JPH085313A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JPH085313A JPH085313A JP13275594A JP13275594A JPH085313A JP H085313 A JPH085313 A JP H085313A JP 13275594 A JP13275594 A JP 13275594A JP 13275594 A JP13275594 A JP 13275594A JP H085313 A JPH085313 A JP H085313A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q40/00—Calibration, e.g. of probes
- G01Q40/02—Calibration standards and methods of fabrication thereof
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 損傷や汚染等による探針の劣化度を客観的に
判断できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【構成】 制御手段９は、観察サンプル１ｂの表面分析
に先立って、ＸＹ粗動ドライバ４ａを介してＸＹ粗動ス
テージ４を駆動し、数種類の断面形状を有する標準試料
を探針５ｂの直下に移動させる。次に、ＸＹ走査ドライ
バ３ａ及びＺ軸走査ドライバ２ａを介して、ＸＹ微動機
構３及びＺ軸微動ステージ２を駆動し、探針部と試料表
面との間の相互作用により生じる物理量を測定すること
で標準試料１ａ上の断面形状の測定を行う。そして、探
針の劣化度を示す情報として、測定された断面形状と予
め同一条件の基で正常な探針で測定された断面形状とが
比較して表示手段１０に表示される。
判断できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【構成】 制御手段９は、観察サンプル１ｂの表面分析
に先立って、ＸＹ粗動ドライバ４ａを介してＸＹ粗動ス
テージ４を駆動し、数種類の断面形状を有する標準試料
を探針５ｂの直下に移動させる。次に、ＸＹ走査ドライ
バ３ａ及びＺ軸走査ドライバ２ａを介して、ＸＹ微動機
構３及びＺ軸微動ステージ２を駆動し、探針部と試料表
面との間の相互作用により生じる物理量を測定すること
で標準試料１ａ上の断面形状の測定を行う。そして、探
針の劣化度を示す情報として、測定された断面形状と予
め同一条件の基で正常な探針で測定された断面形状とが
比較して表示手段１０に表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査型トンネル顕微鏡
（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等に代表される
走査型プローブ顕微鏡に関する。
（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等に代表される
走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来技術】走査型プローブ顕微鏡は、試料とこれに対
向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査する
ことにより、探針と試料表面との間の相互作用により生
じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの分
解能で測定するもので、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等がこれに該当する。
走査型トンネル顕微鏡は、試料とこれに対向配置した探
針との間に電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流
が一定になるよう探針又は試料を走査することにより、
試料表面の形状を原子レベルの分解能で観察するもので
ある。すなわち、上記トンネル電流が探針と試料との距
離によって一義的に定まるという性質を利用し、このト
ンネル電流が一定になるように探針又は試料の高さを圧
電素子等による精密駆動機構により制御しながら、この
探針又は試料を水平方向に走査することにより試料表面
の凹凸形状を原子レベルで測定するものである。
向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査する
ことにより、探針と試料表面との間の相互作用により生
じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの分
解能で測定するもので、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等がこれに該当する。
走査型トンネル顕微鏡は、試料とこれに対向配置した探
針との間に電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流
が一定になるよう探針又は試料を走査することにより、
試料表面の形状を原子レベルの分解能で観察するもので
ある。すなわち、上記トンネル電流が探針と試料との距
離によって一義的に定まるという性質を利用し、このト
ンネル電流が一定になるように探針又は試料の高さを圧
電素子等による精密駆動機構により制御しながら、この
探針又は試料を水平方向に走査することにより試料表面
の凹凸形状を原子レベルで測定するものである。
【０００３】また、原子間力顕微鏡は、カンチレバー等
によって支持される探針を試料表面に近づけることによ
り、探針先端の原子と試料表面の原子との間に生じる微
小な原子間力を測定し、上記原子間力が探針と試料との
距離によって一義的に定まるという性質を利用し、試料
表面に沿って走査しながらその原子間力が一定となるよ
う探針と試料間の距離を調節して、探針又は試料の高さ
方向の軌跡により試料表面の凹凸形状を原子レベルで測
定するものである。
によって支持される探針を試料表面に近づけることによ
り、探針先端の原子と試料表面の原子との間に生じる微
小な原子間力を測定し、上記原子間力が探針と試料との
距離によって一義的に定まるという性質を利用し、試料
表面に沿って走査しながらその原子間力が一定となるよ
う探針と試料間の距離を調節して、探針又は試料の高さ
方向の軌跡により試料表面の凹凸形状を原子レベルで測
定するものである。
【０００４】ここで、かかる走査型プローブ顕微鏡の性
能は探針の微妙な形状に敏感に影響されることから、探
針先端の損傷や汚染は、測定精度に多大な悪影響を与
え、本来四角の形状を有する穴が円形状に測定される等
といった問題を引き起こす。
能は探針の微妙な形状に敏感に影響されることから、探
針先端の損傷や汚染は、測定精度に多大な悪影響を与
え、本来四角の形状を有する穴が円形状に測定される等
といった問題を引き起こす。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、探針先
端の損傷や汚染は肉眼では判断することができないた
め、従来では、使用者が実際に測定した試料表面の画像
の劣化等から自己の経験等によって探針の良否を判断し
ていた。このため、その判断は専ら使用者の主観による
ところが多くなり、測定された試料表面の画像は、探針
の形状に依存した信頼性の低いものとなる。一方、測定
された画像の信頼性を向上させるためには、頻繁に探針
の交換を行わねばならず、不必要な探針の交換によるコ
ストの向上と探針交換による作業の煩雑化が生じる。
端の損傷や汚染は肉眼では判断することができないた
め、従来では、使用者が実際に測定した試料表面の画像
の劣化等から自己の経験等によって探針の良否を判断し
ていた。このため、その判断は専ら使用者の主観による
ところが多くなり、測定された試料表面の画像は、探針
の形状に依存した信頼性の低いものとなる。一方、測定
された画像の信頼性を向上させるためには、頻繁に探針
の交換を行わねばならず、不必要な探針の交換によるコ
ストの向上と探針交換による作業の煩雑化が生じる。
【０００６】そこで、本発明はこれらの問題点を解消す
るために創案されたものであって、損傷や汚染等による
探針の劣化度を客観的に判断できる走査型プローブ顕微
鏡を提供することを目的とする。
るために創案されたものであって、損傷や汚染等による
探針の劣化度を客観的に判断できる走査型プローブ顕微
鏡を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料とこれに
対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査す
ることにより、探針と試料表面との間の相互作用により
生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの
分解能で測定する走査型プローブ顕微鏡において、測定
対象となる試料と既知の表面凹凸形状を有する標準試料
を前記探針下へ切換え配置する駆動手段と、前記駆動手
段を介して前記標準試料を前記探針下へ配置すると共
に、前記標準試料または前記探針を走査し、前記標準試
料の表面形状を測定する制御手段と、得られた測定信号
と、予め同一条件の基で正常な探針で測定された標準信
号とから前記探針の劣化度を示す情報を表示する表示手
段とを備えたことを特徴とする。
対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査す
ることにより、探針と試料表面との間の相互作用により
生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの
分解能で測定する走査型プローブ顕微鏡において、測定
対象となる試料と既知の表面凹凸形状を有する標準試料
を前記探針下へ切換え配置する駆動手段と、前記駆動手
段を介して前記標準試料を前記探針下へ配置すると共
に、前記標準試料または前記探針を走査し、前記標準試
料の表面形状を測定する制御手段と、得られた測定信号
と、予め同一条件の基で正常な探針で測定された標準信
号とから前記探針の劣化度を示す情報を表示する表示手
段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明にかかる走査型プローブ顕微鏡の作用を
図１〜図３に基づいて説明する。
図１〜図３に基づいて説明する。
【０００９】制御手段９は、測定対象となる試料１ｂの
表面形状の測定に先立って、ＸＹ粗動ドライバ３ａを介
してＸＹ粗動ステージ４を駆動し、図２に示される数種
類の断面形状を有する標準試料１ａを探針５ｂの直下に
移動させる。次に、ＸＹ走査ドライバ４ａ及びＺ軸走査
ドライバ２ａを介して、ＸＹ微動機構３及びＺ軸微動機
構２を駆動し、探針５ｂと試料表面との間の相互作用に
より生じる物理量を測定することで標準試料１ａの断面
形状の測定を行う。そして、図３に示されるように、測
定された断面形状と予め同一条件の基で正常な探針で測
定された断面形状とが比較され、探針の劣化度を示す情
報として表示手段１０に表示される。
表面形状の測定に先立って、ＸＹ粗動ドライバ３ａを介
してＸＹ粗動ステージ４を駆動し、図２に示される数種
類の断面形状を有する標準試料１ａを探針５ｂの直下に
移動させる。次に、ＸＹ走査ドライバ４ａ及びＺ軸走査
ドライバ２ａを介して、ＸＹ微動機構３及びＺ軸微動機
構２を駆動し、探針５ｂと試料表面との間の相互作用に
より生じる物理量を測定することで標準試料１ａの断面
形状の測定を行う。そして、図３に示されるように、測
定された断面形状と予め同一条件の基で正常な探針で測
定された断面形状とが比較され、探針の劣化度を示す情
報として表示手段１０に表示される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図５に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１１】図１は、本発明にかかる走査型プローブ顕
微鏡の全体図を示したもので、１は試料ホルダで、測定
対象となる試料１ｂと探針５ｂの劣化度を測定するため
の標準試料１ａとが載置されている。
微鏡の全体図を示したもので、１は試料ホルダで、測定
対象となる試料１ｂと探針５ｂの劣化度を測定するため
の標準試料１ａとが載置されている。
【００１２】標準試料１ａには、例えば図２に示される
ように、予め微細加工を施すことにより複数の既知の凹
凸断面形状の溝Ｌｅｖ１〜Ｌｅｖ４が試料表面に形成さ
れ、これらは、探針５ｂの優劣の度合いの判断が可能と
なるよう、レベル番号が上がるほど溝幅が狭くなるよう
形成されている。
ように、予め微細加工を施すことにより複数の既知の凹
凸断面形状の溝Ｌｅｖ１〜Ｌｅｖ４が試料表面に形成さ
れ、これらは、探針５ｂの優劣の度合いの判断が可能と
なるよう、レベル番号が上がるほど溝幅が狭くなるよう
形成されている。
【００１３】２は、試料ホルダ１を介して標準試料１ａ
及び試料１ｂをＺ軸方向に微動させるためのＺ軸微動機
構であり、Ｚ軸ドライバ２ａにより駆動される。３は、
Ｚ軸微動機構と試料ホルダ１を介して標準試料１ａ及び
試料１ｂをＸ，Ｙ軸平面内で微動走査させるためのＸＹ
微動機構であり、ＸＹ走査ドライバ３ａにより駆動され
る。４は、探針５ｂ直下に標準試料１ａと試料１ｂとを
切換え配置するためのＸＹ粗動ステージで、ＸＹ粗動ド
ライバ４ａによって駆動される。
及び試料１ｂをＺ軸方向に微動させるためのＺ軸微動機
構であり、Ｚ軸ドライバ２ａにより駆動される。３は、
Ｚ軸微動機構と試料ホルダ１を介して標準試料１ａ及び
試料１ｂをＸ，Ｙ軸平面内で微動走査させるためのＸＹ
微動機構であり、ＸＹ走査ドライバ３ａにより駆動され
る。４は、探針５ｂ直下に標準試料１ａと試料１ｂとを
切換え配置するためのＸＹ粗動ステージで、ＸＹ粗動ド
ライバ４ａによって駆動される。
【００１４】５ａは、探針５ｂを取り換え可能に保持す
る探針ホルダである。６は、探針５ｂと試料表面との距
離を測定するための変位検出器である。ここで、探針５
ｂと試料表面間の距離は、例えば、走査型トンネル顕微
鏡であれば、探針５ｂと試料表面間に流れるトンネル電
流を、また、原子間力顕微鏡では探針５ｂと試料表面間
に生じる原子間力を検知することにより求められる。こ
れは、上述したように、トンネル電流又は原子間力が探
針と試料との距離によって一義的に定まるという性質を
利用したものである。
る探針ホルダである。６は、探針５ｂと試料表面との距
離を測定するための変位検出器である。ここで、探針５
ｂと試料表面間の距離は、例えば、走査型トンネル顕微
鏡であれば、探針５ｂと試料表面間に流れるトンネル電
流を、また、原子間力顕微鏡では探針５ｂと試料表面間
に生じる原子間力を検知することにより求められる。こ
れは、上述したように、トンネル電流又は原子間力が探
針と試料との距離によって一義的に定まるという性質を
利用したものである。
【００１５】７は、探針５ｂと試料表面との距離を示す
変位検出器６の出力が常に一定になるようにＺ軸ドライ
バ２ａを介してＺ軸微動機構２を駆動制御するためのサ
ーボ機構である。８はＡ／Ｄ変換部で、サーボ機構７の
出力をＡ／Ｄ変換し、制御手段９に出力する。
変位検出器６の出力が常に一定になるようにＺ軸ドライ
バ２ａを介してＺ軸微動機構２を駆動制御するためのサ
ーボ機構である。８はＡ／Ｄ変換部で、サーボ機構７の
出力をＡ／Ｄ変換し、制御手段９に出力する。
【００１６】９は、上述したＺ軸ドライバ２ａ，ＸＹ走
査ドライバ３ａ，及びＸＹ粗動ドライバ４ａを駆動制御
すると共に、測定対象となる試料のＸＹ平面での軌跡及
びＺ軸方向の軌跡から試料表面形状の測定を行う制御手
段である。また、この制御手段９は、正常な探針を用い
て、図２に示される標準試料１ａに形成された溝Ｌｅｖ
１〜Ｌｅｖ４の断面形状を測定したデータを予め保持し
ている。１０は、得られた測定データと、予め同一条件
の基で正常な探針を用いて測定されたデータとから探針
の劣化度を示す情報を表示する表示手段で、ＣＲＴ等に
より構成される。
査ドライバ３ａ，及びＸＹ粗動ドライバ４ａを駆動制御
すると共に、測定対象となる試料のＸＹ平面での軌跡及
びＺ軸方向の軌跡から試料表面形状の測定を行う制御手
段である。また、この制御手段９は、正常な探針を用い
て、図２に示される標準試料１ａに形成された溝Ｌｅｖ
１〜Ｌｅｖ４の断面形状を測定したデータを予め保持し
ている。１０は、得られた測定データと、予め同一条件
の基で正常な探針を用いて測定されたデータとから探針
の劣化度を示す情報を表示する表示手段で、ＣＲＴ等に
より構成される。
【００１７】次に、本発明の作用を制御手段９の動作を
示す図３のフローチャートに基づいて説明する。まず、
実際に測定対象となる試料１ｂの表面形状の測定に先だ
って、ＸＹ粗動ドライバ４ａを介してＸＹ粗動ステージ
４を駆動し、探針５ｂの直下に標準試料１ａを配置する
（Ｓ１）。そして、Ｚ軸ドライバ２ａ、Ｚ軸微動機構２
を介して標準試料１ａと探針５ｂの間を所定の距離に調
整した後、Ｚ軸ドライバ２ａをサーボ機構７の制御下に
置くと共に、ＸＹ走査ドライバ３ａを介してＸＹ微動機
構３を駆動し、図２に示される標準試料１ａに形成され
た溝Ｌｅｖ１〜Ｌｅｖ４の断面形状の測定を行う（Ｓ
２）。測定結果は、予め同一条件の基で正常な探針で測
定されたデータとの関係で探針５ｂの劣化度を示す情報
として表示手段１０に表示される（Ｓ３）。操作者は、
表示手段に示された情報を基に、探針５ｂが使用可能か
否かを判断し、使用可能と判断した場合は、試料１ｂに
ついて、本来の表面形状の測定を続行し、使用不能と判
断した場合は、探針５ｂの交換を行えばよい。
示す図３のフローチャートに基づいて説明する。まず、
実際に測定対象となる試料１ｂの表面形状の測定に先だ
って、ＸＹ粗動ドライバ４ａを介してＸＹ粗動ステージ
４を駆動し、探針５ｂの直下に標準試料１ａを配置する
（Ｓ１）。そして、Ｚ軸ドライバ２ａ、Ｚ軸微動機構２
を介して標準試料１ａと探針５ｂの間を所定の距離に調
整した後、Ｚ軸ドライバ２ａをサーボ機構７の制御下に
置くと共に、ＸＹ走査ドライバ３ａを介してＸＹ微動機
構３を駆動し、図２に示される標準試料１ａに形成され
た溝Ｌｅｖ１〜Ｌｅｖ４の断面形状の測定を行う（Ｓ
２）。測定結果は、予め同一条件の基で正常な探針で測
定されたデータとの関係で探針５ｂの劣化度を示す情報
として表示手段１０に表示される（Ｓ３）。操作者は、
表示手段に示された情報を基に、探針５ｂが使用可能か
否かを判断し、使用可能と判断した場合は、試料１ｂに
ついて、本来の表面形状の測定を続行し、使用不能と判
断した場合は、探針５ｂの交換を行えばよい。
【００１８】ここで、探針５ｂの劣化度を示す情報の表
示としては、例えば、図４に示されるように、予め、正
常な探針により得られたデータと、これから使用する探
針について得られた測定データとを線種或いは色を変え
て比較表示することが考えられる。このように表示すれ
ば、どのレベルの断面まで探針５ｂの測定能力があるか
一目で判定でき、測定対象となる試料、即ち非常に精度
の高い表面形状の測定が必要とされる試料や、それほど
高い精度が必要とされない試料に応じて、探針５ｂの使
用可能性が判断できるため、不必要な探針の交換をする
ことなく、常に信頼性の高い測定結果が得ることが可能
となる。図４に示す例では、溝Ｌｅｖ３の断面形状まで
の測定が可能なことが判断できる。
示としては、例えば、図４に示されるように、予め、正
常な探針により得られたデータと、これから使用する探
針について得られた測定データとを線種或いは色を変え
て比較表示することが考えられる。このように表示すれ
ば、どのレベルの断面まで探針５ｂの測定能力があるか
一目で判定でき、測定対象となる試料、即ち非常に精度
の高い表面形状の測定が必要とされる試料や、それほど
高い精度が必要とされない試料に応じて、探針５ｂの使
用可能性が判断できるため、不必要な探針の交換をする
ことなく、常に信頼性の高い測定結果が得ることが可能
となる。図４に示す例では、溝Ｌｅｖ３の断面形状まで
の測定が可能なことが判断できる。
【００１９】図５は、探針５ｂの劣化度を制御手段９が
自動的に判断する場合の例を示すフローチャートであ
る。まず、制御手段９は、不図示の入力手段等から、測
定対象となる試料の測定精度のレベルを入力する（Ｓ１
１）。このレベルは標準試料１ａに形成した種々の開口
幅を有する溝のレベルに対応させたものとすればよい。
つぎに、ＸＹ粗動ドライバ４ａを介してＸＹ粗動ステー
ジ４を駆動し、探針５ｂの直下に標準試料１ａを配置す
る（Ｓ１２）。そして、Ｚ軸ドライバ２ａ、Ｚ軸微動機
構２を介して標準試料１ａと探針５ｂを所定の距離に調
整した後、Ｚ軸ドライバ２ａをサーボ機構７の制御下に
置くと共に、ＸＹ走査ドライバ３ａを介してＸＹ微動機
構３を駆動し、標準試料１ａに形成された溝Ｌｅｖ１〜
Ｌｅｖ４の断面形状の測定を行う（Ｓ１３）。得られた
測定データは、予め同一条件の基で正常な探針で測定さ
れたデータと比較され、どのレベルの溝まで両者のデー
タが一致するかを求めることにより、探針５ｂの劣化度
が判定される（Ｓ１４）。そして、Ｓ１１で入力された
レベルの測定が可能であれば、再びＸＹ粗動ドライバ４
ａを介してＸＹ粗動ステージ４を駆動し、探針５ｂの直
下に測定対象となる試料１ｂを配置し（Ｓ１５）、試料
１ｂの表面形状の測定を行う（Ｓ１６）。一方、Ｓ１１
で入力されたレベルの測定が不可能であれば、表示手段
１０に探針５ｂの測定可能なレベルを表示させる（Ｓ１
７）。
自動的に判断する場合の例を示すフローチャートであ
る。まず、制御手段９は、不図示の入力手段等から、測
定対象となる試料の測定精度のレベルを入力する（Ｓ１
１）。このレベルは標準試料１ａに形成した種々の開口
幅を有する溝のレベルに対応させたものとすればよい。
つぎに、ＸＹ粗動ドライバ４ａを介してＸＹ粗動ステー
ジ４を駆動し、探針５ｂの直下に標準試料１ａを配置す
る（Ｓ１２）。そして、Ｚ軸ドライバ２ａ、Ｚ軸微動機
構２を介して標準試料１ａと探針５ｂを所定の距離に調
整した後、Ｚ軸ドライバ２ａをサーボ機構７の制御下に
置くと共に、ＸＹ走査ドライバ３ａを介してＸＹ微動機
構３を駆動し、標準試料１ａに形成された溝Ｌｅｖ１〜
Ｌｅｖ４の断面形状の測定を行う（Ｓ１３）。得られた
測定データは、予め同一条件の基で正常な探針で測定さ
れたデータと比較され、どのレベルの溝まで両者のデー
タが一致するかを求めることにより、探針５ｂの劣化度
が判定される（Ｓ１４）。そして、Ｓ１１で入力された
レベルの測定が可能であれば、再びＸＹ粗動ドライバ４
ａを介してＸＹ粗動ステージ４を駆動し、探針５ｂの直
下に測定対象となる試料１ｂを配置し（Ｓ１５）、試料
１ｂの表面形状の測定を行う（Ｓ１６）。一方、Ｓ１１
で入力されたレベルの測定が不可能であれば、表示手段
１０に探針５ｂの測定可能なレベルを表示させる（Ｓ１
７）。
【００２０】このように、制御手段９に測定可能レベル
を自動判定させるようにすれば、全体の試料表面分析時
間が大幅に短縮される。
を自動判定させるようにすれば、全体の試料表面分析時
間が大幅に短縮される。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、試料の表面形状の測定
に先立って、予め数種類の既知の断面形状（表面形状）
を有する標準試料についてその表面形状の測定を行い、
探針の劣化度を示す情報を表示する構成を採用したた
め、損傷や汚染等による探針の劣化度を客観的に判断す
ることが可能となり、信頼性の高い試料の表面形状の測
定が可能になると共に、不必要な探針の交換によるコス
トの向上と探針交換による作業の煩雑化を排除できる。
に先立って、予め数種類の既知の断面形状（表面形状）
を有する標準試料についてその表面形状の測定を行い、
探針の劣化度を示す情報を表示する構成を採用したた
め、損傷や汚染等による探針の劣化度を客観的に判断す
ることが可能となり、信頼性の高い試料の表面形状の測
定が可能になると共に、不必要な探針の交換によるコス
トの向上と探針交換による作業の煩雑化を排除できる。
【図１】本発明の一実施例を示した全体図である。
【図２】本発明に用いる標準試料を示す図である。
【図３】本発明にかかる制御手段の動作を示したフロー
チャートである。
チャートである。
【図４】探針の劣化度を示す情報の表示例である。
【図５】本発明にかかる制御手段の動作を示したフロー
チャートである。
チャートである。
１・・・・試料ホルダ １ａ・・・標準試料 １ｂ・・・試料 ２・・・・Ｚ軸微動機構 ３・・・・ＸＹ微動機構 ４・・・・ＸＹ粗動ステージ ５ａ・・・探針ホルダ ５ｂ・・・探針 ６・・・・変位検出器 ７・・・・サーボ機構 ９・・・・制御手段 １０・・・表示手段
Claims (1)
- 【請求項１】 試料とこれに対向配置した探針とを近接
させ、探針又は試料を走査することにより、探針と試料
表面との間の相互作用により生じる物理量を検出して試
料表面の形状を原子レベルの分解能で測定する走査型プ
ローブ顕微鏡において、 測定対象となる試料と既知の表面形状を有する標準試料
とを前記探針下へ切換え配置する駆動手段と、 前記駆動手段を介して前記標準試料を前記探針下へ配置
すると共に、前記標準試料または前記探針を走査し、前
記標準試料の表面形状を測定する制御手段と、 得られた測定信号と、予め同一条件の基で正常な探針で
測定された標準信号とから前記探針の劣化度を示す情報
を表示する表示手段と、 を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13275594A JPH085313A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13275594A JPH085313A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085313A true JPH085313A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15088804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13275594A Pending JPH085313A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085313A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006308313A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡およびその探針評価方法 |
| JP2007078679A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 探針形状評価用標準試料 |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP13275594A patent/JPH085313A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006308313A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡およびその探針評価方法 |
| JP2007078679A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 探針形状評価用標準試料 |
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