JPH0843618A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
- Publication number
- JPH0843618A JPH0843618A JP17881494A JP17881494A JPH0843618A JP H0843618 A JPH0843618 A JP H0843618A JP 17881494 A JP17881494 A JP 17881494A JP 17881494 A JP17881494 A JP 17881494A JP H0843618 A JPH0843618 A JP H0843618A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- resin layer
- photosensitive resin
- manufacturing
- sectional shape
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】カラーフィルターの断面形状をなだらかな順テ
ーパー形状とし、透明樹脂層を形成することなく透明導
電膜の断線を防止するカラーフィルターの製造方法を提
供することを目的とする。 【構成】カラーフィルターの製造工程のうちレジスト塗
布後のプレベーク工程において、基板の上下にあるホッ
トプレート及びクールプレートに温度差をつけることに
より、現像後の断面形状を順テーパーとする。
ーパー形状とし、透明樹脂層を形成することなく透明導
電膜の断線を防止するカラーフィルターの製造方法を提
供することを目的とする。 【構成】カラーフィルターの製造工程のうちレジスト塗
布後のプレベーク工程において、基板の上下にあるホッ
トプレート及びクールプレートに温度差をつけることに
より、現像後の断面形状を順テーパーとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関する。
内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置用カラーフィルターは従
来、図３（Ａ）のようにまずガラス基板１上に、着色顔
料を分散した光硬化型の感光性樹脂層２を塗布、乾燥し
た後、図３（Ｂ）のようにフォトマスク７を介して紫外
線を照射して露光し、図３（Ｃ）のように現像して着色
樹脂層２ａのパターンが形成される。しかしながら、着
色樹脂層２ａの断面形状が直角または図３（Ｃ）のよう
に逆テーパー状であることにより、特に薄膜トランジス
タ方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルターに
おいては、カラーフィルター上にＩＴＯ等の透明導電膜
を形成する際、断線が発生し、パネル組みの際に導通不
良の原因となる。この問題の解消策として、カラーフィ
ルター表面に透明樹脂をコーティングし表面を滑らかに
してから透明導電膜を形成することが知られている。し
かし製造コストが高くなり、製造歩留まりに与える影響
も大きく、実用上問題であった。
来、図３（Ａ）のようにまずガラス基板１上に、着色顔
料を分散した光硬化型の感光性樹脂層２を塗布、乾燥し
た後、図３（Ｂ）のようにフォトマスク７を介して紫外
線を照射して露光し、図３（Ｃ）のように現像して着色
樹脂層２ａのパターンが形成される。しかしながら、着
色樹脂層２ａの断面形状が直角または図３（Ｃ）のよう
に逆テーパー状であることにより、特に薄膜トランジス
タ方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルターに
おいては、カラーフィルター上にＩＴＯ等の透明導電膜
を形成する際、断線が発生し、パネル組みの際に導通不
良の原因となる。この問題の解消策として、カラーフィ
ルター表面に透明樹脂をコーティングし表面を滑らかに
してから透明導電膜を形成することが知られている。し
かし製造コストが高くなり、製造歩留まりに与える影響
も大きく、実用上問題であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、カラーフィ
ルターの断面形状をなだらかな順テーパー形状とし、透
明樹脂層を形成することなく透明導電膜の断線を防止す
るカラーフィルターの製造方法および前記製造方法に用
いる製造装置を提供することを目的とする。
ルターの断面形状をなだらかな順テーパー形状とし、透
明樹脂層を形成することなく透明導電膜の断線を防止す
るカラーフィルターの製造方法および前記製造方法に用
いる製造装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、着
色顔料を分散した光硬化型の感光性樹脂層をパターン露
光し、現像し、ポストベークして所望形状のカラーフィ
ルター層を得るカラーフィルターの製造方法において、
前記の感光性樹脂層を基板上に塗布した後、感光性樹脂
層の下方から加熱し、上方からは冷却するプレベーク工
程を経て、パターン露光することを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法である。
色顔料を分散した光硬化型の感光性樹脂層をパターン露
光し、現像し、ポストベークして所望形状のカラーフィ
ルター層を得るカラーフィルターの製造方法において、
前記の感光性樹脂層を基板上に塗布した後、感光性樹脂
層の下方から加熱し、上方からは冷却するプレベーク工
程を経て、パターン露光することを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法である。
【０００５】具体的には、ガラス基板１上への感光性樹
脂層２塗布後のプレベーク工程にて図１のようなベーク
装置を用い、ガラス基板１が接するホットプレート３
と、ガラス基板１に対しホットプレート３と反対側にガ
ラス基板１と間隙をあけて設置したクールプレート４と
を設置することで、感光性樹脂層２の上下間で温度差を
つけることにより、感光性樹脂層２のガラス界面側と表
面側の温度勾配を意図的につける。これによりレジスト
１層内の見かけ上の露光感度に差異を生じ、図４に示す
ように、露光、現像後の断面形状を順テーパーとする。
脂層２塗布後のプレベーク工程にて図１のようなベーク
装置を用い、ガラス基板１が接するホットプレート３
と、ガラス基板１に対しホットプレート３と反対側にガ
ラス基板１と間隙をあけて設置したクールプレート４と
を設置することで、感光性樹脂層２の上下間で温度差を
つけることにより、感光性樹脂層２のガラス界面側と表
面側の温度勾配を意図的につける。これによりレジスト
１層内の見かけ上の露光感度に差異を生じ、図４に示す
ように、露光、現像後の断面形状を順テーパーとする。
【０００６】
【作用】上記の方法により、感光性樹脂層２のガラス界
面側と表面側の温度勾配を意図的につけることにより、
感光性樹脂層２内の溶剤残留度に差異を生じ、露光時の
光架橋の速度差が発生する。この結果、感光性樹脂層２
のガラス界面側では見かけ上の感度の上昇により線幅が
太る傾向、反対に表面側では感度の低下により比較的に
線幅が細くなる傾向が出る。よって現像後の断面形状は
順テーパー状となる。
面側と表面側の温度勾配を意図的につけることにより、
感光性樹脂層２内の溶剤残留度に差異を生じ、露光時の
光架橋の速度差が発生する。この結果、感光性樹脂層２
のガラス界面側では見かけ上の感度の上昇により線幅が
太る傾向、反対に表面側では感度の低下により比較的に
線幅が細くなる傾向が出る。よって現像後の断面形状は
順テーパー状となる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図２は、液晶表示装置に用いられるカラーフィル
ターの製造工程を示した図であり、これらは連続した自
動化ラインにより構成される。本発明はこのうち二重枠
で囲んだレジスト塗布後のプレベーク工程において特徴
的に実施される。ライン上のインライン装置の一部とし
て、ガラス基板１上への感光性樹脂層２塗布後のプレベ
ーク工程にて図１のようなベーク装置を設置する。感光
性樹脂層２塗布済のガラス基板１は、ウォーキングビー
ム方式またはロボット搬送装置にて、隔壁５の開口部か
らベーク装置内に搬入される。
する。図２は、液晶表示装置に用いられるカラーフィル
ターの製造工程を示した図であり、これらは連続した自
動化ラインにより構成される。本発明はこのうち二重枠
で囲んだレジスト塗布後のプレベーク工程において特徴
的に実施される。ライン上のインライン装置の一部とし
て、ガラス基板１上への感光性樹脂層２塗布後のプレベ
ーク工程にて図１のようなベーク装置を設置する。感光
性樹脂層２塗布済のガラス基板１は、ウォーキングビー
ム方式またはロボット搬送装置にて、隔壁５の開口部か
らベーク装置内に搬入される。
【０００８】ベーク装置内には、従来のベーク装置と同
様のホットプレート３が下部にあり、その上に戴置され
るガラス基板１に対しホットプレート３と反対側にクー
ルプレート４が設置されている。クールプレート４は冷
却水循環方式等によっており、昇降機構６により上下し
て感光性樹脂層２との距離を調節できる。また、必要に
応じて、クールプレート４の代わりに窒素ガスやクリー
ンエアーを吹き付けるようにしてもよい。
様のホットプレート３が下部にあり、その上に戴置され
るガラス基板１に対しホットプレート３と反対側にクー
ルプレート４が設置されている。クールプレート４は冷
却水循環方式等によっており、昇降機構６により上下し
て感光性樹脂層２との距離を調節できる。また、必要に
応じて、クールプレート４の代わりに窒素ガスやクリー
ンエアーを吹き付けるようにしてもよい。
【０００９】ここで、ホットプレート３とクールプレー
ト４との間で温度差をつけることにより、感光性樹脂層
２のガラス界面側と表面側の温度勾配を意図的につけつ
つ、プレベークを行う。条件としては、使用レジストの
含有溶剤の違いによるが、ホットプレート３は60〜120
℃（本実施例では80℃）、クールプレート４は10〜30℃
（本実施例では20℃）に設定する。クールプレート４と
感光性樹脂層２との間の間隙（クリアランス）は2〜15m
m（本実施例では4mm）に設定する。この後図４（Ｂ）に
示すように露光工程を経ると、図４（Ｃ）に示すよう
に、現像された着色樹脂層２ａは順テーパー状となっ
た。
ト４との間で温度差をつけることにより、感光性樹脂層
２のガラス界面側と表面側の温度勾配を意図的につけつ
つ、プレベークを行う。条件としては、使用レジストの
含有溶剤の違いによるが、ホットプレート３は60〜120
℃（本実施例では80℃）、クールプレート４は10〜30℃
（本実施例では20℃）に設定する。クールプレート４と
感光性樹脂層２との間の間隙（クリアランス）は2〜15m
m（本実施例では4mm）に設定する。この後図４（Ｂ）に
示すように露光工程を経ると、図４（Ｃ）に示すよう
に、現像された着色樹脂層２ａは順テーパー状となっ
た。
【００１０】
【発明の効果】本発明の構成による製造装置を用いた製
造方法によれば、カラーフィルターの断面形状を順テー
パー形状とすることができ、カラーフィルター上に透明
樹脂層を形成することなく透明導電膜を直接形成して
も、透明導電膜の断線を防止できる。
造方法によれば、カラーフィルターの断面形状を順テー
パー形状とすることができ、カラーフィルター上に透明
樹脂層を形成することなく透明導電膜を直接形成して
も、透明導電膜の断線を防止できる。
【００１１】
【図１】本発明のベーク装置の一実施例を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】カラーフィルターの製造工程を示す流れ図であ
る。
る。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は、従来技術によるカラーフィ
ルターの製造工程を工程順に示す説明図である。
ルターの製造工程を工程順に示す説明図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明によるカラーフィル
ターの製造工程を工程順に示す説明図である。
ターの製造工程を工程順に示す説明図である。
１ ガラス基板 ２ 感光性樹脂層 ２ａ 着色樹脂層 ３ ホットプレート ４ クールプレート ５ 隔壁 ６ 昇降機構 ７ フォトマスク
Claims (1)
- 【請求項１】着色顔料を分散した光硬化型の感光性樹脂
層をパターン露光し、現像し、ポストベークして所望形
状のカラーフィルター層を得るカラーフィルターの製造
方法において、前記の感光性樹脂層を基板上に塗布した
後、感光性樹脂層の下方から加熱し、上方からは冷却す
るプレベーク工程を経て、パターン露光することを特徴
とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17881494A JPH0843618A (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17881494A JPH0843618A (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843618A true JPH0843618A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16055133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17881494A Pending JPH0843618A (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843618A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000298208A (ja) * | 1999-04-13 | 2000-10-24 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法、並びにそれを使用したｅｌディスプレイ及び液晶ディスプレイ |
| JP2002071936A (ja) * | 2000-09-05 | 2002-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板の冷却方法及び冷却装置 |
| JP2005108678A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Optrex Corp | 有機ｅｌ発光装置およびその製造方法 |
-
1994
- 1994-07-29 JP JP17881494A patent/JPH0843618A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000298208A (ja) * | 1999-04-13 | 2000-10-24 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法、並びにそれを使用したｅｌディスプレイ及び液晶ディスプレイ |
| JP2002071936A (ja) * | 2000-09-05 | 2002-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板の冷却方法及び冷却装置 |
| JP2005108678A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Optrex Corp | 有機ｅｌ発光装置およびその製造方法 |
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