JPH086490Y2 - 薬品用濾過膜 - Google Patents
薬品用濾過膜Info
- Publication number
- JPH086490Y2 JPH086490Y2 JP1990050478U JP5047890U JPH086490Y2 JP H086490 Y2 JPH086490 Y2 JP H086490Y2 JP 1990050478 U JP1990050478 U JP 1990050478U JP 5047890 U JP5047890 U JP 5047890U JP H086490 Y2 JPH086490 Y2 JP H086490Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- single crystal
- silicon
- chemicals
- silicon single
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、シリコンウエハの製造工程において使用す
る薬品の濾過に用いる濾過膜に関するものである。
る薬品の濾過に用いる濾過膜に関するものである。
（従来の技術） シリコンウエハの製造においては、微量の不純物がシ
リコンウエハに付着・析出していても、バイアス電圧に
よる不純物イオンの移動等に起因してデバイスの表面が
変化し、特性劣化を免れ得ないので、シリコンウエハを
硝酸、弗酸、硫酸などの薬品で洗浄しているが、この薬
品を循環使用する場合、不純物の除去に伴い生成する微
粒子並びに金属イオンを濾過によって除去することが必
要である。
リコンウエハに付着・析出していても、バイアス電圧に
よる不純物イオンの移動等に起因してデバイスの表面が
変化し、特性劣化を免れ得ないので、シリコンウエハを
硝酸、弗酸、硫酸などの薬品で洗浄しているが、この薬
品を循環使用する場合、不純物の除去に伴い生成する微
粒子並びに金属イオンを濾過によって除去することが必
要である。
従来、この循環薬品の濾過には、有機多孔質体の精密
濾過膜、又は限外濾過膜を使用した濾過器を用いてい
る。
濾過膜、又は限外濾過膜を使用した濾過器を用いてい
る。
（解決しようとする課題） しかしながら、有機多孔質体の精密濾過膜、又は限外
濾過膜では、金属イオンを除去し得ず、薬品中の金属イ
オン濃度が次第に高くなっていき、使用を継続すれば、
遂には、薬品中の金属イオンによってシリコンウエハが
逆汚染されるに至る。このため、比較的頻繁に薬品を交
換する必要があり、不経済である。
濾過膜では、金属イオンを除去し得ず、薬品中の金属イ
オン濃度が次第に高くなっていき、使用を継続すれば、
遂には、薬品中の金属イオンによってシリコンウエハが
逆汚染されるに至る。このため、比較的頻繁に薬品を交
換する必要があり、不経済である。
従来、シリコン単結晶の吸着作用に着目し、シリコン
単結晶粉末を濾過材として使用すること、シリコン単結
晶板を積層し、その積層間隙を処理液通路とすることも
公知である。しかしながら、前者においては、シリコン
微粉末に基づく微粒子汚染の問題がある。後者において
は、シリコン単結晶を板状の形態で使用しているので、
上記粉末状シリコン単結晶使用の場合に較べて、濾過器
単位容積当たりの濾過材の表面積が著しく小さくなり、
同一濾過性能のもとでの濾過器の大型化が避けられな
い。
単結晶粉末を濾過材として使用すること、シリコン単結
晶板を積層し、その積層間隙を処理液通路とすることも
公知である。しかしながら、前者においては、シリコン
微粉末に基づく微粒子汚染の問題がある。後者において
は、シリコン単結晶を板状の形態で使用しているので、
上記粉末状シリコン単結晶使用の場合に較べて、濾過器
単位容積当たりの濾過材の表面積が著しく小さくなり、
同一濾過性能のもとでの濾過器の大型化が避けられな
い。
本考案の目的は、原液中の微粒子と金属イオンの双方
を、微粒子汚染、濾過器の大型化を回避して除去できる
薬品用濾過膜を提供することにある。
を、微粒子汚染、濾過器の大型化を回避して除去できる
薬品用濾過膜を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本考案に係わる薬品用濾過膜は、高分子多孔質膜の表
面にシリコン単結晶を蒸着したことを特徴とする構成で
ある。
面にシリコン単結晶を蒸着したことを特徴とする構成で
ある。
（作用） 高分子多孔質膜の孔を原液が通過する際、原液中の微
粒子が捕捉除去される。原液がシリコン単結晶蒸着膜に
接触する際に、原液中の金属イオンがシリコン単結晶の
鋭敏な吸着作用によって除去される。
粒子が捕捉除去される。原液がシリコン単結晶蒸着膜に
接触する際に、原液中の金属イオンがシリコン単結晶の
鋭敏な吸着作用によって除去される。
（実施例の説明） 以下、図面により本考案の実施について説明する。
第１図並びに第２図はそれぞれ本考案の実施例を示す
説明図である。
説明図である。
第１図並びに第２図において、１はフイルム状の高分
子多孔質膜であり、耐薬品性の精密濾過膜、限外濾過膜
等を使用できる。例えば、孔径0.01μｍ〜100μｍ、厚
み20μｍ〜200μｍの弗素樹脂多孔質膜、ポリプロピレ
ン多孔質膜等を使用できる。２は高分子多孔質膜の片面
又は両面に設けたシリコン単結晶の蒸着膜であり、その
膜厚は、通常0.01μｍ〜10μｍである。高分子多孔質膜
１への単結晶シリコンの蒸着には、真空蒸着法、スパッ
タリング法（反応スパッタリング法、高周波スパッタリ
ング法、マグネトロンスパッタリング法等）を使用でき
る。
子多孔質膜であり、耐薬品性の精密濾過膜、限外濾過膜
等を使用できる。例えば、孔径0.01μｍ〜100μｍ、厚
み20μｍ〜200μｍの弗素樹脂多孔質膜、ポリプロピレ
ン多孔質膜等を使用できる。２は高分子多孔質膜の片面
又は両面に設けたシリコン単結晶の蒸着膜であり、その
膜厚は、通常0.01μｍ〜10μｍである。高分子多孔質膜
１への単結晶シリコンの蒸着には、真空蒸着法、スパッ
タリング法（反応スパッタリング法、高周波スパッタリ
ング法、マグネトロンスパッタリング法等）を使用でき
る。
第３図並びに第４図はそれぞれ本考案の別実施例を示
し、上記第１図、第２図に示す複合膜を積層したもので
ある。
し、上記第１図、第２図に示す複合膜を積層したもので
ある。
本考案は、中空糸状又はチューブ状の高分子多孔質膜
の表面に単結晶シリコンの蒸着膜を設ける態様でも実施
できる。
の表面に単結晶シリコンの蒸着膜を設ける態様でも実施
できる。
上記各の液体用濾過膜は種々の型式の膜モジュールに
使用される。例えば、平膜の場合は、中央孔を有する円
板の両面に、内周部並びに外周部を除いて透過液通路溝
を形成し、その透過液通路溝の内終端を横孔を経て中央
孔に連通して成る膜支持板の両面に平膜を貼設し、この
平膜貼設支持板を積み重ね、中央孔空間を透過液集水室
とするカートリッジ型式で使用できる。また、平膜を封
筒状にし、所謂スパイラル膜モジュールの型式で使用す
ることもできる。中空糸、又はチューブ状の場合、束体
を筒状カバー内に収容し、筒状カバー内に原液を圧入
し、中空糸膜又はチューブ状膜の片端又は両端から取り
出す型式で使用できる。
使用される。例えば、平膜の場合は、中央孔を有する円
板の両面に、内周部並びに外周部を除いて透過液通路溝
を形成し、その透過液通路溝の内終端を横孔を経て中央
孔に連通して成る膜支持板の両面に平膜を貼設し、この
平膜貼設支持板を積み重ね、中央孔空間を透過液集水室
とするカートリッジ型式で使用できる。また、平膜を封
筒状にし、所謂スパイラル膜モジュールの型式で使用す
ることもできる。中空糸、又はチューブ状の場合、束体
を筒状カバー内に収容し、筒状カバー内に原液を圧入
し、中空糸膜又はチューブ状膜の片端又は両端から取り
出す型式で使用できる。
（考案の効果） 本考案に係わる薬品用濾過膜は上述したとおりの構成
であり、高分子多孔質膜の孔で原液中の微粒子を捕捉除
去できる。また、高分子多孔質膜の表面に単結晶シリコ
ンを蒸着しているので、シリコン単結晶の金属イオンに
対する鋭敏な吸着作用のために、原液中の金属イオンを
その単結晶シリコンによって吸着除去できる。
であり、高分子多孔質膜の孔で原液中の微粒子を捕捉除
去できる。また、高分子多孔質膜の表面に単結晶シリコ
ンを蒸着しているので、シリコン単結晶の金属イオンに
対する鋭敏な吸着作用のために、原液中の金属イオンを
その単結晶シリコンによって吸着除去できる。
従って、本考案によれば金属イオン、微粒子の双方と
もを吸着作用によって除去する場合に避けられないシリ
コン単結晶濾過器の大型化、シリコン単結晶を微末形態
で使用する場合に避けられない微粒子汚染を排除して、
原液中の金属イオン並びに微粒子を容易に除去できる。
もを吸着作用によって除去する場合に避けられないシリ
コン単結晶濾過器の大型化、シリコン単結晶を微末形態
で使用する場合に避けられない微粒子汚染を排除して、
原液中の金属イオン並びに微粒子を容易に除去できる。
第１図並びに第２図はそれぞれ本考案の実施例を示す説
明図、第３図並びに第４図はそれぞれ本考案の別実施例
を示す説明図である。 １…高分子多孔質膜、２…単結晶シリコンの蒸着膜。
明図、第３図並びに第４図はそれぞれ本考案の別実施例
を示す説明図である。 １…高分子多孔質膜、２…単結晶シリコンの蒸着膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 泉 秀樹 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−162627（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−9634（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】高分子多孔質膜の表面にシリコン単結晶を
蒸着したことを特徴とする薬品用濾過膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990050478U JPH086490Y2 (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 薬品用濾過膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990050478U JPH086490Y2 (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 薬品用濾過膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH049635U JPH049635U (ja) | 1992-01-28 |
| JPH086490Y2 true JPH086490Y2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=31569059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990050478U Expired - Lifetime JPH086490Y2 (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 薬品用濾過膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086490Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5126398A (ja) * | 1974-08-29 | 1976-03-04 | Unitika Ltd | Goseisenifuhakunofuaikairyoho |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP1990050478U patent/JPH086490Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH049635U (ja) | 1992-01-28 |
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