JPH0854529A - 多心光ファイバ調心装置 - Google Patents
多心光ファイバ調心装置Info
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- JPH0854529A JPH0854529A JP21181194A JP21181194A JPH0854529A JP H0854529 A JPH0854529 A JP H0854529A JP 21181194 A JP21181194 A JP 21181194A JP 21181194 A JP21181194 A JP 21181194A JP H0854529 A JPH0854529 A JP H0854529A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- movable arms
- piezoelectric element
- arm
- fiber
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置の作製が容易であり、装置が複雑化した
り大型化したりすることなく、しかも、多心光ファイバ
と接続相手側の光部品とを正確に調心することができる
多心光ファイバ調心装置を提供する。 【構成】 装置基台8の上部側に圧電素子6を配列固定
し、この圧電素子6とマイクロアーム1とを有する微動
ステージ30を設ける。マイクロアーム1は、片持梁とし
て機能する可動アーム11〜18を設けて構成し、可動アー
ム11〜18の先端側には、斜面5を有する突部9を形成
し、突部9を集合させて隣り合う斜面5により光ファイ
バを保持するV溝を形成し、可動アーム11〜18の基端側
には、薄肉化した弾性変形部3を設けて構成し、この可
動アーム11〜18を圧電素子6により支え、圧電素子6を
個別に微動させることにより、V溝に保持した光ファイ
バを個別に微動できるようにする。
り大型化したりすることなく、しかも、多心光ファイバ
と接続相手側の光部品とを正確に調心することができる
多心光ファイバ調心装置を提供する。 【構成】 装置基台8の上部側に圧電素子6を配列固定
し、この圧電素子6とマイクロアーム1とを有する微動
ステージ30を設ける。マイクロアーム1は、片持梁とし
て機能する可動アーム11〜18を設けて構成し、可動アー
ム11〜18の先端側には、斜面5を有する突部9を形成
し、突部9を集合させて隣り合う斜面5により光ファイ
バを保持するV溝を形成し、可動アーム11〜18の基端側
には、薄肉化した弾性変形部3を設けて構成し、この可
動アーム11〜18を圧電素子6により支え、圧電素子6を
個別に微動させることにより、V溝に保持した光ファイ
バを個別に微動できるようにする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多心光ファイバと接続
相手側の光部品とを調心する多心光ファイバ調心装置に
関するものである。
相手側の光部品とを調心する多心光ファイバ調心装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】複数の光ファイバを有する多心光ファイ
バ同士を融着するときに、多心光ファイバ同士を対向さ
せて位置合わせをした後に、正確な調心を行わずに接続
することがよく行われていた。このように、多心光ファ
イバ同士を正確に調心しない状態で接続すると、各光フ
ァイバのコアの偏心により、各光ファイバ同士の光接続
に接続損失が生じてしまう。そこで、この接続損失をで
きるだけ小さくするために、図7に示すような、多心光
ファイバ個別軸調心機構が提案されている(1992年
電子情報通信学会春季大会)。
バ同士を融着するときに、多心光ファイバ同士を対向さ
せて位置合わせをした後に、正確な調心を行わずに接続
することがよく行われていた。このように、多心光ファ
イバ同士を正確に調心しない状態で接続すると、各光フ
ァイバのコアの偏心により、各光ファイバ同士の光接続
に接続損失が生じてしまう。そこで、この接続損失をで
きるだけ小さくするために、図7に示すような、多心光
ファイバ個別軸調心機構が提案されている(1992年
電子情報通信学会春季大会)。
【0003】この提案のものは、L字形状の基台46の上
部側にV溝基板支持部45を設け、このV溝基板支持部45
によりV溝基板42を支持し、このV溝基板42に光ファイ
バ41を搭載させている。そして、基台46の中間部には、
先端側に斜面5を形成したL字形状の微調整板43を回転
支点40を支点として図の矢印のように回転自在に複数配
設し、隣り合う微調整板43の斜面5によりV溝を形成
し、そのV溝には光ファイバ41の先端側が搭載されてい
る。各微調整板43の下部側には、突起部44が設けられ、
同図の(b)に示すように、各微調整板43の突起部44
は、少しずつ位置をずらして形成されており、各微調整
板43の各突起部44の下部側には圧電素子6が間隔を介し
て配設され、各圧電素子6と各微調整板43の各突起部44
とが接続されている。なお、圧電素子6は基台46に接着
剤等により固定されている。
部側にV溝基板支持部45を設け、このV溝基板支持部45
によりV溝基板42を支持し、このV溝基板42に光ファイ
バ41を搭載させている。そして、基台46の中間部には、
先端側に斜面5を形成したL字形状の微調整板43を回転
支点40を支点として図の矢印のように回転自在に複数配
設し、隣り合う微調整板43の斜面5によりV溝を形成
し、そのV溝には光ファイバ41の先端側が搭載されてい
る。各微調整板43の下部側には、突起部44が設けられ、
同図の(b)に示すように、各微調整板43の突起部44
は、少しずつ位置をずらして形成されており、各微調整
板43の各突起部44の下部側には圧電素子6が間隔を介し
て配設され、各圧電素子6と各微調整板43の各突起部44
とが接続されている。なお、圧電素子6は基台46に接着
剤等により固定されている。
【0004】この多心光ファイバ個別軸調心機構におい
ては、各微調整板43に接続されている各圧電素子6によ
り、各微調整板43をサブミクロンオーダで上下に独立に
移動させることが可能となっており、それにより、例え
ば、図8の(a)に示すように、隣り合う微調整板43の
うち、両方を上側に移動させて光ファイバ41を上側に微
動させたり、同図の(b)に示すように、図の左側の微
調整板43のみを上側に移動させて光ファイバ41を図の右
側に移動させたり、同図の(c)に示すように、図の右
側の微調整板43のみを上側に移動させて光ファイバ41を
図の左側に移動させたりするようにしている。
ては、各微調整板43に接続されている各圧電素子6によ
り、各微調整板43をサブミクロンオーダで上下に独立に
移動させることが可能となっており、それにより、例え
ば、図8の(a)に示すように、隣り合う微調整板43の
うち、両方を上側に移動させて光ファイバ41を上側に微
動させたり、同図の(b)に示すように、図の左側の微
調整板43のみを上側に移動させて光ファイバ41を図の右
側に移動させたり、同図の(c)に示すように、図の右
側の微調整板43のみを上側に移動させて光ファイバ41を
図の左側に移動させたりするようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7の
装置において、各圧電素子6は基台46に固定されてお
り、圧電素子6の上部側に微調整板43の突起部44を固く
接着してしまうと、圧電素子6の上下方向の移動に対応
させて、微調整板43を回転支点40を支点としてスムーズ
に回転移動させることが困難となり、微調整板43の斜面
5により光ファイバ41を所望の方向に移動させることが
非常に困難となる。そのため、圧電素子6と微調整板43
の突起部44とを接続する接着剤には、適当な弾性を持つ
ような接着剤を選択しなければならず、非常に困難であ
った。また、たとえ適当な弾性を持つ接着剤を選択した
としても、圧電素子6の上下方向の移動を微調整板43の
回転方向の移動にスムーズに変換できるように、圧電素
子6と微調整板43の突起部44とを接続するのは非常に難
しく、かなりの熟練を必要とし、問題であった。
装置において、各圧電素子6は基台46に固定されてお
り、圧電素子6の上部側に微調整板43の突起部44を固く
接着してしまうと、圧電素子6の上下方向の移動に対応
させて、微調整板43を回転支点40を支点としてスムーズ
に回転移動させることが困難となり、微調整板43の斜面
5により光ファイバ41を所望の方向に移動させることが
非常に困難となる。そのため、圧電素子6と微調整板43
の突起部44とを接続する接着剤には、適当な弾性を持つ
ような接着剤を選択しなければならず、非常に困難であ
った。また、たとえ適当な弾性を持つ接着剤を選択した
としても、圧電素子6の上下方向の移動を微調整板43の
回転方向の移動にスムーズに変換できるように、圧電素
子6と微調整板43の突起部44とを接続するのは非常に難
しく、かなりの熟練を必要とし、問題であった。
【0006】また、仮に、圧電素子6と微調整板43とを
接着剤等により接着せずに、圧電素子6の上部側に微調
整板43を搭載させた状態としたとしても、図8に示した
ように、圧電素子6の伸びにより微調整板43を上部側に
移動させることは可能であるが、圧電素子6を縮ませて
微調整板43を下部側に移動させようとしたときに、微調
整板43の回転支点40側での摩擦により、圧電素子6の縮
んでいく状態に追従して下部側に移動することが妨げら
れるために、圧電素子6の縮む動作に対応させてスムー
ズに微調整板43を下部側に移動させるようにすることは
困難であり、そうなると、正確な調心を行うことができ
なかった。
接着剤等により接着せずに、圧電素子6の上部側に微調
整板43を搭載させた状態としたとしても、図8に示した
ように、圧電素子6の伸びにより微調整板43を上部側に
移動させることは可能であるが、圧電素子6を縮ませて
微調整板43を下部側に移動させようとしたときに、微調
整板43の回転支点40側での摩擦により、圧電素子6の縮
んでいく状態に追従して下部側に移動することが妨げら
れるために、圧電素子6の縮む動作に対応させてスムー
ズに微調整板43を下部側に移動させるようにすることは
困難であり、そうなると、正確な調心を行うことができ
なかった。
【0007】もちろん、微調整板43の上部側に微調整板
43を上側から下側に押え付けるような、ばね等を設ける
ことにより、圧電素子6が縮む動作に対応させて微調整
板43を追従させて下部側に移動させることはできるが、
そのためには、各微調整板43の上部側に、それぞれ、ば
ね等を取り付けなければならず、その作業が困難であ
り、しかも、装置が複雑になり、大型化してしまうとい
う問題があった。
43を上側から下側に押え付けるような、ばね等を設ける
ことにより、圧電素子6が縮む動作に対応させて微調整
板43を追従させて下部側に移動させることはできるが、
そのためには、各微調整板43の上部側に、それぞれ、ば
ね等を取り付けなければならず、その作業が困難であ
り、しかも、装置が複雑になり、大型化してしまうとい
う問題があった。
【0008】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、装置が複雑化したり大型化
したりすることなく、容易に、かつ、正確に多心光ファ
イバの光ファイバを個別に調心することができる多心光
ファイバ調心装置を提供することにある。
たものであり、その目的は、装置が複雑化したり大型化
したりすることなく、容易に、かつ、正確に多心光ファ
イバの光ファイバを個別に調心することができる多心光
ファイバ調心装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のように構成されている。すなわち、本
発明は、複数の光ファイバを保持し、該光ファイバを微
動させて光ファイバと接続側の光部品とを調心する多心
光ファイバ調心装置であって、先端側に斜面を有する片
持梁が複数並設されており、各梁の先端側が集合して隣
り合う斜面により光ファイバを保持するV溝が形成され
ており、各梁の下部側は光ファイバ微動用の微動アクチ
ュエータで支えられており、各梁の基端側には薄肉化し
た弾性変形部が設けられていることを特徴として構成さ
れている。
に、本発明は次のように構成されている。すなわち、本
発明は、複数の光ファイバを保持し、該光ファイバを微
動させて光ファイバと接続側の光部品とを調心する多心
光ファイバ調心装置であって、先端側に斜面を有する片
持梁が複数並設されており、各梁の先端側が集合して隣
り合う斜面により光ファイバを保持するV溝が形成され
ており、各梁の下部側は光ファイバ微動用の微動アクチ
ュエータで支えられており、各梁の基端側には薄肉化し
た弾性変形部が設けられていることを特徴として構成さ
れている。
【0010】
【作用】上記構成の本発明において、先端側に斜面を有
する片持梁が複数並設されており、各梁の先端側が集合
し、隣り合う斜面により形成されたV溝に多心光ファイ
バの各光ファイバが保持され、各光ファイバは各梁の下
部側に設けられた微動アクチュレータにより微動させら
れて、接続相手側の光部品に合わせて調心される。な
お、各梁の基端側には薄肉化した弾性変形部が設けられ
ているために、この弾性変形部が微動アクチュレータの
動きに合わせて、弾性変形することにより、各梁が微動
アクチュレータの動きに追従してスムーズに微動し、多
心光ファイバの光ファイバと接続相手側の光部品との調
心が正確に行われる。
する片持梁が複数並設されており、各梁の先端側が集合
し、隣り合う斜面により形成されたV溝に多心光ファイ
バの各光ファイバが保持され、各光ファイバは各梁の下
部側に設けられた微動アクチュレータにより微動させら
れて、接続相手側の光部品に合わせて調心される。な
お、各梁の基端側には薄肉化した弾性変形部が設けられ
ているために、この弾性変形部が微動アクチュレータの
動きに合わせて、弾性変形することにより、各梁が微動
アクチュレータの動きに追従してスムーズに微動し、多
心光ファイバの光ファイバと接続相手側の光部品との調
心が正確に行われる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、図7、図8に示
した例と同一名称部分には同一符号を付し、その詳細説
明は省略する。図1には、本発明に係わる多心光ファイ
バ調心装置の一実施例の要部構成が示されている。この
装置は、光ファイバがピッチ間隔0.25mmで4本配設され
た多心光ファイバ同士を接続する装置である。同図にお
いて、装置基台8には、一方側の多心光ファイバを搭載
し、微動する微動ステージ30と、他方側(接続側)の多
心光ファイバを固定する光ファイバ固定部7が配置され
て固定されており、光ファイバ固定部7の上部側には、
光ファイバを固定するためのV溝47がピッチ間隔0.25mm
で形成されている。
する。なお、本実施例の説明において、図7、図8に示
した例と同一名称部分には同一符号を付し、その詳細説
明は省略する。図1には、本発明に係わる多心光ファイ
バ調心装置の一実施例の要部構成が示されている。この
装置は、光ファイバがピッチ間隔0.25mmで4本配設され
た多心光ファイバ同士を接続する装置である。同図にお
いて、装置基台8には、一方側の多心光ファイバを搭載
し、微動する微動ステージ30と、他方側(接続側)の多
心光ファイバを固定する光ファイバ固定部7が配置され
て固定されており、光ファイバ固定部7の上部側には、
光ファイバを固定するためのV溝47がピッチ間隔0.25mm
で形成されている。
【0012】微動ステージ30は、図2に示すような、マ
イクロアーム1を有して構成されており、マイクロアー
ム1の一端側には、マイクロアーム固定端部21が設けら
れており、マイクロアーム固定端部21には、両端側に、
マイクロアーム1を多心光ファイバ調心装置の装置基台
8に固定するためのねじ穴24が設けられている。マイク
ロアーム固定端部21には、複数の首根部20が設けられて
おり、首根部20は、幅が0.5 mmとなっており、各首根部
20には、それぞれ、アーム固定板部22が設けられてい
る。アーム固定板部22には、それぞれ、片持梁として機
能する可動アーム11〜18が設けられており、可動アーム
11〜18は間隔を介して並列に配列(並設)されている。
イクロアーム1を有して構成されており、マイクロアー
ム1の一端側には、マイクロアーム固定端部21が設けら
れており、マイクロアーム固定端部21には、両端側に、
マイクロアーム1を多心光ファイバ調心装置の装置基台
8に固定するためのねじ穴24が設けられている。マイク
ロアーム固定端部21には、複数の首根部20が設けられて
おり、首根部20は、幅が0.5 mmとなっており、各首根部
20には、それぞれ、アーム固定板部22が設けられてい
る。アーム固定板部22には、それぞれ、片持梁として機
能する可動アーム11〜18が設けられており、可動アーム
11〜18は間隔を介して並列に配列(並設)されている。
【0013】可動アーム11〜18の固定端側、すなわち、
基端側には、厚み0.3 mmの薄肉化した弾性変形部3がそ
れぞれ設けられており、可動アーム11〜18の幅は4mmで
あり、厚みは1mmであり、可動アーム11〜18の幅は弾性
変形部3の厚みに対して充分大きい値となっている。そ
して、そのように構成することにより、可動アーム11〜
18の上下側から可動アーム11〜18に力が加わったとき
に、可動アーム11〜18は斜め方向に移動したりすること
なく、上下真直方向に移動できるようになっている。
基端側には、厚み0.3 mmの薄肉化した弾性変形部3がそ
れぞれ設けられており、可動アーム11〜18の幅は4mmで
あり、厚みは1mmであり、可動アーム11〜18の幅は弾性
変形部3の厚みに対して充分大きい値となっている。そ
して、そのように構成することにより、可動アーム11〜
18の上下側から可動アーム11〜18に力が加わったとき
に、可動アーム11〜18は斜め方向に移動したりすること
なく、上下真直方向に移動できるようになっている。
【0014】可動アーム11〜18の先端側には、上側に突
出した突部9が設けられており、突部9の幅は、それぞ
れ、0.1 mmとなっており、可動アーム11〜18の突部9は
集合した状態となっている。各突部9には、図3に示す
ように、斜面5が形成されており、斜面5の角度は45°
となっており、隣り合う斜面5により光ファイバを保持
するためのV溝10が形成されている。
出した突部9が設けられており、突部9の幅は、それぞ
れ、0.1 mmとなっており、可動アーム11〜18の突部9は
集合した状態となっている。各突部9には、図3に示す
ように、斜面5が形成されており、斜面5の角度は45°
となっており、隣り合う斜面5により光ファイバを保持
するためのV溝10が形成されている。
【0015】図4に示すように、前記アーム固定板部22
には、アーム固定板部22の配列位置により、異なる数の
棒ねじ挿入穴32が形成されており、両端側に配設されて
いる2つのアーム固定板部22には、3個の棒ねじ挿入穴
32が形成されており、それらの隣りのアーム固定板部22
には、2個の棒ねじ挿入穴32が形成されており、それら
の隣りのアーム固定板部22には、1個の棒ねじ挿入穴32
が形成されており、中央側の2つのアーム固定板部22に
は、棒ねじ挿入穴32は設けられていない。
には、アーム固定板部22の配列位置により、異なる数の
棒ねじ挿入穴32が形成されており、両端側に配設されて
いる2つのアーム固定板部22には、3個の棒ねじ挿入穴
32が形成されており、それらの隣りのアーム固定板部22
には、2個の棒ねじ挿入穴32が形成されており、それら
の隣りのアーム固定板部22には、1個の棒ねじ挿入穴32
が形成されており、中央側の2つのアーム固定板部22に
は、棒ねじ挿入穴32は設けられていない。
【0016】図1に示すように、マイクロアーム1はマ
イクロアーム固定端部21のねじ穴24に嵌合されている固
定ねじ23により装置基台8に固定されており、マイクロ
アーム1の側面側には、両側に棒ねじ固定部26が固定さ
れており、各棒ねじ固定部26には、それぞれ、4本の長
さの異なるアーム支え棒ねじ25が螺合配設されており、
各アーム支え棒ねじ25は、図4に示されるように、マイ
クロアーム1のアーム固定板部22の棒ねじ挿入穴32に挿
入されている。
イクロアーム固定端部21のねじ穴24に嵌合されている固
定ねじ23により装置基台8に固定されており、マイクロ
アーム1の側面側には、両側に棒ねじ固定部26が固定さ
れており、各棒ねじ固定部26には、それぞれ、4本の長
さの異なるアーム支え棒ねじ25が螺合配設されており、
各アーム支え棒ねじ25は、図4に示されるように、マイ
クロアーム1のアーム固定板部22の棒ねじ挿入穴32に挿
入されている。
【0017】そして、各アーム支え棒ねじ25の先端側が
それぞれ、異なるアーム固定板部22の側面側に当接して
おり、各アーム支え棒ねじ25をその先端側に前進させる
ことにより、アーム支え棒ねじ25の先端側が当接してい
るアーム固定板部22を押し付け、マイクロアーム1の首
根部20の弾性変形により、アーム固定板部22および可動
アーム11〜18を中央側に撓ませることができるようにな
っている。
それぞれ、異なるアーム固定板部22の側面側に当接して
おり、各アーム支え棒ねじ25をその先端側に前進させる
ことにより、アーム支え棒ねじ25の先端側が当接してい
るアーム固定板部22を押し付け、マイクロアーム1の首
根部20の弾性変形により、アーム固定板部22および可動
アーム11〜18を中央側に撓ませることができるようにな
っている。
【0018】そして、アーム支え棒ねじ25により可動ア
ーム11〜18を撓ませることにより、図1に示すように、
可動アーム11〜18の先端側の突部9同士の間隔が25μm
(0.025 mm)となるようになっており、このように、突
部9同士の間隔を0.025 mmとすることにより、突部9の
斜面5により形成されるV溝10(図3)のピッチ間隔が
0.25mmとなり、光ファイバピッチ間隔が0.25mmの多心光
ファイバの光ファイバをV溝10により無理なく保持し、
さらに、接続相手側の多心光ファイバとの調心もスムー
ズに行えるようになっている。
ーム11〜18を撓ませることにより、図1に示すように、
可動アーム11〜18の先端側の突部9同士の間隔が25μm
(0.025 mm)となるようになっており、このように、突
部9同士の間隔を0.025 mmとすることにより、突部9の
斜面5により形成されるV溝10(図3)のピッチ間隔が
0.25mmとなり、光ファイバピッチ間隔が0.25mmの多心光
ファイバの光ファイバをV溝10により無理なく保持し、
さらに、接続相手側の多心光ファイバとの調心もスムー
ズに行えるようになっている。
【0019】図1に示すように、可動アーム11〜18の下
部側には、鋼球4を介して、それぞれ、光ファイバ微動
用の微動アクチュエータとして機能する直方体形状の圧
電素子6が設けられており、圧電素子6の幅は4mm、厚
みは3mm、高さは18mmとなっている。各圧電素子6と各
鋼球4は接着剤等で接着されており、圧電素子6の底面
は、装置基台8に接着剤等で固定されている。なお、可
動アーム11〜18は、鋼球4と当接しているだけであり、
可動アーム11〜18と鋼球4とは接着されておらず、可動
アーム11〜18は圧電素子6により鋼球4を介して点で支
えられた状態となっている。また、可動アーム11〜18
は、通常は、図5の(a)に示すように、圧電素子6お
よび鋼球4により僅かに上側に押し上げられた状態とな
っている。
部側には、鋼球4を介して、それぞれ、光ファイバ微動
用の微動アクチュエータとして機能する直方体形状の圧
電素子6が設けられており、圧電素子6の幅は4mm、厚
みは3mm、高さは18mmとなっている。各圧電素子6と各
鋼球4は接着剤等で接着されており、圧電素子6の底面
は、装置基台8に接着剤等で固定されている。なお、可
動アーム11〜18は、鋼球4と当接しているだけであり、
可動アーム11〜18と鋼球4とは接着されておらず、可動
アーム11〜18は圧電素子6により鋼球4を介して点で支
えられた状態となっている。また、可動アーム11〜18
は、通常は、図5の(a)に示すように、圧電素子6お
よび鋼球4により僅かに上側に押し上げられた状態とな
っている。
【0020】各圧電素子6には、図示されていない素子
駆動制御機構が接続されており、各圧電素子6は素子駆
動制御機構の制御により上下に自在に伸縮されるように
なっており、その制御は、圧電素子6毎に個別に行える
ようになっている。
駆動制御機構が接続されており、各圧電素子6は素子駆
動制御機構の制御により上下に自在に伸縮されるように
なっており、その制御は、圧電素子6毎に個別に行える
ようになっている。
【0021】本実施例は、以上のように構成されてお
り、次のようにして作製される。まず、装置基台8に光
ファイバ固定部7を固定し、次に、各圧電素子6を間隔
を介して一列に並設し、各圧電素子6の上部側に鋼球4
を接着剤等により固定する。次に図2に示したような、
可動アーム11〜18同士の間隔が0.15mmになるように0.1m
mのワイヤーによる放電加工を施し、一体的に作製した
マイクロアーム1を装置基台8の上に配置し、マイクロ
アーム固定端部21のねじ穴24に固定ねじ23を嵌合するこ
とにより、マイクロアーム1を装置基台8に固定する。
なお、このとき、可動アーム11〜18は、各圧電素子6の
上部側の鋼球4の上部側に配設され、可動アーム11〜18
は、図5の(a)に示すように、弾性変形部3の弾性変
形により、僅かに上側に曲がる状態になるようにする。
り、次のようにして作製される。まず、装置基台8に光
ファイバ固定部7を固定し、次に、各圧電素子6を間隔
を介して一列に並設し、各圧電素子6の上部側に鋼球4
を接着剤等により固定する。次に図2に示したような、
可動アーム11〜18同士の間隔が0.15mmになるように0.1m
mのワイヤーによる放電加工を施し、一体的に作製した
マイクロアーム1を装置基台8の上に配置し、マイクロ
アーム固定端部21のねじ穴24に固定ねじ23を嵌合するこ
とにより、マイクロアーム1を装置基台8に固定する。
なお、このとき、可動アーム11〜18は、各圧電素子6の
上部側の鋼球4の上部側に配設され、可動アーム11〜18
は、図5の(a)に示すように、弾性変形部3の弾性変
形により、僅かに上側に曲がる状態になるようにする。
【0022】次に、図4に示したように、可動アーム1
のアーム固定板部22の棒ねじ挿入穴32にアーム支え棒ね
じ25を挿入し、アーム支え棒ねじ25によりアーム固定板
部22および可動アーム11〜18を中央側に撓ませることに
より、可動アーム11〜18の突部9同士の間隔を0.025 mm
となるようにする。
のアーム固定板部22の棒ねじ挿入穴32にアーム支え棒ね
じ25を挿入し、アーム支え棒ねじ25によりアーム固定板
部22および可動アーム11〜18を中央側に撓ませることに
より、可動アーム11〜18の突部9同士の間隔を0.025 mm
となるようにする。
【0023】本実施例の多心光ファイバ調心装置は上記
のようにして組み立て作製されており、次に、本実施例
の動作について説明する。まず、図5の(a)に示すよ
うに、圧電素子6に電圧をかけていない状態、すなわ
ち、圧電素子6が伸びていない状態のときにも、可動ア
ーム11〜18は圧電素子6および鋼球4により僅かに上側
に押し上げられた状態となっており、可動アーム11〜18
は、各アーム11〜18の基端側に設けられた弾性変形部3
の弾性変形により、僅かに上側に撓んだ状態となってい
る。そのため、鋼球4や圧電素子6には、各可動アーム
11〜18の弾性復元力による力が図の矢印のように下側に
かかっている。
のようにして組み立て作製されており、次に、本実施例
の動作について説明する。まず、図5の(a)に示すよ
うに、圧電素子6に電圧をかけていない状態、すなわ
ち、圧電素子6が伸びていない状態のときにも、可動ア
ーム11〜18は圧電素子6および鋼球4により僅かに上側
に押し上げられた状態となっており、可動アーム11〜18
は、各アーム11〜18の基端側に設けられた弾性変形部3
の弾性変形により、僅かに上側に撓んだ状態となってい
る。そのため、鋼球4や圧電素子6には、各可動アーム
11〜18の弾性復元力による力が図の矢印のように下側に
かかっている。
【0024】そして、同図の(b)に示すように、素子
駆動制御機構の制御により圧電素子6に電圧をかけ、圧
電素子6を伸ばすと、図の矢印Aに示すように、可動ア
ーム11〜18が上側に押し上げられ、可動アーム11〜18の
弾性変形部3の弾性変形により、可動アーム11〜18は、
同図の(a)に示した状態よりも撓んだ状態となる。こ
の状態のときは、鋼球4や圧電素子6側に可動アーム11
〜18の弾性復元力がより多くかかり、図の矢印Bに示す
ように、可動アーム11〜18から鋼球4や圧電素子6側に
下向きの力がかかった状態となる。
駆動制御機構の制御により圧電素子6に電圧をかけ、圧
電素子6を伸ばすと、図の矢印Aに示すように、可動ア
ーム11〜18が上側に押し上げられ、可動アーム11〜18の
弾性変形部3の弾性変形により、可動アーム11〜18は、
同図の(a)に示した状態よりも撓んだ状態となる。こ
の状態のときは、鋼球4や圧電素子6側に可動アーム11
〜18の弾性復元力がより多くかかり、図の矢印Bに示す
ように、可動アーム11〜18から鋼球4や圧電素子6側に
下向きの力がかかった状態となる。
【0025】そして、素子駆動制御機構により圧電素子
6にかける電圧を調整して、同図の(b)の状態から同
図の(c)に示すように、圧電素子6を縮ませると、圧
電素子6が可動アーム11〜18を押し上げる力は弱まる。
そうすると、可動アーム11〜18は、可動アーム11〜18の
弾性復元力により圧電素子6の動き、すなわち、圧電素
子6が図5の(c)の矢印Aのように下側に縮む動きに
追従して、スムーズに下側に下がっていき、同図の
(a)に示すように、圧電素子6が元の状態に戻るとき
には、可動アーム11〜18も元の状態に戻ることになる。
6にかける電圧を調整して、同図の(b)の状態から同
図の(c)に示すように、圧電素子6を縮ませると、圧
電素子6が可動アーム11〜18を押し上げる力は弱まる。
そうすると、可動アーム11〜18は、可動アーム11〜18の
弾性復元力により圧電素子6の動き、すなわち、圧電素
子6が図5の(c)の矢印Aのように下側に縮む動きに
追従して、スムーズに下側に下がっていき、同図の
(a)に示すように、圧電素子6が元の状態に戻るとき
には、可動アーム11〜18も元の状態に戻ることになる。
【0026】したがって、図6に示すように、可動アー
ム11〜18の斜面5により形成されたV溝10に光ファイバ
41を搭載し、同図の(s)に示すような状態から、例え
ば、同図の(a)に示すように、前記動作により可動ア
ーム15と可動アーム16の下部側の圧電素子6を共に上側
に伸ばし、可動アーム15と可動アーム16を共に上側に押
し上げることにより、光ファイバ41を上側に移動させる
ことができ、同図の(b)に示すように、可動アーム1
3,14のうち、可動アーム14の下部側の圧電素子6のみ
を上側に伸ばして、可動アーム14のみを上側に押し上げ
れば、光ファイバ41はその右側に移動し、同様に、可動
アーム11,12のうち、可動アーム11のみを上側に押し上
げることにより、光ファイバ41をその左側に移動させる
ことができる。
ム11〜18の斜面5により形成されたV溝10に光ファイバ
41を搭載し、同図の(s)に示すような状態から、例え
ば、同図の(a)に示すように、前記動作により可動ア
ーム15と可動アーム16の下部側の圧電素子6を共に上側
に伸ばし、可動アーム15と可動アーム16を共に上側に押
し上げることにより、光ファイバ41を上側に移動させる
ことができ、同図の(b)に示すように、可動アーム1
3,14のうち、可動アーム14の下部側の圧電素子6のみ
を上側に伸ばして、可動アーム14のみを上側に押し上げ
れば、光ファイバ41はその右側に移動し、同様に、可動
アーム11,12のうち、可動アーム11のみを上側に押し上
げることにより、光ファイバ41をその左側に移動させる
ことができる。
【0027】そして、図の(a)〜(c)の状態から図
の(s)の状態に戻すために、可動アーム11〜18の下部
側の適宜の圧電素子6を下側に縮ませれば、その圧電素
子6に対応する可動アームが、圧電素子6の動きに追従
して下側に下がり、スムーズに図6の(s)に示したよ
うな元の状態に戻る。
の(s)の状態に戻すために、可動アーム11〜18の下部
側の適宜の圧電素子6を下側に縮ませれば、その圧電素
子6に対応する可動アームが、圧電素子6の動きに追従
して下側に下がり、スムーズに図6の(s)に示したよ
うな元の状態に戻る。
【0028】本実施例によれば、上記動作により、可動
アーム11〜18の下部側に設けられた圧電素子6の上下伸
縮運動により、対応する可動アーム11〜18を自在に微動
させることができ、可動アーム11〜18は、図7で示した
装置の微調整板43のように、回転支点40の摩擦力により
妨げられて圧電素子6の縮む動きに追従することができ
ないといったようなことはなく、圧電素子6の上下伸縮
運動に常に追従することができるために、短時間で正確
に光ファイバ同士の調心を行うことができる。
アーム11〜18の下部側に設けられた圧電素子6の上下伸
縮運動により、対応する可動アーム11〜18を自在に微動
させることができ、可動アーム11〜18は、図7で示した
装置の微調整板43のように、回転支点40の摩擦力により
妨げられて圧電素子6の縮む動きに追従することができ
ないといったようなことはなく、圧電素子6の上下伸縮
運動に常に追従することができるために、短時間で正確
に光ファイバ同士の調心を行うことができる。
【0029】しかも、本実施例では、可動アーム11〜18
は、その幅が4mmであり、その値は、弾性変形部3の厚
み(0.3 mm)に対して充分大きい値となっているため
に、圧電素子6の上下伸縮運動に対して可動アーム11〜
18が斜め方向に移動するようなことはなく、可動アーム
11〜18は上下真直方向に移動することができ、上記光フ
ァイバ同士の調心動作の正確さをより高めることが可能
となる。
は、その幅が4mmであり、その値は、弾性変形部3の厚
み(0.3 mm)に対して充分大きい値となっているため
に、圧電素子6の上下伸縮運動に対して可動アーム11〜
18が斜め方向に移動するようなことはなく、可動アーム
11〜18は上下真直方向に移動することができ、上記光フ
ァイバ同士の調心動作の正確さをより高めることが可能
となる。
【0030】また、本実施例の多心光ファイバ調心装置
は、図2に示したようなマイクロアーム1を一体的に作
製し、装置基台8上に配設固定した圧電素子6の上部側
の鋼球4に可動アーム11〜18が当接するように配置する
ことにより作製されるために、マイクロアーム1の可動
アーム11〜18と可動アーム11〜18に対応する圧電素子6
とをそれぞれ接着するといった手間もかからず、容易に
作製することができ、しかも、各可動アーム11〜18をそ
の上部側からばね等により押え付けるといったことも必
要がないために、装置が複雑化したり大型化したりする
といったようなことがない。
は、図2に示したようなマイクロアーム1を一体的に作
製し、装置基台8上に配設固定した圧電素子6の上部側
の鋼球4に可動アーム11〜18が当接するように配置する
ことにより作製されるために、マイクロアーム1の可動
アーム11〜18と可動アーム11〜18に対応する圧電素子6
とをそれぞれ接着するといった手間もかからず、容易に
作製することができ、しかも、各可動アーム11〜18をそ
の上部側からばね等により押え付けるといったことも必
要がないために、装置が複雑化したり大型化したりする
といったようなことがない。
【0031】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
とはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記
実施例では、マイクロアーム1の可動アーム11〜18の隙
間を形成する際に、0.1 mmのワイヤーによる放電加工に
より形成したが、可動アーム11〜18の隙間は、0.1 mmの
ワイヤーによる放電加工により形成するとは限らず、可
動アーム11〜18の隙間の形成の仕方や、マイクロアーム
1の作製方法は特に限定されるものではない。
とはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記
実施例では、マイクロアーム1の可動アーム11〜18の隙
間を形成する際に、0.1 mmのワイヤーによる放電加工に
より形成したが、可動アーム11〜18の隙間は、0.1 mmの
ワイヤーによる放電加工により形成するとは限らず、可
動アーム11〜18の隙間の形成の仕方や、マイクロアーム
1の作製方法は特に限定されるものではない。
【0032】また、可動アーム11〜18の弾性変形部3
は、その厚みを0.3 mmとしたが、弾性変形部3の厚み
は、必ずしも0.3 mmにするとは限らない。但し、上記実
施例のように、圧電素子6の上下伸縮運動により、可動
アーム11〜18を撓ませ、可動アーム11〜18の弾性復元力
により、圧電素子6の動きに可動アーム11〜18の向きを
追従させるためには、弾性変形部3の厚みは0.1 mm以上
0.5 mm未満が望ましい。
は、その厚みを0.3 mmとしたが、弾性変形部3の厚み
は、必ずしも0.3 mmにするとは限らない。但し、上記実
施例のように、圧電素子6の上下伸縮運動により、可動
アーム11〜18を撓ませ、可動アーム11〜18の弾性復元力
により、圧電素子6の動きに可動アーム11〜18の向きを
追従させるためには、弾性変形部3の厚みは0.1 mm以上
0.5 mm未満が望ましい。
【0033】さらに、上記実施例では、可動アーム11〜
18の幅を4mmとしたが、可動アーム11〜18の幅は4mmと
は限らないし、可動アーム11〜18の形状も特に限定され
るものではない。但し、可動アーム11〜18の幅が可動ア
ーム11〜18の弾性変形部3の厚みに対して充分大きい値
となっていないと、圧電素子6の上下伸縮運動に伴い、
可動アーム11〜18が微動する際に、可動アーム11〜18
が、例えば、斜め方向に移動する等、可動アーム11〜18
の上下運動に歪が生じてしまうために、可動アーム11〜
18の幅は可動アーム11〜18の弾性変形部3の厚みよりも
充分に大きい値となることが望ましい。
18の幅を4mmとしたが、可動アーム11〜18の幅は4mmと
は限らないし、可動アーム11〜18の形状も特に限定され
るものではない。但し、可動アーム11〜18の幅が可動ア
ーム11〜18の弾性変形部3の厚みに対して充分大きい値
となっていないと、圧電素子6の上下伸縮運動に伴い、
可動アーム11〜18が微動する際に、可動アーム11〜18
が、例えば、斜め方向に移動する等、可動アーム11〜18
の上下運動に歪が生じてしまうために、可動アーム11〜
18の幅は可動アーム11〜18の弾性変形部3の厚みよりも
充分に大きい値となることが望ましい。
【0034】さらに、上記実施例では、接続相手側の光
ファイバに合わせて、可動アーム11〜18の先端側のV溝
10により保持する光ファイバ41のピッチ間隔も0.25mmと
なるようにしたが、V溝中のピッチ間隔は0.25mmにする
とは限らず、接続相手側の光ファイバ等の光部品に合わ
せて適宜設定されるものである。例えば、0.18mmのピッ
チ間隔の多心光ファイバとの接続を行う場合には、可動
アーム11〜18の先端側の突部9の幅を0.9 mm以下、望ま
しくは0.7 mm程度に加工して、突部9の斜面5によりV
溝10を形成し、そのV溝10のピッチ間隔を0.18mmとなる
ように設定すればよい。
ファイバに合わせて、可動アーム11〜18の先端側のV溝
10により保持する光ファイバ41のピッチ間隔も0.25mmと
なるようにしたが、V溝中のピッチ間隔は0.25mmにする
とは限らず、接続相手側の光ファイバ等の光部品に合わ
せて適宜設定されるものである。例えば、0.18mmのピッ
チ間隔の多心光ファイバとの接続を行う場合には、可動
アーム11〜18の先端側の突部9の幅を0.9 mm以下、望ま
しくは0.7 mm程度に加工して、突部9の斜面5によりV
溝10を形成し、そのV溝10のピッチ間隔を0.18mmとなる
ように設定すればよい。
【0035】さらに、上記実施例では、圧電素子6を一
列に並設したが、圧電素子6は必ずしも一列に並設する
とは限らず、例えば、千鳥状に配設しても構わない。こ
のように、圧電素子6を千鳥状に配設した場合には、可
動アーム11〜18の幅は上記実施例よりも狭い幅とするこ
とができる。
列に並設したが、圧電素子6は必ずしも一列に並設する
とは限らず、例えば、千鳥状に配設しても構わない。こ
のように、圧電素子6を千鳥状に配設した場合には、可
動アーム11〜18の幅は上記実施例よりも狭い幅とするこ
とができる。
【0036】さらに、上記実施例では、可動アーム11〜
18と圧電素子6との間には、鋼球4をそれぞれ設けた
が、可動アーム11〜18と圧電素子6との間には、必ずし
も鋼球4を設けるとは限らない。但し、可動アーム11〜
18は、圧電素子6により点で支えられる方が望ましく、
圧電素子6の上部側や、可動アーム11〜18の下部側に突
起部を設ける等して、圧電素子6が可動アーム11〜18を
点で支えるように構成することが望ましい。
18と圧電素子6との間には、鋼球4をそれぞれ設けた
が、可動アーム11〜18と圧電素子6との間には、必ずし
も鋼球4を設けるとは限らない。但し、可動アーム11〜
18は、圧電素子6により点で支えられる方が望ましく、
圧電素子6の上部側や、可動アーム11〜18の下部側に突
起部を設ける等して、圧電素子6が可動アーム11〜18を
点で支えるように構成することが望ましい。
【0037】さらに、上記実施例では、圧電素子により
可動アーム11〜18を支え、圧電素子6により光ファイバ
微動用の微動アクチュエータを構成したが、微動アクチ
ュエータは圧電素子6とは限らず、圧電素子6以外の、
例えば、モータとマイクロメータとを有する直進アクチ
ュエータ等により構成しても構わない。
可動アーム11〜18を支え、圧電素子6により光ファイバ
微動用の微動アクチュエータを構成したが、微動アクチ
ュエータは圧電素子6とは限らず、圧電素子6以外の、
例えば、モータとマイクロメータとを有する直進アクチ
ュエータ等により構成しても構わない。
【0038】さらに、上記実施例では、4心の光ファイ
バ同士を調心する多心光ファイバ調心装置について述べ
たが、本発明の多心光ファイバ調心装置は、例えば、4
心以外の8心等の多心光ファイバ同士を調心する調心装
置とすることもできるし、光導波路と多心光ファイバと
を調心する調心装置とすることも可能である。光導波路
との調心装置とする場合は、接続相手側の光ファイバ固
定部7の代わりに、光導波路固定部を設けて構成すれば
よいし、8心の光ファイバ同士を調心する調心装置とす
る場合は、8心の光ファイバ固定部7を設け、16本の可
動アームを有するマイクロアームを設けて構成すればよ
いし、さらに、装置基台8上に微動ステージを2つ設け
て両側の光部品を微動させるように構成してもよい。こ
のように、本発明の多心光ファイバ調心装置は、接続す
る光部品に合わせて適宜設計され、様々な光部品と多心
光ファイバとを調心する多心光ファイバ調心装置とする
ことが可能である。
バ同士を調心する多心光ファイバ調心装置について述べ
たが、本発明の多心光ファイバ調心装置は、例えば、4
心以外の8心等の多心光ファイバ同士を調心する調心装
置とすることもできるし、光導波路と多心光ファイバと
を調心する調心装置とすることも可能である。光導波路
との調心装置とする場合は、接続相手側の光ファイバ固
定部7の代わりに、光導波路固定部を設けて構成すれば
よいし、8心の光ファイバ同士を調心する調心装置とす
る場合は、8心の光ファイバ固定部7を設け、16本の可
動アームを有するマイクロアームを設けて構成すればよ
いし、さらに、装置基台8上に微動ステージを2つ設け
て両側の光部品を微動させるように構成してもよい。こ
のように、本発明の多心光ファイバ調心装置は、接続す
る光部品に合わせて適宜設計され、様々な光部品と多心
光ファイバとを調心する多心光ファイバ調心装置とする
ことが可能である。
【0039】
【発明の効果】本発明によれば、複数の光ファイバを保
持し、それらの光ファイバを微動させる片持梁の各梁の
下部側は、光ファイバ微動用の微動アクチュエータで支
えられており、各梁の基端側には薄肉化した弾性変形部
が設けられているために、微動アクチュエータが微動す
ると、各梁は各梁の弾性変形部の弾性変形により微動ア
クチュエータの動きに追従して微動することが可能とな
り、常に、短時間で正確に調心を行うことが可能とな
る。
持し、それらの光ファイバを微動させる片持梁の各梁の
下部側は、光ファイバ微動用の微動アクチュエータで支
えられており、各梁の基端側には薄肉化した弾性変形部
が設けられているために、微動アクチュエータが微動す
ると、各梁は各梁の弾性変形部の弾性変形により微動ア
クチュエータの動きに追従して微動することが可能とな
り、常に、短時間で正確に調心を行うことが可能とな
る。
【0040】また、本発明の多心光ファイバ調心装置に
おいては、微動アクチュエータと各梁とを弾性を有する
接着剤等で接着する必要はないために、装置の作製を容
易なものとすることができるし、各梁の上部側に各梁を
下側に押え付けるためのばね等の弾性体を設けなくと
も、各梁を微動アクチュエータの下側への動作にもスム
ーズに追従させることが可能であるために、ばね等を設
ける必要はなく、したがって、装置の大型化や複雑化を
防ぐことが可能となる。
おいては、微動アクチュエータと各梁とを弾性を有する
接着剤等で接着する必要はないために、装置の作製を容
易なものとすることができるし、各梁の上部側に各梁を
下側に押え付けるためのばね等の弾性体を設けなくと
も、各梁を微動アクチュエータの下側への動作にもスム
ーズに追従させることが可能であるために、ばね等を設
ける必要はなく、したがって、装置の大型化や複雑化を
防ぐことが可能となる。
【図1】本発明に係わる多心光ファイバ調心装置の一実
施例を示す要部構成図である。
施例を示す要部構成図である。
【図2】図1のマイクロアーム1を示す説明図である。
【図3】上記実施例の可動アーム11〜18の突部9の配設
状態を示す説明図である。
状態を示す説明図である。
【図4】図1のマイクロアーム1のアーム固定板部22の
棒ねじ挿入穴32とアーム支え棒ねじ25との嵌合状態を示
す説明図である。
棒ねじ挿入穴32とアーム支え棒ねじ25との嵌合状態を示
す説明図である。
【図5】上記実施例の動作を示す説明図である。
【図6】上記実施例の可動アーム11〜18の微動による光
ファイバ41の微動状態例を示す説明図である。
ファイバ41の微動状態例を示す説明図である。
【図7】先に提案されている多心光ファイバ個別軸調心
機構を示す説明図である。
機構を示す説明図である。
【図8】図7に示す装置による光ファイバ41の微動状態
例を示す説明図である。
例を示す説明図である。
1 マイクロアーム 3 弾性変形部 5 斜面 6 圧電素子 9 突部 10 V溝 11〜18 可動アーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多賀 吉春 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 山口 静 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 青島 伸一 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日 本電信電話株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 複数の光ファイバを保持し、該光ファイ
バを微動させて光ファイバと接続側の光部品とを調心す
る多心光ファイバ調心装置であって、先端側に斜面を有
する片持梁が複数並設されており、各梁の先端側が集合
して隣り合う斜面により光ファイバを保持するV溝が形
成されており、各梁の下部側は光ファイバ微動用の微動
アクチュエータで支えられており、各梁の基端側には薄
肉化した弾性変形部が設けられていることを特徴とする
多心光ファイバ調心装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21181194A JPH0854529A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 多心光ファイバ調心装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21181194A JPH0854529A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 多心光ファイバ調心装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854529A true JPH0854529A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16611991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21181194A Pending JPH0854529A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 多心光ファイバ調心装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854529A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19633293A1 (de) * | 1996-08-19 | 1998-02-26 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Justieren von wenigstens zwei zu koppelnden optischen Mikrokomponenten |
| CN105058366A (zh) * | 2015-08-20 | 2015-11-18 | 宁波大学 | 一种四自由度压电微夹钳 |
| JP2022548258A (ja) * | 2019-09-12 | 2022-11-17 | テクニーシェ・ユニバーシタイト・アイントホーベン | 光学部品をオンチップポートにアライメントするために配置された装置、およびそれに対応するシステムおよび方法 |
-
1994
- 1994-08-12 JP JP21181194A patent/JPH0854529A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19633293A1 (de) * | 1996-08-19 | 1998-02-26 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Justieren von wenigstens zwei zu koppelnden optischen Mikrokomponenten |
| CN105058366A (zh) * | 2015-08-20 | 2015-11-18 | 宁波大学 | 一种四自由度压电微夹钳 |
| JP2022548258A (ja) * | 2019-09-12 | 2022-11-17 | テクニーシェ・ユニバーシタイト・アイントホーベン | 光学部品をオンチップポートにアライメントするために配置された装置、およびそれに対応するシステムおよび方法 |
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