JPH086278Y2 - リークテスト装置 - Google Patents
リークテスト装置Info
- Publication number
- JPH086278Y2 JPH086278Y2 JP1991037598U JP3759891U JPH086278Y2 JP H086278 Y2 JPH086278 Y2 JP H086278Y2 JP 1991037598 U JP1991037598 U JP 1991037598U JP 3759891 U JP3759891 U JP 3759891U JP H086278 Y2 JPH086278 Y2 JP H086278Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- gas
- leak
- hood
- leak test
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、被試験体の気密試験を
行う際に利用されるリークテスト装置に関するものであ
る。
行う際に利用されるリークテスト装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】リークテスト分野において、真空法と呼
ばれる手法が知られている。この手法は、被試験体の内
部を真空排気する一方、その周囲にプローブガスを吹き
付け、亀裂などがあればそこを通じて被試験体の内部に
プローブガスを積極的に侵入させることによりその侵入
量に基づいて気密性を判定するものである。
ばれる手法が知られている。この手法は、被試験体の内
部を真空排気する一方、その周囲にプローブガスを吹き
付け、亀裂などがあればそこを通じて被試験体の内部に
プローブガスを積極的に侵入させることによりその侵入
量に基づいて気密性を判定するものである。
【０００３】しかして、従来の真空法を実施するための
装置は、自動化のために、金属や樹脂等で形成された開
閉蓋を有する密閉性容器と、この容器内を排気する排気
手段と、その容器内にプローブガスを導入するガス導入
手段と、被試験体内に漏入したプローブガス量を検出す
るリークデテクタとを具備してなる。そして、装着部に
被試験体を装着した後に蓋を閉めて被試験体内を排気す
る一方、容器内にプローブガスを充満させ、被試験体の
内部よりリークデテクタに流入するプローブガスの量を
測定して気密性を判定するようにしている。
装置は、自動化のために、金属や樹脂等で形成された開
閉蓋を有する密閉性容器と、この容器内を排気する排気
手段と、その容器内にプローブガスを導入するガス導入
手段と、被試験体内に漏入したプローブガス量を検出す
るリークデテクタとを具備してなる。そして、装着部に
被試験体を装着した後に蓋を閉めて被試験体内を排気す
る一方、容器内にプローブガスを充満させ、被試験体の
内部よりリークデテクタに流入するプローブガスの量を
測定して気密性を判定するようにしている。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】ところで、かかるプロ
ーブガスには従来からＨｅガスが用いられることが多
い。その理由は、Ｈｅガスが拡散性に富み、わずかな亀
裂等からでも洩れるので、気密性を高いレベルで検出で
きることによる。しかし、このガスは比較的高価であ
り、一定容積の容器に１チャージ毎に充満させなければ
ならないので、ランニングコストが高くつく問題があ
る。
ーブガスには従来からＨｅガスが用いられることが多
い。その理由は、Ｈｅガスが拡散性に富み、わずかな亀
裂等からでも洩れるので、気密性を高いレベルで検出で
きることによる。しかし、このガスは比較的高価であ
り、一定容積の容器に１チャージ毎に充満させなければ
ならないので、ランニングコストが高くつく問題があ
る。
【０００５】これに対して、Ｈｅガスを測定終了ごとに
回収することも考えられているが、回収装置を設けるこ
とによりイニシャルコスト増となり、現行では割に合わ
ない。
回収することも考えられているが、回収装置を設けるこ
とによりイニシャルコスト増となり、現行では割に合わ
ない。
【０００６】本考案は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、ランニングコストを有効に低減でき
るようにしたリークテスト装置を、装置の大型化を招く
ことなく、また使い勝手を低下させることなく有効に実
現することを目的としている。
れたものであって、ランニングコストを有効に低減でき
るようにしたリークテスト装置を、装置の大型化を招く
ことなく、また使い勝手を低下させることなく有効に実
現することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本考案は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
【０００８】すなわち、本考案に係るリークテスト装置
は、真空法に基づいてリークテストを行う際に利用され
るリークテスト装置であって、被試験体挿脱用の開閉可
動部を有した密閉性容器と、前記容器内を排気する排気
手段と、その容器内にプローブガスを導入するガス導入
手段と、被試験体内に漏入したプローブガス量を検出す
るリークデテクタとを具備してなり、前記密閉性容器
を、固定テーブルと、このテーブルに蝶着された開口部
を有する枠体と、この枠体の開口部を閉塞する可撓性フ
ードとから構成してなることを特徴とする。
は、真空法に基づいてリークテストを行う際に利用され
るリークテスト装置であって、被試験体挿脱用の開閉可
動部を有した密閉性容器と、前記容器内を排気する排気
手段と、その容器内にプローブガスを導入するガス導入
手段と、被試験体内に漏入したプローブガス量を検出す
るリークデテクタとを具備してなり、前記密閉性容器
を、固定テーブルと、このテーブルに蝶着された開口部
を有する枠体と、この枠体の開口部を閉塞する可撓性フ
ードとから構成してなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】このような構成のものであると、開閉可動部を
閉じて容器内を密閉し排気手段によって排気すると、該
容器内の空気が吸い出され、フードが次第に萎んでい
く。このため、次にガス導入手段から容器内にＨｅ等の
プローブガスを導入すると、内容積の小さくなった容器
にはすぐにプローブガスが充満することになる。これら
のガスは従来の容器におけると同様に被試験体の周囲に
くまなく接触するので、被試験体に亀裂などがある場合
に検出されるリーク量は従来の構成と変わるところがな
い。しかして、このリークテスト装置によると、従来よ
りも遥かに少ないプローブガス消費量で適正なリークテ
ストを行うことが可能になる。
閉じて容器内を密閉し排気手段によって排気すると、該
容器内の空気が吸い出され、フードが次第に萎んでい
く。このため、次にガス導入手段から容器内にＨｅ等の
プローブガスを導入すると、内容積の小さくなった容器
にはすぐにプローブガスが充満することになる。これら
のガスは従来の容器におけると同様に被試験体の周囲に
くまなく接触するので、被試験体に亀裂などがある場合
に検出されるリーク量は従来の構成と変わるところがな
い。しかして、このリークテスト装置によると、従来よ
りも遥かに少ないプローブガス消費量で適正なリークテ
ストを行うことが可能になる。
【００１０】
【実施例】以下、本考案の一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１１】このリークテスト装置は、図１〜図４にそ
れぞれ示すように、被試験体挿脱用の開閉可動部１ａを
有した密閉性容器１と、この容器１の一部を形成する可
撓性フード１２と、前記容器１内を排気する排気手段２
と、その容器１内にプローブガスたるＨｅガスを導入す
るガス導入手段３と、被試験体内に漏入したＨｅガス量
を検出するリークデテクタ４とを具備してなる。
れぞれ示すように、被試験体挿脱用の開閉可動部１ａを
有した密閉性容器１と、この容器１の一部を形成する可
撓性フード１２と、前記容器１内を排気する排気手段２
と、その容器１内にプローブガスたるＨｅガスを導入す
るガス導入手段３と、被試験体内に漏入したＨｅガス量
を検出するリークデテクタ４とを具備してなる。
【００１２】密閉性容器１は、据付台１３の頂板部に固
定されたテーブル１４と、開口部を有した枠体１５と、
この枠体１５の開口部を閉塞するフード１２とによって
空間を囲繞し得るように構成されている。そして、前記
枠体１５をヒンジ１６を介してテーブル１４に蝶着し、
その枠体１５から後方に延出させた可動基端部１５ａに
エアシリンダ１７を接続してヒンジ１６を支点とする開
閉可動部１ａを形成している。フード１２にはビニルシ
ート等に比べて強度の高い薄手のパラシュートクロス等
が用いられており、このフード１２の下縁近傍部に内側
から当てがった図示しない押え板で該フード１２を枠体
１５に固定するとともに、該フード１２の下縁に図示し
ない抜止め用のロープを包持させている。そして、この
フード１２が膨脹した時に、枠体１５に沿って上方に起
立し、全体がせり上がって箱体をなすように設定してあ
る。なお、前記テーブル１４には、被試験体を接続する
ための複数本の接続ポート１８がテーブル１４を貫通し
た各位置に配列開口させてある。
定されたテーブル１４と、開口部を有した枠体１５と、
この枠体１５の開口部を閉塞するフード１２とによって
空間を囲繞し得るように構成されている。そして、前記
枠体１５をヒンジ１６を介してテーブル１４に蝶着し、
その枠体１５から後方に延出させた可動基端部１５ａに
エアシリンダ１７を接続してヒンジ１６を支点とする開
閉可動部１ａを形成している。フード１２にはビニルシ
ート等に比べて強度の高い薄手のパラシュートクロス等
が用いられており、このフード１２の下縁近傍部に内側
から当てがった図示しない押え板で該フード１２を枠体
１５に固定するとともに、該フード１２の下縁に図示し
ない抜止め用のロープを包持させている。そして、この
フード１２が膨脹した時に、枠体１５に沿って上方に起
立し、全体がせり上がって箱体をなすように設定してあ
る。なお、前記テーブル１４には、被試験体を接続する
ための複数本の接続ポート１８がテーブル１４を貫通し
た各位置に配列開口させてある。
【００１３】排気手段２は、前記テーブル１４に排気口
２１を開口し、この排気口２１に排気バルブＲＶを介し
てドライ真空ポンプＲＰを接続した構成からなる。
２１を開口し、この排気口２１に排気バルブＲＶを介し
てドライ真空ポンプＲＰを接続した構成からなる。
【００１４】ガス導入手段３は、前記テーブル１４上、
前記排気口２１の対角位置にガス導入口３１を開口し、
このガス導入口３１に減圧弁ＤＶおよびＨｅバルブＨＶ
を介してＨｅガス源３２を接続した構成からなる。
前記排気口２１の対角位置にガス導入口３１を開口し、
このガス導入口３１に減圧弁ＤＶおよびＨｅバルブＨＶ
を介してＨｅガス源３２を接続した構成からなる。
【００１５】リークデテクタ４は、この種の装置として
知られる一般的な機能を備えたもので、前記各接続ポー
ト１８に連通する排気ラインＬを内設の真空ポンプで吸
引でき、また、その際に該デテクタ４内に侵入してくる
ガス中のＨｅガスを選択して測量できるようになってい
る。
知られる一般的な機能を備えたもので、前記各接続ポー
ト１８に連通する排気ラインＬを内設の真空ポンプで吸
引でき、また、その際に該デテクタ４内に侵入してくる
ガス中のＨｅガスを選択して測量できるようになってい
る。
【００１６】なお、ＥＶはパージバルブであり、容器１
内を適宜大気開放し得るようになっている。５はスター
トスイッチを含むコンソールボックスであり、６はシグ
ナルタワーであり、１９はゴムパッキンである。
内を適宜大気開放し得るようになっている。５はスター
トスイッチを含むコンソールボックスであり、６はシグ
ナルタワーであり、１９はゴムパッキンである。
【００１７】次に、本実施例を用いてリークテストを行
う際の手順について説明する。先ず、接続ポート１８に
図示しない被試験体を装着し、エアシリンダ１７を作動
させてフード１２を下降させテーブル１４に密着させて
容器１内を密閉する。次に、リークデテクタ４内の真空
ポンプで接続ポート１８を介して被試験体内を排気す
る。このとき、万一の大気リークに備えてパージバルブ
ＥＶは開にしておく。その後、残留Ｈｅのバックグラン
ドレベルが下がりリークデテクタ４がテスト可能な状態
になると、パージバルブＥＶを閉、排気バルブＲＶを開
にしてフード１２を萎ませる。これにより、フード１２
は接続ポート１８や被試験体などの部材に張り付き、何
も無いところではテーブル１４に張り付く程度にまで萎
むことができる。フード１２が十分に小さくなったと
き、排気バルブＲＶを開にし、次にＨｅバルブＨＶを開
にして少量のＨｅガスを容器１内に導入した後、Ｈｅバ
ルブＨＶを閉じる。そして、リークデテクタ４にＨｅが
検知されるかどうかをチェックし、合否判定する。それ
が終わると、リークデテクタ４から被試験体内に大気を
導入するとともに、パージバルブＥＶおよび排気バルブ
ＲＶを開にし、フード１２内のＨｅガスをパージする。
最後に、開閉可動部１ａを作動させてフード１２を枠体
１５とともに上昇させ、被試験体を接続ポート１８から
取り外して１チャージ分の作業を完了する。
う際の手順について説明する。先ず、接続ポート１８に
図示しない被試験体を装着し、エアシリンダ１７を作動
させてフード１２を下降させテーブル１４に密着させて
容器１内を密閉する。次に、リークデテクタ４内の真空
ポンプで接続ポート１８を介して被試験体内を排気す
る。このとき、万一の大気リークに備えてパージバルブ
ＥＶは開にしておく。その後、残留Ｈｅのバックグラン
ドレベルが下がりリークデテクタ４がテスト可能な状態
になると、パージバルブＥＶを閉、排気バルブＲＶを開
にしてフード１２を萎ませる。これにより、フード１２
は接続ポート１８や被試験体などの部材に張り付き、何
も無いところではテーブル１４に張り付く程度にまで萎
むことができる。フード１２が十分に小さくなったと
き、排気バルブＲＶを開にし、次にＨｅバルブＨＶを開
にして少量のＨｅガスを容器１内に導入した後、Ｈｅバ
ルブＨＶを閉じる。そして、リークデテクタ４にＨｅが
検知されるかどうかをチェックし、合否判定する。それ
が終わると、リークデテクタ４から被試験体内に大気を
導入するとともに、パージバルブＥＶおよび排気バルブ
ＲＶを開にし、フード１２内のＨｅガスをパージする。
最後に、開閉可動部１ａを作動させてフード１２を枠体
１５とともに上昇させ、被試験体を接続ポート１８から
取り外して１チャージ分の作業を完了する。
【００１８】しかして、このリークテスト装置による
と、フード１２を萎ませた後にＨｅガスを導入するた
め、従来よりも僅かな消費量でＨｅガスを被試験体の外
部に有効に接触させることができる。このため、リーク
テストに係るランニングコストを従来に比べて大幅に低
減化することが可能になる。
と、フード１２を萎ませた後にＨｅガスを導入するた
め、従来よりも僅かな消費量でＨｅガスを被試験体の外
部に有効に接触させることができる。このため、リーク
テストに係るランニングコストを従来に比べて大幅に低
減化することが可能になる。
【００１９】なお、各部の構成は図示例に限定されるも
のではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形
が可能である。
のではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形
が可能である。
【００２０】
【考案の効果】本考案のリークテスト装置は、以上説明
した構成であるから、従来に比べて遥かに少ないプロー
ブガス消費量で適正なリークテストを行うことができ
る。この結果、リークテストに係るランニングコストを
従来に比べて大幅に低減化することが可能になる。しか
も、本考案は可撓性フードを内側からの排気によって縮
ませるようにしているため、排気手段やガス導入手段の
ように高い気密性が要求され重量も嵩みがちな配管類を
全てテーブル側に設け、密閉性容器の可動する部分を、
枠体及び可撓性フードのみによって簡易に構成すること
ができる。このため、重厚な外ケースが不要になり、装
置全体の性能を低下させずに可動する部分の軽量化及び
これに伴う容器の軽快な動作を確保することが可能とな
り、また可動する部分をさほど大きく駆動せずともテー
ブルの上方空間を十分に広く開放することができるの
で、装置全体を一層コンパクトに構成しても、被試験体
を好適に脱着するために必要な作業環境を容易に提供す
ることができるという格別の効果を奏する。その上、排
気によって可撓性フードを萎ませるようにすれば、送風
によって萎ませる場合に比べて被試験体に対する付き回
りをより良好ならしめることが可能となる。
した構成であるから、従来に比べて遥かに少ないプロー
ブガス消費量で適正なリークテストを行うことができ
る。この結果、リークテストに係るランニングコストを
従来に比べて大幅に低減化することが可能になる。しか
も、本考案は可撓性フードを内側からの排気によって縮
ませるようにしているため、排気手段やガス導入手段の
ように高い気密性が要求され重量も嵩みがちな配管類を
全てテーブル側に設け、密閉性容器の可動する部分を、
枠体及び可撓性フードのみによって簡易に構成すること
ができる。このため、重厚な外ケースが不要になり、装
置全体の性能を低下させずに可動する部分の軽量化及び
これに伴う容器の軽快な動作を確保することが可能とな
り、また可動する部分をさほど大きく駆動せずともテー
ブルの上方空間を十分に広く開放することができるの
で、装置全体を一層コンパクトに構成しても、被試験体
を好適に脱着するために必要な作業環境を容易に提供す
ることができるという格別の効果を奏する。その上、排
気によって可撓性フードを萎ませるようにすれば、送風
によって萎ませる場合に比べて被試験体に対する付き回
りをより良好ならしめることが可能となる。
【図１】本考案の一実施例を示す原理図。
【図２】同実施例の具体的な装置を示す正面図。
【図３】図２の平面図。
【図４】図２の左側面図。
１…密閉性容器 １ａ…開閉可動部 ２…排気手段 ３…ガス導入手段 ４…リークデテクタ １２…可撓性フード１４…テーブル １５…枠体
Claims (1)
- 【請求項１】真空法に基づいてリークテストを行う際に
利用されるリークテスト装置であって、被試験体挿脱用
の開閉可動部を有した密閉性容器と、前記容器内を排気
する排気手段と、その容器内にプローブガスを導入する
ガス導入手段と、被試験体内に漏入したプローブガス量
を検出するリークデテクタとを具備してなり、前記密閉
性容器を、固定テーブルと、このテーブルに蝶着された
開口部を有する枠体と、この枠体の開口部を閉塞する可
撓性フードとから構成してなることを特徴とするリーク
テスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991037598U JPH086278Y2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | リークテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991037598U JPH086278Y2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | リークテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131745U JPH04131745U (ja) | 1992-12-04 |
| JPH086278Y2 true JPH086278Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31919287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991037598U Expired - Fee Related JPH086278Y2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | リークテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086278Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6314136U (ja) * | 1986-07-12 | 1988-01-29 | ||
| JPH01227037A (ja) * | 1988-03-08 | 1989-09-11 | Yamaha Corp | 漏れ試験機用容器 |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP1991037598U patent/JPH086278Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04131745U (ja) | 1992-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |