JPH0864985A - ノイズフィルタ用薄膜及びそれを用いたノイズフィルタ - Google Patents
ノイズフィルタ用薄膜及びそれを用いたノイズフィルタInfo
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- JPH0864985A JPH0864985A JP19841194A JP19841194A JPH0864985A JP H0864985 A JPH0864985 A JP H0864985A JP 19841194 A JP19841194 A JP 19841194A JP 19841194 A JP19841194 A JP 19841194A JP H0864985 A JPH0864985 A JP H0864985A
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- JP
- Japan
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- noise filter
- film
- thin film
- conductive film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型軽量でかつ可撓性をもち、損失特性の優
れたノイズフィルタとして実現可能なノイズフィルタ用
薄膜とそれを用いたノイズフィルタとを提供すること。 【構成】 ノイズフィルタ用薄膜は,可撓性の基材1の
表面に、順に第1の導電膜2、金属磁性膜4、および第
2の導電膜3を積層してなる。このノイズフィルタ用薄
膜を伝送線53の周囲に配置してノイズフィルタを構成
した。
れたノイズフィルタとして実現可能なノイズフィルタ用
薄膜とそれを用いたノイズフィルタとを提供すること。 【構成】 ノイズフィルタ用薄膜は,可撓性の基材1の
表面に、順に第1の導電膜2、金属磁性膜4、および第
2の導電膜3を積層してなる。このノイズフィルタ用薄
膜を伝送線53の周囲に配置してノイズフィルタを構成
した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ノイズフィルタに関
し,詳しくは,高周波帯域で高損失な特性を有するノイ
ズフィルタ用薄膜に関する。
し,詳しくは,高周波帯域で高損失な特性を有するノイ
ズフィルタ用薄膜に関する。
【0002】
【従来の技術】通信等の分野において、膨大な情報をデ
ィジタル信号を用いて伝送する方式が普及している。デ
ィジタル信号は多くの高調波成分を含んでおり、該高調
波成分は他の伝送線路に洩れ込み情報の品質を劣化させ
るためにEMI対策が急務になってきている。従来この
ような該EMI対策としてはフェライトコアを用いて対
策がなされてきた。図3は従来のノイズフィルタの一例
を示す図で、円筒状のフェライトコア51の貫通孔52
に信号線(伝送線)53を挿入して形成されている。
ィジタル信号を用いて伝送する方式が普及している。デ
ィジタル信号は多くの高調波成分を含んでおり、該高調
波成分は他の伝送線路に洩れ込み情報の品質を劣化させ
るためにEMI対策が急務になってきている。従来この
ような該EMI対策としてはフェライトコアを用いて対
策がなされてきた。図3は従来のノイズフィルタの一例
を示す図で、円筒状のフェライトコア51の貫通孔52
に信号線(伝送線)53を挿入して形成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多数の
伝送線に対し対策を施す必要から、図3に示すように大
型のフェライトコアを用いると通信装置が大型化すると
いう欠点が生じる。また、すでに敷設した伝送線に対策
を施す場合、図3に示すような形が固定しているフェラ
イトコアでは対策しにくいなどの困難がある。
伝送線に対し対策を施す必要から、図3に示すように大
型のフェライトコアを用いると通信装置が大型化すると
いう欠点が生じる。また、すでに敷設した伝送線に対策
を施す場合、図3に示すような形が固定しているフェラ
イトコアでは対策しにくいなどの困難がある。
【0004】そこで,本発明の技術的課題は、小型軽量
でかつ可撓性をもち、損失特性の優れたノイズフィルタ
として実現可能なノイズフィルタ用薄膜とそれを用いた
ノイズフィルタとを提供することにある。
でかつ可撓性をもち、損失特性の優れたノイズフィルタ
として実現可能なノイズフィルタ用薄膜とそれを用いた
ノイズフィルタとを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のノイズフィルタ用薄膜は、可撓性の基材の
表面に、順に第1の導電膜、金属磁性膜、および第2の
導電膜を積層してなることを特徴としている。
に、本発明のノイズフィルタ用薄膜は、可撓性の基材の
表面に、順に第1の導電膜、金属磁性膜、および第2の
導電膜を積層してなることを特徴としている。
【0006】また,本発明のノイズフィルタは,前記ノ
イズフィルタ用薄膜を伝送線の周囲に配置してなること
を特徴としている。
イズフィルタ用薄膜を伝送線の周囲に配置してなること
を特徴としている。
【0007】
【作用】本発明においては、磁性膜の両面に低抵抗導電
膜を有する積層膜とすることによって、渦電流に対する
低抵抗の閉回路を構成し、高周波損失の増大を図り,こ
の積層膜をもってノイズの低減をはかる。
膜を有する積層膜とすることによって、渦電流に対する
低抵抗の閉回路を構成し、高周波損失の増大を図り,こ
の積層膜をもってノイズの低減をはかる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0009】(実施例1)図1は本発明の実施例1に係
るノイズフィルタ用薄膜の構造を示す断面図である。図
1に示すように、ポリエステルフィルムからなる基材1
の表面に、スパッタ法によって、第1の導電膜2として
膜厚約1μmの銅(Cu)を、金属磁性膜4として膜厚
約2μmのCoベースNbZrアモルファス合金膜を、
さらに、その上に第2の導電膜3として膜厚約1μmの
Cuを、順次形成した積層膜10を製作した。
るノイズフィルタ用薄膜の構造を示す断面図である。図
1に示すように、ポリエステルフィルムからなる基材1
の表面に、スパッタ法によって、第1の導電膜2として
膜厚約1μmの銅(Cu)を、金属磁性膜4として膜厚
約2μmのCoベースNbZrアモルファス合金膜を、
さらに、その上に第2の導電膜3として膜厚約1μmの
Cuを、順次形成した積層膜10を製作した。
【0010】この積層膜10をもとに、図2に示すよう
に、図1の構造を有する積層膜を有するポリエステルフ
ィルム基材を巻回して,直径4mm,長さ10mmの円
筒状にノイズフィルタ5を形成して伝送線53に装着
し、ノイズ低減の効果を調べた。その結果、コモンモー
ドのノイズが装着前に比較して40dB以上低減した。
に、図1の構造を有する積層膜を有するポリエステルフ
ィルム基材を巻回して,直径4mm,長さ10mmの円
筒状にノイズフィルタ5を形成して伝送線53に装着
し、ノイズ低減の効果を調べた。その結果、コモンモー
ドのノイズが装着前に比較して40dB以上低減した。
【0011】(実施例2)実施例1におけると同じく、
図1にその断面構造をもって示すように、ポリエステル
フィルム基材1の表面に、スパッタ法によって、第1の
導電膜2として膜厚約1μmのアルミニウム(A1)
を、金属磁性膜4として膜厚約2μmのパーマロイを、
さらに第2の導電膜3として膜厚約1μmのA1を、順
次形成した積層膜10を製作した。この積層膜10をも
とに、実施例1で示したものと同様に円筒形状(φ4×
10mm)のノイズフィルタ5を形成して伝送線7に装
着し、ノイズ低減の効果を調べた。その結果、コモンモ
ードのノイズが装着前に比較して40dB以上低減し
た。
図1にその断面構造をもって示すように、ポリエステル
フィルム基材1の表面に、スパッタ法によって、第1の
導電膜2として膜厚約1μmのアルミニウム(A1)
を、金属磁性膜4として膜厚約2μmのパーマロイを、
さらに第2の導電膜3として膜厚約1μmのA1を、順
次形成した積層膜10を製作した。この積層膜10をも
とに、実施例1で示したものと同様に円筒形状(φ4×
10mm)のノイズフィルタ5を形成して伝送線7に装
着し、ノイズ低減の効果を調べた。その結果、コモンモ
ードのノイズが装着前に比較して40dB以上低減し
た。
【0012】なお、第1の導電膜と第2の導電膜は必ず
しも同一材料である必要はなく、また、実施例1および
実施例2における導電膜と金属磁性膜の材料の組み合わ
せに必然性を有するものではない。また、第2の導電膜
の上にさらにSiO2 などの保護膜を設けても良く,本
発明の効果を低減させるものではない。さらに,本発明
の実施例では,基材1としてポリエステルフィルムを用
いたが,円筒状の可撓性を有する基材を用い,この上に
実施例1及び2に示したものと同様な第1の導電膜2,
金属磁性膜4,及び第2の導電膜3を順に積層しても良
く,本発明は基材の形状に限定されるものではない。
しも同一材料である必要はなく、また、実施例1および
実施例2における導電膜と金属磁性膜の材料の組み合わ
せに必然性を有するものではない。また、第2の導電膜
の上にさらにSiO2 などの保護膜を設けても良く,本
発明の効果を低減させるものではない。さらに,本発明
の実施例では,基材1としてポリエステルフィルムを用
いたが,円筒状の可撓性を有する基材を用い,この上に
実施例1及び2に示したものと同様な第1の導電膜2,
金属磁性膜4,及び第2の導電膜3を順に積層しても良
く,本発明は基材の形状に限定されるものではない。
【0013】
【発明の効果】以上述べたように、本発明による薄膜を
ノイズフィルタに適用することによって、従来のフェラ
イトコアに比較して,具体的には,体積比で1/100
以下と小型化および軽量化を実現したばかりでなく、損
失特性が具体的には,フェライトコアの10倍以上を示
した。また、本発明においては,既設の伝送線に簡単に
対策を施すことが可能なノイズフィルタ用薄膜とそれを
用いたノイズフィルタとを提供することができる。
ノイズフィルタに適用することによって、従来のフェラ
イトコアに比較して,具体的には,体積比で1/100
以下と小型化および軽量化を実現したばかりでなく、損
失特性が具体的には,フェライトコアの10倍以上を示
した。また、本発明においては,既設の伝送線に簡単に
対策を施すことが可能なノイズフィルタ用薄膜とそれを
用いたノイズフィルタとを提供することができる。
【図1】本発明の実施例による積層薄膜の断面構造を示
す模式図である。
す模式図である。
【図2】図1の積層薄膜を用いたノイズフィルタを伝送
線に装着した状態を示す図である。
線に装着した状態を示す図である。
【図3】従来のフェライトコアによるノイズフィルタを
伝送線に装着した一例を示す図である。
伝送線に装着した一例を示す図である。
1 基材(ポリエステルフィルム) 2 第1の導電膜(Cu,またはAl) 3 第2の導電膜(Cu,またはAl) 4 金属磁性膜(CoベースNbZrアモルファス合
金、またはパーマロイ) 5 ノイズフィルタ(薄膜) 10 積層膜 51 ノイズフィルタ(フェライトコア) 52 貫通孔 53 伝送線
金、またはパーマロイ) 5 ノイズフィルタ(薄膜) 10 積層膜 51 ノイズフィルタ(フェライトコア) 52 貫通孔 53 伝送線
Claims (2)
- 【請求項1】 可撓性の基材の表面に、順に第1の導電
膜、金属磁性膜、および第2の導電膜を積層してなるこ
とを特徴とするノイズフィルタ用薄膜。 - 【請求項2】 請求項1記載のノイズフィルタ用薄膜を
伝送線の周囲に配置してなることを特徴とするノイズフ
ィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19841194A JPH0864985A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | ノイズフィルタ用薄膜及びそれを用いたノイズフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19841194A JPH0864985A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | ノイズフィルタ用薄膜及びそれを用いたノイズフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0864985A true JPH0864985A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16390680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19841194A Pending JPH0864985A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | ノイズフィルタ用薄膜及びそれを用いたノイズフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0864985A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010028538A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ノイズ抑制部品 |
| JP4750696B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2011-08-17 | 株式会社eウインテック | 電気波形調整器 |
| JP2012064777A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | ノイズフィルタ、ノイズフィルタ付きケーブル、及びノイズフィルタ付きプリント配線板 |
-
1994
- 1994-08-23 JP JP19841194A patent/JPH0864985A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4750696B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2011-08-17 | 株式会社eウインテック | 電気波形調整器 |
| JP2010028538A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ノイズ抑制部品 |
| JP2012064777A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | ノイズフィルタ、ノイズフィルタ付きケーブル、及びノイズフィルタ付きプリント配線板 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040723 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040818 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041215 |