JPH085807A - 平面鏡 - Google Patents
平面鏡Info
- Publication number
- JPH085807A JPH085807A JP13450694A JP13450694A JPH085807A JP H085807 A JPH085807 A JP H085807A JP 13450694 A JP13450694 A JP 13450694A JP 13450694 A JP13450694 A JP 13450694A JP H085807 A JPH085807 A JP H085807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- mounting
- light incident
- mounting hole
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、高精度な鏡面組立を実現したうえ
で、鏡面精度の高精度化を図り得るようにすることにあ
る。 【構成】鏡面本体２０の光入射部２１の周囲に取付穴２
２ａを有する取付部２２を形成して，この取付部２２の
取付穴２３と光入射部２１との中間位置に周方向に取付
穴２２ａより長い長孔２４を該取付穴２２ａに対応して
形成し、所期の目的を達成したものである。
で、鏡面精度の高精度化を図り得るようにすることにあ
る。 【構成】鏡面本体２０の光入射部２１の周囲に取付穴２
２ａを有する取付部２２を形成して，この取付部２２の
取付穴２３と光入射部２１との中間位置に周方向に取付
穴２２ａより長い長孔２４を該取付穴２２ａに対応して
形成し、所期の目的を達成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばマイケルソン
分光計等の気体の放射／吸収スペクトルから気体の成分
を検出する分光計に用いるのに好適する平面鏡に関す
る。
分光計等の気体の放射／吸収スペクトルから気体の成分
を検出する分光計に用いるのに好適する平面鏡に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】分光計は、図２に示すように周知のビー
ムスプリッタ１が、その視線軸（入射光路）を測定方向
に指向させて配置される。このビームスプリッタ１の透
過光路には、固定鏡２が配設される。固定鏡２は、ビー
ムスプリッタ１を介して導かれた観測光を反射して再び
ビームスプリッタ１に導く。
ムスプリッタ１が、その視線軸（入射光路）を測定方向
に指向させて配置される。このビームスプリッタ１の透
過光路には、固定鏡２が配設される。固定鏡２は、ビー
ムスプリッタ１を介して導かれた観測光を反射して再び
ビームスプリッタ１に導く。
【０００３】また、ビームスプリッタ１の反射光路上に
は、移動鏡３が直線移動機構４を介して矢印方向に直線
移動自在に配設される。そして、ビームスプリッタ１の
干渉光路上には、光検出器５が配設される。これによ
り、ビームスプリッタ１で反射した観測光は、移動鏡３
に導かれて該移動鏡３で反射され、再びビームスプリッ
タ１に導かれる。この際、移動鏡３は、直線移動機構４
により反射光路上に所定の状態に直線駆動されて光路長
が可変設定される。ここで、上記固定鏡２からの光と、
移動鏡３からの光は、ビームスプリッタ１に導かれて干
渉されて、その干渉した光が光検出器５に導かれ、光の
スペクトル毎に異なる干渉光の和であるインタフェログ
ラムを取得して、光のスペクトラムの強度が検出され
る。
は、移動鏡３が直線移動機構４を介して矢印方向に直線
移動自在に配設される。そして、ビームスプリッタ１の
干渉光路上には、光検出器５が配設される。これによ
り、ビームスプリッタ１で反射した観測光は、移動鏡３
に導かれて該移動鏡３で反射され、再びビームスプリッ
タ１に導かれる。この際、移動鏡３は、直線移動機構４
により反射光路上に所定の状態に直線駆動されて光路長
が可変設定される。ここで、上記固定鏡２からの光と、
移動鏡３からの光は、ビームスプリッタ１に導かれて干
渉されて、その干渉した光が光検出器５に導かれ、光の
スペクトル毎に異なる干渉光の和であるインタフェログ
ラムを取得して、光のスペクトラムの強度が検出され
る。
【０００４】上記光検出器５には、演算部６が接続さ
れ、検出信号を演算部６に出力する。演算部６は、入力
した光のスペクトルの強度をレーザ光のスペクトルの強
度に基づいてフーリエ逆変換（ＦＦＴ）して、観測光の
光成分を求める。
れ、検出信号を演算部６に出力する。演算部６は、入力
した光のスペクトルの強度をレーザ光のスペクトルの強
度に基づいてフーリエ逆変換（ＦＦＴ）して、観測光の
光成分を求める。
【０００５】ところで、上記分光計は、その固定鏡及び
移動鏡が平面鏡を用いて構成され、その測定精度が平面
鏡の鏡面精度に大きな影響を受けるという特性を有して
いる。このため、このような平面鏡にあっては、高精度
な鏡面精度を確保することが要求される。
移動鏡が平面鏡を用いて構成され、その測定精度が平面
鏡の鏡面精度に大きな影響を受けるという特性を有して
いる。このため、このような平面鏡にあっては、高精度
な鏡面精度を確保することが要求される。
【０００６】図３は、このような従来の平面鏡を示すも
ので、鏡面本体１０には、光入射部１０ａが形成され
る。この光入射部１０ａの周囲には、つば状の取付部１
０ｂが上記固定鏡２（図２参照）あるいは移動鏡３（図
２参照）を構成する支持体に対応して形成され、この取
付部１０ｂには、複数の取付穴１０ｃが周方向に所定の
間隔を有して形成される。そして、この鏡面本体１０
は、その取付部１０ｂの光入射部１０ａの入射面側と逆
側の一方面が支持体１１に載置され、その取付部１０ｂ
の取付穴１０ｃを利用して締結具、例えば螺子部材（図
示せず）を介して支持体１１に固定される。
ので、鏡面本体１０には、光入射部１０ａが形成され
る。この光入射部１０ａの周囲には、つば状の取付部１
０ｂが上記固定鏡２（図２参照）あるいは移動鏡３（図
２参照）を構成する支持体に対応して形成され、この取
付部１０ｂには、複数の取付穴１０ｃが周方向に所定の
間隔を有して形成される。そして、この鏡面本体１０
は、その取付部１０ｂの光入射部１０ａの入射面側と逆
側の一方面が支持体１１に載置され、その取付部１０ｂ
の取付穴１０ｃを利用して締結具、例えば螺子部材（図
示せず）を介して支持体１１に固定される。
【０００７】しかしながら、上記平面鏡では、鏡面本体
１０を支持体１１に締結する際に付与される付加力によ
り、その光入射部１０ａの入射面が変形して鏡面精度の
低下を招き、組立状態において、所望の鏡面精度を確保
するのが困難となるという問題を有する。また、係る鏡
面本体１０の鏡面精度は、支持体側の平面度あるいは、
支持体側の熱変形等による付加力が付与されても同様に
低下するという問題が発生する。
１０を支持体１１に締結する際に付与される付加力によ
り、その光入射部１０ａの入射面が変形して鏡面精度の
低下を招き、組立状態において、所望の鏡面精度を確保
するのが困難となるという問題を有する。また、係る鏡
面本体１０の鏡面精度は、支持体側の平面度あるいは、
支持体側の熱変形等による付加力が付与されても同様に
低下するという問題が発生する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の平面鏡では、組立状態において、高精度な鏡面精度
を確保するのが困難であるという問題を有する。この発
明は上記の事情に鑑みてなされたもので、容易にして、
確実な鏡面組立を実現したうえで、鏡面精度の高精度化
を図り得るようにした平面鏡を提供することを目的とす
る。
来の平面鏡では、組立状態において、高精度な鏡面精度
を確保するのが困難であるという問題を有する。この発
明は上記の事情に鑑みてなされたもので、容易にして、
確実な鏡面組立を実現したうえで、鏡面精度の高精度化
を図り得るようにした平面鏡を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、光の入射さ
れる光入射部の周囲に取付部が形成された鏡面本体と、
この鏡面本体の光入射部の周囲に形成され、複数の取付
穴が周方向に所定の間隔を有して設けられた取付部と、
この取付部の前記取付穴と前記光入射部との中間位置で
あって、前記取付穴に対応して該取付穴より周方向に長
く形成した複数の長孔とを備えて平面鏡を構成したもの
である。
れる光入射部の周囲に取付部が形成された鏡面本体と、
この鏡面本体の光入射部の周囲に形成され、複数の取付
穴が周方向に所定の間隔を有して設けられた取付部と、
この取付部の前記取付穴と前記光入射部との中間位置で
あって、前記取付穴に対応して該取付穴より周方向に長
く形成した複数の長孔とを備えて平面鏡を構成したもの
である。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、鏡面本体は、その取付穴を
利用して支持体に締結され、該締結に伴う付加力が付与
されると、その付加力が長孔により、周方向に分散さ
れ、直接的な影響が軽減される。また、支持体の変形に
伴う付加力が付与されると、この付加力が長孔により、
周方向に分散されて鏡面本体への影響が軽減される。従
って、鏡面本体は、その製作鏡面精度に基づく高精度な
精度を保って支持体への組付けが可能となり、高精度な
鏡面精度が確保される。
利用して支持体に締結され、該締結に伴う付加力が付与
されると、その付加力が長孔により、周方向に分散さ
れ、直接的な影響が軽減される。また、支持体の変形に
伴う付加力が付与されると、この付加力が長孔により、
周方向に分散されて鏡面本体への影響が軽減される。従
って、鏡面本体は、その製作鏡面精度に基づく高精度な
精度を保って支持体への組付けが可能となり、高精度な
鏡面精度が確保される。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例について、図面を参
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
る平面鏡を示すもので、鏡面本体２０には、光入射部２
１が設けられる。そして、鏡面本体２０の光入射部２１
の周囲部には、つば状の取付部２２が設けられる。この
取付部２２は、例えば前記干渉計の固定鏡２（図２参
照）あるいは移動鏡３（図２参照）を構成する支持体２
３に対応して形成される。この取付部２２には、複数の
取付穴２２ａが周方向に所定の間隔を有して形成され
る。
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
る平面鏡を示すもので、鏡面本体２０には、光入射部２
１が設けられる。そして、鏡面本体２０の光入射部２１
の周囲部には、つば状の取付部２２が設けられる。この
取付部２２は、例えば前記干渉計の固定鏡２（図２参
照）あるいは移動鏡３（図２参照）を構成する支持体２
３に対応して形成される。この取付部２２には、複数の
取付穴２２ａが周方向に所定の間隔を有して形成され
る。
【００１２】また、取付部２２には、付加力分散用の複
数の長孔２４が取付穴２２ａと光入射部２１との中間部
に該長孔２４に対応して形成される。この長孔２４は、
それぞれが取付穴２２ａに対応して設けられ、周方向に
長く、隣接する取付穴２２ａとの中間位置まで形成され
る。
数の長孔２４が取付穴２２ａと光入射部２１との中間部
に該長孔２４に対応して形成される。この長孔２４は、
それぞれが取付穴２２ａに対応して設けられ、周方向に
長く、隣接する取付穴２２ａとの中間位置まで形成され
る。
【００１３】上記構成において、鏡面本体２０は、その
光入射部２１の入射面側が支持体２３の所定の位置に載
置されて、その取付部２２の取付穴２２ａに図示しない
螺子部材が挿入され、該螺子部材（図示せず）が支持体
２３に締結される。この際、螺子部材（図示せず）の締
結に伴う締結力は、長孔２４により周方向に分散されて
鏡面本体２０の光入射部２１への影響が軽減される。ま
た、長孔２４は、支持体２３への締結により、該支持体
２３から付与される付加力を周方向に分散して、鏡面本
体２０の取付部２２への付加力の付与を軽減する。この
結果、鏡面本体２０は、その光入射部２１の鏡面精度を
高精度に保った状態で、所定の締結力で支持体２３に支
持される。
光入射部２１の入射面側が支持体２３の所定の位置に載
置されて、その取付部２２の取付穴２２ａに図示しない
螺子部材が挿入され、該螺子部材（図示せず）が支持体
２３に締結される。この際、螺子部材（図示せず）の締
結に伴う締結力は、長孔２４により周方向に分散されて
鏡面本体２０の光入射部２１への影響が軽減される。ま
た、長孔２４は、支持体２３への締結により、該支持体
２３から付与される付加力を周方向に分散して、鏡面本
体２０の取付部２２への付加力の付与を軽減する。この
結果、鏡面本体２０は、その光入射部２１の鏡面精度を
高精度に保った状態で、所定の締結力で支持体２３に支
持される。
【００１４】このように、上記平面鏡は、鏡面本体２０
の光入射部２１の周囲に対して取付穴２２ａを有する取
付部２２を形成して，この取付部２２の取付穴２３と光
入射部２１との中間位置に周方向に取付穴２２ａより長
い長孔２４を該取付穴２２ａに対応して形成した。これ
によれば、取付部２２の取付穴２２ａに支持体２３への
締結時に付加力が付与されると、その付加力が長孔２４
を介して鏡面本体２０の光入射部２１の周方向に分散さ
れ、且つ、支持体側が取付部２２に支持体２３の熱変形
等に伴う付加力が付与されると、この付加力が長孔２４
を介して鏡面本体２０の取付部２２の周方向に分散され
て鏡面本体２０への付加力の影響が軽減される。この結
果、鏡面本体２１は、支持体２３に対して、その光入射
部２１の高精度な精度を保った状態で、強い締結力で高
精度にして確実に取付けることが可能となる。
の光入射部２１の周囲に対して取付穴２２ａを有する取
付部２２を形成して，この取付部２２の取付穴２３と光
入射部２１との中間位置に周方向に取付穴２２ａより長
い長孔２４を該取付穴２２ａに対応して形成した。これ
によれば、取付部２２の取付穴２２ａに支持体２３への
締結時に付加力が付与されると、その付加力が長孔２４
を介して鏡面本体２０の光入射部２１の周方向に分散さ
れ、且つ、支持体側が取付部２２に支持体２３の熱変形
等に伴う付加力が付与されると、この付加力が長孔２４
を介して鏡面本体２０の取付部２２の周方向に分散され
て鏡面本体２０への付加力の影響が軽減される。この結
果、鏡面本体２１は、支持体２３に対して、その光入射
部２１の高精度な精度を保った状態で、強い締結力で高
精度にして確実に取付けることが可能となる。
【００１５】なお、上記実施例では、干渉計の光学系に
適用した場合で説明したが、これに限ることなく、各種
光学器機の光学系に適用することが可能で、略同様の効
果が期待される。よって、この発明は、上記実施例に限
ることなく、その他、この発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の変形を実施し得ることは勿論である。
適用した場合で説明したが、これに限ることなく、各種
光学器機の光学系に適用することが可能で、略同様の効
果が期待される。よって、この発明は、上記実施例に限
ることなく、その他、この発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の変形を実施し得ることは勿論である。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
容易にして、確実な鏡面組立を実現したうえで、鏡面精
度の高精度化を図り得るようにした平面鏡を提供するこ
とができる。
容易にして、確実な鏡面組立を実現したうえで、鏡面精
度の高精度化を図り得るようにした平面鏡を提供するこ
とができる。
【図１】この発明の一実施例に係る平面鏡を示した図。
【図２】この発明の適用される分光計を示した図。
【図３】従来の平面鏡を示した図。
２０…鏡面本体。 ２１…光入射部。 ２２…取付部。 ２２ａ…取付穴。 ２３…支持体。 ２４…長孔。
Claims (2)
- 【請求項１】 光の入射される光入射部の周囲部に取付
部が形成された鏡面本体と、 この鏡面本体の光入射部の周囲に形成され、複数の取付
穴が周方向に所定の間隔を有して設けられた取付部と、 この取付部の前記取付穴と前記光入射部との中間位置で
あって、前記取付穴に対応して該取付穴より周方向に長
く形成した複数の長孔とを具備した平面鏡。 - 【請求項２】 前記長孔は、取付穴を中心として、隣接
する取付穴との中間位置まで形成したことを特徴とする
請求項１記載の平面鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13450694A JPH085807A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 平面鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13450694A JPH085807A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 平面鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085807A true JPH085807A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15129922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13450694A Pending JPH085807A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 平面鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005040926A3 (en) * | 2003-10-02 | 2005-09-09 | Zeiss Carl Smt Ag | Optical subassembly and projection objective for semiconductor lithography |
| US7760327B2 (en) | 2003-10-02 | 2010-07-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Reflecting optical element with eccentric optical passageway |
-
1994
- 1994-06-16 JP JP13450694A patent/JPH085807A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005040926A3 (en) * | 2003-10-02 | 2005-09-09 | Zeiss Carl Smt Ag | Optical subassembly and projection objective for semiconductor lithography |
| US7448763B2 (en) | 2003-10-02 | 2008-11-11 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical subassembly and projection objective in semiconductor lithography |
| US7760327B2 (en) | 2003-10-02 | 2010-07-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Reflecting optical element with eccentric optical passageway |
| KR101134210B1 (ko) * | 2003-10-02 | 2012-04-09 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 반도체 리토그래피용 광학 서브어셈블리 및 투영 대물렌즈 |
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