JPH0848935A - 反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法 - Google Patents
反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法Info
- Publication number
- JPH0848935A JPH0848935A JP6187163A JP18716394A JPH0848935A JP H0848935 A JPH0848935 A JP H0848935A JP 6187163 A JP6187163 A JP 6187163A JP 18716394 A JP18716394 A JP 18716394A JP H0848935 A JPH0848935 A JP H0848935A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- meth
- acrylic acid
- antireflection film
- fluorine
- antireflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- -1 acrylic ester Chemical class 0.000 claims abstract description 29
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 9
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 15
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Natural products OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 claims description 11
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 6
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 abstract 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 3
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 abstract 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 abstract 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 abstract 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 50
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 22
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 10
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 9
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 7
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 7
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 7
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 7
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 231100000987 absorbed dose Toxicity 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- GETTZEONDQJALK-UHFFFAOYSA-N (trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC=C1 GETTZEONDQJALK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLIDVCMBCGBIEY-UHFFFAOYSA-N 1-penten-3-one Chemical compound CCC(=O)C=C JLIDVCMBCGBIEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Natural products CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- URFLCXSTNZSALZ-UHFFFAOYSA-N [F].C(C(=C)C)(=O)O Chemical compound [F].C(C(=C)C)(=O)O URFLCXSTNZSALZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWYSJTTWCUXHQO-UHFFFAOYSA-N [F].OC(=O)C=C Chemical compound [F].OC(=O)C=C QWYSJTTWCUXHQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002211 ultraviolet spectrum Methods 0.000 description 2
- MRIKSZXJKCQQFT-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-2,2-dimethylpropyl) prop-2-enoate Chemical compound OCC(C)(C)COC(=O)C=C MRIKSZXJKCQQFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGIFKTBXQCDWCQ-ONEGZZNKSA-N (E)-4-oxo-4-(1,1,1-trifluoro-3-methylbutan-2-yl)oxybut-2-enoic acid Chemical compound CC(C)C(C(F)(F)F)OC(=O)\C=C\C(O)=O KGIFKTBXQCDWCQ-ONEGZZNKSA-N 0.000 description 1
- GJYIHWJUBAGIOW-ONEGZZNKSA-N (E)-4-oxo-4-[1,1,1-trifluoro-4-methyl-2-(trifluoromethyl)pentan-3-yl]oxybut-2-enoic acid Chemical compound FC(F)(F)C(C(F)(F)F)C(C(C)C)OC(=O)\C=C\C(O)=O GJYIHWJUBAGIOW-ONEGZZNKSA-N 0.000 description 1
- QIROQPWSJUXOJC-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6-undecafluoro-6-(trifluoromethyl)cyclohexane Chemical compound FC(F)(F)C1(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F QIROQPWSJUXOJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQJGSPVYVGXTJW-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5,6-hexafluorocyclohexane Chemical compound FC1C(F)C(F)C(F)C(F)C1F PQJGSPVYVGXTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000000180 1,2-diols Chemical class 0.000 description 1
- SJBBXFLOLUTGCW-UHFFFAOYSA-N 1,3-bis(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C(F)(F)F)=C1 SJBBXFLOLUTGCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxybutane Chemical compound CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MJIJSGQFNSJUCM-UHFFFAOYSA-N 2,2,3-trichloro-1,4-difluoro-3-(fluoromethyl)butane Chemical compound ClC(C(CF)(CF)Cl)(CF)Cl MJIJSGQFNSJUCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGDSVSMVIYBBHP-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenehexanenitrile;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.CCCCC(=C)C#N KGDSVSMVIYBBHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCGDQQXKVVZLII-UHFFFAOYSA-N 4,4,5,5,5-pentafluoro-3-methylpentane-1,2-diol prop-2-enoic acid Chemical compound C(C=C)(=O)O.CC(C(C(F)(F)F)(F)F)C(CO)O ZCGDQQXKVVZLII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGHDLJAZIIFENW-UHFFFAOYSA-N 4-[1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-(4-hydroxy-3-prop-2-enylphenyl)propan-2-yl]-2-prop-2-enylphenol Chemical group C1=C(CC=C)C(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C(CC=C)=C1 QGHDLJAZIIFENW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNRSQFWYPSFVPW-UHFFFAOYSA-N 5-(4-cyanobutyldiazenyl)pentanenitrile Chemical compound N#CCCCCN=NCCCCC#N QNRSQFWYPSFVPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RIWVQCHKVYZAHK-UHFFFAOYSA-N CC(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)C(CO)O.C(C=C)(=O)O Chemical compound CC(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)C(CO)O.C(C=C)(=O)O RIWVQCHKVYZAHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- HIPRJVRYWKNSBC-UHFFFAOYSA-N FC(C(O)O)(C(C(C)(F)F)(F)F)F.C(C=C)(=O)O Chemical compound FC(C(O)O)(C(C(C)(F)F)(F)F)F.C(C=C)(=O)O HIPRJVRYWKNSBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGTCOFQXBXEMPP-UHFFFAOYSA-N FC(CC(CO)O)(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)F.C(C=C)(=O)O Chemical compound FC(CC(CO)O)(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)F.C(C=C)(=O)O DGTCOFQXBXEMPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N abcn Chemical compound C1CCCCC1(C#N)N=NC1(C#N)CCCCC1 KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N acrylic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium peroxydisulfate Substances [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VAZSKTXWXKYQJF-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)OOS([O-])=O VAZSKTXWXKYQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000012662 bulk polymerization Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N citraconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C\C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- 229940018557 citraconic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012933 diacyl peroxide Substances 0.000 description 1
- 150000005690 diesters Chemical class 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007720 emulsion polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- YCUBDDIKWLELPD-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2,2-dimethylpropanoate Chemical compound CC(C)(C)C(=O)OC=C YCUBDDIKWLELPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFSIMBWBBOJPJG-UHFFFAOYSA-N ethenyl octadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC=C AFSIMBWBBOJPJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005670 ethenylalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- PBZROIMXDZTJDF-UHFFFAOYSA-N hepta-1,6-dien-4-one Chemical compound C=CCC(=O)CC=C PBZROIMXDZTJDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-NSCUHMNNSA-N mesaconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C/C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-UHFFFAOYSA-N methylfumaric acid Natural products OC(=O)C(C)=CC(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N n-vinylcarbazole Chemical compound C1=CC=C2N(C=C)C3=CC=CC=C3C2=C1 KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTLDLKLSNZMTTA-UHFFFAOYSA-N octahydro-1h-4,7-methanoindene-1,5-diyldimethanol Chemical compound C1C2C3C(CO)CCC3C1C(CO)C2 OTLDLKLSNZMTTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- LOQGSOTUHASIHI-UHFFFAOYSA-N perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane Chemical compound FC(F)(F)C1(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(C(F)(F)F)C1(F)F LOQGSOTUHASIHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L potassium persulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- APISJFCEQXKYQT-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid 2,2,3,3-tetrafluorobutane-1,1-diol Chemical compound FC(C(O)O)(C(C)(F)F)F.C(C=C)(=O)O APISJFCEQXKYQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BALJNHQISBNSRL-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid 4,4,4-trifluorobutane-1,2-diol Chemical compound FC(CC(CO)O)(F)F.C(C=C)(=O)O BALJNHQISBNSRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLLNGCQIMYJMJD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid 5,5,5-trifluoro-4-(trifluoromethyl)pentane-1,2-diol Chemical compound FC(C(CC(CO)O)C(F)(F)F)(F)F.C(C=C)(=O)O WLLNGCQIMYJMJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VWFJOYGJOFVGKK-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid 5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-tridecafluorodecane-1,2-diol Chemical compound FC(CCC(CO)O)(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)F.C(C=C)(=O)O VWFJOYGJOFVGKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDBLLKGTDOWIOI-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid 6,6,6-trifluoro-5-(trifluoromethyl)hexane-1,2-diol Chemical compound FC(C(CCC(CO)O)C(F)(F)F)(F)F.C(C=C)(=O)O ZDBLLKGTDOWIOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 1
- CKPKEQOGKBPTSV-UHFFFAOYSA-M sodium;hydrogen peroxide;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].OO CKPKEQOGKBPTSV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 1
- 238000010557 suspension polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- FUSUHKVFWTUUBE-UHFFFAOYSA-N vinyl methyl ketone Natural products CC(=O)C=C FUSUHKVFWTUUBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Abstract
H3、Y1=フルオロアルキレン基、フルオロシクロアルキ
レン基、-C(Y2)HCH2-(Y2=フルオロアルキル基、フルオ
ロシクロアルキル基))と、式CH2=CX3-COO-Y3(X3=前
記X1,X2、Y3=前記Y2)及び/又は式化1(Z=分岐アルキ
ル基、シクロアルキル基、フルオロアルキル置換基を持
つ分岐アルキル基、シクロアルキル基、Y4=前記Y2)を5
0%以上有する重合体とを含む含フッ素硬化性塗液を重
合硬化した反射防止膜を、基材の片面又は両面に形成し
た反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法。 【化1】 【効果】前記減反射材は、外光反射を低減し、光透過性
を向上させることができ、耐候性、耐熱性、撥水撥油性
に優れ、表面硬度が高く、低屈折率なので、表示装置の
構成部品等に有用である。またこの製造法では、減反射
材を容易に連続的に生産できる。
Description
れ、高い表面硬度を有し、しかも低屈折率で、表示装置
の構成部品等に利用可能な減反射材及びその製造法に関
する。
率の物質からなる反射防止膜を可視光波長の1/4の膜
厚(約100nm)で形成すると、干渉効果により表面
反射が低減し、透過率が向上することが知られている。
このような原理は、液晶表示装置等の表面反射の低減が
必要とされる分野において、減反射フィルム及び減反射
シート等として応用されており、該減反射フィルム及び
減反射シートを生産するには、例えばフッ化マグネシウ
ム等を蒸着、スパッタリングする方法等が行われてい
る。しかしながら、これらの方法は、真空条件下にて行
われるため生産性が悪く、大面積化も困難である。
機系物質の連続塗布法を用いて作成する方法が提案され
ている。例えば、前述のような減反射を提供しうる低屈
折率の含フッ素重合体等の樹脂を溶解した溶液を塗布、
乾燥させる方法、あるいは前記含フッ素単量体を必要に
応じて溶液としてから塗布し、活性エネルギー線照射、
加熱等により重合させる方法等が考えられる。
媒可溶性の含フッ素重合体が必要である。従来汎用の含
フッ素重合体は溶媒不溶性で不透明なものが多く、前者
の方法には不向きであったが、近年、アクリル酸含フッ
素アルキルエステル重合体やメタクリル酸含フッ素アル
キルエステル重合体、商品名「サイトップ」(旭硝子
(株)製)、商品名「テフロンAF」(デュ・ポン社
製)、その他非結晶性共重合体等の溶媒可溶性である透
明含フッ素重合体等が合成され、減反射防止フィルムへ
の応用が試みられている(特開昭64−16873号公
報、特開平1−149808号公報、特開平6−115
023号公報)。しかしながら、これらの含フッ素重合
体はいずれも硬度が低いため、耐摩耗性が劣るという欠
点がある。
体としては、例えばアクリル酸含フッ素アルキルエステ
ルやメタクリル酸含フッ素アルキルエステル等が知られ
ているが、これらを重合硬化して得られる含フッ素重合
体は、前者の方法に用いる樹脂と同様硬度が低く、耐摩
耗性が著しく悪いという欠点がある。
は、いずれも線状構造を有するからである。従って、硬
度が高く、耐摩耗性に優れた含フッ素重合体を提供する
には、三次元網目構造を付与する必要がある。このよう
な網目状重合体は一般に溶媒不溶性であるため、被塗装
物に硬化固定させるには、含フッ素多官能重合性単量体
を塗布した後、重合硬化させる方法を選択しなければな
らない。しかしながら、重合性単量体を約100nmの
膜厚で塗布した後、重合硬化させる場合には、酸素によ
る重合阻害を受けやすくなる、通常の加熱あるいは紫外
線照射による重合硬化では単量体が重合する以前に蒸発
してしまう、単量体だけでは、塗布後塗液が直ちに基板
にはじかれてしまう等の問題が生じるので、通常行われ
る10〜1000μmの膜厚での重合硬化とは全く異な
り非常に困難である。
される反射防止膜の膜厚が約100nm程度の場合であ
っても、優れた耐候性、耐熱性等を示し、表面硬度が高
く、しかも光透過性で低屈折率を示す減反射材を提供す
ることにある。
ルムを生産性良く製造することができる方法を提供する
ことにある。
般式化7で表わされる含フッ素ジ(メタ)アクリル酸エ
ステル(以下ジ(メタ)アクリル酸エステル1と称す)
と、下記一般式化8で表わされる含フッ素(メタ)アク
リル酸エステル(以下(メタ)アクリル酸エステル2と
称す)及び/又は下記一般式化9で表わされるフマル酸
ジエステル(以下フマル酸ジエステル3と称す)を構成
単位として50%以上含有する重合体(以下重合体4と
称す)とを含む含フッ素硬化性塗液を重合硬化して得ら
れる反射防止膜を、基材の片面又は両面に形成したこと
を特徴とする反射防止膜を備えた減反射材が提供され
る。
リル酸エステル1と、前記(メタ)アクリル酸エステル
2及び/又は前記フマル酸ジエステル3を構成単位とし
て50%以上含有する重合体4とを含む含フッ素硬化性
塗液を基材に塗布し、電子線照射法により重合硬化させ
て基材の片面又は両面に反射防止膜を形成することを特
徴とする前記反射防止膜を備えた減反射材の製造法が提
供される。
性塗液を重合硬化して得られる反射防止膜を、基材の片
面又は両面に形成したものである。
般式化7で表わされるジ(メタ)アクリル酸エステル1
と、前記一般式化8で表わされる(メタ)アクリル酸エ
ステル2及び/又は前記一般式化9で表わされるフマル
酸ジエステル3を構成成分として特定量含有する重合体
4とを含む塗液であって、硬化させた際には、三次元網
目構造を呈し、ガラス転移温度が高く、耐熱性、耐候性
等に優れた硬化被膜を得ることができる。前記一般式化
7、化8及び化9において、Y1及びY2の炭素数が15
以上の場合には製造が困難である。
ては、例えばジ(メタ)アクリル酸−2,2,2−トリ
フルオロエチルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリ
ル酸−2,2,3,3,3−ペンタフルオロプロピルエ
チレングリコール、ジ(メタ)アクリル酸−2,2,
3,3,4,4,4,−ヘプタフルオロブチルエチレン
グリコール、ジ(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,
4,4,5,5,5−ノナフルオロペンチルエチレング
リコール、ジ(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,
4,4,5,5,6,6,6−ウンデカフルオロヘキシ
ルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリル酸−2,
2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,7−ト
リデカフルオロヘプチルエチレングリコール、ジ(メ
タ)アクリル酸−2,2,3,3,4,4,5,5,
6,6,7,7,8,8,8−ペンタデカフルオロオク
チルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリル酸−3,
3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−ト
リデカフルオロオクチルエチレングリコール、ジ(メ
タ)アクリル酸−2,2,3,3,4,4,5,5,
6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10−
ノナデカフルオロデシルエチレングリコール、ジ(メ
タ)アクリル酸−3,3,4,4,5,5,6,6,
7,7,8,8,9,9,10,10,10−ヘプタデ
カフルオロデシルエチレングリコール、ジ(メタ)アク
リル酸−2−トリフルオロメチル−3,3,3−トリフ
ルオロプロピルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリ
ル酸−3−トリフルオロメチル−4,4,4−トリフル
オロブチルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリル酸
−1−メチル−2,2,3,3,3−ペンタフルオロプ
ロピルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリル酸−1
−メチル−2,2,3,3,4,4,4−ヘプタフルオ
ロブチルエチレングリコール、ジ(メタ)アクリル酸−
2,2,3,3−テトラフルオロブタンジオール、ジ
(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,4,4−ヘキサ
フルオロペンタンジオール、ジ(メタ)アクリル酸−
2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロヘキ
サンジオール、ジ(メタ)アクリル酸−2,2,3,
3,4,4,5,5,6,6−デカフルオロヘプタンジ
オール、ジ(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,4,
4,5,5,6,6,7,7−ドデカフルオロオクタン
ジオール、ジ(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,
4,4,5,5,6,6,7,7,8,8−テトラデカ
フルオロノナンジオール、ジ(メタ)アクリル酸−2,
2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,
8,9,9−ヘキサデカフルオロデカンジオール、ジ
(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,4,4,5,
5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10−オ
クタデカフルオロウンデカンジオール、ジ(メタ)アク
リル酸−2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,
7,7,8,8,9,9,10,10,11,11−エ
イコサフルオロドデカンジオール等を好ましく挙げるこ
とができ、使用に際しては単独若しくは混合物として用
いることができる。
製するには、例えば相当する含フッ素エポキシと(メ
タ)アクリル酸との通常の開環反応により容易に得るこ
とができるヒドロキシ(メタ)アクリル酸エステルと、
(メタ)アクリル酸とを通常のエステル化反応させる方
法、相当する含フッ素1,2−ジオールと(メタ)アク
リル酸とを通常のエステル化反応させる方法、あるいは
相当する含フッ素ジオールと(メタ)アクリル酸とを通
常のエステル化反応させる方法等により容易に得ること
ができる。
エステル2及び/又はフマル酸ジエステル3により構成
される構成単位を50重量%以上、好ましくは70重量
%以上含む重合体であって、他の共重合可能なモノマー
により構成される構成単位を50重量%以下含んでいて
も良く、各構成単位はランダムでもブロックでも良い。
この際(メタ)アクリル酸エステル2及び/又はフマル
酸ジエステル3で構成される構成単位が50重量%未満
の場合には、ジ(メタ)アクリル酸エステル1の相溶性
が悪くなり、均一な塗膜が得られない。また前記(メ
タ)アクリル酸エステル2及びフマル酸ジエステル3の
両方の構成単位を含む場合の各構成単位の配合割合は、
合計が50重量%以上となれば特に限定されるものでは
ない。
(メタ)アクリル酸エステル2としては、例えば(メ
タ)アクリル酸−2,2,2−トリフルオロエチル、
(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,3−ペンタフル
オロプロピル、(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,
4,4,4−ヘプタフルオロブチル、(メタ)アクリル
酸−2,2,3,3,4,4,5,5,5−ノナフルオ
ロペンチル、(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,
4,4,5,5,6,6,6−ウンデカフルオロヘキシ
ル、(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,7−トリデカフルオロヘプチ
ル、(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,8,8,8−ペンタデカフル
オロオクチル、(メタ)アクリル酸−3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,8,8,8−トリデカフルオ
ロオクチル、(メタ)アクリル酸−2,2,3,3,
4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,1
0,10,10−ノナデカフルオロデシル、(メタ)ア
クリル酸−3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,
8,8,9,9,10,10,10−ヘプタデカフルオ
ロデシル、(メタ)アクリル酸−2−トリフルオロメチ
ル−3,3,3−トリフルオロプロピル、(メタ)アク
リル酸−3−トリフルオロメチル−4,4,4−トリフ
ルオロブチル、(メタ)アクリル酸−1−メチル−2,
2,3,3,3−ペンタフルオロプロピル、(メタ)ア
クリル酸−1−メチル−2,2,3,3,4,4,4−
ヘプタフルオロブチル等を好ましく挙げることができ、
使用に際しては単独若しくは混合物として用いることが
できる。
記フマル酸ジエステル3としては、例えばフマル酸イソ
プロピル−2,2,2−トリフルオロエチル、フマル酸
イソプロピル−2,2,3,3,3−ペンタフルオロプ
ロピル、フマル酸イソプロピル−2,2,3,3,4,
4,4−ヘプタフルオロブチル、フマル酸イソプロピル
−2,2,3,3,4,4,5,5,5−ノナフルオロ
ペンチル、フマル酸イソプロピル−2,2,3,3,
4,4,5,5,6,6,6−ウンデカフルオロヘキシ
ル、フマル酸イソプロピル−2,2,3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,7−トリデカフルオロヘプチ
ル、フマル酸イソプロピル−2,2,3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,8,8,8−ペンタデカフル
オロオクチル、フマル酸イソプロピル−3,3,4,
4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−トリデカフ
ルオロオクチル、フマル酸イソプロピル−2,2,3,
3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,
9,10,10,10−ノナデカフルオロデシル、フマ
ル酸イソプロピル−3,3,4,4,5,5,6,6,
7,7,8,8,9,9,10,10,10−ヘプタデ
カフルオロデシル、フマル酸イソプロピル−2−トリフ
ルオロメチル−3,3,3−トリフルオロプロピル、フ
マル酸イソプロピル−3−トリフルオロメチル−4,
4,4−トリフルオロブチル、フマル酸イソプロピル−
1−メチル−2,2,3,3,3−ペンタフルオロプロ
ピル、フマル酸イソプロピル−1−メチル−2,2,
3,3,4,4,4−ヘプタフルオロブチル、フマル酸
−tert−ブチル−2,2,2−トリフルオロエチ
ル、フマル酸−tert−ブチル−2,2,3,3,3
−ペンタフルオロプロピル、フマル酸−tert−ブチ
ル−2,2,3,3,4,4,4−ヘプタフルオロブチ
ル、フマル酸−tert−ブチル−2,2,3,3,
4,4,5,5,5−ノナフルオロペンチル、フマル酸
−tert−ブチル−2,2,3,3,4,4,5,
5,6,6,6−ウンデカフルオロヘキシル、フマル酸
−tert−ブチル−2,2,3,3,4,4,5,
5,6,6,7,7,7−トリデカフルオロヘプチル、
フマル酸−tert−ブチル−2,2,3,3,4,
4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−ペンタデカ
フルオロオクチル、フマル酸−tert−ブチル−3,
3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−ト
リデカフルオロオクチル、フマル酸−tert−ブチル
−2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,
8,8,9,9,10,10,10−ノナデカフルオロ
デシル、フマル酸−tert−ブチル−3,3,4,
4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,
10,10−ヘプタデカフルオロデシル、フマル酸−t
ert−ブチル−2−トリフルオロメチル−3,3,3
−トリフルオロプロピル、フマル酸−tert−ブチル
−3−トリフルオロメチル−4,4,4−トリフルオロ
ブチル、フマル酸−tert−ブチル−1−メチル−
2,2,3,3,3−ペンタフルオロプロピル、フマル
酸−tert−ブチル−1−メチル−2,2,3,3,
4,4,4−ヘプタフルオロブチル等を好ましく挙げる
ことができ、使用に際しては単独若しくは混合物として
用いることができる。
構成単位となりうる前記他の共重合可能なモノマーとし
ては、オレフィン、(メタ)アクリル酸及びそれらのア
ルキルエステル;フマル酸、マレイン酸、シトラコン
酸、メサコン酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸等
の不飽和多塩基酸及びそれらのアルキルエステル、脂肪
酸のビニルエステル、スチレン類、ハロゲン化ビニル、
ハロゲン化ビニリデン、ビニルアルキルエーテル、ビニ
ルアルキルケトン、ブタジエン類等を好ましく挙げるこ
とができ、具体的には、例えばエチレン、プロピレン、
アクリル酸メチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸メ
チル、メタクリル酸ブチルアクリロニトリル、メタクリ
ロニトリル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、ステア
リン酸ビニル、ピバリン酸ビニル、スチレン、α−メチ
ルスチレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸アリー
ル、ビニルブチルエーテル、ビニルメチルケトン、ビニ
ルエチルケトン、ビニルカルバゾール、1,3−ブタジ
エン、イソプレン等を好ましく挙げることができる。
られるラジカル重合法等により容易に合成できる。具体
的には、例えばアゾビスイソブチロニトリル、アゾビス
シクロヘキサンカルボニトリル、アゾビスバレロニトリ
ル等のアゾ系ラジカル重合開始剤;過酸化ベンゾイル、
tert−ブチルヒドルパーオキシド、クメンパーオキ
シド、ジアシルパーオキシド等の有機過酸化物系ラジカ
ル重合開始剤;過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム等
の無機系ラジカル重合開始剤;過酸化水素−水酸化ナト
リウム系等のレドックス系開始剤等の各種ラジカル重合
開始剤系を用いて、溶液重合、塊状重合、乳化重合、懸
濁重合又は放射線重合等の公知のラジカル重合法等によ
り得ることができる。この際反応温度は10〜100
℃、反応時間は1〜100時間であるのが好ましい。こ
のようにして得られる前記重合体4の平均分子量は10
00〜300000であるのが望ましい。
前述の反応を阻害しない限り、含フッ素溶媒を含有して
いても良く、該含フッ素溶媒としては、具体的には例え
ばトリフルオロメチルベンゼン、1,3−ビス(トリフ
ルオロメチル)ベンゼン、ヘキサフルオロベンゼン、ヘ
キサフルオロシクロヘキサン、ペルフルオロジメチルシ
クロヘキサン、ペルフルオロメチルシクロヘキサン、オ
クタフルオロデカリン、1,1,2−トリクロロ−1,
2,2−トリフルオロメチルエタン等を挙げることがで
き、また商品名「アサヒクリン(AK225)」(旭硝
子(株)製)等の市販品を用いることもできる。
前記ジ(メタ)アクリル酸エステル1と、前記重合体4
との配合割合は、ジ(メタ)アクリル酸エステル1 1
00重量部に対して、重合体4が好ましくは0.001
〜50重量部、特に0.01〜25重量部が望ましい。
前記重合体4の配合割合が0.001重量部未満の場合
には薄膜塗装性を改善することができず、50重量部を
超えると硬化後の表面硬度が低下するので好ましくな
い。また、前記含フッ素溶媒の配合割合は、特に限定さ
れないが、好ましくは含フッ素硬化性塗液中の硬化性成
分全量に対し3〜40重量倍が望ましい。
は、必要に応じて他の硬化性成分として通常用いられる
エネルギー線硬化性樹脂等を配合することができる。例
えば重合性不飽和基を2個以上有する多官能性モノマ
ー、具体的には、ジ(メタ)アクリル酸ヘキサンジオー
ル、ジ(メタ)アクリル酸ノナンジオール、ジ(メタ)
アクリル酸ネオペンチルグリコール、ジ(メタ)アクリ
ル酸トリシクロデカンジメタノール、トリ(メタ)アク
リル酸ペンタエリスリトール、テトラ(メタ)アクリル
酸ペンタエリスリトール、ヘキサ(メタ)アクリル酸ジ
ペンタエリスリトール、トリス(アクリロキシエチル)
イソシアヌレート、ジビニルベン、ジエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート等を好ましく挙げることがで
きる。前記他の硬化性成分の配合割合は、前記ジ(メ
タ)アクリル酸エステル1 100重量部に対して10
0重量部以下、特に50重量部以下であるのが好まし
い。硬化性成分の配合割合が100重量部を超える場合
には、重合硬化した際に屈折率が上昇し、所望の反射防
止膜が形成できないので好ましくない。
液を重合硬化して得られるものであって、屈折率が好ま
しくは1.44以下、特に好ましくは1.41以下で、
膜厚は好ましくは70〜150nm、特に好ましくは9
0〜110nmである。
フッ素硬化性塗液を基材に塗布し、電子線照射法により
重合硬化させて基材の片面又は両面に反射防止膜を形成
する方法により製造できる。この際、前記塗布は通常行
われる塗布方法、例えばロールコート法、グラビアコー
ト法、ディップコート法及びスピンコート法等により、
乾燥時の膜厚が好ましくは70〜150nmとなるよう
にする。また電子線照射の条件として、加速器電圧は1
00〜300kVが好ましく、特に125〜175kV
が望ましい。更にビーム電流は1〜50mAが好まし
く、特に10〜30mAが望ましい。更にまた吸収線量
は1〜100Mradが好ましく、特に5〜50Mra
dが望ましい。
はないが、フィルム状又はシート状が良く、例えばポリ
エチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチ
ルメタクリレート、トリアセチルセルロース、ポリオレ
フィン、ポリアミド、ポリ塩化ビニル等を好ましく挙げ
ることができる。
により求めることができる。例えばポリエチレンテレフ
タレート(以下PETと略す)の屈折率は1.65であ
るから、その反射率は6.0%となる。
記式数2により求めることができる。例えば減反射PE
Tの分光反射率の最小値を1%以下にするためには、反
射防止膜の屈折率を1.42以下とする。
射率の最小値を示す波長λ(nm)との関係を下記式数
3により求めることができる。分光反射率の最小値を示
す波長とは、可視光領域、即ち380〜800nmであ
るが、可視光領域全域にわたり減反射を満足させるため
には500〜650nmであることが望ましい。例えば
屈折率1.39の反射防止膜を用いた波長550nmに
分光反射率の最小値を呈す減反射材を作製するには反射
防止膜の膜厚を99nmにすればよい。
記ジ(メタ)アクリル酸エステル1と重合体4とを含む
含フッ素硬化性塗液を重合硬化させて得られる反射防止
膜を片面又は両面に形成しているので、外光反射を低減
し、光透過性を向上させることができ、耐候性、耐熱
性、撥水撥油性に優れ、更に表面硬度が高いので耐摩耗
性にも優れ、しかも低屈折率なので、表示装置の構成部
品等に有用である。またこの減反射材の製造法は、従来
のフッ化マグネシウムの蒸着法に比べ真空にする必要が
ないので、低コスト且つ大面積化が容易で、連続的に生
産することができる。
明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,9−ヘプタ
デカフルオロノニルエチレングリコール(以下F17EG
DAと略す)10重量部、ポリ(アクリル酸−3,3,
4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,1
0,10,10−ヘプタデカフルオロデシル)(以下P
F17Aと略す)1重量部、トリフルオロメチルベンゼン
89重量部を混合し含フッ素硬化性塗液を調製した。次
いでマイクログラビアコーター(康井精機社製)を用い
てポリエチレンテレフタレートフィルム(以下PETフ
ィルムと略す)の片面に乾燥後の膜厚が100nmにな
るように塗布し、電子線照射器(岩崎電気社製)により
加速器電圧125kV、ビーム電流35mAで吸収線量
30Mradの電子線を照射、硬化して反射防止膜を調
製して片面減反射PETフィルムを得た。得られた片面
減反射PETフィルムの分光反射率、両面分光反射率、
分光透過率、鉛筆硬度及び密着性を以下の方法により測
定した。また別に、前記調製した含フッ素硬化性塗液を
乾燥後の厚さが500μmになるようガラス上に塗布
し、電子線照射器(岩崎電気社製)により加速電圧17
5kV、ビーム電流5mAで吸収線量5Mradの電子
線を照射、硬化して、反射防止膜を調製した。得られた
反射防止膜の屈折率を以下の方法により測定した。
ついたUVスペクトル(日本分光社製、商品名「U−b
est 35」)により測定した。但し塗布面を測定面
とし裏面は反射を遮るためサンドペーパーで荒らし黒色
マジックで着色して測定した。結果を図1に示す。また
550nmにおける減反射フィルム及び基材フィルムの
反射率を測定した。結果を表1に示す。
に、裏面の処理を行わずに測定した。結果を図2に示
す。
ーレットパッカード社製、商品名「HP89530A
J」)により測定した。結果を図3に示す。
って測定した。結果を表1に示す。
K5400に従って行った。結果を表1に示す。
防止膜をガラスから剥離し、アッベ屈折計(アタゴ株式
会社)を用いて屈折率を測定した。結果を表1に示す。
の未塗布面に、実施例1と同様に反射防止膜を調製して
両面減反射PETフィルムを得、両面分光反射率、透過
率を測定した。結果を図2、図3に示す。
Tフィルムの分光反射率、両面分光反射率、分光透過率
を測定した。結果を図1、図2、図3に示す。また55
0nmにおける分光反射率を測定した。結果を表1に示
す。
ボネート(以下PCと略す)フィルム(実施例3)、ポ
リメチルメタクリレート(以下PMMAと略す)フィル
ム(実施例4)又はトリアセチルセルロース(以下TA
Cと略す)フィルム(実施例5)を用いた以外は、実施
例1と同様に反射防止膜を調製して片面減反射フィルム
を得、片面減反射フィルム及び基材フィルムの550n
mにおける分光反射率、片面減反射フィルムの鉛筆硬
度、密着性を実施例1と同様に測定した。結果を表1に
示す。
び重合体4を用いた以外、また実施例8においては表1
に示す他の共重合成分を用いた以外は、実施例1と同様
にして片面減反射PETフィルム及び反射防止膜を得、
片面減反射材の550nmにおける分光反射率、鉛筆硬
度、密着性及び反射防止膜の屈折率を測定した。結果を
表1に示す。
比較するグラフである。
分光反射率を比較するグラフである。
透過率を比較するグラフである。
Claims (3)
- 【請求項1】 下記一般式化1で表わされる含フッ素ジ
(メタ)アクリル酸エステルと、 【化1】 下記一般式化2で表わされる含フッ素(メタ)アクリル
酸エステル 【化2】 及び/又は下記一般式化3で表わされるフマル酸ジエス
テル 【化3】 を構成単位として50%以上含有する重合体とを含む含
フッ素硬化性塗液を重合硬化して得られる反射防止膜
を、基材の片面又は両面に形成したことを特徴とする反
射防止膜を備えた減反射材。 - 【請求項2】 前記反射防止膜の屈折率が1.44以下
で、且つ膜厚が70〜150nmであることを特徴とす
る請求項1記載の減反射材。 - 【請求項3】 下記一般式化4で表わされる含フッ素ジ
(メタ)アクリル酸エステルと、 【化4】 下記一般式化5で表わされる含フッ素(メタ)アクリル
酸エステル 【化5】 及び/又は下記一般式化6で表わされるフマル酸ジエス
テル 【化6】 を構成単位として50%以上含有する重合体とを含む含
フッ素硬化性塗液を基材に塗布し、電子線照射法により
重合硬化させて基材の片面又は両面に反射防止膜を形成
することを特徴とする反射防止膜を備えた減反射材の製
造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18716394A JP3572671B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18716394A JP3572671B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0848935A true JPH0848935A (ja) | 1996-02-20 |
| JP3572671B2 JP3572671B2 (ja) | 2004-10-06 |
Family
ID=16201228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18716394A Expired - Fee Related JP3572671B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | 反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3572671B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003020303A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Kuraray Co Ltd | 活性エネルギー線硬化性組成物及びそれを用いた積層体の製造方法 |
| WO2003022906A1 (fr) * | 2001-09-11 | 2003-03-20 | Daikin Industries, Ltd. | Composes fluores insatures, fluoropolymeres et compositions durcissables les contenant |
| WO2004002735A1 (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-08 | Tdk Corporation | 複合ハードコート層付き物体及び複合ハードコート層の形成方法 |
| WO2004002734A1 (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-08 | Tdk Corporation | 複合ハードコート層付き物体及び複合ハードコート層の形成方法 |
| US7133218B2 (en) | 2001-09-20 | 2006-11-07 | Shinmaywa Industries, Ltd. | Optical system |
| JP2007265440A (ja) * | 2007-07-06 | 2007-10-11 | Nof Corp | 減反射性タッチパネル |
| JP2008039803A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | 反射防止フィルム |
| JP2010085844A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | 光学用積層フィルム |
-
1994
- 1994-08-09 JP JP18716394A patent/JP3572671B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003020303A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Kuraray Co Ltd | 活性エネルギー線硬化性組成物及びそれを用いた積層体の製造方法 |
| WO2003022906A1 (fr) * | 2001-09-11 | 2003-03-20 | Daikin Industries, Ltd. | Composes fluores insatures, fluoropolymeres et compositions durcissables les contenant |
| US7133218B2 (en) | 2001-09-20 | 2006-11-07 | Shinmaywa Industries, Ltd. | Optical system |
| WO2004002735A1 (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-08 | Tdk Corporation | 複合ハードコート層付き物体及び複合ハードコート層の形成方法 |
| WO2004002734A1 (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-08 | Tdk Corporation | 複合ハードコート層付き物体及び複合ハードコート層の形成方法 |
| US7399530B2 (en) | 2002-06-27 | 2008-07-15 | Tdk Corporation | Object with composite hard coating layer and method of forming composite hard coating layer |
| EP1520689A4 (en) * | 2002-06-27 | 2009-06-24 | Tdk Corp | OBJECT HAVING A HARD COMPOSITE COATING LAYER AND METHOD FOR PRODUCING SUCH A LAYER |
| EP1520688A4 (en) * | 2002-06-27 | 2009-06-24 | Tdk Corp | HARD LINKED COATED LAYER OBJECT AND METHOD FOR PRODUCING THE HARD LINKED COATING LAYER |
| JP2008039803A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | 反射防止フィルム |
| JP2007265440A (ja) * | 2007-07-06 | 2007-10-11 | Nof Corp | 減反射性タッチパネル |
| JP2010085844A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | 光学用積層フィルム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3572671B2 (ja) | 2004-10-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3184220B2 (ja) | 弗素化高分子組成物 | |
| DE60214297T2 (de) | Antireflektierender, kratzfester Mehrschichtverbund | |
| KR100237255B1 (ko) | 광학 기능성 재료 및 그의 제조 방법 | |
| US5198267A (en) | Fluoropolymer blend anti-reflection coatings and coated articles | |
| JPH07126552A (ja) | 含フッ素硬化性塗液及び含フッ素硬化被膜 | |
| JP2009202456A (ja) | 積層シート | |
| WO2005095098A1 (ja) | 薄膜積層体 | |
| JPH0848935A (ja) | 反射防止膜を備えた減反射材及びその製造法 | |
| KR19990036199A (ko) | 함플루오르 다관능 (메타)아크릴산에스테르, 조성물, 저굴절률 재료 및 감반사 필름 | |
| WO1997030021A1 (fr) | Esters (meth)acryliques polyfonctionnels fluores, composition de fluoromonomeres, materiau possedant un faible indice de refraction et film faiblement reflechissant | |
| EP0021369B1 (en) | Process for producing a shaped resin article having a mat surface | |
| JP4144096B2 (ja) | 減反射材およびその製造方法 | |
| JPH1192750A (ja) | 帯電防止性組成物及び帯電防止性反射防止フィルム | |
| JPH06136062A (ja) | 含フッ素硬化性組成物及び含フッ素硬化被膜 | |
| JP4000698B2 (ja) | 減反射性タッチパネル、製造方法 | |
| JP2000111716A (ja) | 高コントラスト性減反射材、製造方法および用途 | |
| JP3724144B2 (ja) | 含フッ素単量体組成物及び減反射フィルム | |
| JP2007008088A (ja) | 表面保護層及びそれを有する反射防止膜 | |
| JP4640566B2 (ja) | 偏光板 | |
| JP3724132B2 (ja) | 無機化合物微粒子含有含フッ素単量体組成物及び減反射フィルム | |
| JP3374495B2 (ja) | 反射防止用含フッ素硬化被膜及び反射防止被膜用含フッ素硬化性組成物 | |
| JPH11274792A (ja) | 電磁波シールド性減反射材およびその製造方法 | |
| JP4078763B2 (ja) | 含フッ素硬化性塗液、用途及び製造方法 | |
| JP2007265440A (ja) | 減反射性タッチパネル | |
| JP3017595B2 (ja) | 反射防止性物品及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040608 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040621 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 Year of fee payment: 4 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100709 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100709 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110709 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120709 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120709 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |