JPH08503542A - 物理量の変化を検出する装置 - Google Patents

物理量の変化を検出する装置

Info

Publication number
JPH08503542A
JPH08503542A JP6510681A JP51068193A JPH08503542A JP H08503542 A JPH08503542 A JP H08503542A JP 6510681 A JP6510681 A JP 6510681A JP 51068193 A JP51068193 A JP 51068193A JP H08503542 A JPH08503542 A JP H08503542A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holographic
detection device
optical resonator
physical quantity
change
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP6510681A
Other languages
English (en)
Inventor
コンスタンチン コウトソミトロス
マルコ フランキ
Original Assignee
コンミュノート エコノミック ウーロペーヌ (セーウーウー)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コンミュノート エコノミック ウーロペーヌ (セーウーウー) filed Critical コンミュノート エコノミック ウーロペーヌ (セーウーウー)
Publication of JPH08503542A publication Critical patent/JPH08503542A/ja
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
  • Bus Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 温度、光強さ又は圧力などの物理量の変化を検出する装置。本発明によれば、この検出装置は、2枚のホログラフィックガラス板(各ホログラフィック板には三次元干渉構造が前もって記録されているとともに、これらのホログラフィック板はそれらの間に薄い空気層を介して互いに近接させられて、前記物理量が作用する)から成る干渉光共振器(6)と、コヒーレントビーム(2)を前記光共振器に向けるレーザビーム発振器(1)と、前記光共振器により反射された光(7)を捕えるか又は前記光共振器を横切り、物理量の変化による干渉縞の変化を示すことができる受け要素(8)とを包含する。

Description

【発明の詳細な説明】 物理量の変化を検出する装置 本発明は、温度、光強さ又は圧力などの物理量の変化を検出する装置に関し、 更に詳細には、より高い感知性を有することにより公知の検出装置とは相違する 物理量変化検出装置に関する。 物理量を測定するために、多くの種類のプローブが知られている。例えば、温 度は液体の膨張又は2つの金属間の膨張差によって測定することができる。また 、光強さは光ダイオードによって測定することができる。更に、圧力はコンデン サに関連したダイヤフラムによって測定することができる。しかし、これらの方 法及び従来知られている他の方法は、すべて、限定された感知性を有しているに すぎない。また、多くの場合において、おもな関心事として、それぞれの物理量 を絶対項で知ることではなくて、時間にともなう物理量の変化のみを知りたいこ とがある。 したがって、本発明の目的は、上述したような物理量の変化を検出する装置の 感知性を向上させることにある。本発明によれば、物理量検出装置は、2枚のホ ログラフィックガラス板(各ホログラフィック板には三次元干渉構造が前もって 記録されているとともに、これらのホログラフィック板はそれらの間に薄い空気 層を介して互いに近接させられて、前記物理量が作用する)から成る干渉光共振 器(オプティカルキャビティ)と、コヒーレントビームを前記光共振器に向ける レーザビーム発振器と、前記光共振器により反射された光を捕えるかまたは前記 光共振器を横切り、物理量の変化による干渉縞の変化を示すことができる受け要 素(レシーバ)とを包含することを特徴とする。 また、本発明の好適な実施例によれば、物理量変化検出装置は、必要な物理量 のみを測定するために、寄生振動に対して絶縁されているテーブルに置かれる。 更に、三次元干渉構造はホログラフィックレンズにより構成される。そして、一 方のホログラフィック板の三次元干渉構造は他方のホログラフィック板に対面し 、他方のホログラフィック板の三次元干渉構造は前記一方のホログラフィック板 と反対側の表面に記録される。 以下本発明を、図面に例示した実施例により詳細に説明する。 図1は、本発明による物理量変化検出装置を構成する要素の配置を図式的に示 す斜視図である。 図2は、図1に示される物理量変化検出装置に使用される光共振器の2枚のホ ログラフィック板を示す図である。 図3は、どのようにして三次元干渉構造が光共振器のホログラフィック板に記 録されるかを図式的に示す図である。 図1に示される物理量変化検出装置は、温度、光強さ又は圧力などの物理量の 非常に小さな振幅変化に応答できるようになっている。 この目的のために、物理量変化検出装置はレーザ発振器1を包含し、このレー ザ発振器1はコヒーレント光ビーム2を発散レンズ3に向けて放射する。この発 散レンズ3は、ソケット5に取付けられている光共振器6の主表面の大部分を照 射する発散ビーム4を作る。この光共振器6の詳細な構成については、図2を参 照して後述する。光共振器6で反射された光7は、表示スクリーン8上に受けら れる。この表示スクリーン8は、簡単な場合には、映写スクリーンによって構成 される。 図2は、図1の光共振器6を構成する2枚のホログラフィック板を示す。各ホ ログラフィック板は、三次元干渉構造が前もって記録されている写真乳剤で一方 の表面が被覆されているガラス基板、例えばホログラフィックレンズと呼ばれて いるガラス基板によって構成されている。これら2枚の三次元干渉構造の記録は 同一である。一方、すなわち第1のホログラフィック板のための写真乳剤は他方 、すなわち第2のホログラフィック板に対面する側の表面に施され、これに対し て、第2のホログラフィック板のための写真乳剤は第1のホログラフィック板と 反対側の表面に施されている。これらのホログラフィック板は長方形であり、そ の寸法は10.2×12.7cmとされ、またその厚さdは、1.5mmとされてい る。しかし、これに限定されるものではなく、例えば30×40cmの寸法及び3 .5mmの厚さを有するホログラフィック板を選択することができる。図2におい て、2枚のホログラフィック板は写真乳剤の配置を明瞭に示すためにそれらの間 に大きな距離を置いて示されているが、しかし、実際には、これらのホログラフ ィック板はそれらの間に非常に少量の空気のみを残して互いに近接されているも のである。そして、この少量の空気が2枚のホログラフィック板と協同して真の 光共振器を構成する。 図3は、どのようにしてホログラフィック板15に三次元干渉構造が記録され るかを図式的に示す。レーザ11は、コヒーレント光ビームをミラー12を介し て、半反射ミラーにより構成されているビームスプリッタ13に向ける。このビ ームスプリッタ13で分離された一方のビームは、空間フィルタ14を通してホ ログラフィック板15上の写真乳剤に直接当てられる。これに対して、ビームス プリッタ13で分離された他方のビームは、第2のミラ−12′によって反射さ せられて第2の空間フィルタ14′に向けられ、それから前記一方のビームとは 異なる入射角で前記写真乳剤により受けられる。そして、発散ビーム16及び1 6′の球面波は、協同して、ホログラフィック板15上の写真乳剤に三次元構造 を作る。ホログラフィック板15 は、それから、現像されて定着される。2枚のホログラフィック板は同じ方法で 製作され、それから、前述した光共振器6を構成するために組立てられる。 もし図1に示される配置が選択された場合には、縞の組織が表示スクリーン8 上で観察され、この縞の組織は、とりわけ、2枚のホログラフィック板間に封入 されている空気フィルムの厚さに依存する。 また、もし誰かが自分の指を光共振器6に1メートルの距離のところに近づけ た場合には、これは干渉縞の変化を生じさせるのに十分である。そして、この指 を引込めるとすぐに、縞はそれらの最初の位置に戻る。縞組織の応答時間は、光 共振器と前記指との間の距離に依存して、数分の1秒から数秒との間で変化する 。 本発明による物理量変化検出装置の感知性を示すための他の興味ある現象とし て、次のようなことがある。すなわち、もし人間が検出装置の正面に位置した場 合には、縞構造の変調が観察される。そして、もしこの人間が動かない場合には 、1秒よりも少ない時間の経過後、縞は安定する。そして、それから、もし検出 装置とこの人間との間に紙のシートが介入された場合には、縞は即座に反応し、 新しい形態に変化する。この紙のシートが再び取り除かれた後は、縞はそれらの 最初の位置に戻る。このような現象は、人間が一方において紙のシートとまた他 方において光キャビティ6との間の距離が1.8メートルまでの場合でも確かめ ら れている。 本発明による物理量変化検出装置の感知性の評価は、サーミスタとの比較によ り得られる。すなわち、サーミスタの最大局所温度解像度は約10-3℃である。 そして、サーミスタの正面に0.3mの距離を置いて人間が位置し、この人間と サーミスタとの間に紙のシートを介入した場合にも、サーミスタの出力信号は変 化しない。唯一人間がサーミスタから0.15m離れた場所に位置したときに、 応答信号が観察される。しかし、この応答は本発明による検出装置の場合よりも 相当に遅い。 なお、赤外線カメラは10-3℃の最大解像度を有しているものである。 本発明による物理量変化検出装置は、更に、光源をも感知することができる。 すなわち、もし光共振器、例えば図1の光共振器6の背面が10-3W/m2の特殊出 力の白色光によって照らされた場合には、これによりスクリーン8上の縞は明ら かに変形する。この検出装置の光信号に対する応答は、リアルタイム応答である 。もしレーザ発振器(図示せず)からの光が光共振器6に向けられ、またもしこ のレーザ発振器の光が変調させられた場合には、縞の対応する変調がスクリーン 8上で観察することができる。現在まで観察されている最も速い応答は約10ナ ノ秒であるが、しかし、この値は入手できるレーザ源の速度限界によるものであ る。 最後に、本発明による物理量変化検出装置は、周囲空気を介して機械圧力をも 感知することができる。すなわち、少なくとも10-8atの圧力変化を作る信号は 、スクリーン8上に縞の明らかな変調を作り出す。 本発明による物理量変化検出装置は、特に、1つ以上の物理量の変化を感知す ることができるものであり、もし特定の物理量が調査される場合には、他の物理 量の干渉を排除することが必要とされる。この目的のために、特に、例えば監視 区域近くを通過する道路交通により生じる寄生振動を排除することが有益である 。このような寄生振動に対して絶縁される重いコンクリートテーブルは実在して いる。 本発明は、上述した実施例に限定されるものではない。特に、本発明による物 理量変化検出装置は、スクリーン8の連続する観察から独立して使用できるもの である。すなわち、これは、スクリーン8に代えて、干渉計の絞りの別々の点で 入射光を測定する光電子増倍管又は光検出器を用いることにより行うことができ 、信号処理装置がそれから干渉縞の分布の変調を検出する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 温度、光強さ又は圧力などの物理量の変化を検出する装置において、 2枚のホログラフィックガラス板から成り、各ホログラフィック板には三次元 干渉構造が前もって記録されているとともに、これらのホログラフィック板はそ れらの間に薄い空気層を介して互いに近接させられて、前記物理量が作用する干 渉光共振器(6)と、 コヒーレントビーム(2)を前記光共振器に向けるレーザビーム発振器(1) と、 前記光共振器により反射された光(7)を捕えるか又は前記光共振器を横切り 、物理量の変化による干渉縞の変化を示すことができる受け要素(8)と、 を包含することを特徴とする検出装置。 2 請求項1に記載の検出装置において、寄生振動に対して絶縁されているテー ブルに置かれていることを特徴とする検出装置。 3 請求項1又は2に記載の検出装置において、三次元干渉構造はホログラフィ ックレンズにより構成されていることを特徴とする検出装置。 4 請求項1〜3のいずれか一項に記載の検出装置において、一方のホログラフ ィック板の三次元干渉構造は他方のホログラフィック板に対面し、他方のホログ ラフィック板の三次元干渉構造は前記一方のホログラフィック板と反対側の表面 に記録されていることを特 徴とする検出装置。
JP6510681A 1992-11-03 1993-10-27 物理量の変化を検出する装置 Expired - Lifetime JPH08503542A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LU88187A LU88187A1 (fr) 1992-11-03 1992-11-03 Détecteur de variations d'une grandeur physique
LU88187 1992-11-03
PCT/EP1993/002978 WO1994010538A1 (fr) 1992-11-03 1993-10-27 Detecteur de variations d'une grandeur physique

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08503542A true JPH08503542A (ja) 1996-04-16

Family

ID=19731379

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6510681A Expired - Lifetime JPH08503542A (ja) 1992-11-03 1993-10-27 物理量の変化を検出する装置

Country Status (10)

Country Link
EP (1) EP0667951B1 (ja)
JP (1) JPH08503542A (ja)
AT (1) ATE146276T1 (ja)
CA (1) CA2148608A1 (ja)
DE (1) DE69306593T2 (ja)
DK (1) DK0667951T3 (ja)
ES (1) ES2095677T3 (ja)
GR (1) GR3022535T3 (ja)
LU (1) LU88187A1 (ja)
WO (1) WO1994010538A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008506999A (ja) * 2004-07-19 2008-03-06 ケンブリッジ エンタープライズ リミテッド センサの呼びかけ信号

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10158859B4 (de) * 2001-11-30 2004-02-19 Fachhochschule Hildesheim/Holzminden/Göttingen Verfahren und Vorrichtung zur Analyse und Überwachung der Lichtintensitätsverteilung über den Querschnitt eines Laserstrahls

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4329058A (en) * 1979-01-22 1982-05-11 Rockwell International Corporation Method and apparatus for a Fabry-Perot multiple beam fringe sensor
JPS5793206A (en) * 1980-11-29 1982-06-10 Agency Of Ind Science & Technol Hologram rotational angle meter
JPS58106406A (ja) * 1981-12-21 1983-06-24 Sumitomo Electric Ind Ltd 光学的センサ
JPS58120101A (ja) * 1982-01-13 1983-07-16 Hitachi Ltd ホログラフイ干渉法による変位モ−ド把握方法
JPH02157635A (ja) * 1988-12-09 1990-06-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光波長安定度検査装置
DE3930554A1 (de) * 1989-09-13 1991-03-21 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur absoluten zweidimensionalen positions-messung
SU1702172A1 (ru) * 1990-03-12 1991-12-30 Ленинградское научно-производственное объединение "Буревестник" Способ голографического контрол однородности физико-механических свойств материалов

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008506999A (ja) * 2004-07-19 2008-03-06 ケンブリッジ エンタープライズ リミテッド センサの呼びかけ信号
US7923678B2 (en) 2004-07-19 2011-04-12 Cambridge Enterprise Limited Sensing method including interrogation of a holographic sensor

Also Published As

Publication number Publication date
EP0667951B1 (fr) 1996-12-11
DE69306593D1 (de) 1997-01-23
ATE146276T1 (de) 1996-12-15
EP0667951A1 (fr) 1995-08-23
ES2095677T3 (es) 1997-02-16
DE69306593T2 (de) 1997-04-03
WO1994010538A1 (fr) 1994-05-11
CA2148608A1 (fr) 1994-05-11
GR3022535T3 (en) 1997-05-31
DK0667951T3 (da) 1997-05-12
LU88187A1 (fr) 1994-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4160598A (en) Apparatus for the determination of focused spot size and structure
TW202129222A (zh) 混合式3d檢測系統
US20040061867A1 (en) Method and device for high-speed interferential microscopic imaging of an object
RU2363019C2 (ru) Способ и устройство для исследования поверхностных вибраций посредством перемещающегося спекл-интерферометра
JPS62182628A (ja) 干渉計
JPH07198339A (ja) 散乱表面を含んだ構造のフィルムの厚さ測定システム
US6219145B1 (en) Interferometric system for precision imaging of vibrating structures
US4678324A (en) Range finding by diffraction
EP0343158B1 (en) Range finding by diffraction
KR101050071B1 (ko) 측정 대상물을 측정하기 위한 거울 장치를 포함하는 간섭측정 장치
CN109974591B (zh) 采用颗粒微小位移测量装置测量细微颗粒产生位移的方法
JP4357002B2 (ja) 物体の方向を測定する方法および装置
EP0667951B1 (fr) Detecteur de variations d&#39;une grandeur physique
JP3325078B2 (ja) 非接触三次元形状計測装置
Garcia et al. Visualization of deformation by secondary speckle sensing
JPS598762B2 (ja) カンシヨウケイオシヨウシタソクテイホウ
EP0050144A4 (en) Method for measuring physical movement and surface parameters of a moving body.
JP2002508838A (ja) 干渉測定装置
JPH0452704Y2 (ja)
GB2048602A (en) Measuring flow velocity
JPH0238939A (ja) エキシマレーザ光用レンズ評価装置
GB2332744A (en) Decting laser beams
SU1435935A1 (ru) Способ определени геометрических размеров отражающих объектов
JPS5815104A (ja) 塗料層の層厚変化量測定方法
JPH0285704A (ja) 間隙測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071024

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024

Year of fee payment: 16

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024

Year of fee payment: 16

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131024

Year of fee payment: 17

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131024

Year of fee payment: 17