JPH0864386A - 回転陽極x線管装置 - Google Patents
回転陽極x線管装置Info
- Publication number
- JPH0864386A JPH0864386A JP20318294A JP20318294A JPH0864386A JP H0864386 A JPH0864386 A JP H0864386A JP 20318294 A JP20318294 A JP 20318294A JP 20318294 A JP20318294 A JP 20318294A JP H0864386 A JPH0864386 A JP H0864386A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray tube
- rotating anode
- anode
- insulating member
- heat
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷却効率の優れた回転X線管装置を提供す
る。 【構成】 ガラスバルブ11内に回転陽極13および陰
極14が対向するように配設されたX線管12をX線管
容器10内に収容した回転陽極X線管装置において、ガ
ラスバルブ11の外側でかつ回転陽極の裏面13aと対
向する位置に輻射熱を吸収する絶縁部材17を介在させ
る。
る。 【構成】 ガラスバルブ11内に回転陽極13および陰
極14が対向するように配設されたX線管12をX線管
容器10内に収容した回転陽極X線管装置において、ガ
ラスバルブ11の外側でかつ回転陽極の裏面13aと対
向する位置に輻射熱を吸収する絶縁部材17を介在させ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、医用分野において用い
られる回転陽極X線管装置に関し、さらに詳しくは回転
陽極X線管装置の冷却に関する。
られる回転陽極X線管装置に関し、さらに詳しくは回転
陽極X線管装置の冷却に関する。
【0002】
【従来の技術】回転陽極X管ではX線を発生する際に大
量の熱を発生するため、冷却しなければならない。その
ため、従来より回転陽極(ターゲット)の熱は輻射によ
り、X線管の管容器の各部材や管容器内に充満させた絶
縁油に放散させている。
量の熱を発生するため、冷却しなければならない。その
ため、従来より回転陽極(ターゲット)の熱は輻射によ
り、X線管の管容器の各部材や管容器内に充満させた絶
縁油に放散させている。
【0003】また、回転陽極からの熱放散の効率を向上
するために、回転陽極の裏面、すなわち陰極と対向する
面(ターゲット面)の裏面に高輻射率のセラミックコー
ティングを施すことや高輻射率のグラファイトを設ける
ことがなされている。
するために、回転陽極の裏面、すなわち陰極と対向する
面(ターゲット面)の裏面に高輻射率のセラミックコー
ティングを施すことや高輻射率のグラファイトを設ける
ことがなされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】近年の診断技術の高度
化に伴い、ますます高頻度に回転陽極X線管装置が使用
されるようになり、X線管容器の冷却能力の向上の必要
性が増している。ところが、回転陽極からの放熱には限
界があり、放熱を良くするために回転陽極の動作温度を
上げると回転陽極からのガス放出が増し、管内放電が生
じたり、あるいは回転陽極の回転機構のベアリング部分
の温度上昇を招き、回転騒音異常を起こすことがあっ
た。本発明はこのような問題を解決し、従来の冷却方法
によるものよりもさらに冷却効率の優れた回転陽極X線
管装置を提供することを目的とする。
化に伴い、ますます高頻度に回転陽極X線管装置が使用
されるようになり、X線管容器の冷却能力の向上の必要
性が増している。ところが、回転陽極からの放熱には限
界があり、放熱を良くするために回転陽極の動作温度を
上げると回転陽極からのガス放出が増し、管内放電が生
じたり、あるいは回転陽極の回転機構のベアリング部分
の温度上昇を招き、回転騒音異常を起こすことがあっ
た。本発明はこのような問題を解決し、従来の冷却方法
によるものよりもさらに冷却効率の優れた回転陽極X線
管装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明の回転X線管装置は、ガラスバルブ内
に回転陽極および陰極が対向するように配設されたX線
管をX線管容器内に収容した回転陽極X線管装置におい
て、ガラスバルブの外側でかつ回転陽極の裏面と対向す
る位置に輻射熱を吸収する絶縁部材を介在させたことを
特徴とする。以下、この装置がどのように作用するか説
明する。
になされた本発明の回転X線管装置は、ガラスバルブ内
に回転陽極および陰極が対向するように配設されたX線
管をX線管容器内に収容した回転陽極X線管装置におい
て、ガラスバルブの外側でかつ回転陽極の裏面と対向す
る位置に輻射熱を吸収する絶縁部材を介在させたことを
特徴とする。以下、この装置がどのように作用するか説
明する。
【0006】
【作用】本発明の回転陽極X線管装置では、回転陽極で
発生し、輻射によって放散された熱はガラスバルブ外側
近傍に対向して設けられた輻射熱を吸収する絶縁部材に
よって吸収される。この絶縁部材の存在によって回転陽
極からの熱を効率よく吸収することができ、ターゲット
の動作温度を上げることなく冷却の効率を向上させるこ
とができる。特に、回転陽極が最も高温になるので、こ
の回転陽極の裏面に対向する位置に熱吸収を促進する絶
縁部材を設けることにより熱吸収効率は向上する。
発生し、輻射によって放散された熱はガラスバルブ外側
近傍に対向して設けられた輻射熱を吸収する絶縁部材に
よって吸収される。この絶縁部材の存在によって回転陽
極からの熱を効率よく吸収することができ、ターゲット
の動作温度を上げることなく冷却の効率を向上させるこ
とができる。特に、回転陽極が最も高温になるので、こ
の回転陽極の裏面に対向する位置に熱吸収を促進する絶
縁部材を設けることにより熱吸収効率は向上する。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図1に本発明による回転陽極X線管装置の一実施例
の断面図を示す。このX線管装置は、X線管容器10内
にガラスバルブ11により内部が密封されたX線管12
が入れてある。X線管12内には、回転陽極13と陰極
14とが対向して配置されており、回転陽極13はロー
タ15およびステータ16とからなるモータ機構に軸支
され、回転可能となっている。回転陽極13の陰極側の
に対向する面はターゲット面であり、その裏面13aは
輻射効率を向上させるために高輻射率を有するセラミッ
クコーティングが施されている。また、これと同様にロ
ータ15の外表面15aについても輻射効率向上のため
のセラミックコーティングが施されている。これはロー
タに発生する熱をも効率よく放散するためである。セラ
ミックコーティングは、Al2 O3 、TiO2 、ZnO
2 のうちの少なくともひとつを被コーティング面に溶射
することにより施されるのが一般的であるが、これ以外
であってもよい。たとえば、回転陽極の裏面13aにつ
いてはコーティングのかわりにグラファイト部材をろう
付けにより接合してもよい。
る。図1に本発明による回転陽極X線管装置の一実施例
の断面図を示す。このX線管装置は、X線管容器10内
にガラスバルブ11により内部が密封されたX線管12
が入れてある。X線管12内には、回転陽極13と陰極
14とが対向して配置されており、回転陽極13はロー
タ15およびステータ16とからなるモータ機構に軸支
され、回転可能となっている。回転陽極13の陰極側の
に対向する面はターゲット面であり、その裏面13aは
輻射効率を向上させるために高輻射率を有するセラミッ
クコーティングが施されている。また、これと同様にロ
ータ15の外表面15aについても輻射効率向上のため
のセラミックコーティングが施されている。これはロー
タに発生する熱をも効率よく放散するためである。セラ
ミックコーティングは、Al2 O3 、TiO2 、ZnO
2 のうちの少なくともひとつを被コーティング面に溶射
することにより施されるのが一般的であるが、これ以外
であってもよい。たとえば、回転陽極の裏面13aにつ
いてはコーティングのかわりにグラファイト部材をろう
付けにより接合してもよい。
【0008】ガラスバルブ11の外側で回転陽極13の
裏面13aに対向する位置付近に輻射熱吸収体である絶
縁部材17が設けられる。絶縁部材17の材料として
は、セラミックスや樹脂が用いられるが、たとえば電気
絶縁性、耐熱性、熱伝導性の点からAlNが好適であ
る。絶縁部材17には輻射熱をより効率的に吸収できる
ようにターゲット裏面と同様のセラミックコーティング
を施してもよい。
裏面13aに対向する位置付近に輻射熱吸収体である絶
縁部材17が設けられる。絶縁部材17の材料として
は、セラミックスや樹脂が用いられるが、たとえば電気
絶縁性、耐熱性、熱伝導性の点からAlNが好適であ
る。絶縁部材17には輻射熱をより効率的に吸収できる
ようにターゲット裏面と同様のセラミックコーティング
を施してもよい。
【0009】なお、本実施例では絶縁部材17はロータ
15に対向する部分まで延設され、ロータ外表面の輻射
熱をも吸収できるようにしてある。この場合、高電圧で
あるロータ15とアース電位であるステータ16との間
は絶縁する必要があるが、絶縁部材17はもともと絶縁
性を有するがゆえに特に問題は生じない。
15に対向する部分まで延設され、ロータ外表面の輻射
熱をも吸収できるようにしてある。この場合、高電圧で
あるロータ15とアース電位であるステータ16との間
は絶縁する必要があるが、絶縁部材17はもともと絶縁
性を有するがゆえに特に問題は生じない。
【0010】X線管容器10とガラスバルブ11との間
の空間は絶縁油18により充満されており、この絶縁油
により冷却されるようになっている。なお、絶縁部材1
7に吸収された熱を効果的に逃がすため、絶縁部材17
の裏側に冷却リング19を設けておけばさらによい。こ
の冷却リング19は中空形状であり、内部は冷媒(たと
えば絶縁油)が充填され、図示しない熱交換器との間を
冷媒が循環するようにしてある。この冷却リング19は
アース電位でよく、銅、アルミ、またはこれらの合金に
より作られる。
の空間は絶縁油18により充満されており、この絶縁油
により冷却されるようになっている。なお、絶縁部材1
7に吸収された熱を効果的に逃がすため、絶縁部材17
の裏側に冷却リング19を設けておけばさらによい。こ
の冷却リング19は中空形状であり、内部は冷媒(たと
えば絶縁油)が充填され、図示しない熱交換器との間を
冷媒が循環するようにしてある。この冷却リング19は
アース電位でよく、銅、アルミ、またはこれらの合金に
より作られる。
【0011】以上のような構成の回転X線管装置により
X線を発生させることにより、熱が発生する。特に、陰
極に対向するターゲットとしての回転陽極13での発熱
が大きい。ここで発生した熱は輻射され、あるいは陽極
の裏面13aに伝達され、ここから輻射熱として発散さ
れる。この発散される輻射熱はガラスバルブ11の外側
にて裏面13aと対向するように設けられている絶縁部
材17により効果的に吸収される。さらに、絶縁部材1
が冷却リング19により冷却されていれば、これにより
X線管が効果的に冷却される。なお、絶縁部材17をロ
ータ15と対向する部分まで延設してあれば、ロータ部
分での発熱についても有効に吸収でき、さらに冷却効率
が向上する。
X線を発生させることにより、熱が発生する。特に、陰
極に対向するターゲットとしての回転陽極13での発熱
が大きい。ここで発生した熱は輻射され、あるいは陽極
の裏面13aに伝達され、ここから輻射熱として発散さ
れる。この発散される輻射熱はガラスバルブ11の外側
にて裏面13aと対向するように設けられている絶縁部
材17により効果的に吸収される。さらに、絶縁部材1
が冷却リング19により冷却されていれば、これにより
X線管が効果的に冷却される。なお、絶縁部材17をロ
ータ15と対向する部分まで延設してあれば、ロータ部
分での発熱についても有効に吸収でき、さらに冷却効率
が向上する。
【0012】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
回転陽極の輻射面と対向するガラスバルブ外側近傍に輻
射熱を吸収する絶縁部材を介在させたことにより、発熱
が大きい回転陽極からの輻射熱を効果的に吸収すること
ができ、冷却効率を向上することができる。
回転陽極の輻射面と対向するガラスバルブ外側近傍に輻
射熱を吸収する絶縁部材を介在させたことにより、発熱
が大きい回転陽極からの輻射熱を効果的に吸収すること
ができ、冷却効率を向上することができる。
【図1】本発明の一実施例である回転X線管装置を示す
断面図。
断面図。
10:X線管容器 11:ガラスバルブ 12:X線管 13:回転陽極(ターゲット) 13a:回転陽極裏面 14:陰極 15:ロータ 15a:ロータ外表面 16:ステータ 17:絶縁部材 18:絶縁油
Claims (1)
- 【請求項1】ガラスバルブ内に回転陽極および陰極が対
向するように配設されたX線管をX線管容器内に収容し
た回転陽極X線管装置において、ガラスバルブの外側で
かつ回転陽極の裏面と対向する位置に輻射熱を吸収する
絶縁部材を介在させたことを特徴とする回転陽極X線管
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20318294A JPH0864386A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 回転陽極x線管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20318294A JPH0864386A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 回転陽極x線管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0864386A true JPH0864386A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16469824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20318294A Pending JPH0864386A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 回転陽極x線管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0864386A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008152926A1 (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Nikon Corporation | Euv光源、euv露光装置および半導体デバイスの製造方法 |
| CN117524816A (zh) * | 2024-01-04 | 2024-02-06 | 科罗诺司医疗器械(上海)有限公司 | X射线管及阳极回收方法 |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP20318294A patent/JPH0864386A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008152926A1 (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Nikon Corporation | Euv光源、euv露光装置および半導体デバイスの製造方法 |
| JP2008311465A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Nikon Corp | Euv光源、euv露光装置および半導体デバイスの製造方法 |
| CN117524816A (zh) * | 2024-01-04 | 2024-02-06 | 科罗诺司医疗器械(上海)有限公司 | X射线管及阳极回收方法 |
| CN117524816B (zh) * | 2024-01-04 | 2024-03-22 | 科罗诺司医疗器械(上海)有限公司 | X射线管及阳极回收方法 |
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