JPH0846260A - 圧電アクチュエータおよびその組み立て方法 - Google Patents
圧電アクチュエータおよびその組み立て方法Info
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- JPH0846260A JPH0846260A JP6182497A JP18249794A JPH0846260A JP H0846260 A JPH0846260 A JP H0846260A JP 6182497 A JP6182497 A JP 6182497A JP 18249794 A JP18249794 A JP 18249794A JP H0846260 A JPH0846260 A JP H0846260A
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ねじれ応力を圧電素子に掛けることなく、圧電
素子に予圧を与えることができ、引っ張り応力による圧
電素子の破損の確率を減少できる圧電アクチュエータお
よびその組み立て方法を得ることにある。 【構成】台座３とケース４からなる容器内部に収納さ
れ、台座３に固定され、電界を印加すると、その内部に
歪みが発生し、それ自体が伸縮する圧電素子２と、容器
内部で圧電素子２の反固定側に設けられ、圧電素子２の
伸縮にともなって移動するピストン６と、ケース４の開
口端側であってケース４の内側に一端部が挿入され、進
退自在でかつ所定位置に固定可能な蓋５と、ケース４内
部であって蓋５とピストン６との間に設けられ、圧電素
子２に対して蓋５の位置調整によりねじれ応力を与えな
い状態で予圧を与える皿バネ７を具備した圧電アクチュ
エータ。
素子に予圧を与えることができ、引っ張り応力による圧
電素子の破損の確率を減少できる圧電アクチュエータお
よびその組み立て方法を得ることにある。 【構成】台座３とケース４からなる容器内部に収納さ
れ、台座３に固定され、電界を印加すると、その内部に
歪みが発生し、それ自体が伸縮する圧電素子２と、容器
内部で圧電素子２の反固定側に設けられ、圧電素子２の
伸縮にともなって移動するピストン６と、ケース４の開
口端側であってケース４の内側に一端部が挿入され、進
退自在でかつ所定位置に固定可能な蓋５と、ケース４内
部であって蓋５とピストン６との間に設けられ、圧電素
子２に対して蓋５の位置調整によりねじれ応力を与えな
い状態で予圧を与える皿バネ７を具備した圧電アクチュ
エータ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡や測定器等にお
いて、高精度位置決めを行う際に必要となる予圧を与え
ることが可能な圧電アクチュエータおよび圧電アクチュ
エータに対してねじれ応力を与えずに予圧を調整する組
み立て方法に関する。
いて、高精度位置決めを行う際に必要となる予圧を与え
ることが可能な圧電アクチュエータおよび圧電アクチュ
エータに対してねじれ応力を与えずに予圧を調整する組
み立て方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電アクチュエータは、圧電素子に電界
を印加すると、その内部に歪みが発生し、それ自体が伸
縮し、低電圧で大変位量が得られるという特性を有して
いるほか、ミクロン、サブミクロンオーダで微小変位が
得られ、応答性に優れ、発生応力も大きいという特性が
ある。このようなことから、従来高精度位置決め装置と
して圧電アクチュエータが使用されている。
を印加すると、その内部に歪みが発生し、それ自体が伸
縮し、低電圧で大変位量が得られるという特性を有して
いるほか、ミクロン、サブミクロンオーダで微小変位が
得られ、応答性に優れ、発生応力も大きいという特性が
ある。このようなことから、従来高精度位置決め装置と
して圧電アクチュエータが使用されている。
【０００３】最近では、金属ケースに封入された圧電ア
クチュエータが市販されていて、電子顕微鏡の微動アク
チュエータやレーザスキャニングマイクロスコープ（Ｌ
ＳＭ）の焦準部のアクチュエータに使用されている。
クチュエータが市販されていて、電子顕微鏡の微動アク
チュエータやレーザスキャニングマイクロスコープ（Ｌ
ＳＭ）の焦準部のアクチュエータに使用されている。
【０００４】図６は従来の顕微鏡に用いられている変位
拡大装置の１例を示す図であり、圧電アクチュエータ１
が固定面に垂直に固定され、アクチュエータ１の上部に
水平にてこ１４の一端部が固定され、てこ１４の他端上
部に垂直にステージ支持構造体２３が固定され、ステー
ジ支持構造体２３の上部にはステージ１５が水平に固定
されている。
拡大装置の１例を示す図であり、圧電アクチュエータ１
が固定面に垂直に固定され、アクチュエータ１の上部に
水平にてこ１４の一端部が固定され、てこ１４の他端上
部に垂直にステージ支持構造体２３が固定され、ステー
ジ支持構造体２３の上部にはステージ１５が水平に固定
されている。
【０００５】図７は、図６の圧電アクチュエータ１の構
成を示す断面図であり、後述するアクチュエータ本体が
金属ケース１３に封入されている。アクチュエータ本体
は、圧電素子２と、圧電素子２の下端部が固定された台
座３と、圧電素子２の上端部に固定されたピストン６か
ら構成されている。
成を示す断面図であり、後述するアクチュエータ本体が
金属ケース１３に封入されている。アクチュエータ本体
は、圧電素子２と、圧電素子２の下端部が固定された台
座３と、圧電素子２の上端部に固定されたピストン６か
ら構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】いま、図６のステージ
１５の下向きの慣性力Ｆがてこ１４に加わると、圧電ア
クチュエータ１は、てこ１４に引っ張られるようにな
り、引っ張り応力が圧電素子に加わる。
１５の下向きの慣性力Ｆがてこ１４に加わると、圧電ア
クチュエータ１は、てこ１４に引っ張られるようにな
り、引っ張り応力が圧電素子に加わる。
【０００７】図７のような金属ケース１３に封入されて
いる圧電アクチュエータ１は、圧電素子２に予圧が掛か
っておらず、引っ張り応力が加わったときに圧電素子２
が破損しやすいという欠点がある。
いる圧電アクチュエータ１は、圧電素子２に予圧が掛か
っておらず、引っ張り応力が加わったときに圧電素子２
が破損しやすいという欠点がある。
【０００８】さらに、予圧をかける際も、部品間の機械
誤差や摩擦により圧電素子２にねじれ応力が加わること
があり、圧電素子２が破損することがある。本発明は以
上述べた問題点を除去するためなされたもので、引っ張
り応力による破損のおそれを低減できる圧電アクチュエ
ータを提供することを目的とし、また組み立て時の圧電
素子の破損を低減することができる圧電アクチュエータ
の組み立て方法を提供することを目的とする。
誤差や摩擦により圧電素子２にねじれ応力が加わること
があり、圧電素子２が破損することがある。本発明は以
上述べた問題点を除去するためなされたもので、引っ張
り応力による破損のおそれを低減できる圧電アクチュエ
ータを提供することを目的とし、また組み立て時の圧電
素子の破損を低減することができる圧電アクチュエータ
の組み立て方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、有底筒状のケースと、
このケース内部に収納されると共にケース底面に固定さ
れ、電界を印加するとそれ自体が伸縮する圧電素子と、
前記ケース内部で前記圧電素子の反固定側に設けられ、
前記圧電素子の伸縮に伴って移動するピストンと、前記
ケースの開口端側に、前記圧電素子の伸縮方向に進退自
在でかつ所定位置に固定可能な固定部材と、この固定部
材と前記ピストンとの間に設けられ、前記圧電素子に対
して予圧を与える弾性体と、を具備した圧電アクチュエ
ータである。
め、請求項１に対応する発明は、有底筒状のケースと、
このケース内部に収納されると共にケース底面に固定さ
れ、電界を印加するとそれ自体が伸縮する圧電素子と、
前記ケース内部で前記圧電素子の反固定側に設けられ、
前記圧電素子の伸縮に伴って移動するピストンと、前記
ケースの開口端側に、前記圧電素子の伸縮方向に進退自
在でかつ所定位置に固定可能な固定部材と、この固定部
材と前記ピストンとの間に設けられ、前記圧電素子に対
して予圧を与える弾性体と、を具備した圧電アクチュエ
ータである。
【００１０】前記目的を達成するため、請求項３に対応
する発明は、有底筒状のケースと、このケース内部に収
納されると共にケース底面に固定され、電界を印加する
とそれ自体が伸縮する圧電素子と、前記ケース内部で前
記圧電素子の反固定側に設けられ、前記圧電素子の伸縮
に伴って移動するピストンと、前記ケースの開口端側
に、前記圧電素子の伸縮方向に進退自在でかつ所定位置
に固定可能な固定部材と、この固定部材と前記ピストン
との間に設けられ、前記圧電素子に対して予圧を与える
弾性体と、を具備した圧電アクチュエータであって、予
め予圧部材によって外部から前記弾性体に対して予圧を
かけた後、前記固定部材を所定の位置に位置決めし、そ
の後前記予圧部材による予圧を解除することを特徴とす
る圧電アクチュエータの組み立て方法である。
する発明は、有底筒状のケースと、このケース内部に収
納されると共にケース底面に固定され、電界を印加する
とそれ自体が伸縮する圧電素子と、前記ケース内部で前
記圧電素子の反固定側に設けられ、前記圧電素子の伸縮
に伴って移動するピストンと、前記ケースの開口端側
に、前記圧電素子の伸縮方向に進退自在でかつ所定位置
に固定可能な固定部材と、この固定部材と前記ピストン
との間に設けられ、前記圧電素子に対して予圧を与える
弾性体と、を具備した圧電アクチュエータであって、予
め予圧部材によって外部から前記弾性体に対して予圧を
かけた後、前記固定部材を所定の位置に位置決めし、そ
の後前記予圧部材による予圧を解除することを特徴とす
る圧電アクチュエータの組み立て方法である。
【００１１】
【作用】請求項１に対応する発明によれば、圧電素子に
予め予圧が与えられているので、引っ張り応力による破
損のおそれを少なくできる。請求項３に対応する発明方
法によれば、ねじれ歪みが圧電素子に加わらないように
モニタしながら、予圧を掛けて、組み立て時の圧電素子
の破損を少なくできる。
予め予圧が与えられているので、引っ張り応力による破
損のおそれを少なくできる。請求項３に対応する発明方
法によれば、ねじれ歪みが圧電素子に加わらないように
モニタしながら、予圧を掛けて、組み立て時の圧電素子
の破損を少なくできる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明による圧電アクチュエータの実
施例について図面を参照して説明する。図１は本発明に
よる第１実施例を示す断面図である。円筒状の金属ケー
ス４とこの下端部に固定された台座３により有底筒状の
ケースを構成している。このケース４内部に圧電素子２
を収納し、ケース底面の台座３に圧電素子２を固定す
る。この場合の圧電素子２は、電界を印加すると、その
内部に歪みが発生し、それ自体が伸縮するものである。
ケース４内部で圧電素子２の反固定側（上端部）に圧電
素子２の伸縮にともなって移動する断面凸状のピストン
６を固定する。ケース１の上端部側の内周側に、図示し
ないめねじ部を形成し、めねじ部に、中央位置にピスト
ン６の先端部を外部に導出させるための穴５ａを有する
ねじ込み式の蓋５を螺合する。ケース１内部であって蓋
５とピストン６との間に弾性体例えば皿バネ７を設け、
後述する組み立て方法により圧電素子２に対して蓋５の
位置調整によりねじれ応力を与えない状態で予圧を与え
るように構成したものである。圧電素子２の外周面に
は、後述する予圧調整装置に入力するために、圧電素子
２の歪みを検出する歪みゲージ８，９が取り付けられ、
歪みゲージ８，９の出力はそれぞれソース電源ＶＳＯを
有するブリッジ回路２０，２１に入力されるように構成
されている。
施例について図面を参照して説明する。図１は本発明に
よる第１実施例を示す断面図である。円筒状の金属ケー
ス４とこの下端部に固定された台座３により有底筒状の
ケースを構成している。このケース４内部に圧電素子２
を収納し、ケース底面の台座３に圧電素子２を固定す
る。この場合の圧電素子２は、電界を印加すると、その
内部に歪みが発生し、それ自体が伸縮するものである。
ケース４内部で圧電素子２の反固定側（上端部）に圧電
素子２の伸縮にともなって移動する断面凸状のピストン
６を固定する。ケース１の上端部側の内周側に、図示し
ないめねじ部を形成し、めねじ部に、中央位置にピスト
ン６の先端部を外部に導出させるための穴５ａを有する
ねじ込み式の蓋５を螺合する。ケース１内部であって蓋
５とピストン６との間に弾性体例えば皿バネ７を設け、
後述する組み立て方法により圧電素子２に対して蓋５の
位置調整によりねじれ応力を与えない状態で予圧を与え
るように構成したものである。圧電素子２の外周面に
は、後述する予圧調整装置に入力するために、圧電素子
２の歪みを検出する歪みゲージ８，９が取り付けられ、
歪みゲージ８，９の出力はそれぞれソース電源ＶＳＯを
有するブリッジ回路２０，２１に入力されるように構成
されている。
【００１３】以上述べた実施例によれば、圧電素子２に
ねじれ応力が加わらないように予圧を掛けて、予圧を保
持することにより、引っ張り応力による圧電素子２の破
損の確率を減少させることができる。
ねじれ応力が加わらないように予圧を掛けて、予圧を保
持することにより、引っ張り応力による圧電素子２の破
損の確率を減少させることができる。
【００１４】また、弾性体として皿バネ７を使用してい
るので、限られたスペースで比較的大きな予圧が得られ
る。皿バネ７は、バネ定数ｋが線形ではなく、バネの変
形量によってバネ定数ｋが決まってくる。そこで、バネ
定数ｋが零に近い領域を使えるように予圧をセットすれ
ば、圧電素子２の伸びによりバネが圧縮されても、バネ
定数ｋが零なので、圧電素子２に掛かっているバネの発
生力が一定になり、予圧の変動を抑えることができる。
るので、限られたスペースで比較的大きな予圧が得られ
る。皿バネ７は、バネ定数ｋが線形ではなく、バネの変
形量によってバネ定数ｋが決まってくる。そこで、バネ
定数ｋが零に近い領域を使えるように予圧をセットすれ
ば、圧電素子２の伸びによりバネが圧縮されても、バネ
定数ｋが零なので、圧電素子２に掛かっているバネの発
生力が一定になり、予圧の変動を抑えることができる。
【００１５】ここで、図１の実施例において、バネ定数
ｋが零に近い領域は、ごく限られたもので、その領域が
使用できないと、わずかな圧電素子２の伸びに対しても
バネの発生力が増し、圧電素子２の発生量がその分だけ
減少する。しかしながら、ケース内でピストン６と蓋５
の間に、スペースに余裕があるときは、コイルバネを使
用することができる。コイルバネは、一般的にバネ定数
ｋが小さいので、予圧の変動を少なく抑えることができ
る。このことにより、圧電素子２の変位が変化しても圧
電素子２の発生力の変化が少なくなる。
ｋが零に近い領域は、ごく限られたもので、その領域が
使用できないと、わずかな圧電素子２の伸びに対しても
バネの発生力が増し、圧電素子２の発生量がその分だけ
減少する。しかしながら、ケース内でピストン６と蓋５
の間に、スペースに余裕があるときは、コイルバネを使
用することができる。コイルバネは、一般的にバネ定数
ｋが小さいので、予圧の変動を少なく抑えることができ
る。このことにより、圧電素子２の変位が変化しても圧
電素子２の発生力の変化が少なくなる。
【００１６】次に、前述した予圧調整装置について、図
２〜図４を参照して説明する。図４のように、有底円筒
状の予圧バー１２を、蓋５に形成されている穴５ａに挿
入させると共に、ピストン６の凸部に挿入させ、皿バネ
７に当接させ、皿バネ７に力を加えるものである。これ
は、具体的には、図２に示すような万力のような治具２
２で行う。
２〜図４を参照して説明する。図４のように、有底円筒
状の予圧バー１２を、蓋５に形成されている穴５ａに挿
入させると共に、ピストン６の凸部に挿入させ、皿バネ
７に当接させ、皿バネ７に力を加えるものである。これ
は、具体的には、図２に示すような万力のような治具２
２で行う。
【００１７】この場合、好ましくは、予圧バー１２が回
転してしまっても、その回転が皿バネに伝わらないよう
に、皿バネ７と接触する予圧バー１２の下端部を、低摩
擦係数の材料にしておけばよい。
転してしまっても、その回転が皿バネに伝わらないよう
に、皿バネ７と接触する予圧バー１２の下端部を、低摩
擦係数の材料にしておけばよい。
【００１８】前述の圧電素子２の歪みを検出する歪みゲ
ージ８，９は、各々独立に構成されたブリッジ回路２
０，２１の一辺に電気的に接続し、ブリッジ回路２０，
２１の出力側にモニタ１６，１７を接続し、モニタ１
６，１７の出力側に演算部１８を接続し、演算部１８の
出力は、警告装置を備えたモニタ１９に入力してある。
ージ８，９は、各々独立に構成されたブリッジ回路２
０，２１の一辺に電気的に接続し、ブリッジ回路２０，
２１の出力側にモニタ１６，１７を接続し、モニタ１
６，１７の出力側に演算部１８を接続し、演算部１８の
出力は、警告装置を備えたモニタ１９に入力してある。
【００１９】ブリッジ回路２０，２１は、それぞれ菱形
の３辺に固定抵抗が接続され、菱形の残りの１辺に歪み
ゲージ８，９を電気的に接続し、これにより圧電素子２
の歪みを検出する。
の３辺に固定抵抗が接続され、菱形の残りの１辺に歪み
ゲージ８，９を電気的に接続し、これにより圧電素子２
の歪みを検出する。
【００２０】ブリッジ回路２０は、歪みゲージ８により
圧電素子２のＺ軸方向の歪みが検出されたとき、これに
より抵抗値が変化することから、この抵抗値変化に比例
した電位差が出力される。ブリッジ回路２１は、同様で
歪みゲージ９により圧電素子２のＸ軸方向の歪みが検出
されたとき、これにより抵抗値が変化することから、こ
の抵抗値変化に比例した電位差が出力される。モニタ１
６，１７は、ブリッジ回路２０，２１の出力を表示する
と共に、これを演算部１８に出力する。演算部１８にお
いては、次に述べる（１）式によりねじれ歪み（ねじれ
応力）εTXが演算される。
圧電素子２のＺ軸方向の歪みが検出されたとき、これに
より抵抗値が変化することから、この抵抗値変化に比例
した電位差が出力される。ブリッジ回路２１は、同様で
歪みゲージ９により圧電素子２のＸ軸方向の歪みが検出
されたとき、これにより抵抗値が変化することから、こ
の抵抗値変化に比例した電位差が出力される。モニタ１
６，１７は、ブリッジ回路２０，２１の出力を表示する
と共に、これを演算部１８に出力する。演算部１８にお
いては、次に述べる（１）式によりねじれ歪み（ねじれ
応力）εTXが演算される。
【００２１】いま、歪みゲージ８で検出される歪みをε
Z 、歪みゲージ９で検出される歪みをεX 、圧電素子２
のポアソン比をν、圧縮歪みをεC 、ねじれ歪みεTXと
すると、εZ とεX は次の式で表せ、 εZ ＝εC εX ＝εTX＋νεC ねじれ歪みεTXは次の式で分離される。
Z 、歪みゲージ９で検出される歪みをεX 、圧電素子２
のポアソン比をν、圧縮歪みをεC 、ねじれ歪みεTXと
すると、εZ とεX は次の式で表せ、 εZ ＝εC εX ＝εTX＋νεC ねじれ歪みεTXは次の式で分離される。
【００２２】 εX −νεZ ＝（εTX＋νεC ）−ν（εC ） ＝εTX …（１） εZ とεX をモニタ１６，１７で表示すると同時に、そ
れらの信号を演算部１８に導いて（１）式を演算し、そ
の結果をモニタ１９に表示すると共に警告を発生する。
ねじれ歪みεTXがゼロになるように予圧バー１２を調節
して、εZ をモニタしていき、目標予圧よりわずかに大
きい予圧を掛けておく。そこで、蓋５を完全に閉め込ん
でしまう。このとき、皿バネ７の目標予圧より大きい予
圧が加わり、大きく歪んでおり、皿バネ７が蓋５に接触
しないようになっている。このため、圧電素子２にねじ
れ応力が掛からない。蓋５が完全に閉まってから予圧バ
ー１２を外し、皿バネ７は力が開放されたことにより伸
張するが、皿バネ７が蓋５の底にぶつかり、伸張が阻ま
れ、目標予圧が保持できる。
れらの信号を演算部１８に導いて（１）式を演算し、そ
の結果をモニタ１９に表示すると共に警告を発生する。
ねじれ歪みεTXがゼロになるように予圧バー１２を調節
して、εZ をモニタしていき、目標予圧よりわずかに大
きい予圧を掛けておく。そこで、蓋５を完全に閉め込ん
でしまう。このとき、皿バネ７の目標予圧より大きい予
圧が加わり、大きく歪んでおり、皿バネ７が蓋５に接触
しないようになっている。このため、圧電素子２にねじ
れ応力が掛からない。蓋５が完全に閉まってから予圧バ
ー１２を外し、皿バネ７は力が開放されたことにより伸
張するが、皿バネ７が蓋５の底にぶつかり、伸張が阻ま
れ、目標予圧が保持できる。
【００２３】図５は、本発明の圧電アクチュエータの第
２実施例を示す断面図であり、図１の実施例と異なる点
は、新たに上蓋１１を追加したものである。具体的に
は、上蓋１１の中央位置にピストン挿通穴１１ａを形成
するが、このピストン挿通穴１１ａは、ピストン６の凸
部の外径よりわずかに大きくしておき、Ｚ軸に垂直な力
がピストン６に加わっても、ピストン６が上蓋１１にぶ
っかり、圧電素子２にはＺ軸に垂直な力が１００％掛か
るのを減少させ、曲げ応力による圧電素子２の破損のお
それを減少できる。さらに、有底筒状のケースは、圧電
素子３の固定を容易にするために、台座３を着脱可能に
してもよい。
２実施例を示す断面図であり、図１の実施例と異なる点
は、新たに上蓋１１を追加したものである。具体的に
は、上蓋１１の中央位置にピストン挿通穴１１ａを形成
するが、このピストン挿通穴１１ａは、ピストン６の凸
部の外径よりわずかに大きくしておき、Ｚ軸に垂直な力
がピストン６に加わっても、ピストン６が上蓋１１にぶ
っかり、圧電素子２にはＺ軸に垂直な力が１００％掛か
るのを減少させ、曲げ応力による圧電素子２の破損のお
それを減少できる。さらに、有底筒状のケースは、圧電
素子３の固定を容易にするために、台座３を着脱可能に
してもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、ねじれ応力を圧電素子
に掛けることなく、圧電素子に予圧を与えることがで
き、引っ張り応力による圧電素子の破損の確率を減少で
きる圧電アクチュエータおよびその組み立て方法を提供
することができる。
に掛けることなく、圧電素子に予圧を与えることがで
き、引っ張り応力による圧電素子の破損の確率を減少で
きる圧電アクチュエータおよびその組み立て方法を提供
することができる。
【図１】本発明による圧電アクチュエータの第１実施例
を示す断面図。
を示す断面図。
【図２】本発明方法に使用する圧電アクチュエータの予
圧調整装置の概略構成を示す図。
圧調整装置の概略構成を示す図。
【図３】図２の圧電アクチュエータの予圧調整装置の一
例を示す回路図。
例を示す回路図。
【図４】本発明による圧電アクチュエータに予圧を与え
る前の状態を説明するための図。
る前の状態を説明するための図。
【図５】本発明による圧電アクチュエータの第２実施例
を示す断面図。
を示す断面図。
【図６】従来の圧電アクチュエータが組込まれた変位拡
大装置の１例を示す図。
大装置の１例を示す図。
【図７】図６の圧電アクチュエータを示す断面図。
１…圧電アクチュエータ、２…圧電素子、３…台座、４
…ケース、５…蓋、６…ピストン、７…皿バネ、８，９
…歪みゲージ、１１…上蓋、１６，１７，１９…モニ
タ、１８…演算部、２０，２１…ブリッジ回路。
…ケース、５…蓋、６…ピストン、７…皿バネ、８，９
…歪みゲージ、１１…上蓋、１６，１７，１９…モニ
タ、１８…演算部、２０，２１…ブリッジ回路。
Claims (3)
- 【請求項１】 有底筒状のケースと、 このケース内部に収納されると共にケース底面に固定さ
れ、電界を印加するとそれ自体が伸縮する圧電素子と、 前記ケース内部で前記圧電素子の反固定側に設けられ、
前記圧電素子の伸縮に伴って移動するピストンと、 前記ケースの開口端側に、前記圧電素子の伸縮方向に進
退自在でかつ所定位置に固定可能な固定部材と、 この固定部材と前記ピストンとの間に設けられ、前記圧
電素子に対して予圧を与える弾性体と、 を具備した圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 弾性体は皿バネまたはコイルバネのいず
れかである請求項１記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項３】 有底筒状のケースと、 このケース内部に収納されると共にケース底面に固定さ
れ、電界を印加するとそれ自体が伸縮する圧電素子と、 前記ケース内部で前記圧電素子の反固定側に設けられ、
前記圧電素子の伸縮に伴って移動するピストンと、 前記ケースの開口端側に、前記圧電素子の伸縮方向に進
退自在でかつ所定位置に固定可能な固定部材と、 この固定部材と前記ピストンとの間に設けられ、前記圧
電素子に対して予圧を与える弾性体と、 を具備した圧電アクチュエータであって、 予め予圧部材によって外部から前記弾性体に対して予圧
をかけた後、前記固定部材を所定の位置に位置決めし、
その後前記予圧部材による予圧を解除することを特徴と
する圧電アクチュエータの組み立て方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6182497A JPH0846260A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 圧電アクチュエータおよびその組み立て方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6182497A JPH0846260A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 圧電アクチュエータおよびその組み立て方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0846260A true JPH0846260A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16119331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6182497A Withdrawn JPH0846260A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 圧電アクチュエータおよびその組み立て方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0846260A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004297042A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ、その製造方法及びインジェクタ |
-
1994
- 1994-08-03 JP JP6182497A patent/JPH0846260A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004297042A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ、その製造方法及びインジェクタ |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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