回収液に接触させること
を特徴とするカラーフィルターの製造法。 【効果】前記製造法では、微細で複雑な画素配置を有す
るカラーフィルターであっても、ピンホールや白抜け等
の発生を防止し、着色ムラ等の欠陥がない良好な品質の
カラーフィルターを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置等のカラ
ー表示に使用されるカラーフィルターの電着法による製
造法に関し、より詳細には電着法では困難と言われてい
るモザイク状やトライアングル状といった複雑な画素配
置を有するカラーフィルターであっても欠陥無く製造で
きる方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示装置等において導電層表
面にカラーフィルターを形成してカラー画像を表示する
ことが多くなっている。該カラーフィルターの製造法と
しては（１）染色法、（２）顔料分散（カラーレジス
ト）法、（３）印刷法、（４）電着法等が知られてい
る。方法（１）は異なる色相の着色層を設ける際に着色
画素パターンが染色されないように防染工程が必要であ
り工程が複雑になる、方法（２）では画素パターン形成
のための露光時に酸素遮断膜や窒素シール等が必要であ
り工程が複雑化し、また配合された顔料による光吸収が
大きく、パターニング時の露光量を増加させねばならな
い、方法（３）では画素パターンの精度や全体の平面性
が悪い、方法（４）では当初はストライプ状の画素配置
以外の複雑な画素配置は製造が困難であった、等の欠点
を有している。

【０００３】これらの中で、電着法は工程が比較的簡便
であり、生産性が高く、着色材料の利用効率も高い、等
から注目されている。電着法は、前述のように当初は複
雑な画素配置を有するカラーフィルターの製造はできな
かったが、この問題を克服する多くの製造法が提案され
ている（特開昭６１−２０３４０３号公報、特開昭６１
−２７９８０３号公報、特開平４−１７２３０４号公
報、特開平４−２８０２０１号公報、特開平４−２８７
００２号公報、特開平４−３２６３０４号公報、特開平
４−３６２６０１号公報等）。

【０００４】上記提案の電着法によるカラーフィルター
の製造法では、カラー表示の高精細化の要求に従い画素
配置のさらなる複雑化や微細化が検討されている。しか
し、画素の大きさはおよそ２０〜３００μｍと極めて微
細であり、特開平４−２８０２０１号公報、特開平４−
２８７００２号公報、特開平４−３２６３０４号公報、
特開平４−３６２６０１号公報等に開示されるレジスト
を、開口させた部分に着色する場合、前述のような微細
な凹部に電着させる必要があるため、着色電着液の画素
パターン内への充分な拡散や浸透が困難になり、画素内
にピンホールや白抜け部分（無着色部分）等の欠陥が多
発し不良品が多くなって、製品の歩留まりを低下させる
ようになってきている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、微細
で複雑な画素配置を有するカラーフィルターであっても
ピンホールや白抜け等の発生を防止し、着色ムラ等の欠
陥のない良好な品質を有する電着法によるカラーフィル
ターの製造法を提供することにある。また本発明の他の
目的は画素配置の自由度が大きく、カラーフィルター画
素間に間隙なく非透光性層を配置でき、しかも大型化へ
の対処も容易であり、かつ大量生産が容易な、カラーフ
ィルターの製造法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、電極を
有する被塗装物に所望色相の塗膜を電着塗装によって形
成する工程を含むカラーフィルターの製造法において、
該電着塗装を行なう前に、被塗装物と、電着液及び／又
は回収液とを相対的に移動させて、少なくとも電極を電
着液及び／又は回収液に接触させることを特徴とするカ
ラーフィルターの製造法（以下「第１の方法」と称す）
が提供される。また本発明によれば、（Ａ１）電極を有
する被塗装物に感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層
を露光するに際し、現像液に対する感光性樹脂層の溶解
性が少なくとも３段階に異なる状態となるようにパター
ン露光する工程と、（Ｂ１）該パターン部分の感光性樹
脂層を現像除去し、電極を露出させ、少なくとも露出し
た電極と、電着液及び／又は回収液とを相対的に移動さ
せて接触処理させた後、電着塗装を行ない所望色相の塗
膜を形成する操作を、感光性樹脂層の現像液への溶解性
の大きい順又は小さい順に対応するパターン部分につい
て順次繰り返すことにより複数の色相を有する塗膜を形
成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルター
の製造法（以下「第２の方法」と称す）が提供される。
更に本発明によれば、（Ａ２）電極を有する被塗装物に
感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層をフォトマスク
を介して露光後現像して電極を露出させる工程と、（Ｂ
２）少なくとも露出された電極と、電着液及び／又は回
収液とを相対的に移動させて接触させた後、電着塗装を
行ない所望色相の塗膜を形成する工程と、（Ｃ２）前記
形成した塗膜領域以外の領域の感光性樹脂層を、フォト
マスクを介して露光後現像して電極を露出させる工程
と、（Ｄ２）少なくとも前記（Ｃ２）工程で露出された
電極と、電着液及び／又は回収液とを相対的に移動させ
て接触処理させた後、前記（Ｂ２）工程の色相とは異な
る色相の塗膜を電着塗装により形成する工程と、（Ｅ
２）前記（Ｃ２）及び（Ｄ２）の工程を必要回数繰り返
す工程とを含むことを特徴とするカラーフィルターの製
造法（以下「第３の方法」と称す）が提供される。

【０００７】以下、本発明について更に詳細に説明す
る。本発明の第１〜３の方法において使用する電極を有
する被塗装物としては特に限定はないが、カラーフィル
ターが形成される、表面に電極に相当する導電層を有す
る基板であるのが好ましい。該基板としては、カラーフ
ィルターの性能上、透明な板状のものが好ましく、各種
ガラス類、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、エ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカ
ーボネート樹脂等を挙げることができる。前記導電層は
通常、ＩＴＯ（インジウム−錫酸化物）や酸化錫等の透
明導電膜から形成されるが、非線形素子（ＴＦＴ(薄膜
トランジスター)、ＭＩＭ(二端子素子）等）の電極が形
成されていてもよい。

【０００８】本発明の第１〜３の方法において、少なく
とも電極と、電着液及び／又は回収液とを相対的に移動
させて行う接触処理としては、(1)少なくとも電極が電
着液及び／又は回収液に接触するように、被塗装物を電
着液及び／又は回収液に対して移動させる方法、(2)電
着液及び／又は回収液を被塗装物の少なくとも電極に対
して移動させる方法、(3)前記(1)及び(2)の方法を併用
する方法等が挙げられる。具体的には(イ)電着液及び／
又は回収液に対して被塗装物の少なくとも電極を浸漬・
引上げる操作を繰り返して行う方法、(ロ)被塗装物の少
なくとも電極を電着液及び／又は回収液に浸漬し、該液
中で少なくとも電極を移動させる方法、(ハ)電着液及び
／又は回収液の流れの中に被塗装物の少なくとも電極を
所望時間浸漬する方法、(ニ)被塗装物の少なくとも電極
に電着液及び／又は回収液をスプレー等により流化させ
る方法等を挙げることができる。これらの接触処理は、
被塗装物である基板の電極の形成されている面に対して
行われることが必須であるが、基板の電極が形成されて
いない面に行われても何等問題はない。

【０００９】更に具体的には、前記方法(イ)において、
電極の浸漬時間、引上げ時間及び繰返し回数等は、電極
の形状や大きさ、電着液及び／又は回収液の性状（温
度、粘度等）によって適宜設定しうるが、通常は以下の
条件から選択するのが好ましい。浸漬時間は３〜１８０
秒、好ましくは５〜６０秒であり、引上げ時間も同様で
ある。繰返し回数としては１〜１０回、好ましくは３〜
６回が望ましい。これらの操作を行う温度は、後工程の
電着塗装の行われる温度近辺が好ましい。前記各条件の
範囲外の場合は、ピンホールや白抜け等の発生防止効果
が得られにくかったり、工程に時間がかかりすぎて生産
性等が低下するので好ましくない。

【００１０】前記方法(ロ)においては、電極の電着液及
び／又は回収液中での移動速度や移動距離、移動方向等
は、電極の形状や大きさ、電着液及び／又は回収液の性
状（温度、粘度等）によって適宜設定しうるが、通常は
以下の条件から選定するのが好ましい。移動速度は５０
ｃｍ／分〜５０ｍ／分、好ましくは５〜３０ｍ／分であ
り、移動距離や移動方向は、電着液槽及び／又は回収液
槽の大きさや形状に依存し、該槽が電極の大きさに対し
てあまり余裕がないときは往復動させても良い。前記各
条件の範囲外の場合には、ピンホールや白抜け等の発生
防止効果が得られにくかったり、工程に時間がかかり、
生産性が低下しやすいので好ましくない。

【００１１】前記方法(ハ)において、電着液及び／又は
回収液の流速や浸漬時間は、該液の性状（温度、粘度
等）によって適宜設定しうるが、通常は以下の条件から
選定するのが好ましい。流速は１〜２００ｃｍ／秒、好
ましくは５〜１００ｃｍ／秒であり、浸漬時間は３〜１
８０秒、好ましくは５〜６０秒である。電極の浸漬方向
は、液の流れに対して任意の方向で良いが、上流側に電
極が向くのが好ましい。また浸漬中にこれらの液をポン
プ等で加圧して電極に噴射しても良い。

【００１２】前記方法(ニ)の電極に電着液及び／又は回
収液を流下させる方法は特に制限はなく、該液を常圧下
又は加圧下に、電極上に流下させれば良く、例えばポン
プ類を用いて直接又はスプレーノズル等を介して電極に
流下させれば良い。この際の条件としては、電着液及び
／又は回収液の性状（温度、粘度等）や圧力及び流量、
電極の大きさや形状、流下時間等によって適宜に設定し
うるが、通常は以下の条件から適宜設定することができ
る。流下時の液温は特に制限はないが、下限が１０℃、
特に１５℃、上限が４０℃、特に３５℃であるのが好ま
しい。液温はその後電着塗装が行われる温度の±５℃で
行うのが工程管理上好ましい。また流下時間に特に制限
はないが、下限が１秒、好ましくは５秒、更に好ましく
は１０秒であるのが望ましい。流下時間が１秒未満で
は、ピンホールや白抜け等の発生を防止し、着色ムラ等
の欠陥のない良好な品質を有するカラーフィルターを製
造するという本発明の目的が十分に達成されないため好
ましくない。上限については特に制限はないが、３００
秒で流下すれば、本発明の目的であるピンホールや白抜
け等の発生を防止し、着色ムラ等の欠陥のない良好な品
質を有するカラーフィルターを製造することができ、そ
れ以上の時間流下しても工程上無駄であり、好ましくは
２００秒、更に好ましくは９０秒である。流下する電着
液及び／又は回収液の圧力はあまり高すぎると液が霧状
になって飛散し、周囲を汚染したり、既に電着した着色
膜が破壊されたりして好ましくなく、通常は１０ｋｇ／
ｃｍ²以下で十分である。また流量も特に制限はない
が、通常は３００ｍｍ×３００ｍｍサイズの基板に対し
て、１０ｍｌ／分〜１００リットル／分であれば良く、
特に５０ｍｌ／分〜５０リットル／分であるのが好まし
い。この際流下させる電着液及び／又は回収液に超音波
を付加させると更に高い効果が得られる。前記各条件の
範囲外の場合には、ピンホールや白抜け等の発生防止効
果が得られにくく、工程に時間がかかり生産性が低下す
る等により好ましくない。

【００１３】またこの接触処理にあたって必要であれ
ば、電着液を水で適宜希釈した液や後工程での電着塗装
に悪影響を及ぼさず、電着液と任意に混合しうる液体類
を単独又は電着液及び／又は回収液と混合して使用する
こともできる。

【００１４】前記接触処理終了後、電着塗装を行うが、
該処理に電着液を使用した場合には、続いて電着塗装を
行えば良く、該処理を回収液等で行った場合には、処理
後ある程度の液切りをしてから、電着液中に浸漬して電
着を行えば良い。なお、接触処理に使用する電着液及び
／又は回収液は、無着色（染料及び／又は顔料等が含ま
れない）のものであってもよいが、後工程の電着塗装を
行う電着液と同一色相のものの使用が好ましい。

【００１５】本発明の第１〜３の方法において、所望色
相の塗膜を形成するための電着塗装に用いる（着色）電
着液および電着塗装については、例えば特開昭６１−２
０３４０３号公報、特開昭６３−２１０９０１号公報、
特開平４−３１２２号公報、特開平４−２８０２０１号
公報、特開平４−２８７００２号公報、特開平４−３２
８８０１号公報、特開平４−３２６３０５号公報等の公
知の電着液、電着塗装等を用いることができる。より具
体的には、着色電着液は、例えば樹脂成分としてカチオ
ン性又はアニオン性の樹脂を使用し、着色成分として染
料及び／又は顔料を加え、更に酸性又は塩基性物質を使
用して水に溶解及び／又は分散させた塗料等を用いるこ
とができる。更にまた着色電着液における樹脂の溶解及
び／又は分散を容易ならしめるため、浴安定性の向上の
ため又は平滑塗膜を得る等のために有機溶媒等を添加し
てもよい。

【００１６】前記有機溶媒としては、前記樹脂等を分散
又は溶解しうるものであればよく、各種のグリコールエ
ーテル類、例えば、エチレングリコールモノブチルエー
テル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチ
レングリコールモノフェニルエーテル、プロピレングリ
コールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノ
フェニルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエー
テル、トリエチレングリコールジメチルエーテル等；ケ
トン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン
等；エーテル類、例えば、ジブチルエーテル、ジオキサ
ン、テトラヒドロフラン等；アルコール類、例えば、メ
トキシブタノール、ジアセトンアルコール、ブタノー
ル、イソプロパノール等；炭化水素類、例えば、トルエ
ン、キシレン、ヘキサン等；エステル類、例えば、酢酸
エチル、酢酸ブチル、酢酸２−メトキシエチル、酢酸２
−メトキシプロピル、酢酸ベンジル、酢酸フェノキシエ
チル、安息香酸エチル等；酸アミド類、例えば、ジメチ
ルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメ
チルスルホキシド等を挙げることができ、使用に際して
は単独若しくは混合物として用いることができる。

【００１７】前記着色電着液の樹脂成分として用いるカ
チオン性の樹脂としては、例えばアクリル樹脂、エポキ
シ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミ
ド樹脂等に、アミノ基および／またはアンモニウム基、
スルホニウム基等を導入した樹脂で、蟻酸、酢酸、プロ
ピオン酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質で水に可溶化又
は分散される樹脂等を挙げることができる。

【００１８】また、前記着色電着液の樹脂成分として用
いるアニオン性の樹脂としては、例えばアクリル樹脂、
ポリエステル樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン
樹脂、エポキシ樹脂等にカルボキシル基等を導入した樹
脂で、トリエチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエ
タノールアミン、アンモニア等の塩基性物質で水に可溶
化又は分散される樹脂等を挙げることができる。更にま
た、着色電着液の造膜成分は感光性を有するものであっ
てもよく、前述の感光性被膜の形成に使用される樹脂組
成物の中で電着に適するものを用いることもでき、光重
合開始剤を併用してもよい。更には、着色電着液の樹脂
成分には、熱硬化性の強い電着樹脂組成物、例えばアク
リル樹脂とメラミン樹脂とを混合したものを用いても良
い。

【００１９】着色電着液の色相は、目的に応じ適宜選択
することができる。前記着色電着液に使用する染料及び
／又は顔料は、目的とする色相に応じ選択されるが、得
られる塗膜の透明性、着色電着液の安定性、電着特性、
塗膜の耐久性等について問題の生じないものを選択する
ことが望ましく、この点から染料としては油溶性あるい
は分散性染料が好ましい。具体的には例えばアゾ系、ア
ントラキノン系、ベンゾジフラン系、縮合メチン系等が
挙げられる。また顔料としては、例えばアゾレーキ系、
アントラキノン系、キナクリドン系、フタロシアニン
系、イソインドリノン系、チオインジゴ系等の有機顔
料、黄鉛、酸化鉄、クロムバーミリオン、クロムグリー
ン、群青、紺青、コバルトブルー、コバルトグリーン、
エメラルドグリーン、チタンホワイト、カーボンブラッ
ク等の無機顔料が適している。また、目的とする色相に
応じ、前記染料及び／又は顔料を、その特性を損なわな
い限りにおいて、２種類以上混合して用いることもでき
る。なお、染料及び／又は顔料については適宜「ＣＯＬ
ＯＵＲ ＩＮＤＥＸ」等を参照すればよい。本発明にお
いて所定色相の調製は、上記顔料を用いて得ることがで
きる。

【００２０】該染料及び／又は顔料の使用割合は、目
的、色相、使用する染料及び／又は顔料の種類、乾燥時
の膜厚等により適宜選択され、好ましくは着色電着液全
体に対して、０．１〜１５重量％、特に好ましくは０．
５〜１０重量％程度が適している。

【００２１】前記着色電着液の調製は、樹脂、染料及び
／又は顔料、酸性物質又は塩基性物質および必要により
有機溶剤や、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑
性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各
種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミル、
ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分に分
散させ、その後、水で所定の濃度、好ましくは固形分含
量約４〜２５重量％、特に好ましくは６〜２０重量％に
希釈して電着に適するようにする方法等により行なうこ
とができる。このようにして得られる着色電着液は、露
出した導電層上に電着塗装することによって塗膜を形成
させる。

【００２２】該塗膜の膜厚は特に制限されず、カラーフ
ィルターに要求される性能に応じて適宜選択できるが、
乾燥時に通常０．３〜５μｍ、好ましくは０．５〜３μ
ｍ程度であればよい。

【００２３】前記電着塗装の条件は、使用する着色電着
液の種類、目的とする塗膜の膜厚等に応じて適宜選択さ
れるが、電圧は通常５〜５００Ｖ、好ましくは１０〜３
００Ｖの直流であるのが好ましく、電着時間は通常３〜
３００秒、好ましくは５〜２００秒、液温は通常１０〜
３５℃、好ましくは１５〜３０℃であるのが望ましい。
この際、所望の膜厚を得る電着時間が経過したところで
通電を停止し、基板を浴から取り出し、余剰に付着した
浴液を水等でよく洗浄し乾燥することにより塗膜を形成
することができる。

【００２４】該乾燥条件は、後工程の条件等により適宜
選択できるが、通常は塗膜表面の水分が乾燥し得る条件
であれば良く、例えば１５０℃以下、好ましくは６０℃
〜１２０℃で、通常０．５分〜１時間、好ましくは５〜
３０分程度乾燥させるのが望ましい。

【００２５】なお、本発明の第１〜３の方法において、
前記回収液とは、通常、電着塗装プロセスに組み込まれ
る電着塗装後の被塗装物（本発明では電極に相当する）
を電着槽から引上げた際に付随される電着液を回収し再
使用するために用いられる主に水からなる洗浄液類等を
意味する。

【００２６】本発明の第２及び第３の方法に使用する感
光性樹脂層を形成する方法は特に制限はなく、通常公知
の方法、例えば浸漬法、ロールコート法、スピンコート
法、静電塗装法、電着法、転写（ドライフィルム）法等
が使用される。感光性樹脂層を形成する樹脂組成物とし
ては、キノンジアジド化合物、ジアゾメルドラム酸化合
物やニトロベンジル基含有化合物等から選ばれる化合物
と、アルカリ水溶液に可溶性の樹脂とからなる感光性樹
脂組成物（例えば特公昭３７−３６２７号公報、特公昭
４３−２８４０３号公報、特公昭４５−９６１０号公
報、IEEE Trans.Elec. Dev.,ED-28,No.11,1300(1981)等
に記載される樹脂組成物等）、光により酸を発生する化
合物と、該発生酸により遊離のカルボン酸基を放出する
樹脂とからなる、いわゆる化学増幅型感光性樹脂組成物
（例えば特開昭５９−４５４３９号公報、特開平２−３
０９３５８号公報、有機合成化学協会誌、４９(５)，４
３７〜４５０(１９９１)等に記載される樹脂組成物
等）、光により塩基を発生する化合物を含有する感光性
樹脂組成物（例えば特開平４−１３４３４８号公報等に
記載される樹脂組成物等）、付加重合性不飽和基を含有
する化合物と、光重合開始剤とからなる感光性樹脂組成
物（例えば特公昭４０−１２１０４号公報、特公昭４６
−４２４５０号公報、特開昭５１−５８１０６号公報、
特開昭５４−１５５２９２号公報、特開昭６１−１２３
６０３号公報、特開昭６０−２２１４０３号公報、特開
平４−２１２１６１号公報等に記載される樹脂組成物
等）等が挙げられる。もちろん市販の各種感光性樹脂組
成物を適宜選択して使用してもよい。これらの感光性樹
脂組成物は、ポジ型またはネガ型に作用し、本発明にお
いてはこのいずれも使用できるが、感光性樹脂層が何度
か露光しても溶解しうるポジ型が好ましい。

【００２７】このようにして形成される感光性樹脂層の
膜厚は特に制限されず、カラーフィルターに要求される
性能等に応じて適宜選択できるが、乾燥時に通常０．３
〜２０μｍ、好ましくは１〜１０μｍ程度であればよ
い。該膜厚の調整は、用いる感光性樹脂層の形成方法や
感光性樹脂組成物によって適宜選定される。例えば感光
性樹脂層をスピンコート法で形成する場合には、スピン
コーターの回転数や回転時間、塗布温度、感光性樹脂組
成物の粘度等から容易に決定することができる。尚必要
によっては、感光性樹脂層は複数回塗布されても良い。

【００２８】本発明の第２の方法において、電極を有す
る被塗装物に形成した感光性樹脂層は、露光するに際し
て現像液に対する感光性樹脂層の溶解性が少なくとも３
段階（未露光部分も含む）に異なる状態となるようにパ
ターン露光される（以下（Ａ１）工程という）。

【００２９】現像液への溶解性が少なくとも３段階に異
なる状態とは、感光性樹脂層のパターン毎に露光量（未
露光部分も含む）を変えることにより該樹脂層の光照射
による化学的変化の度合いが少なくとも３段階に異なる
状態になることを言い、後述の現像条件を設定すること
によって、感光性樹脂層のパターン毎の選択的現像が可
能となる。

【００３０】現像液に対する感光性樹脂層の溶解性が少
なくとも３段階（未露光部分も含む）に異なる状態は、
種々の露光方法によって行うことができるが、例えば
(1)少なくとも光透過率が３段階に異なるパターンを有
するフォトマスクを介して一回の露光で行う方法、(2)
通常のフォトマスク（光透過部と光不透過部よりなる）
を用いて露光後、フォトマスク及び／又は感光性樹脂層
を適宜移動させてから異なる露光量で露光することを少
なくとも二回行う方法等が挙げられる。より具体的には
例えば前記(1)の方法においては、少なくとも光透過率
が３段階に異なるパターンを有するフォトマスクを用い
ることができ、該マスクの一例を図１に示す。各段階毎
の光透過率の差は感光性樹脂層の性状、露光条件及び後
述の現像条件等によって変化させることができるが、各
段階を光透過率の大きい順に並べた場合、各段階毎の光
透過率の比（次段／前段の比）が、通常は９０％以下、
好ましくは７０〜１％であるのが望ましい。例えば光透
過率が４段階に異なるパターンを有するフォトマスクの
場合には、光透過率が最大のパターンを１００％とした
ときの各段の光透過率は、それぞれ１００％、２０〜３
０％、３〜１０％及び０％であるもの等を用いることが
できる（図１参照）。

【００３１】また前記(2)の方法においては、図３〜図
５に示すように通常のフォトマスク（光透過部と光不透
過部よりなる）を用いて露光後、該マスク及び／又は感
光性樹脂層を適宜移動させてから異なる露光量で露光す
ることを少なくとも二回行うが、フォトマスク及び／又
は感光性樹脂層の移動は同一面内であり、移動する毎の
露光時に光が透過する部分同士が重ならないようであれ
ば特に限定されず、移動方向や移動量はカラーフィルタ
ーに要求される性能に応じて適宜選定すればよく、露光
量の調節は露光時間を変える、光源からの距離を変え
る、光源の出力を変える、あるいはこれらを適宜組み合
わせる等により行うことができる。

【００３２】前記露光は、通常紫外線を多量に発生でき
る光源、例えば低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀
灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマ
レーザー、ＳＯＲ（シンクロトロン軌道放射光）等を用
いることができる。必要によっては紫外線以外の他の放
射線を使用してもよい。露光条件は、用いる感光性樹脂
組成物、露光装置、露光方法等に応じて適宜選択でき
る。

【００３３】第２の方法の（Ａ１）工程において、露光
後は現像液に対する感光性樹脂層の溶解性が少なくとも
３段階に異なるパターンの露光状態ができる。

【００３４】次に第２の方法では、該パターン部分の感
光性樹脂層を現像除去し、一部の電極を露出させ、少な
くとも露出した該電極と、電着液及び／又は回収液とを
相対的に移動させて接触させた後、電着塗装を行い所望
色相の塗膜を形成する操作を、感光性樹脂層の現像液へ
の溶解性の大きい順又は小さい順に対応するパターン部
分について順次繰り返すことにより複数の色相を有する
塗膜を形成する（以下、（Ｂ１）工程という）。

【００３５】すなわち（Ｂ１）工程では、例えばポジ型
の感光性樹脂層を用いた場合は、まず露光量が最大であ
るパターンに対応する部分のポジ型の感光性樹脂層のみ
を選択的に現像除去し、露出した電極と電着液及び／又
は回収液とを相対的に移動させて接触処理させた後、電
着塗装を行い所望色相の塗膜を形成し、次いで露光量が
次に大きいパターンに対応する部分のポジ型の感光性樹
脂層のみを選択的に現像除去し、露出した電極と、電着
液及び／又は回収液とを相対的に移動させて接触処理
後、電着塗装を行い所望色相の塗膜を形成するという工
程を順次繰り返すことにより複数の異なる色相を有する
塗膜を形成することができる。

【００３６】またネガ型の感光性樹脂層を用いた場合
は、まず露光量が最小であるパターンに対応する部分の
ネガ型の感光性樹脂層のみを選択的に現像除去し、露出
した電極と、電着液及び／又は回収液とを相対的に移動
させて接触処理させた後、電着塗装を行い所望色相の塗
膜を形成し、次いで露光量が次に小さいパターンに対応
する部分のネガ型の感光性樹脂層のみを選択的に現像除
去し、露出した電極と電着液及び／又は回収液とを相対
的に移動させて接触処理後、電着塗装を行い所望色相の
塗膜を形成するという工程を順次繰り返すことにより複
数の異なる色相を有する塗膜を形成することができる。

【００３７】前記現像の条件は、選択的に除去すべき部
分の露光量や使用する感光性樹脂層の現像液に対する溶
解性や、現像液の種類や濃度、さらには現像温度、現像
時間等によって変わりうるものであり、感光性樹脂層の
形成に使用した塗料に適した条件を適宜選択すればよ
い。

【００３８】現像液としては、酸性水溶液やアルカリ性
水溶液、さらに各種の有機溶媒等を挙げることができ、
例えば、酸性の現像液としては、酸性物質を溶解した水
溶液を使用することができる。該酸性物質としては、酢
酸、プロピオン酸、乳酸、クエン酸、蓚酸、マロン酸、
こはく酸等の有機酸や塩酸、硝酸、硫酸、リン酸等の無
機酸を挙げることができ、例えば乳酸水溶液を現像液に
使用する場合には、乳酸濃度を通常０．０１〜５０重量
％、好ましくは０．０５〜２５重量％、温度を通常１０
〜７０℃、好ましくは１５〜５０℃、現像時間を通常２
〜６００秒、好ましくは２０〜３００秒等の範囲から適
宜選択すれば良い。またアルカリ性の現像液としては、
塩基性物質を溶解した水溶液等を使用することができ
る。該塩基性物質としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリ
ウム、炭酸水素ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、テト
ラアルキルアンモニウムヒドロキシド（アルキル基とし
てメチル基、エチル基等が例示される）、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム等を挙げることができ、例えば炭
酸ナトリウム水溶液を現像液に使用する場合、炭酸ナト
リウム濃度は通常０．０１〜２５重量％、好ましくは
０．０５〜２０重量％、温度は通常１０〜７０℃、好ま
しくは１５〜５０℃、現像時間は通常２〜６００秒、好
ましくは２０〜３００秒等の範囲から適宜選択すればよ
い。

【００３９】更にまた、現像液として有機溶媒を使用し
てもよく、例えばアルコール類、グリコールエーテル
類、ケトン類、塩素化炭化水素類等を使用することもで
きる。またこれらの現像液には濡れ性改良や消泡のため
に界面活性剤や消泡剤を添加してもよい。これらの現像
液の中でも毒性や作業環境性等の点で水溶液系の現像液
を使用するのが好ましい。

【００４０】第３の方法は、露光−現像−接触処理−電
着塗装の工程を繰り返すものである。具体的にはまず、
電極を有する被塗装物に感光性樹脂層を形成し、該感光
性樹脂層をフォトマスクを介して露光後現像して電極を
露出させる（以下（Ａ２）工程という）。この（Ａ２）
工程における感光性樹脂層は、前述のものから適宜選定
すればよい。また露光は従来公知の方法でよく、さらに
現像も前述の条件から適宜選定すればよい。

【００４１】次いで第３の方法では、少なくとも露出さ
れた電極と、電着液及び／又は回収液とを相対的に移動
させて接触させた後、電着塗装を行い所望色相の塗膜を
形成する（以下、（Ｂ２）工程という）。（Ｂ２）工程
における各種の条件は前述の範囲から適する条件を選定
すればよい。

【００４２】次に第３の方法では、前記形成した塗膜領
域以外の領域の感光性樹脂層を、フォトマスクを介して
露光後現像して電極を露出させる（以下、（Ｃ２）工程
という）。（Ｃ２）工程は、前記（Ａ２）工程と同様に
行われる。（Ｃ２）工程における前記形成した塗膜領域
以外の領域とは、（Ｂ２）工程において形成した所望色
相の塗膜以外の部分、すなわち感光性樹脂層の部分であ
ればよく、（Ｂ２）工程で塗膜を形成した領域と（Ｃ
２）工程での露光領域との位置関係はカラーフィルター
に要求される性能に応じて適宜選定される。

【００４３】（Ｃ２）工程終了後、第３の方法では、少
なくとも（Ｃ２）工程で露出された電極と、電着液及び
／又は回収液とを相対的に移動させて接触させた後、
（Ｂ２）工程とは異なる色相の塗膜を電着塗装により形
成する（以下、（Ｄ２）工程という）。（Ｄ２）工程に
おける電着等の条件は、前述の範囲から適宜選定すれば
よい。

【００４４】更に第３の方法では、前記（Ｃ２）及び
（Ｄ２）工程を必要回繰り返す（以下、（Ｅ２）工程と
いう）。（Ｅ２）工程における必要回数は、特に制限は
ないが、通常は４回、好ましくは２回である。

【００４５】本発明の第１〜３の方法において、所望色
相に形成する塗膜は、着色層の他に、前述の顔料及び／
又は染料を用いて形成した遮光層をも含む。また遮光層
は、他の方法、例えばメッキ等によって金属層を形成し
て遮光層とすることもできる。該金属層は（Ｂ１）工程
終了後でも（Ａ２）、（Ｃ２）及び（Ｅ２）工程終了後
でも形成することができる。金属層の形成方法として
は、電気メッキ法や無電解メッキ法等が挙げられ、これ
らのメッキ法は、通常使用される各種のメッキ液を用
い、通常のメッキ処理条件の中からカラーフィルターに
要求される性能に合わせて適宜選択して行えばよい。メ
ッキ液に使用する金属としては銅、ニッケル、クロム、
銀、金、ロジウム等をはじめとするメッキ等の処理が可
能な一般の金属やこれら金属からなる合金化合物、さら
にはこれら金属をメッキ液中で混合したもの等が挙げら
れる。金属層の厚さはカラーフィルターに要求される性
能に応じて適宜選択すればよいが、通常は１００ｎｍ〜
３μｍ程度である。金属層からなる遮光層はカラーフィ
ルターのコントラストや色純度の向上等の他に電極補助
線としての機能を合わせもたせることも可能となり、大
画面化時の信号遅延やセル内の発熱を軽減する効果も有
する。また、得られた複数の異なる色相の着色層を必要
によっては他の基板上に転写してもよい。

【００４６】かくして目的とするカラーフィルターが製
造されるが、さらに加熱・硬化又は光硬化等を行い、耐
候性や耐薬品性等を向上させることもできる。該加熱・
硬化を行う際の条件としては、例えば温度を通常１００
〜２８０℃、好ましくは１５０〜２５０℃とし、５分〜
４時間、好ましくは１５分間〜１時間の条件にて行うこ
とができる。

【００４７】

【発明の効果】本発明のカラーフィルターの製造法は、
電着法では従来困難であった微細で複雑な画素配置を有
するカラーフィルターを、ピンホールや白抜け等の発生
を防止して、着色ムラ等の欠陥のない良好な品質として
容易に製造できる。また画素配置の自由度が大きく、カ
ラーフィルター画素間に間隙なく非透光性層を配置で
き、しかも大型化への対処も容易であり、かつ大量生産
を容易とすることができる。

【００４８】

【実施例】以下に本発明を実施例によって具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【００４９】

【合成例１】 着色電着液（Ｙ−１，Ｙ−２，Ｙ−３及びＹ−４）の製
造 アクリル樹脂（東亜合成化学（株）製、商品名「アロン
Ｓ−４０３０」）をトリエチルアミンでｐＨが約８とな
るまで中和し、これに脱イオン水を加えた樹脂水溶液
（Ｓ）を調製した。次に、樹脂水溶液（Ｓ）に、撹拌下
でカーボンブラック、アゾ金属塩赤顔料、フタロシアニ
ングリーン、フタロシアニンブルーをそれぞれ加え、黒
色、赤色、緑色及び青色の顔料分散液を各々作成した。
さらにこれとは別に前記アクリル樹脂にメラミン樹脂
（商品名「Ｍ−６６Ｂ」、住友化学工業（株）製）を混
合した後、トリエチルアミンでｐＨが約８となるまで中
和し、これに脱イオン水を加えた樹脂水溶液（Ｔ）を作
成した。

【００５０】前記各色の顔料分散液に対して、樹脂水溶
液（Ｔ）を加えることにより、表１に示される組成の着
色電着液を得た。尚、得られた着色電着液は、熱硬化性
であり、かつアニオン型の電着性を有するものである。

【００５１】

【表１】

【００５２】

【実施例１】膜厚１００ｎｍのＩＴＯ（インジウム−錫
酸化物）膜を表面に有する厚さ１．０ｍｍの３００×３
００ｍｍのパイレックスガラス基板（以下、原板１とい
う）に、ポジ型フォトレジスト（東京応化工業(株)製、
商品名「ＯＦＰＲ−８００」）をスピンコーターで塗布
し、８０℃で１０分間乾燥し、膜厚２．５μｍのポジ型
感光性樹脂層を形成した。

【００５３】次いで左右２０μｍ、上下３０μｍの幅の
光不透過部分で囲まれた５０μｍ×１００μｍの大きさ
の光透過部分を基本とする繰り返しパターンを有するフ
ォトマスクを、前記感光性樹脂層上に密着し、超高圧水
銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作所
製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して７０ｍＪ／
ｃｍ²の紫外線を照射した。続いて濃度２．４重量％の
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像
し、マスクの光透過部分のみに相当するポジ型感光性樹
脂層を選択的に除去しＩＴＯ膜面を露出させ、水洗後乾
燥した。

【００５４】次に２５℃の着色電着液（Ｙ−２）を小型
ポンプを用いて流量１０リットル／分で原板１のＩＴＯ
面に３０秒流し、接触処理を行った。次いで、原板１を
陽極とし、着色電着液（Ｙ−２）を入れた電着槽中で３
００×３００ｍｍのステンレススチール板を陰極とし
て、直流電圧４０Ｖを２５℃で１０秒間印加し、電着塗
装した。原板１をイオン交換水で洗浄した後、１４０℃
で１０分間乾燥・硬化させ、着色塗膜の膜厚を測定した
ところ２．２μｍであった。

【００５５】原板１を顕微鏡下で１００倍に拡大して観
察したところ原板１のマスクの光透過部分に相当する部
分にピンホールや白抜け部分は全く認められず、完全に
赤色に着色されていた。

【００５６】

【比較例１】実施例１において、電着液の流下を行わな
かった他は全く同様に行った。得られた原板を実施例１
と同様に顕微鏡で観察したところ多数のピンホール及び
白抜け部分が観察された。

【００５７】

【実施例２−１〜２−４】表２に記載の接触処理を行っ
た以外は、実施例１と同様に行った。得られた結果を表
２に示す。

【００５８】

【表２】

【００５９】

【実施例３】膜厚１００ｎｍのＩＴＯ（インジウム−錫
酸化物）膜を表面に有する厚さ１．１ｍｍの３００×３
００ｍｍの商品名「コーニング７０５９ガラス」（コー
ニング社製）（以下、原板２という）に、ポジ型フォト
レジスト（東京応化工業（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−
８００」）をスピンコート法により塗布し、８０℃で１
０分間乾燥して膜厚３μｍのポジ型感光性樹脂層を形成
した。

【００６０】次いで光透過率が３段階に異なるパターン
を有するフォトマスク（図示せず）を、前記感光性樹脂
層上に密着し、超高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置
（（株）オーク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）
を使用して７０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した。この
際、フォトマスクの最も光透過率の高い部分に対応する
ポジ型感光性樹脂層には、７０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線
が、２番目に光透過率の高い部分に対応するポジ型感光
性樹脂層には１１ｍＪ／ｃｍ²の紫外線が照射され、最
も光透過率の低い部分に相当する感光性樹脂層には紫外
線は照射されなかった。

【００６１】次に濃度２．４重量％のテトラメチルアン
モニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、マスク
の光透過率が最も高い部分のポジ型感光性樹脂層が選択
的に除去され、ＩＴＯ膜面が露出された。水洗、乾燥
後、２５℃に保った黒色電着液（Ｙ−１）用回収液を用
いて実施例２−３の条件にて接触処理を行った。液切り
後原板２を陽極とし、黒色電着液（Ｙ−１）を入れた電
着槽中で、３００×３００ｍｍのステンレススチール板
を陰極として、直流電圧２５Ｖを２５℃で６０秒間印加
し、電着塗装した。原板２を槽から引き上げイオン交換
水で洗浄後乾燥（１００℃、５分）した。

【００６２】次いで濃度３．４重量％のテトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、黒色
の着色塗膜及びフォトマスクの光透過率が最も低い部分
に対応する部分には何の変化も認められず、フォトマス
クの光透過率が２番目に高い部分に対応する部分のポジ
型感光性樹脂層が選択的に除去された。水洗、乾燥後、
原板２を着色電着液（Ｙ−２）を用いて実施例２−３の
条件にて接触処理を行った後、着色電着液（Ｙ−２）槽
に原板２を浸漬し、（Ｙ−１）の場合と同様にして、電
着塗装を行ったところ、先に形成した黒色の着色塗膜等
には全く変化が見られず、赤色の着色塗膜が形成され
た。１１０℃で１０分間乾燥し一部硬化させた。

【００６３】次に原板２全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の紫
外線を照射した後、界面活性剤（花王株式会社製、商品
名「ペレックスＮＢＬ」）５％を含有する２％水酸化ナ
トリウム水溶液で現像し、塗布した着色塗膜部分以外に
ある残存フォトレジストを除去し、水洗・乾燥後、再度
商品名「ＯＦＰＲ−８００」（東京応化工業（株）製）
を膜厚が３μｍとなるようにスピンコートした。

【００６４】次いで光透過率が３段階に異なるパターン
を有する前述とは別のフォトマスクを原板２の赤着色塗
膜に対して１個分移動させて（図４に示す）フォトレジ
ストが再塗布された原板２上に密着し、７０ｍＪ／ｃｍ
²の紫外線を照射した。濃度２．４重量％のテトラメチ
ルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、
黒色及び赤色の着色塗膜に変化は認められず、またフォ
トマスクの光透過率が最も低い部分に対応する部分にも
変化は認められず、マスクの光透過率が最も高い部分に
対応する部分のポジ型感光性樹脂層が選択的に除去され
た。

【００６５】（Ｙ−２）の場合と同様な接触処理及び電
着塗装を、着色電着液（Ｙ−３）についても行った後、
原板２をイオン交換水で洗浄したところ、先に形成した
黒色、赤色の着色塗膜、フォトマスクの光透過率が２番
目に高い部分及び最も低い部分に対応する部分のポジ型
感光性樹脂層部分には全く変化が見られず、緑色の着色
塗膜が形成された。１００℃で１０分間乾燥し、一部硬
化させた。続いて濃度３．４重量％のテトラメチルアン
モニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、黒、赤
及び緑の各着色塗膜及びマスクの光透過率が最も低い部
分に対応する部分には何の変化も認められず、マスクの
光透過率が２番目に高い部分に対応する部分のポジ型感
光性樹脂層が選択的に除去された。次に、水洗、乾燥
後、着色電着液（Ｙ−４）を用いて、（Ｙ−２）及び
（Ｙ−３）と同様に接触処理及び電着塗装を行いカラー
フィルターを作成した。最後に原板２全面に２００ｍＪ
／ｃｍ²の紫外線を照射した後、界面活性剤（花王株式
会社製、商品名「ペレックスＮＢＬ」）５％を含有する
２％水酸化ナトリウム水溶液で現像し、着色塗膜部分以
外にある残存フォトレジストを除去した。顕微鏡観察の
結果、着色塗膜にピンホール等の欠陥は認められなかっ
た。

【００６６】更に硬化を完全に行わせるために１８０℃
で３０分加熱し、透明性、均一性、平坦性に優れ、ピン
ホール等の欠陥も無く精度の良い黒色遮光パターンを有
するカラーフィルターを得た。

【００６７】

【実施例４】実施例３と同様のガラス基板（以下、原板
３という）に、ポジ型フォトレジスト（東京応化工業
（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８００」）を、スピンコ
ーターで塗布し、８０℃で１０分間乾燥し、膜厚３μｍ
のポジ型感光性樹脂層を形成した。続いて所定の遮光パ
ターンを有するフォトマスク（図２）を介して超高圧水
銀灯光を７０ｍＪ／ｃｍ²照射した。

【００６８】次に濃度２．４重量％のテトラメチルアン
モニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、露光部
分のポジ型フォトレジストが選択的に除去され、ＩＴＯ
膜面が露出された。水洗、乾燥後、２５℃に保った着色
電着液（Ｙ−１）に原板３を実施例２−２に記載の条件
で接触処理し、原板３を陽極とし、黒色電着液（Ｙ−
１）を入れた電着槽中で、３００×３００ｍｍのステン
レススチール板を陰極として、直流電圧２５Ｖを２５℃
で６０秒間印加し、電着塗装した。原板３を槽から引き
上げイオン交換水で洗浄後乾燥（１００℃、５分）し
た。

【００６９】次いで図３に示すパターンを有するフォト
マスクを用いて７０ｍＪ／ｃｍ²の露光を行い、濃度
３．４重量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド
水溶液で現像したところ、黒色塗膜層に変化は認められ
ず露光部分に相当するＩＴＯ膜が露出された。水洗、乾
燥後、原板３を着色電着液（Ｙ−２）を用いて実施例１
と同様の条件で接触処理した。（Ｙ−１）の場合と同様
に、直流電圧２５Ｖを２５℃で６０秒間印加し、電着塗
装した。原板３を槽から引き上げイオン交換水で洗浄後
乾燥し、１１０℃、１０分熱処理した。これにより赤色
モザイク状画素パターンが得られた。顕微鏡観察したと
ころ、ピンホール等の欠陥は全く認められなかった。

【００７０】次いで原板３全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射した後、界面活性剤（花王株式会社製、商
品名「ペレックスＮＢＬ」）５％を含有する２％水酸化
ナトリウム水溶液で現像し、塗布した着色塗膜部分以外
にある残存フォトレジストを除去し、水洗・乾燥後、再
度商品名「ＯＦＰＲ−８００」（東京応化工業（株）
製）を膜厚が３μｍとなるようにスピンコートした。フ
ォトレジストが再塗布された原板３の赤モザイク状パタ
ーンに隣接するよう（図４に示す位置）にモザイク状パ
ターンを露光（７０ｍＪ／ｃｍ²）し、濃度２．４重量
％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現
像したところ、黒色及び赤色の塗膜層に変化は認められ
ず露光部分に相当するＩＴＯ膜が露出された。水洗、乾
燥後、原板３を（Ｙ−２）の場合と同様に接触処理し、
着色電着液（Ｙ−３）を入れた電着槽中で、直流電圧２
５Ｖを２５℃で６０秒間印加し、電着塗装した。原板３
を槽から引き上げイオン交換水で洗浄後乾燥し、１００
℃、１０分熱処理した。

【００７１】次いで図５に示す位置にマスクを移動し７
０ｍＪ／ｃｍ²の露光後、濃度３．４重量％のテトラメ
チルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像した。水
洗、乾燥後、着色電着液（Ｙ−４）を用いて（Ｙ−
１）、（Ｙ−２）及び（Ｙ−３）の場合と同様に接触処
理及び電着塗装を行いカラーフィルターを作成した。最
後に原板３全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射し
た後、界面活性剤（花王株式会社製、商品名「ペレック
スＮＢＬ」）５％を含有する２％水酸化ナトリウム水溶
液で現像し、着色塗膜部分以外にある残存フォトレジス
トを除去した。顕微鏡観察の結果、着色塗膜にピンホー
ル等の欠陥は認められなかった。

【００７２】最後に硬化を完全に行わせるために１８０
℃で３０分加熱し、透明性、均一性、平坦性に優れ、ピ
ンホール等の欠陥も無く精度の良い黒色遮光パターンを
有するカラーフィルターを得た。

【００７３】

【実施例５】実施例３と同様のガラス基板（以下、原板
４という）に、ポジ型フォトレジスト（東京応化工業
（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８００」）を、スピンコ
ーターで塗布し、８０℃で１０分間乾燥し、膜厚３μｍ
のポジ型感光性樹脂層を形成した。続いて所定の遮光パ
ターンを有するフォトマスク（図２）を介して超高圧水
銀灯光を７０ｍＪ／ｃｍ²照射した。

【００７４】次に濃度０．４重量％の水酸化ナトリウム
水溶液で現像したところ、露光部分のポジ型フォトレジ
ストが選択的に除去され、ＩＴＯ膜面を露出された。水
洗、乾燥後、２５℃に保った着色電着液（Ｙ−１）に原
板４を実施例２−２に記載の条件で接触処理し、原板４
を陽極とし、黒色電着液（Ｙ−１）を入れた電着槽中
で、３００×３００ｍｍのステンレススチール板を陰極
として、直流電圧２５Ｖを２５℃で６０秒間印加し、電
着塗装した。原板４を槽から引き上げイオン交換水で洗
浄後乾燥（１００℃、５分）した。

【００７５】次いで図４に示すパターンを有するフォト
マスクを用いて１５０ｍＪ／ｃｍ²の露光を行い、濃度
０．７５重量％の水酸化ナトリウム水溶液で現像したと
ころ、黒色塗膜層に変化は認められず露光部分に相当す
るＩＴＯ膜が露出された。水洗、乾燥後、原板４を着色
電着液（Ｙ−２）を用いて実施例１と同様の条件で接触
処理した。（Ｙ−１）の場合と同様に、直流電圧２５Ｖ
を２５℃で６０秒間印加し、電着塗装した。原板３を槽
から引き上げイオン交換水で洗浄後乾燥し、１１０℃、
１０分熱処理した。これにより赤色モザイク状画素パタ
ーンが得られた。顕微鏡観察したところ、ピンホール等
の欠陥は全く認められなかった。

【００７６】次に赤モザイク状画素パターンに隣接する
よう（図４に示す位置）にモザイク状パターンを露光
（１５０ｍＪ／ｃｍ²）し、濃度０．７５重量％の水酸
化ナトリウム水溶液で現像したところ、黒色及び赤色の
塗膜層に変化は認められず露光部分に相当するＩＴＯ膜
が露出された。水洗、乾燥後、原板４を（Ｙ−２）の場
合と同様に接触処理し、着色電着液（Ｙ−３）を入れた
電着槽中で、直流電圧２５Ｖを２５℃で６０秒間印加
し、電着塗装した。原板４を槽から引き上げイオン交換
水で洗浄後乾燥し、１００℃、１０分熱処理した。

【００７７】次いでカラーフィルター画素相当部全面を
１５０ｍＪ／ｃｍ²で露光後、濃度１．０重量％の水酸
化ナトリウム水溶液で現像した。水洗、乾燥後、着色電
着液（Ｙ−４）を用いて（Ｙ−１）、（Ｙ−２）および
（Ｙ−３）の場合と同様に接触処理および電着塗装を行
いカラーフィルターを作成した。

【００７８】最後に原板４全面に３００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射した後、界面活性剤（花王株式会社製、商
品名「ペレックスＮＢＬ」）５％を含有する２％水酸化
ナトリウム水溶液で現像し、着色塗膜部分以外にある残
存フォトレジストを除去した。顕微鏡観察の結果、着色
塗膜にピンホール等の欠陥は認められなかった。

【００７９】更に硬化を完全に行わせるために１８０℃
で３０分加熱し、透明性、均一性、平坦性に優れ、ピン
ホール等の欠陥も無く精度の良い黒色遮光パターンを有
するカラーフィルターが得られた。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、光透過率が４段階に異なるパターンを
有するフォトマスクの一例の拡大模式図である。

【図２】図２は、実施例４で使用した遮光層作成用フォ
トマスクを示す拡大模式図である。

【図３】図３は、実施例４で使用した着色塗膜作成用フ
ォトマスクを示す拡大模式図である。

【図４】図４は、実施例４においてフォトマスクを１回
横に移動させた状態を示す拡大模式図である。

【図５】図５は、実施例４においてフォトマスクを２回
横に移動した状態を示す拡大模式図である。

【符号の説明】

１：光透過率１００％部分 ２：光透過率２５％部分 ３：光透過率５％部分 ４：光透過率０％部分 ５：光透過率０％部分 ６：第１回目露光領域（光透過率１００％） ６Ａ：第１回目に露光された領域 ７：第２回目露光領域（光透過率１００％） ７Ａ：第２回目に露光された領域 ８：第３回目露光領域（光透過率１００％） ９：光透過率１００％部分 １０：光透過率０％部分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大美賀 広芳 神奈川県横浜市港北区篠原東３−20−17− ３号 (72)発明者 黒木 輝久 神奈川県川崎市中原区宮内３−23−１− 208 (72)発明者 小野 典克 千葉県習志野市谷津３−１−47−811

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電極を有する被塗装物に所望色相の塗膜
   を電着塗装によって形成する工程を含むカラーフィルタ
   ーの製造法において、該電着塗装を行なう前に、被塗装
   物と、電着液及び／又は回収液とを相対的に移動させ
   て、少なくとも電極を電着液及び／又は回収液に接触さ
   せることを特徴とするカラーフィルターの製造法。
2. 【請求項２】 （Ａ１）電極を有する被塗装物に感光性
   樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を露光するに際し、現
   像液に対する感光性樹脂層の溶解性が少なくとも３段階
   に異なる状態となるようにパターン露光する工程と、
   （Ｂ１）該パターン部分の感光性樹脂層を現像除去し、
   電極を露出させ、少なくとも露出した電極と、電着液及
   び／又は回収液とを相対的に移動させて接触処理させた
   後、電着塗装を行ない所望色相の塗膜を形成する操作
   を、感光性樹脂層の現像液への溶解性の大きい順又は小
   さい順に対応するパターン部分について順次繰り返すこ
   とにより複数の色相を有する塗膜を形成する工程とを、
   含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法。
3. 【請求項３】 （Ａ２）電極を有する被塗装物に感光性
   樹脂層を形成し、該感光性樹脂層をフォトマスクを介し
   て露光後現像して電極を露出させる工程と、（Ｂ２）少
   なくとも露出された電極と、電着液及び／又は回収液と
   を相対的に移動させて接触させた後、電着塗装を行ない
   所望色相の塗膜を形成する工程と、（Ｃ２）前記形成し
   た塗膜領域以外の領域の感光性樹脂層を、フォトマスク
   を介して露光後現像して電極を露出させる工程と、（Ｄ
   ２）少なくとも前記（Ｃ２）工程で露出された電極と、
   電着液及び／又は回収液とを相対的に移動させて接触処
   理させた後、前記（Ｂ２）工程の色相とは異なる色相の
   塗膜を電着塗装により形成する工程と、（Ｅ２）前記
   （Ｃ２）及び（Ｄ２）の工程を必要回数繰り返す工程と
   を、含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法。