JPH0848037A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法ならびに記録装置 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法ならびに記録装置Info
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- JPH0848037A JPH0848037A JP18574194A JP18574194A JPH0848037A JP H0848037 A JPH0848037 A JP H0848037A JP 18574194 A JP18574194 A JP 18574194A JP 18574194 A JP18574194 A JP 18574194A JP H0848037 A JPH0848037 A JP H0848037A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 液流路パターンとなるべき領域の周囲に第１
の固体層を設け、該固体層より大きい膜厚で液流路パタ
ーン状に第２の固体層を設けて液流路パターンの形成を
行うことでインクジェット記録ヘッド用の液流路パター
ンを形成する。 【効果】 インクジェット記録ヘッドにおいて、裾部の
ない高アスペクト比の吐出口を安定して形成でき、液流
路のパターン状固体層を１度の露光・現像で形成するこ
とができる。
の固体層を設け、該固体層より大きい膜厚で液流路パタ
ーン状に第２の固体層を設けて液流路パターンの形成を
行うことでインクジェット記録ヘッド用の液流路パター
ンを形成する。 【効果】 インクジェット記録ヘッドにおいて、裾部の
ない高アスペクト比の吐出口を安定して形成でき、液流
路のパターン状固体層を１度の露光・現像で形成するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録小液滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法に関する。
式に用いる記録小液滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板上に液流路のパターン状に固体層を
設け、固体層が設けられたその基板上に液流路構成部材
の少なくとも一部を設け、前記固体層を基板より除去す
ることによって液流路パターンを形成する工程を含むイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法において、基板上に
設ける液流路のパターン状固体層は、ポジ型の感光性レ
ジストを基板上にスピンコートによって塗布し、これを
パターニングすることによって、あるいは非感光性物質
を基板上に塗布し、その上に感光性樹脂を塗布し、パタ
ーニングし、非感光性物質をドライエッチング・ウェッ
トエッチングによってパターニングするという手法が用
いられていた。
設け、固体層が設けられたその基板上に液流路構成部材
の少なくとも一部を設け、前記固体層を基板より除去す
ることによって液流路パターンを形成する工程を含むイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法において、基板上に
設ける液流路のパターン状固体層は、ポジ型の感光性レ
ジストを基板上にスピンコートによって塗布し、これを
パターニングすることによって、あるいは非感光性物質
を基板上に塗布し、その上に感光性樹脂を塗布し、パタ
ーニングし、非感光性物質をドライエッチング・ウェッ
トエッチングによってパターニングするという手法が用
いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インク
ジェット記録ヘッドの高精細・高画質に伴って、ノズル
の高密度化および高アスペクト比の吐出口が求められる
ようになり、それに伴って、従来の液流路形成方法では
以下のような問題が生じるようになってきた。
ジェット記録ヘッドの高精細・高画質に伴って、ノズル
の高密度化および高アスペクト比の吐出口が求められる
ようになり、それに伴って、従来の液流路形成方法では
以下のような問題が生じるようになってきた。
【０００４】（１）高アスペクト比のノズル形成におい
て、パターン状固体層にポジ型感光性レジストを用いた
場合、レジストに対するＵＶ透過率の限界から、膜厚が
２０μｍを超えるあたりから、パターン下部が裾を引い
た形状になる傾向がある。図３にその様子を示した。基
板１０１上に塗布されたレジスト２０１にマスクＣ（１
５７）をとしてＵＶ光を露光した後、現像して得たのが
レジストパターン２１１である。
て、パターン状固体層にポジ型感光性レジストを用いた
場合、レジストに対するＵＶ透過率の限界から、膜厚が
２０μｍを超えるあたりから、パターン下部が裾を引い
た形状になる傾向がある。図３にその様子を示した。基
板１０１上に塗布されたレジスト２０１にマスクＣ（１
５７）をとしてＵＶ光を露光した後、現像して得たのが
レジストパターン２１１である。
【０００５】図３に示したように、パターンの下部は裾
状の形状になる。露光量を多くしても、あるいは現像時
間を長くしても、露光時のレジスト発泡・現像時のレジ
ストの細りなどの現象が生じるばかりで、裾部は残って
しまう。２度の露光・２度の現像（すなわち同じレジス
ト膜を２度パターニングして１つのレジスト膜を形成す
る）しても、１度目と２度目のパターニングのアライメ
ントが難しく、寸法精度が悪い。裾部は、液流路構成部
材と基板の接着面積を減少させ、剥がれの原因となるば
かりでなく、形状の再現性が悪いので、生産において一
定の形状では吐出口を形成することが難しい。
状の形状になる。露光量を多くしても、あるいは現像時
間を長くしても、露光時のレジスト発泡・現像時のレジ
ストの細りなどの現象が生じるばかりで、裾部は残って
しまう。２度の露光・２度の現像（すなわち同じレジス
ト膜を２度パターニングして１つのレジスト膜を形成す
る）しても、１度目と２度目のパターニングのアライメ
ントが難しく、寸法精度が悪い。裾部は、液流路構成部
材と基板の接着面積を減少させ、剥がれの原因となるば
かりでなく、形状の再現性が悪いので、生産において一
定の形状では吐出口を形成することが難しい。
【０００６】（２）基板上に液流路のパターン状固体層
として非感光性物質を塗布し、これをその上部に形成し
たレジストによって、ウェットエッチングあるいはドラ
イエッチングによってパターニングした場合、液流路の
パターン状固体層にポジレジストを用いるのとは異な
り、パターン下部に裾が形成されることはなく、さらに
１度のエッチングによってパターン形成が可能である。
しかしながら、３０μｍ程度の厚膜のパターンにおいて
は、ドライエッチングの場合はエッチングに長時間を必
要とし、ウェットエッチングの場合はサイドエッチング
の影響が大きく、インクジェット記録ヘッドのノズルを
形成するには不適当である。
として非感光性物質を塗布し、これをその上部に形成し
たレジストによって、ウェットエッチングあるいはドラ
イエッチングによってパターニングした場合、液流路の
パターン状固体層にポジレジストを用いるのとは異な
り、パターン下部に裾が形成されることはなく、さらに
１度のエッチングによってパターン形成が可能である。
しかしながら、３０μｍ程度の厚膜のパターンにおいて
は、ドライエッチングの場合はエッチングに長時間を必
要とし、ウェットエッチングの場合はサイドエッチング
の影響が大きく、インクジェット記録ヘッドのノズルを
形成するには不適当である。
【０００７】以上、（１）と（２）で述べたように、基
板上に液流路のパターン状に固体層を設ける工程と、固
体層が設けられた前記基板上に液流路構成部材の少なく
とも一部を設ける工程と、前記固体層を前記基板上より
除去する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、従来方法ではインクジェット記録ヘッド
に適用可能な高アスペクト比の液流路（吐出口）を作る
ことは非常に困難であった。
板上に液流路のパターン状に固体層を設ける工程と、固
体層が設けられた前記基板上に液流路構成部材の少なく
とも一部を設ける工程と、前記固体層を前記基板上より
除去する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、従来方法ではインクジェット記録ヘッド
に適用可能な高アスペクト比の液流路（吐出口）を作る
ことは非常に困難であった。
【０００８】そこで本発明は、液流路のパターン状固体
層の膜厚およびパターンのアスペクト比が大きい場合に
おいても、その断面形状をインクジェット記録ヘッドに
適用可能な形状にするパターニング方法を提供すること
を目的とする。
層の膜厚およびパターンのアスペクト比が大きい場合に
おいても、その断面形状をインクジェット記録ヘッドに
適用可能な形状にするパターニング方法を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に液流
路のパターン状に固体層を設け、固体層が設けられた該
基板上に液流路構成部材の少なくとも１部を設け、前記
固体層を基板より除去することによって液流路パターン
を形成する工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、液流路パターンとなるべき領域の周囲に
第１の固体層を設け、該固体層より大きい膜厚で液流路
パターン状に第２の固体層を設け、その後該第１の固体
層を除去することによって得られた第２の固体層を液流
路のパターンとすることを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法を提供する。以下、図面を用いて本
発明を詳細に説明する。
路のパターン状に固体層を設け、固体層が設けられた該
基板上に液流路構成部材の少なくとも１部を設け、前記
固体層を基板より除去することによって液流路パターン
を形成する工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、液流路パターンとなるべき領域の周囲に
第１の固体層を設け、該固体層より大きい膜厚で液流路
パターン状に第２の固体層を設け、その後該第１の固体
層を除去することによって得られた第２の固体層を液流
路のパターンとすることを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法を提供する。以下、図面を用いて本
発明を詳細に説明する。
【００１０】図４は、本発明の方法の基本工程を示す工
程図である。本図のように、基板１０２上に従来の方法
では形成される裾部より大きい膜厚で塗布されたレジス
ト１５１にマスクＤ（１５８）を通ったＵＶ光を露光す
る。それを現像することによって得たレジストパターン
（第１の固体層：十分に膜厚が薄いため、パターン断面
形状が矩形）１６１上にレジスト２０２を塗布し、それ
にマスクＥ（１５９）を通してＵＶ光を露光する。現像
の後、レジストパターン１６１を除去することによっ
て、液流路のパターン状固体層としてのレジストパター
ン（第２の固体層）２１２を得る。このように、裾部の
形成されやすいパターン下部にあらかじめ固体層を設
け、後でこの固体層を除去する方式をとると、第２の固
体層は、第１の固体層より上部だけがパターニングされ
れば良いことになる。従って、ＵＶ光が十分に透過する
膜厚となり、断面を矩形とすることができる。さらに
は、第２の固体層として非感光性物質をエッチングする
場合にも、エッチング時間が短くなるというメリットが
ある。最終的に、第１の固体層を除去すれば、インクジ
ェット記録ヘッドに適用可能な液流路のパターン状固体
層を得ることができる。これによって、上記の（１）お
よび（２）の問題点は解決される。この時、材料の選択
においては、（ア）第１の固体層の除去液によって第２
の固体層が除去されないこと、（イ）第２の固体層を形
成する際の加熱・露光などによっても第１の固体層がパ
ターンを維持できること、などを考慮する必要がある。
程図である。本図のように、基板１０２上に従来の方法
では形成される裾部より大きい膜厚で塗布されたレジス
ト１５１にマスクＤ（１５８）を通ったＵＶ光を露光す
る。それを現像することによって得たレジストパターン
（第１の固体層：十分に膜厚が薄いため、パターン断面
形状が矩形）１６１上にレジスト２０２を塗布し、それ
にマスクＥ（１５９）を通してＵＶ光を露光する。現像
の後、レジストパターン１６１を除去することによっ
て、液流路のパターン状固体層としてのレジストパター
ン（第２の固体層）２１２を得る。このように、裾部の
形成されやすいパターン下部にあらかじめ固体層を設
け、後でこの固体層を除去する方式をとると、第２の固
体層は、第１の固体層より上部だけがパターニングされ
れば良いことになる。従って、ＵＶ光が十分に透過する
膜厚となり、断面を矩形とすることができる。さらに
は、第２の固体層として非感光性物質をエッチングする
場合にも、エッチング時間が短くなるというメリットが
ある。最終的に、第１の固体層を除去すれば、インクジ
ェット記録ヘッドに適用可能な液流路のパターン状固体
層を得ることができる。これによって、上記の（１）お
よび（２）の問題点は解決される。この時、材料の選択
においては、（ア）第１の固体層の除去液によって第２
の固体層が除去されないこと、（イ）第２の固体層を形
成する際の加熱・露光などによっても第１の固体層がパ
ターンを維持できること、などを考慮する必要がある。
【００１１】
（実施例１）図１に、本発明の方法の１例の工程を示し
た。本図において、工程は（ａ）から（ｅ）の方向へ進
行し、その（ａ）〜（ｅ）のそれぞれの上側の図は工程
を示す断面図であり、下側の図はそれぞれの工程後の状
態を示す平面図である。
た。本図において、工程は（ａ）から（ｅ）の方向へ進
行し、その（ａ）〜（ｅ）のそれぞれの上側の図は工程
を示す断面図であり、下側の図はそれぞれの工程後の状
態を示す平面図である。
【００１２】図１（ａ）に示した基板１００上に、図１
（ｂ）に示したようにネガレジスト（例えば、東京応化
工業ＰＭＥＲ−Ｎ）１５０を塗布し、７０℃でベークし
た。次に、図１（ｃ）に示したように、前記のネガレジ
スト１５０にマスクＡ（図中の１５５）を用いて露光・
現像を行ってパターニングしてネガレジストパターン１
６０を形成した。この時、膜厚は１０μｍである。その
上に、図１（ｄ）に示すように、膜厚３０μｍのポジレ
ジスト（例えば、東京応化工業ＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９０
０）２００を形成し（７０℃ベーク）、それにマスクＢ
（図中の１５６）を用いて露光・現像を行い、図１
（ｅ）に示すように、ポジレジストパターン２１０を形
成した。ここで、ポジレジストパターン２１０の現像
は、１．５％ＮａＯＨ水溶液を用いたシャワーにて、２
７℃、３００秒の条件で行った。その現像の際に、同時
にネガレジストパターン１６０も膨潤剥離した（東京応
化工業ＰＭＥＲ−Ｎのメーカー推奨剥離条件はＮａＯＨ
４％、５０〜６０℃、スプレー法にて３０〜６０秒であ
る）。
（ｂ）に示したようにネガレジスト（例えば、東京応化
工業ＰＭＥＲ−Ｎ）１５０を塗布し、７０℃でベークし
た。次に、図１（ｃ）に示したように、前記のネガレジ
スト１５０にマスクＡ（図中の１５５）を用いて露光・
現像を行ってパターニングしてネガレジストパターン１
６０を形成した。この時、膜厚は１０μｍである。その
上に、図１（ｄ）に示すように、膜厚３０μｍのポジレ
ジスト（例えば、東京応化工業ＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９０
０）２００を形成し（７０℃ベーク）、それにマスクＢ
（図中の１５６）を用いて露光・現像を行い、図１
（ｅ）に示すように、ポジレジストパターン２１０を形
成した。ここで、ポジレジストパターン２１０の現像
は、１．５％ＮａＯＨ水溶液を用いたシャワーにて、２
７℃、３００秒の条件で行った。その現像の際に、同時
にネガレジストパターン１６０も膨潤剥離した（東京応
化工業ＰＭＥＲ−Ｎのメーカー推奨剥離条件はＮａＯＨ
４％、５０〜６０℃、スプレー法にて３０〜６０秒であ
る）。
【００１３】このようにして得たポジレジストパターン
２１０の断面形状は、インクジェット記録ヘッドの吐出
口に適用可能な、パターン下部に裾形状のない矩形であ
った（ＰＭＥＲ−Ｎを用いず、ＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９０
０のみを基板に塗布しパターニングした場合、パターン
下部には高さ約８μｍの裾部分が形成されてしまう）。
このポジレジストパターンを液流路のパターン状固体層
（第２の固体層）としてインクジェット記録ヘッドを形
成したところ、インク吐出量が各ノズルで安定した吐出
性能の優れたヘッドであった。
２１０の断面形状は、インクジェット記録ヘッドの吐出
口に適用可能な、パターン下部に裾形状のない矩形であ
った（ＰＭＥＲ−Ｎを用いず、ＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９０
０のみを基板に塗布しパターニングした場合、パターン
下部には高さ約８μｍの裾部分が形成されてしまう）。
このポジレジストパターンを液流路のパターン状固体層
（第２の固体層）としてインクジェット記録ヘッドを形
成したところ、インク吐出量が各ノズルで安定した吐出
性能の優れたヘッドであった。
【００１４】（実施例２）図２に、本発明の方法の別の
例の工程を示した。本図において、工程は（ａ）から
（ｆ）の方向へ進行し、その（ａ）〜（ｆ）のそれぞれ
の上側の図は工程を示す断面図であり、下側の図はそれ
ぞれの工程後の状態を示す平面図である。
例の工程を示した。本図において、工程は（ａ）から
（ｆ）の方向へ進行し、その（ａ）〜（ｆ）のそれぞれ
の上側の図は工程を示す断面図であり、下側の図はそれ
ぞれの工程後の状態を示す平面図である。
【００１５】図２（ａ）に示した基板１０３上にはＳＯ
Ｇ（スピンオングラス）１５２が１μｍ厚で塗布してあ
り、次に、図２（ｂ）に示すように膜厚１μｍでポジレ
ジストを塗布し、マスクＦ（図中の１５３）を用いて露
光・現像を行い、パターニングした。その後、フッ酸と
フッ化アンモニウムの混合液でＳＯＧをエッチングし、
ポジレジストをアセトンで剥離し、図２（ｃ）に示した
ようなパターン１６３を得た。その上に、図２（ｄ）に
示すように、膜厚２０μｍのポジレジスト２０３（例え
ばＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００：東京応化）を膜形成し、
それにマスクＧ（図中の１５４）を用いて露光・現像
し、図２（ｅ）に示すように、パターニングした後、Ｓ
ＯＧをフッ酸とフッ化アンモニウムの混合液で除去し、
図２（ｆ）に示すように、ポジレジストパターン２１３
を形成した。
Ｇ（スピンオングラス）１５２が１μｍ厚で塗布してあ
り、次に、図２（ｂ）に示すように膜厚１μｍでポジレ
ジストを塗布し、マスクＦ（図中の１５３）を用いて露
光・現像を行い、パターニングした。その後、フッ酸と
フッ化アンモニウムの混合液でＳＯＧをエッチングし、
ポジレジストをアセトンで剥離し、図２（ｃ）に示した
ようなパターン１６３を得た。その上に、図２（ｄ）に
示すように、膜厚２０μｍのポジレジスト２０３（例え
ばＰＭＥＲ Ｐ−ＡＲ９００：東京応化）を膜形成し、
それにマスクＧ（図中の１５４）を用いて露光・現像
し、図２（ｅ）に示すように、パターニングした後、Ｓ
ＯＧをフッ酸とフッ化アンモニウムの混合液で除去し、
図２（ｆ）に示すように、ポジレジストパターン２１３
を形成した。
【００１６】このようにして得たポジレジストパターン
２１３の断面形状は、インクジェット記録ヘッドの吐出
口に適用可能な、パターン下部とパターン上部で面積の
差が極めて小さい矩形であった。このポジレジストパタ
ーンを液流路のパターン状固体層としてインクジェット
記録ヘッドを形成したところ、インク吐出量が各ノズル
で安定した吐出性能の良好なヘッドであった。
２１３の断面形状は、インクジェット記録ヘッドの吐出
口に適用可能な、パターン下部とパターン上部で面積の
差が極めて小さい矩形であった。このポジレジストパタ
ーンを液流路のパターン状固体層としてインクジェット
記録ヘッドを形成したところ、インク吐出量が各ノズル
で安定した吐出性能の良好なヘッドであった。
【００１７】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて優れた効果をもたらすものである。
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて優れた効果をもたらすものである。
【００１８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【００１９】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【００２０】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。
【００２１】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。
【００２２】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。
【００２３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。
【００２４】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。
【００２５】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個を組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。
色等の主流色のみを記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個を組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。
【００２６】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであればよい。
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであればよい。
【００２７】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としてもよい。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としてもよい。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。
【００２８】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
り、（１）インクジェット記録ヘッドにおいて、裾部の
ない高アスペクト比の吐出口を安定して形成でき、
（２）インクジェット記録ヘッドにおいて、液流路のパ
ターン状固体層を１度の露光・現像で形成することがで
きて、吐出性能の優れたインジェット記録ヘッドを得る
ことができる。
り、（１）インクジェット記録ヘッドにおいて、裾部の
ない高アスペクト比の吐出口を安定して形成でき、
（２）インクジェット記録ヘッドにおいて、液流路のパ
ターン状固体層を１度の露光・現像で形成することがで
きて、吐出性能の優れたインジェット記録ヘッドを得る
ことができる。
【図１】実施例１の本発明の方法の工程を示す工程図で
ある。
ある。
【図２】実施例２の本発明の方法の工程を示す工程図で
ある。
ある。
【図３】従来のノズル形成法を示す模式図である。
【図４】本発明の方法の基本的な原理を示す工程図であ
る。
る。
１００〜１０３ 基板 １５０ ネガレジスト １５２ ＳＯＧ １５３ マスクＦ １５４ マスクＧ １５５ マスクＡ １５６ マスクＢ １５７ マスクＣ １５８ マスクＤ １５９ マスクＥ １６０ ネガレジストパターン １６１、２１１、２１２ レジストパターン １６３ ＳＯＧパターン ２００ ポジレジスト ２０１、１５１、２０２ レジスト ２０３ ポジレジスト ２１０、２１３ ポジレジストパターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３ Ｈ
Claims (9)
- 【請求項１】 基板上に液流路のパターン状に固体層を
設け、固体層が設けられた該基板上に液流路構成部材の
少なくとも１部を設け、前記固体層を基板より除去する
ことによって液流路パターンを形成する工程を含むイン
クジェット記録ヘッドの製造方法において、液流路パタ
ーンとなるべき領域の周囲に第１の固体層を設け、該固
体層より大きい膜厚で液流路パターン状に第２の固体層
を設け、その後該第１の固体層を除去することによって
得られた第２の固体層を液流路のパターンとすることを
特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 第１の固体層にネガ型感光性樹脂を用
い、第２の固体層にポジ型感光性樹脂を用いる請求項１
記載の製造方法。 - 【請求項３】 第１の固体層に非感光性物質を用い、第
２の固体層にポジ型感光性樹脂を用いる請求項１記載の
製造方法。 - 【請求項４】 第１の固体層にネガ型感光性樹脂を用
い、第２の固体層に非感光性物質を用いる請求項１記載
の製造方法。 - 【請求項５】 第１の固体層にポジ型感光性樹脂を用
い、第２の固体層に非感光性物質を用いる請求項１記載
の製造方法。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか１項に記載
の方法で形成されたインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項７】 インク吐出エネルギー発生素子が電気エ
ネルギーを与えることによって発熱し、インクに状態変
化を生ぜしめて吐出を行なわせるための電気熱変換体で
ある、請求項６記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項８】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
ることを特徴とする、請求項６記載のインクジェット記
録ヘッド。 - 【請求項９】 記録媒体の被記録面に対向してインクを
吐出するためのインク吐出口が設けられている請求項６
に記載の記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための
部材とを少なくとも具備する記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18574194A JPH0848037A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法ならびに記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18574194A JPH0848037A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法ならびに記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0848037A true JPH0848037A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16176053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18574194A Pending JPH0848037A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法ならびに記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0848037A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008087475A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-04-17 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
-
1994
- 1994-08-08 JP JP18574194A patent/JPH0848037A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008087475A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-04-17 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
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