JPH0861917A - 位置検知装置 - Google Patents
位置検知装置Info
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- JPH0861917A JPH0861917A JP21661394A JP21661394A JPH0861917A JP H0861917 A JPH0861917 A JP H0861917A JP 21661394 A JP21661394 A JP 21661394A JP 21661394 A JP21661394 A JP 21661394A JP H0861917 A JPH0861917 A JP H0861917A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 取り付けスペースの少ない被測定物において
も取り付け可能であって、角度方向および軸方向に移動
する被測定物の移動量を測定する軽量且つ簡単な構成の
位置検知装置を提供する。 【構成】 被測定物に固定された第１のミラー面および
第２のミラー面を有する光反射手段と、光反射手段にレ
ーザー光線を投射するレーザー装置と、光反射手段から
反射されたレーザー光線の角度方向および軸方向の入射
位置を検知する位置検知手段とを含む。
も取り付け可能であって、角度方向および軸方向に移動
する被測定物の移動量を測定する軽量且つ簡単な構成の
位置検知装置を提供する。 【構成】 被測定物に固定された第１のミラー面および
第２のミラー面を有する光反射手段と、光反射手段にレ
ーザー光線を投射するレーザー装置と、光反射手段から
反射されたレーザー光線の角度方向および軸方向の入射
位置を検知する位置検知手段とを含む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転および／または上
下移動をする被測定物の位置変化を１次元領域もしくは
２次元領域の位置変化として検知する位置検知装置に関
する。特には、取り付けスペースの少ない被測定物の微
小な位置変化を検知する位置検知装置に関する。
下移動をする被測定物の位置変化を１次元領域もしくは
２次元領域の位置変化として検知する位置検知装置に関
する。特には、取り付けスペースの少ない被測定物の微
小な位置変化を検知する位置検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定物の回転移動の位置変化を測定す
る場合、測定対象となる被測定物にエンコーダ等の装置
を取り付け、被測定物の位置変化を回転角として測定す
ることが知られる。更に、この回転移動とは別に直線的
な上下移動を測定する場合、エンコーダとは別個に位置
センサを用いて位置変化を測定しなければならない。こ
のように従来にあってはエンコーダおよび位置センサを
被測定物に設置しなければならず、取り付けスペースが
少なく、小型の装置においては使用することが困難とな
る。
る場合、測定対象となる被測定物にエンコーダ等の装置
を取り付け、被測定物の位置変化を回転角として測定す
ることが知られる。更に、この回転移動とは別に直線的
な上下移動を測定する場合、エンコーダとは別個に位置
センサを用いて位置変化を測定しなければならない。こ
のように従来にあってはエンコーダおよび位置センサを
被測定物に設置しなければならず、取り付けスペースが
少なく、小型の装置においては使用することが困難とな
る。
【０００３】例えば、光ディスクメモリを読みとるた
め、フォーカス駆動部によって集光された直径１μｍ程
度のスポットをディスク上のピットに焦点を合わせる必
要がある。図７に、そのフォーカス駆動部１の一例を示
す。ディスクの回転時におけるトラックの偏心は、約１
００μｍ、ディスク面の上下移動は１００μｍ〜５００
μｍである。正確な読みとりを行うために、集光レンズ
２を含む円柱形状のフォーカス駆動部１を駆動させ、ス
ポットを所定のトラック内に位置するように常に焦点を
合わせて制御している。
め、フォーカス駆動部によって集光された直径１μｍ程
度のスポットをディスク上のピットに焦点を合わせる必
要がある。図７に、そのフォーカス駆動部１の一例を示
す。ディスクの回転時におけるトラックの偏心は、約１
００μｍ、ディスク面の上下移動は１００μｍ〜５００
μｍである。正確な読みとりを行うために、集光レンズ
２を含む円柱形状のフォーカス駆動部１を駆動させ、ス
ポットを所定のトラック内に位置するように常に焦点を
合わせて制御している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようなフォーカス
駆動部が移動するときの位置変化の信号をフィードバッ
クさせることにより、更に高精度の制御を行うことがで
きる。しかしながら、上述したエンコーダおよび位置セ
ンサ等をフォーカス駆動部に取り付けて動作させる場
合、装置の大型化が免れず、このようにスペースの少な
い装置においては使用が困難となってしまう。特に、精
密な構成を有するフォーカス駆動部の一部にエンコーダ
および位置センサを取り付けて測定する場合、エンコー
ダや位置センサ自体の重量によりフォーカス駆動部の全
重量が増加してしまい重心や応答速度等の微妙なバラン
スが変わってしまうという問題を有し、所望の制御を行
うことができなくなる。
駆動部が移動するときの位置変化の信号をフィードバッ
クさせることにより、更に高精度の制御を行うことがで
きる。しかしながら、上述したエンコーダおよび位置セ
ンサ等をフォーカス駆動部に取り付けて動作させる場
合、装置の大型化が免れず、このようにスペースの少な
い装置においては使用が困難となってしまう。特に、精
密な構成を有するフォーカス駆動部の一部にエンコーダ
および位置センサを取り付けて測定する場合、エンコー
ダや位置センサ自体の重量によりフォーカス駆動部の全
重量が増加してしまい重心や応答速度等の微妙なバラン
スが変わってしまうという問題を有し、所望の制御を行
うことができなくなる。
【０００５】本発明は、上記した問題点に鑑みてなされ
たものであり、簡単な構成により少ないスペースにおい
ても取り付け可能であって、微小な位置をも検知可能で
ある軽量な位置検知装置を提供することを課題とする。
たものであり、簡単な構成により少ないスペースにおい
ても取り付け可能であって、微小な位置をも検知可能で
ある軽量な位置検知装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、角度方向および軸方向に移動可能な被測定物と、前
記被測定物の外周面に設けられ且つ前記軸方向と直交す
る方向で交差する第１および第２のミラー面を有する光
反射手段と、該光反射手段の第１のミラー面に前面から
レーザー光線を投射し、該レーザー光を前記第２のミラ
ー面を介して反射させるレーザー装置と、前記第２のミ
ラー面から反射したレーザー光線を受け、該レーザー光
線の角度方向および軸方向の２軸方向の入射位置を検知
する２次元位置検知装置とを含むことを特徴とする。
め、角度方向および軸方向に移動可能な被測定物と、前
記被測定物の外周面に設けられ且つ前記軸方向と直交す
る方向で交差する第１および第２のミラー面を有する光
反射手段と、該光反射手段の第１のミラー面に前面から
レーザー光線を投射し、該レーザー光を前記第２のミラ
ー面を介して反射させるレーザー装置と、前記第２のミ
ラー面から反射したレーザー光線を受け、該レーザー光
線の角度方向および軸方向の２軸方向の入射位置を検知
する２次元位置検知装置とを含むことを特徴とする。
【０００７】また、前記光反射手段が第１および第２の
ミラーを直角に交差するように設けた直角反射ミラーか
らなり、前記レーザー光線が第１のミラー面で４５゜の
角度で入射し、第２のミラー面で４５゜の角度で反射し
て、前記入射光と平行する反射光線を前記検知手段に入
射させることを特徴とし、前記検知手段が２次元領域を
検出可能なＰＳＤ（ポジション・センシティブ・デバイ
ス：半導体位置検知素子）であることを特徴とする。
ミラーを直角に交差するように設けた直角反射ミラーか
らなり、前記レーザー光線が第１のミラー面で４５゜の
角度で入射し、第２のミラー面で４５゜の角度で反射し
て、前記入射光と平行する反射光線を前記検知手段に入
射させることを特徴とし、前記検知手段が２次元領域を
検出可能なＰＳＤ（ポジション・センシティブ・デバイ
ス：半導体位置検知素子）であることを特徴とする。
【０００８】更に、前記被測定物が光ディスクメモリを
読みとるフォーカス駆動部であり、前記光反射手段を前
記フォーカス駆動部に張り付けて使用することを特徴と
し、前記光反射手段が入射面に反射防止のコーティング
を施し、裏面に鏡面コーティングを施したプリズムであ
ることを特徴とする。
読みとるフォーカス駆動部であり、前記光反射手段を前
記フォーカス駆動部に張り付けて使用することを特徴と
し、前記光反射手段が入射面に反射防止のコーティング
を施し、裏面に鏡面コーティングを施したプリズムであ
ることを特徴とする。
【０００９】角度方向に位置移動する被測定物と、前記
被測定物の外周面に固定された光反射手段と、該光反射
手段に正面からレーザー光線を入射するレーザー装置
と、前記光反射手段から反射したレーザー光線の位置変
化を検知する検知手段とを有し、前記光反射手段は、入
射したレーザー光線の反射角度を被測定物の位置角度に
従い変位させる交差するミラー面を有し、前記検知手段
は、上記光反射手段から反射されるレーザー光線の角度
方向の変位を検知する１次元位置検知装置からなること
を特徴とする。
被測定物の外周面に固定された光反射手段と、該光反射
手段に正面からレーザー光線を入射するレーザー装置
と、前記光反射手段から反射したレーザー光線の位置変
化を検知する検知手段とを有し、前記光反射手段は、入
射したレーザー光線の反射角度を被測定物の位置角度に
従い変位させる交差するミラー面を有し、前記検知手段
は、上記光反射手段から反射されるレーザー光線の角度
方向の変位を検知する１次元位置検知装置からなること
を特徴とする。
【００１０】軸方向に位置移動する被測定物と、前記被
測定物の外周面に固定された光反射手段と、該光反射手
段に正面からレーザー光線を入射するレーザー装置と、
前記光反射手段から反射したレーザー光線の位置変化を
検知する検知手段とを有し、前記光反射手段は、前記軸
方向と直交する方向で交差する第１および第２のミラー
面を有し、前記測定物の軸方向の移動によるレーザー光
線の入射位置の変化に基づきその反射位置を変位させ、
前記検知手段は、上記光反射手段から反射されるレーザ
ー光線の軸方向の変位を検知する１次元位置検知装置か
らなることを特徴とする。
測定物の外周面に固定された光反射手段と、該光反射手
段に正面からレーザー光線を入射するレーザー装置と、
前記光反射手段から反射したレーザー光線の位置変化を
検知する検知手段とを有し、前記光反射手段は、前記軸
方向と直交する方向で交差する第１および第２のミラー
面を有し、前記測定物の軸方向の移動によるレーザー光
線の入射位置の変化に基づきその反射位置を変位させ、
前記検知手段は、上記光反射手段から反射されるレーザ
ー光線の軸方向の変位を検知する１次元位置検知装置か
らなることを特徴とする。
【００１１】
【作用】このような構成において、回転方向および／ま
たは軸線方向に移動する被測定物に光反射手段を固定配
置する。光源から出力されるレーザー光線を光反射手段
に投射する。光反射手段によって反射されたレーザー光
線は、検知手段に入射され、被測定物の移動に対応した
位置変位を検知し、信号処理部によって被測定物の移動
量が検知される。
たは軸線方向に移動する被測定物に光反射手段を固定配
置する。光源から出力されるレーザー光線を光反射手段
に投射する。光反射手段によって反射されたレーザー光
線は、検知手段に入射され、被測定物の移動に対応した
位置変位を検知し、信号処理部によって被測定物の移動
量が検知される。
【００１２】
【実施例】この発明の好適な実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明による微小位置検知装置の概略図
を示す。円柱体形状の被測定物３はＺ軸方向に上下移動
可能であり、且つＺ軸を回転軸として矢印Ａ方向に回転
可能に移動する。被測定物３の側面には後述する光反射
手段４が設けられている。一方、レーザー光線５を射出
させる手段として光源６とコリメータレンズ７と反射ミ
ラー８とを有し、光反射手段４によって反射されたレー
ザー光線５を検知する検知手段９を有しており、好適な
例としてＰＳＤ素子（ポジション・センシティ・デバイ
ス：半導体位置検知素）１０が設けられている。
明する。図１は本発明による微小位置検知装置の概略図
を示す。円柱体形状の被測定物３はＺ軸方向に上下移動
可能であり、且つＺ軸を回転軸として矢印Ａ方向に回転
可能に移動する。被測定物３の側面には後述する光反射
手段４が設けられている。一方、レーザー光線５を射出
させる手段として光源６とコリメータレンズ７と反射ミ
ラー８とを有し、光反射手段４によって反射されたレー
ザー光線５を検知する検知手段９を有しており、好適な
例としてＰＳＤ素子（ポジション・センシティ・デバイ
ス：半導体位置検知素）１０が設けられている。
【００１３】ＰＳＤ素子は、その表面にレーザー光線等
の光スポットが入射することにより、入射位置に光エネ
ルギーに比例した電荷が発生する。この電荷は光電流と
してＰＳＤ素子の両端側（１次元位置検知用ＰＳＤ）、
或いは４辺側（２次元位置検知用ＰＳＤ）から出力さ
れ、外部の信号処理部によりそれぞれの光電流の比から
ＰＳＤ表面に入射した光スポットの位置を特定すること
ができる。
の光スポットが入射することにより、入射位置に光エネ
ルギーに比例した電荷が発生する。この電荷は光電流と
してＰＳＤ素子の両端側（１次元位置検知用ＰＳＤ）、
或いは４辺側（２次元位置検知用ＰＳＤ）から出力さ
れ、外部の信号処理部によりそれぞれの光電流の比から
ＰＳＤ表面に入射した光スポットの位置を特定すること
ができる。
【００１４】図２は光反射手段４の好適な一例を示すも
ので、第１のミラー面１１および第２のミラー面１２を
有する直角反射ミラー１３であり、第１のミラー面１１
と第２のミラー面１２とは交差し、直角をなすように形
成されている。直角反射ミラー１３は、従来知られるミ
ラー材料により構成することができるが、好ましくは、
合成樹脂材料等の軽量の材料により形成され且つ第１の
ミラー面１１および第２のミラー面１２は蒸着またはス
パッタリング等により金属コートされている。これらミ
ラー面が形成されている反対側の面は被測定物３の形状
に合わせて平面または曲面に形成されている。
ので、第１のミラー面１１および第２のミラー面１２を
有する直角反射ミラー１３であり、第１のミラー面１１
と第２のミラー面１２とは交差し、直角をなすように形
成されている。直角反射ミラー１３は、従来知られるミ
ラー材料により構成することができるが、好ましくは、
合成樹脂材料等の軽量の材料により形成され且つ第１の
ミラー面１１および第２のミラー面１２は蒸着またはス
パッタリング等により金属コートされている。これらミ
ラー面が形成されている反対側の面は被測定物３の形状
に合わせて平面または曲面に形成されている。
【００１５】図３に別の光反射手段４の例を示す。光反
射手段４として直角プリズム１４が使用され、レーザー
光線５の入射面１５に反射防止コートが施され、ミラー
面を形成するため裏面１６に金属コートが施されてい
る。直角プリズム１４は、ミラー面が回転軸に対して４
５゜の角度にさせる補助部材等により被測定物３の側面
に固定されている。また、被測定物３に溝等を形成して
直角プリズム１４を固定しても良い。
射手段４として直角プリズム１４が使用され、レーザー
光線５の入射面１５に反射防止コートが施され、ミラー
面を形成するため裏面１６に金属コートが施されてい
る。直角プリズム１４は、ミラー面が回転軸に対して４
５゜の角度にさせる補助部材等により被測定物３の側面
に固定されている。また、被測定物３に溝等を形成して
直角プリズム１４を固定しても良い。
【００１６】このような構成の位置検知装置の原理を説
明する。図４は、被測定物３が軸方向に上下移動した時
の変位量の検知方法を示す。光源６から射出されたレー
ザー光線５は実線で示した光反射手段４としての直角反
射ミラー１３の第１のミラー面１１によって反射され、
第２のミラー面１２に向かう。次いで第２のミラー１２
面によって反射されたレーザー光線５（一点鎖線）は射
出されたレーザー光線と平行する方向に戻り、ＰＳＤ素
子１０に入射する。次いで被測定物３が図示するように
矢印Ｂ方向に移動した場合、直角反射ミラー１３は破線
で示す位置に移動する。直角反射ミラー１３の移動後の
レーザー光線５の反射経路は二点鎖線で示す位置に変位
し、ＰＳＤ素子１０に入射する。ＰＳＤ素子１０上を移
動したレーザー光線の位置変化に対する信号の変化を信
号処理部２１に送り、被測定物３の変位量が測定され
る。
明する。図４は、被測定物３が軸方向に上下移動した時
の変位量の検知方法を示す。光源６から射出されたレー
ザー光線５は実線で示した光反射手段４としての直角反
射ミラー１３の第１のミラー面１１によって反射され、
第２のミラー面１２に向かう。次いで第２のミラー１２
面によって反射されたレーザー光線５（一点鎖線）は射
出されたレーザー光線と平行する方向に戻り、ＰＳＤ素
子１０に入射する。次いで被測定物３が図示するように
矢印Ｂ方向に移動した場合、直角反射ミラー１３は破線
で示す位置に移動する。直角反射ミラー１３の移動後の
レーザー光線５の反射経路は二点鎖線で示す位置に変位
し、ＰＳＤ素子１０に入射する。ＰＳＤ素子１０上を移
動したレーザー光線の位置変化に対する信号の変化を信
号処理部２１に送り、被測定物３の変位量が測定され
る。
【００１７】一方、図５に被測定物３の回転方向に対す
る変位量の検知方法を示す。図４と同様にレーザー光線
５は前述した直角反射ミラー１３に射出され、第１のミ
ラー面１１および第２のミラー面１２に反射してＰＳＤ
素子１０の位置（Ｘ１）に入射される。次いで被測定物
３が回転軸を中心に矢印Ａ方向に回転移動し、直角反射
ミラー１３が回転移動すると、ＰＳＤ素子１０に入射さ
れるレーザ光線５は位置（Ｘ１）から位置（Ｘ２）に移
動し（その光線位置を一点鎖線で示す）、この入射位置
の変位値に従い、信号処理部２１によって被測定物３の
回転角度が測定される。
る変位量の検知方法を示す。図４と同様にレーザー光線
５は前述した直角反射ミラー１３に射出され、第１のミ
ラー面１１および第２のミラー面１２に反射してＰＳＤ
素子１０の位置（Ｘ１）に入射される。次いで被測定物
３が回転軸を中心に矢印Ａ方向に回転移動し、直角反射
ミラー１３が回転移動すると、ＰＳＤ素子１０に入射さ
れるレーザ光線５は位置（Ｘ１）から位置（Ｘ２）に移
動し（その光線位置を一点鎖線で示す）、この入射位置
の変位値に従い、信号処理部２１によって被測定物３の
回転角度が測定される。
【００１８】尚、直角反射ミラー１３は被測定物の円周
上を移動するため、直線的な位置変位ではないが、直角
反射ミラー１３の角度方向の移動量は微小（例えば、数
百ミクロン程度）であるため直線的な移動としてみな
し、これを測定することができる。また、更に精密な測
定を要する場合には係る信号処理手段により補正を行っ
て測定することも可能である。
上を移動するため、直線的な位置変位ではないが、直角
反射ミラー１３の角度方向の移動量は微小（例えば、数
百ミクロン程度）であるため直線的な移動としてみな
し、これを測定することができる。また、更に精密な測
定を要する場合には係る信号処理手段により補正を行っ
て測定することも可能である。
【００１９】上記した原理に従い被測定物３の軸方向お
よび回転方向の移動量が演算される。図６に位置検知装
置の好適な一例を示す。位置検知装置は、光源６と、光
源６に制御信号を送るための光源駆動回路を含む制御部
１８と、レーザー光線５を集光する投光レンズ１９と、
レーザー光線５を光反射手段４に向ける反射ミラー８
と、被測定物３に固定された直角反射ミラー１３と、反
射ミラー１３によって反射されたレーザー光線を集光す
る集光レンズ２０と、レーザー光線の位置を検知するＰ
ＳＤ素子１０と、検知した信号を演算する信号処理部２
１および被測定物３の移動を制御する駆動回路とから構
成される。光源６から投光レンズ１９を介し、反射ミラ
ー８によって方向を定められたレーザー光線５は、 直
角反射ミラー１３の第１のミラー面１１および第２のミ
ラー面１２によって反射される。出力されたレーザー光
線５は入力されたレーザー光線５と平行に且つ反対の方
向に戻され、集光レンズ２０により集光されてＰＳＤ素
子１０に入射する。被測定物３の移動、即ち、上述した
直角反射ミラー１３の移動によってＰＳＤ素子１０上に
レーザー光線５を変位させ、その変位量から被測定物３
の２次元領域の移動量を信号処理部２１によって測定さ
れる。
よび回転方向の移動量が演算される。図６に位置検知装
置の好適な一例を示す。位置検知装置は、光源６と、光
源６に制御信号を送るための光源駆動回路を含む制御部
１８と、レーザー光線５を集光する投光レンズ１９と、
レーザー光線５を光反射手段４に向ける反射ミラー８
と、被測定物３に固定された直角反射ミラー１３と、反
射ミラー１３によって反射されたレーザー光線を集光す
る集光レンズ２０と、レーザー光線の位置を検知するＰ
ＳＤ素子１０と、検知した信号を演算する信号処理部２
１および被測定物３の移動を制御する駆動回路とから構
成される。光源６から投光レンズ１９を介し、反射ミラ
ー８によって方向を定められたレーザー光線５は、 直
角反射ミラー１３の第１のミラー面１１および第２のミ
ラー面１２によって反射される。出力されたレーザー光
線５は入力されたレーザー光線５と平行に且つ反対の方
向に戻され、集光レンズ２０により集光されてＰＳＤ素
子１０に入射する。被測定物３の移動、即ち、上述した
直角反射ミラー１３の移動によってＰＳＤ素子１０上に
レーザー光線５を変位させ、その変位量から被測定物３
の２次元領域の移動量を信号処理部２１によって測定さ
れる。
【００２０】上記実施例においては、被測定物として円
柱形状物を用いて説明したが、円筒形状、多角形状また
は球体形状などの被測定物であっても同様に本発明を適
用でき、同様な効果を奏する。なお、本明細書におい
て、「外周面」とは、上記した円柱、円筒、球体形状に
あってはその円周面を、また多角形状にあってはその側
面を含めて総称する。
柱形状物を用いて説明したが、円筒形状、多角形状また
は球体形状などの被測定物であっても同様に本発明を適
用でき、同様な効果を奏する。なお、本明細書におい
て、「外周面」とは、上記した円柱、円筒、球体形状に
あってはその円周面を、また多角形状にあってはその側
面を含めて総称する。
【００２１】
【発明の効果】本発明の位置検知装置は、被測定物に上
記した特定形状の光反射手段を張り付け、固定し或いは
設けるという手段を採択することにより、装置の小型化
を図り且つ簡単な構成により容易に位置検知を行うこと
ができるもので、かかる光反射手段としてはまた、軽量
な材料を使用することが可能であるために、被測定物の
重量を変えずに軸方向および回転方向の微小な位置検知
をも行うことができる。また、光源から射出されたレー
ザー光線に対して位置をずらして反射させるため検知手
段であるＰＳＤ素子の取り付け場所が設定しやすく装置
の配置をコンパクト化することができる。
記した特定形状の光反射手段を張り付け、固定し或いは
設けるという手段を採択することにより、装置の小型化
を図り且つ簡単な構成により容易に位置検知を行うこと
ができるもので、かかる光反射手段としてはまた、軽量
な材料を使用することが可能であるために、被測定物の
重量を変えずに軸方向および回転方向の微小な位置検知
をも行うことができる。また、光源から射出されたレー
ザー光線に対して位置をずらして反射させるため検知手
段であるＰＳＤ素子の取り付け場所が設定しやすく装置
の配置をコンパクト化することができる。
【００２２】
【図１】 本発明による実施例の一例を示す概略図。
【図２】 光反射手段の直角反射ミラーを示す斜示図。
【図３】 光反射手段のプリズムを示す図。
【図４】 被測定物に固定された光反射手段が軸方向に
移動する状態を示す原理図。
移動する状態を示す原理図。
【図５】 被測定物に固定された光反射手段が回転方向
に移動する状態を示す原理図。
に移動する状態を示す原理図。
【図６】 本発明による別の実施例を示す概略図。
【図７】 被測定物としてのフォーカス駆動部を示す
図。
図。
１ フォーカス駆動部 ２ 集光レンズ ３ 被測定物 ４ 光反射手段 ５ レーザー光線 ６ 光源 ７ コリメータレンズ ８ 反射ミラー ９ 検知手段 １０ ＰＳＤ素子 １１ 第１のミラー面 １２ 第２のミラー面 １３ 直角反射ミラー １４ 直角プリズム １５ 入射面 １６ 裏面 １８ 制御部 １９ 投光レンズ ２０ 集光レンズ ２１ 信号処理部
Claims (7)
- 【請求項１】 角度方向および軸方向に移動可能な被測
定物と、前記被測定物の外周面に設けられ且つ前記軸方
向と直交する方向で交差する第１および第２のミラー面
を有する光反射手段と、 該光反射手段の第１のミラー面にレーザー光線を投射
し、該レーザー光を前記第２のミラー面を介して反射さ
せるレーザー装置と、 前記第２のミラー面から反射したレーザー光線を受け、
該レーザー光線の角度方向および軸方向の２軸方向の入
射位置を検知する２次元位置検知装置とを含むことを特
徴とする位置検知装置。 - 【請求項２】 前記光反射手段が第１および第２のミラ
ーを直角に交差するように設けた直角反射ミラーからな
り、前記レーザー光線が第１のミラー面で４５゜の角度
で入射し、第２のミラー面で４５゜の角度で反射して、
前記入射光と平行する反射光線を前記検知手段に入射さ
せることを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。 - 【請求項３】前記検知手段が２次元領域を検出可能なＰ
ＳＤ（ポジション・センシティブ・デバイス：半導体位
置検知素子）であることを特徴とする請求項１または２
記載の位置検知装置。 - 【請求項４】 前記被測定物が光ディスクメモリを読み
とるフォーカス駆動部であり、前記光反射手段を前記フ
ォーカス駆動部に張り付けて使用することを特徴とする
請求項１乃至３いずれか記載の位置検知装置。 - 【請求項５】 前記光反射手段が入射面に反射防止のコ
ーティングを施し、裏面に鏡面コーティングを施したプ
リズムであることを特徴とする請求項１乃至４いずれか
記載の位置検知装置。 - 【請求項６】 角度方向に位置移動する被測定物と、前
記被測定物の外周面に固定された光反射手段と、該光反
射手段に正面からレーザー光線を入射するレーザー装置
と、前記光反射手段から反射したレーザー光線の位置変
化を検知する検知手段とを有し、 前記光反射手段は、入射したレーザー光線の反射角度を
被測定物の位置角度に従い変位させる交差するミラー面
を有し、 前記検知手段は、上記光反射手段から反射されるレーザ
ー光線の角度方向の変位を検知する１次元位置検知装置
からなることを特徴とする位置検知装置。 - 【請求項７】 軸方向に位置移動する被測定物と、前記
被測定物の外周面に固定された光反射手段と、該光反射
手段に正面からレーザー光線を入射するレーザー装置
と、前記光反射手段から反射したレーザー光線の位置変
化を検知する検知手段とを有し、 前記光反射手段は、前記軸方向と直交する方向で交差す
る第１および第２のミラー面を有し、前記測定物の軸方
向の移動によるレーザー光線の入射位置の変化に基づき
その反射位置を変位させ、 前記検知手段は、上記光反射手段から反射されるレーザ
ー光線の軸方向の変位を検知する１次元位置検知装置か
らなることを特徴とする位置検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21661394A JPH0861917A (ja) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 位置検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21661394A JPH0861917A (ja) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 位置検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861917A true JPH0861917A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16691178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21661394A Pending JPH0861917A (ja) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 位置検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0861917A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1742017A3 (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-17 | Rolls-Royce plc | A monitoring arrangement |
| JP2017053772A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 公益財団法人鉄道総合技術研究所 | 変位測定装置 |
| CN110763135A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-02-07 | 北方民族大学 | 一种高精度激光干涉仪 |
| CN115507781A (zh) * | 2022-09-19 | 2022-12-23 | 浙江恒达富士电梯工程有限公司 | 一种电梯导轨精度校准装置 |
| CN116718129A (zh) * | 2023-04-23 | 2023-09-08 | 广东技术师范大学 | 一种机械设备中梁的弯曲变形高精度测量装置与测量方法 |
-
1994
- 1994-08-18 JP JP21661394A patent/JPH0861917A/ja active Pending
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
| EP1742017A3 (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-17 | Rolls-Royce plc | A monitoring arrangement |
| US7502128B2 (en) | 2005-07-08 | 2009-03-10 | Rolls Royce, Plc | Monitoring arrangement for rotating components |
| JP2017053772A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 公益財団法人鉄道総合技術研究所 | 変位測定装置 |
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| CN115507781A (zh) * | 2022-09-19 | 2022-12-23 | 浙江恒达富士电梯工程有限公司 | 一种电梯导轨精度校准装置 |
| CN116718129A (zh) * | 2023-04-23 | 2023-09-08 | 广东技术师范大学 | 一种机械设备中梁的弯曲变形高精度测量装置与测量方法 |
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