JPH0862425A - ライトガイド装置 - Google Patents
ライトガイド装置Info
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- JPH0862425A JPH0862425A JP19383895A JP19383895A JPH0862425A JP H0862425 A JPH0862425 A JP H0862425A JP 19383895 A JP19383895 A JP 19383895A JP 19383895 A JP19383895 A JP 19383895A JP H0862425 A JPH0862425 A JP H0862425A
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- light guide
- light
- guide device
- optical inspection
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
- G02B21/084—Condensers for incident illumination only having annular illumination around the objective
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 物体を側面からも照射するために利用できる
ライトガイド装置を提供する。 【解決手段】 ライトガイド６は開口部１１を有してお
り、この開口部中へ、物体１が側面から照射されるよう
にライトガイド６の光が導かれる。開口部１１は偏向ミ
ラーとして構成された壁５を有しており、この壁により
物体１からの反射光が開口部１１から取り出されて導か
れる。これにより観察すべき物体の側面と上面とが同時
に検査できる。この装置はたとえば基板上の半導体チッ
プの組み立てにおいて実施される視覚検査において用い
られる。欠陥のあるチップまたは組み立てを識別して除
外できる。カメラと画像認識装置により、組み立てられ
た半導体チップの自動検査を行える。
ライトガイド装置を提供する。 【解決手段】 ライトガイド６は開口部１１を有してお
り、この開口部中へ、物体１が側面から照射されるよう
にライトガイド６の光が導かれる。開口部１１は偏向ミ
ラーとして構成された壁５を有しており、この壁により
物体１からの反射光が開口部１１から取り出されて導か
れる。これにより観察すべき物体の側面と上面とが同時
に検査できる。この装置はたとえば基板上の半導体チッ
プの組み立てにおいて実施される視覚検査において用い
られる。欠陥のあるチップまたは組み立てを識別して除
外できる。カメラと画像認識装置により、組み立てられ
た半導体チップの自動検査を行える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体をたとえば側
面から照射するライトガイド装置に関する。
面から照射するライトガイド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】スペースの理由から照射装置をじかに配
置するのが不可能であるときに、物体を照射するために
ライトガイドを用いることはすでに知られている。顕微
鏡を通して物体を観察する場合にはたとえば、光源から
の光が物体表面へ向けて配向されるライトガイドが使用
される。それというのは、物体と顕微鏡の対物レンズと
の間の間隔は一般に著しく小さいからである。顕微鏡に
よる観察の場合にはさらに、対物レンズに向き合った表
面しか光学的にスキャンできないという別の問題が生じ
る。物体の側面を観察したいときには、物体を相応に対
物レンズに対し相対的に回転させなければならない。殊
に半導体製造においてチップ組み立て中には、チップの
切断へりも、あるいは基板に対するはんだ付けまたは接
着接続も光学的に検査する必要がある。個々のチップエ
ッジの回転は著しく時間がかかるだけでなく、１つのチ
ップの寸法が著しく小さいことからきわめて困難でもあ
り、不所望な損傷がたやすく生じてしまうおそれがあ
る。したがって、たとえば品質管理におけるこのような
視覚的監視は、著しくコストがかかりないしは複雑であ
るだけでなく、検査者が欠陥をすべて識別できるわけで
はないことから、かなり信頼できないものである。
置するのが不可能であるときに、物体を照射するために
ライトガイドを用いることはすでに知られている。顕微
鏡を通して物体を観察する場合にはたとえば、光源から
の光が物体表面へ向けて配向されるライトガイドが使用
される。それというのは、物体と顕微鏡の対物レンズと
の間の間隔は一般に著しく小さいからである。顕微鏡に
よる観察の場合にはさらに、対物レンズに向き合った表
面しか光学的にスキャンできないという別の問題が生じ
る。物体の側面を観察したいときには、物体を相応に対
物レンズに対し相対的に回転させなければならない。殊
に半導体製造においてチップ組み立て中には、チップの
切断へりも、あるいは基板に対するはんだ付けまたは接
着接続も光学的に検査する必要がある。個々のチップエ
ッジの回転は著しく時間がかかるだけでなく、１つのチ
ップの寸法が著しく小さいことからきわめて困難でもあ
り、不所望な損傷がたやすく生じてしまうおそれがあ
る。したがって、たとえば品質管理におけるこのような
視覚的監視は、著しくコストがかかりないしは複雑であ
るだけでなく、検査者が欠陥をすべて識別できるわけで
はないことから、かなり信頼できないものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の課
題は、上述の欠点を回避し、たとえば物体の側面方向の
照射を行うライトガイドを提供することにある。
題は、上述の欠点を回避し、たとえば物体の側面方向の
照射を行うライトガイドを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段および利点】本発明によれ
ばこの課題は、ライトガイドは開口部を有しており、該
開口部中へ、物体が側面から照射されるように前記ライ
トガイドの光が導かれ、前記開口部は有利には４つの壁
を有しており、該壁は偏向ミラーとして構成されてお
り、該壁により、物体から反射した光が前記ライトガイ
ドの開口部から取り出されて導かれることにより解決さ
れる。
ばこの課題は、ライトガイドは開口部を有しており、該
開口部中へ、物体が側面から照射されるように前記ライ
トガイドの光が導かれ、前記開口部は有利には４つの壁
を有しており、該壁は偏向ミラーとして構成されてお
り、該壁により、物体から反射した光が前記ライトガイ
ドの開口部から取り出されて導かれることにより解決さ
れる。
【０００５】従来技術に対し上記の構成を備えた本発明
によるライトガイドの有する利点とは、ライトガイドの
内部または下方においてすべての側面からも物体を照射
できる点にある。殊に有利であるのは、偏向ミラーとし
て構成された壁を介して、物体側面で反射した光がたと
えば物体の上方に位置する顕微鏡の対物レンズに投射さ
れるよう、ライトガイドの開口部から取り出されて案内
されることである。この有利な構成により、顕微鏡と向
き合った物体の表面だけでなくその側面も同時に照射で
きることであり、このことは何らかのやりかたで物体を
回転させたり傾けたりする必要なく行える。これにより
物体をいっそう徹底的に検査することができ、手で扱う
ことにより物体が損傷することはない。すべてのクリテ
ィカルな側面が同時に示されることにより、光学的検査
の速度が著しく速められる。
によるライトガイドの有する利点とは、ライトガイドの
内部または下方においてすべての側面からも物体を照射
できる点にある。殊に有利であるのは、偏向ミラーとし
て構成された壁を介して、物体側面で反射した光がたと
えば物体の上方に位置する顕微鏡の対物レンズに投射さ
れるよう、ライトガイドの開口部から取り出されて案内
されることである。この有利な構成により、顕微鏡と向
き合った物体の表面だけでなくその側面も同時に照射で
きることであり、このことは何らかのやりかたで物体を
回転させたり傾けたりする必要なく行える。これにより
物体をいっそう徹底的に検査することができ、手で扱う
ことにより物体が損傷することはない。すべてのクリテ
ィカルな側面が同時に示されることにより、光学的検査
の速度が著しく速められる。
【０００６】従属請求項に記載の構成により、請求項１
に記載のライトガイド装置の有利な実施形態が可能であ
る。殊に有利であるのは、使用されるライトガイド材料
の屈折率を考慮して壁の傾斜角度を選定することであ
る。このことにより傾斜角度は、物体側面から反射した
光ができるかぎりすべて偏向されるように選定できる。
そしてこれにより、発光効率を最適化し全反射を回避す
ることができる。
に記載のライトガイド装置の有利な実施形態が可能であ
る。殊に有利であるのは、使用されるライトガイド材料
の屈折率を考慮して壁の傾斜角度を選定することであ
る。このことにより傾斜角度は、物体側面から反射した
光ができるかぎりすべて偏向されるように選定できる。
そしてこれにより、発光効率を最適化し全反射を回避す
ることができる。
【０００７】実践において好適であると判明したのは、
水平線に対する壁の傾斜角度を約４５゜に選定すること
である。それというのは、このようにすれば側面からほ
ぼ水平に反射した光を上に向かって垂直に偏向でき、し
たがってこの光が顕微鏡の対物レンズへじかに投射され
るからである。
水平線に対する壁の傾斜角度を約４５゜に選定すること
である。それというのは、このようにすれば側面からほ
ぼ水平に反射した光を上に向かって垂直に偏向でき、し
たがってこの光が顕微鏡の対物レンズへじかに投射され
るからである。
【０００８】１つの壁における有効光出射面の十分な高
さにより、物体の側面全体が照射されるようになり、し
たがって追従調整することなく１つの完全な像を得るこ
とができる。
さにより、物体の側面全体が照射されるようになり、し
たがって追従調整することなく１つの完全な像を得るこ
とができる。
【０００９】物体側面の照射を増強する目的で、ライト
ガイドの外縁部に少なく１とも１つの反射器が配置され
ている。少なくとも１つのこの反射器の上方にさらに別
の反射器を配置することができ、これは物体の上面に向
けて配向されており、したがって物体上面も完全に照射
され、側面と同時に１つの顕微鏡で観察することができ
る。
ガイドの外縁部に少なく１とも１つの反射器が配置され
ている。少なくとも１つのこの反射器の上方にさらに別
の反射器を配置することができ、これは物体の上面に向
けて配向されており、したがって物体上面も完全に照射
され、側面と同時に１つの顕微鏡で観察することができ
る。
【００１０】輝度の調整可能な光源をライトガイドに設
けるとさらに好適である。これにより、できるかぎり十
分なコントラストの画像が生じるよう顕微鏡において輝
度を制御できる。
けるとさらに好適である。これにより、できるかぎり十
分なコントラストの画像が生じるよう顕微鏡において輝
度を制御できる。
【００１１】このライトガイドを顕微鏡またはカメラ装
置と組み合わせることで、有利には物体の表面も側面も
同時に検査できる。たとえば、基板、リードフレームに
接着またははんだ付けされている半導体チップの光学的
検査において、回転または傾斜させることなくその切断
面ないしインターフェース部分を検査することができ
る。
置と組み合わせることで、有利には物体の表面も側面も
同時に検査できる。たとえば、基板、リードフレームに
接着またははんだ付けされている半導体チップの光学的
検査において、回転または傾斜させることなくその切断
面ないしインターフェース部分を検査することができ
る。
【００１２】自動画像認識装置を備えたカメラを光学検
査装置として使用すれば、記憶されている基準画像と実
際の画像とを画像比較することで視覚検査を自動化でき
る。欠陥のあるチップを相応のマーキング装置により特
徴づけ選び出して除外できる。
査装置として使用すれば、記憶されている基準画像と実
際の画像とを画像比較することで視覚検査を自動化でき
る。欠陥のあるチップを相応のマーキング装置により特
徴づけ選び出して除外できる。
【００１３】次に、図面を参照して本発明の実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１４】
【実施例】図１には、ライトガイド６の１つの実施例の
断面図が示されている。ライトガイド６はほぼホッパ状
に構成され中央部には開口部を有しており、この開口部
内に照射すべき物体１が置かれている。物体１はたとえ
ば、基板１９上に配置された半導体チップとすることが
できる。たとえば半導体を製造する場合には、基板とし
て構成された１つのリードフレーム上に、品質を相次い
で光学的に検査すべき１つまたは複数の半導体チップ１
を配置することができる。
断面図が示されている。ライトガイド６はほぼホッパ状
に構成され中央部には開口部を有しており、この開口部
内に照射すべき物体１が置かれている。物体１はたとえ
ば、基板１９上に配置された半導体チップとすることが
できる。たとえば半導体を製造する場合には、基板とし
て構成された１つのリードフレーム上に、品質を相次い
で光学的に検査すべき１つまたは複数の半導体チップ１
を配置することができる。
【００１５】ライトガイド６は有利には、互いに直角を
成すよう配置された４つの壁５を有しており、これらは
ライトガイド６の下部において傾斜面として構成されて
いて、半導体チップの垂直の壁から反射した光を上へ向
けて偏向する。さらに、ライトガイド６の外縁部におい
て下方の領域に反射器４が設けられており、これはライ
トガイドの光を開口部１１の方向へ強く偏向する。ライ
トガイド６の周縁部において１つまたは複数の適切な個
所に光源１２のための開口部が設けられており、この光
源の光はライトガイドを介して開口部１１へ偏向され
る。これらの光源は可調整の電源ユニット１８と接続さ
れており、したがってライトガイド６の輝度を設定調整
できる。このライトガイド６を介して光学検査装置７
が、壁５により偏向されたビームがこの検査装置のレン
ズ系に投射されるように配置されている。この光学検査
装置７を、物体１の表面および側面を検査する顕微鏡と
することができる。さらにこの検査装置に、物体の捕捉
された面を記録しておくカメラ１６を接続できる。
成すよう配置された４つの壁５を有しており、これらは
ライトガイド６の下部において傾斜面として構成されて
いて、半導体チップの垂直の壁から反射した光を上へ向
けて偏向する。さらに、ライトガイド６の外縁部におい
て下方の領域に反射器４が設けられており、これはライ
トガイドの光を開口部１１の方向へ強く偏向する。ライ
トガイド６の周縁部において１つまたは複数の適切な個
所に光源１２のための開口部が設けられており、この光
源の光はライトガイドを介して開口部１１へ偏向され
る。これらの光源は可調整の電源ユニット１８と接続さ
れており、したがってライトガイド６の輝度を設定調整
できる。このライトガイド６を介して光学検査装置７
が、壁５により偏向されたビームがこの検査装置のレン
ズ系に投射されるように配置されている。この光学検査
装置７を、物体１の表面および側面を検査する顕微鏡と
することができる。さらにこの検査装置に、物体の捕捉
された面を記録しておくカメラ１６を接続できる。
【００１６】本発明の別の実施形態の場合には、このカ
メラが画像認識装置１７と接続されるように構成されて
おり、この装置には良好な物体１および／または欠陥の
ある物体１に関するパターンが記憶されている。記憶さ
れている写真の画像とカメラ１６による目下の記録の画
像とを比較することにより、物体に対する自動的な評価
を行うことができる。欠陥のある物体１が認められれ
ば、その物体の適切な個所にたとえば色づけされたポイ
ントを用いてマーキングすることができる。
メラが画像認識装置１７と接続されるように構成されて
おり、この装置には良好な物体１および／または欠陥の
ある物体１に関するパターンが記憶されている。記憶さ
れている写真の画像とカメラ１６による目下の記録の画
像とを比較することにより、物体に対する自動的な評価
を行うことができる。欠陥のある物体１が認められれ
ば、その物体の適切な個所にたとえば色づけされたポイ
ントを用いてマーキングすることができる。
【００１７】ライトガイド６はその開口部１１ととも
に、調整においても観察においても物体１を損傷するお
それがないように構成されている。殊に、可動に配置さ
れたライトガイド６の場合にはこのライトガイドは、た
とえば隣り合う物体においても損傷を生じさせないよう
に構成されている。さらに、焦点調節および倍率の変更
が妨げられないように、ライトガイド６のホッパ形状が
光学検査装置７に整合されている。
に、調整においても観察においても物体１を損傷するお
それがないように構成されている。殊に、可動に配置さ
れたライトガイド６の場合にはこのライトガイドは、た
とえば隣り合う物体においても損傷を生じさせないよう
に構成されている。さらに、焦点調節および倍率の変更
が妨げられないように、ライトガイド６のホッパ形状が
光学検査装置７に整合されている。
【００１８】図２には、ライトガイド６の拡大平面図が
示されている。ライトガイド６の中央部に開口部１１が
示されており、これは有利には正方形に構成されてお
り、物体１に対しそれよりも大きい所定の大きさを有し
ている。壁５は開口部１１を取り囲んでおり、したがっ
てこれらの壁５を介して物体１をすべての面から同時に
照射することができる。適切な個所においてライトガイ
ド６に、光源１２を収容する開口部が設けられている。
これらの光源を、ライトガイド６の角に配置することも
できる。
示されている。ライトガイド６の中央部に開口部１１が
示されており、これは有利には正方形に構成されてお
り、物体１に対しそれよりも大きい所定の大きさを有し
ている。壁５は開口部１１を取り囲んでおり、したがっ
てこれらの壁５を介して物体１をすべての面から同時に
照射することができる。適切な個所においてライトガイ
ド６に、光源１２を収容する開口部が設けられている。
これらの光源を、ライトガイド６の角に配置することも
できる。
【００１９】図３には、ライトガイド６がここでは横断
面図で示されている。殊にここでは、水平線に対する壁
５の傾斜角αが示されている。この場合、角度αは、で
きるかぎり多くの光がライトガイドから出力結合されて
物体１の側面９へ導かれるように選定される。他方、壁
５からの反射光が光学検査装置７に投射されるようにす
る目的で、この反射光が上へ向かって偏向されるように
すべきである。たとえばｎ＝１．５のような屈折率を考
慮して、角度αを材料に依存してに選定することがで
き、できるだけ多くの光がライトガイド６から出力結合
されるように設定される。この場合、約４５゜の角度が
適切であると実証された。その際、壁５は、その有効面
が側面９全体の像を写すような高さに構成される。
面図で示されている。殊にここでは、水平線に対する壁
５の傾斜角αが示されている。この場合、角度αは、で
きるかぎり多くの光がライトガイドから出力結合されて
物体１の側面９へ導かれるように選定される。他方、壁
５からの反射光が光学検査装置７に投射されるようにす
る目的で、この反射光が上へ向かって偏向されるように
すべきである。たとえばｎ＝１．５のような屈折率を考
慮して、角度αを材料に依存してに選定することがで
き、できるだけ多くの光がライトガイド６から出力結合
されるように設定される。この場合、約４５゜の角度が
適切であると実証された。その際、壁５は、その有効面
が側面９全体の像を写すような高さに構成される。
【００２０】ライトガイド６の外側の下方の周縁部には
反射器４が設けられており、これらの反射器によりライ
トガイド６の光が開口部１１の方向へ導かれる。これら
の反射器は、ｎ＝１．５における壁５の所定の角度αゆ
えに、有利には水平線に対し約３０゜の角度α1 で傾斜
しており、その結果、屈折の法則に基づきできるかぎり
多くの光が壁５を通過することになる。そしてこれらの
反射器は有利には鏡面化されており、したがって光の損
失はない。反射器４の上方には別の反射器１０が設けら
れており、それらの反射器によりライトガイド６の光の
一部が物体１の上面１３へ投射される。これにより物体
１の上面１３も側面９と同時に光学検査装置７において
検査することができる。
反射器４が設けられており、これらの反射器によりライ
トガイド６の光が開口部１１の方向へ導かれる。これら
の反射器は、ｎ＝１．５における壁５の所定の角度αゆ
えに、有利には水平線に対し約３０゜の角度α1 で傾斜
しており、その結果、屈折の法則に基づきできるかぎり
多くの光が壁５を通過することになる。そしてこれらの
反射器は有利には鏡面化されており、したがって光の損
失はない。反射器４の上方には別の反射器１０が設けら
れており、それらの反射器によりライトガイド６の光の
一部が物体１の上面１３へ投射される。これにより物体
１の上面１３も側面９と同時に光学検査装置７において
検査することができる。
【００２１】よりよく理解できるようにする目的で、ラ
イトガイド６における光ビームＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄが書き込
まれている。これらの光ビームは反射器４により開口部
１１の方へ向かって偏向され、したがって物体１の側面
９を照射する。側面９はこれらのビームを反射し、その
結果、これらのビームは壁５においてビームＡ′，
Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′として光学検査装置７の方向へ偏向さ
れる。これにより光学検査装置７において、物体１の側
面９も表面１３も同時に識別できる。
イトガイド６における光ビームＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄが書き込
まれている。これらの光ビームは反射器４により開口部
１１の方へ向かって偏向され、したがって物体１の側面
９を照射する。側面９はこれらのビームを反射し、その
結果、これらのビームは壁５においてビームＡ′，
Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′として光学検査装置７の方向へ偏向さ
れる。これにより光学検査装置７において、物体１の側
面９も表面１３も同時に識別できる。
【００２２】光学検査装置７と組み合わせられたライト
ガイド６の有利な使用法は、電子コンポーネントを製造
する際の視覚検査である。材料検査や動植物分野におい
ても一般的な使用法として見込むことができる。
ガイド６の有利な使用法は、電子コンポーネントを製造
する際の視覚検査である。材料検査や動植物分野におい
ても一般的な使用法として見込むことができる。
【図１】光学検査装置と組み合わせられた実施例の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】上記の実施例平面図である。
【図３】上記実施例の断面図である。
１ 物体 ４ 反射器 ５ 壁 ６ ライトガイド ７ 光学検査装置 １２ 光源 １７ 画像認識装置 １８ 電源ユニット １９ 基板
Claims (13)
- 【請求項１】 物体を照射するライトガイド装置におい
て、 ライトガイド（６）は開口部（１１）を有しており、該
開口部中へ、物体（１）が側面から照射されるように前
記ライトガイド（６）の光が導かれ、前記開口部（１
１）は壁（５）を有しており、該壁は偏向ミラーとして
構成されており、該壁により、物体（１）から反射した
光が前記ライトガイド（６）の開口部（１１）から取り
出されて導かれることを特徴とする、ライトガイド装
置。 - 【請求項２】 前記壁(５)の傾斜角度(α)は、前記ライ
トガイド（６）の材料の屈折率に依存して選定可能であ
る、請求項１記載のライトガイド装置。 - 【請求項３】 前記壁（５）の傾斜角度（α）は約４５
゜である、請求項１または２記載のライトガイド装置。 - 【請求項４】 前記壁（５）の有効光出射面は少なくと
も前記物体（１）の高さを有する、請求項３記載のライ
トガイド装置。 - 【請求項５】 前記ライトガイド（６）の外縁部に少な
くとも１つの反射器（４）が設けられており、該反射器
（４）により、前記ライトガイド（６）の光が開口部
（１１）へ向けて偏向される、請求項１〜４のいずれか
１項記載のライトガイド装置。 - 【請求項６】 前記反射器（４）の上方に別の反射器
（１０）が配置されており、該別の反射器（１０）によ
り前記ライトガイド（６）の光の一部分が物体（１）の
上面（１３）へ偏向される、請求項５記載のライトガイ
ド装置。 - 【請求項７】 前記ライトガイド（６）は少なくとも１
つの光源（１２）を有しており、少なくとも１つの光源
（１２）の輝度は制御可能である、請求項１〜６のいず
れか１項記載のライトガイド装置。 - 【請求項８】 前記ライトガイド（６）は光学検査装置
（７）と結合されており、該光学検査装置（７）の対物
レンズは、壁（５）からの反射光を当該レンズが主とし
て受光するよう、前記ライトガイド（６）の開口部（１
１）の上方に配置されている、請求項１〜７のいずれか
１項記載のライトガイド装置。 - 【請求項９】 前記光学検査装置（７）は光学顕微鏡お
よび／またはカメラ装置である、請求項８記載のライト
ガイド装置。 - 【請求項１０】 前記光学検査装置（７）は物体（１）
たとえば半導体チップの光学的材料検査に使用可能であ
る、請求項８または９記載のライトガイド装置。 - 【請求項１１】 前記光学検査装置（７）は自動画像認
識装置（１７）と接続されており、当該光学検査装置
（７）は、ライトガイド（６）に対し相対的に物体
（１）を自動的に位置決めするために、および／または
物体（１）の欠陥検出のために構成されている、請求項
１０記載のライトガイド装置。 - 【請求項１２】 前記光学検査装置（７）は、欠陥検出
時に物体（１）をマーキングするように構成されてい
る、請求項１１記載のライトガイド装置。 - 【請求項１３】 請求項８〜１２のいずれか１項記載の
ライトガイド装置の使用方法において、 ライトガイド（６）を光学検査装置（７）とともに、た
とえば電子コンポーネントを製造する際、視覚検査にお
いて用いることを特徴とする、ライトガイド装置の使用
方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4426968.4 | 1994-07-29 | ||
| DE19944426968 DE4426968C2 (de) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | Optische Untersuchungsvorrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862425A true JPH0862425A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=6524488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19383895A Pending JPH0862425A (ja) | 1994-07-29 | 1995-07-28 | ライトガイド装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862425A (ja) |
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