JPH0868400A - 負圧発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】負圧破壊時には封止本体４１によって封止移動
体４２を封止口１２方向に押しつけることによって、高
圧空気の吸気室３０側への侵入がなく、あらかじめ設定
した高圧空気量のみによって負圧破壊が行える。負圧破
壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と高圧空気の吸気
室３０側への侵入防止とを図った。 【構成】封止弁４０を、封止口１２の方向に移動自在な
封止本体４１と、この封止本体４１から封止口１２の方
向に移動自在な封止移動体４２と、封止移動体４２の先
端に固定されて封止口１２をふさぐシール部４３とから
形成する。封止本体４１は、反封止口１２方向に付勢し
て形成され、封止移動体４２は、封止口１２方向に付勢
して形成されている。負圧破壊時には、封止本体４１を
封止口１２方向に移動させることによって、封止本体４
１で封止移動体４２を封止口１２に押しつけると共に、
破壊流通路１３から高圧空気を負圧流通路１１中に流入
させるように形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は負圧発生装置、更に詳
しくはいったん発生させた負圧状態を維持することが容
易なだけでなく、その負圧状態を破壊するための負圧破
壊が確実に行える負圧発生装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ワークを吸着して保持した
り、あるいは移動させたりするために負圧発生装置に連
通させた吸着パッドを用いた負圧吸着装置が、実用に供
されてきた。このような負圧吸着装置は、一般的にはワ
ークを吸着できれば足りるものである。ただ、負圧吸着
装置の中で、工場の組み立てラインや、あるいは工業ロ
ボットに用いられる負圧吸着装置もある。このような負
圧吸着装置では、一定時間ごとにワークが供給されてく
るために、ワークを確実に吸着できるだけでなく、吸着
したワークをあらかじめ定めた時間の間に吸着解除する
必要があった。更に、負圧を形成するために高圧空気が
必要とされることから、高圧空気の発生の節約のため
に、いったん発生した負圧を、高圧空気の供給なしに維
持できることも望まれていた。

【０００３】そのため、従来から、負圧維持及び負圧破
壊が容易に行える負圧発生装置が提供されていた。この
ような負圧発生装置としては、たとえば、同一出願人が
出願した特開昭５８−９９３９３号公報記載の発明があ
った。この発明は、高圧空気を高圧流通路を介してノズ
ル孔部からデイヒューザ孔部内に噴出させることによ
り、ノズル孔部とデイヒューザ孔部との間に設けた吸気
室内の空気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧
流通路内に負圧を発生させると共に、吸気室と負圧流通
路内との間に封止弁を設け、この封止弁の作動によって
負圧流通路の封止口をふさいで負圧維持が図れるように
形成し、更には前記負圧流通路内に発生した負圧を、当
該負圧流通路内の封止弁よりも反吸気室側に破壊流通路
を介して高圧空気を流入させることによって負圧破壊す
るように構成した負圧発生装置に関するものである。

【０００４】そしてここで、封止弁は、吸気室から負圧
流通路側にスプリングで押圧され、常態においては封止
口をふさぐように形成されているものである。このよう
な従来の負圧発生装置では、高圧流通路に高圧空気を吹
き込むと、この高圧空気がノズル孔部からデイヒューザ
部に至る間に、吸気室内の空気を吸引し、吸気室に連通
して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させることと
なる。

【０００５】なおこの時、封止弁は、スプリングの弾発
力に抗して、負圧状態となっている吸気室方向に吸引移
動されるので、封止口が解放され、吸気室に連通して設
けられた負圧流通路内を負圧にするものである。したが
って、この負圧流通路に吸着パッドを連通させると、吸
着パッド中が負圧状態となり、この吸着パッドにワーク
が吸着できるものである。

【０００６】このようにしてワークを吸着した後、高圧
流通路への高圧空気の吹き込みを停止すると、吸気室で
負圧が発生しないので、吸気室内と負圧流通路内とが同
一圧力となるか、むしろ逆にデイヒューザ部から外気が
吸気室内に侵入するので、吸気室内の方が負圧流通路内
よりも高圧となってしまう。このとき、封止弁がスプリ
ングの弾発力によって封止口をふさぎ、吸気室と負圧流
通路とが連通しない状態となるので、負圧流通路に連通
している吸着パッドは負圧状態を維持し、ワークを吸着
したままの状態となる。

【０００７】このように負圧状態を維持している時に、
負圧破壊を行うためには、破壊流通路を介して高圧空気
を、封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させる
ことによって、この負圧流通路に連通している吸着パッ
ド中の負圧状態を解除し、吸着パッドからワークを解放
するものである。なおこの負圧破壊を行う際には、負圧
流通路を含む吸着パッドまでの体積、あらかじめ与えた
負圧状態、ワークの重量等によって、流入させる高圧空
気の量が異なってくるものである。

【０００８】このような従来の負圧発生装置では、負圧
状態の維持をスプリングによって封止口に押しつけた封
止弁によって行っているために、負圧状態を維持するこ
とが極めて容易に行えるものである。ただ、この封止弁
は、スプリングの弾発力に抗して、負圧状態となってい
る吸気室方向に吸引移動されるものであることから、ス
プリングをあまり強いものとすることができないことと
なっていた。

【０００９】したがって、負圧破壊を行うために、高圧
空気を封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させ
ると、この高圧空気によって封止弁がおされ、封止口が
開いてしまうこともあった。このようになってしまう
と、負圧破壊を行うための高圧空気のすべてを負圧破壊
のために利用することができないこととなってしまって
いた。また更に、このとき負圧破壊のために流入させる
高圧空気は、各種条件により流入量が異なることとなっ
ていた。

【００１０】一方、このような負圧吸着装置の中で、工
場の組み立てラインや、あるいは工業ロボットに用いら
れる負圧吸着装置については、一定時間ごとにワークが
供給されてくるために、ワークを確実に吸着できるだけ
でなく、吸着したワークをあらかじめ定めた時間の間に
吸着解除する必要があった。しかしながら前述した従来
例のように、高圧空気を封止口よりも反吸気室側の負圧
流通路に流入させて負圧破壊を行うこととし、かつ封止
口をスプリングの弾発力で押している封止弁でふさいで
いると、流入させる高圧空気の一部が吸気室側に流れ、
あらかじめ設定したタイミングで負圧破壊が行えないこ
ととなっていた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明のうち請求項１
記載の発明は、従来と同様に負圧維持を行う封止弁を用
いるものの、封止弁を封止口の方向に移動自在な封止本
体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な封止
移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口をふさ
ぐシール部とから形成し、負圧破壊時には封止本体によ
って封止移動体を封止口方向に押しつけることによっ
て、高圧空気の吸気室側への侵入がなく、あらかじめ設
定した高圧空気量のみによって負圧破壊が行える負圧発
生装置を提供することを目的としたものである。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１に記載の
発明の目的に加えて、封止本体によって封止移動体を封
止口方向に押しつけることを、負圧破壊のための破壊電
磁弁を用いて、高圧空気を封止本体の反封止口側に流入
させて、封止本体を封止口側に移動可能させるように形
成することによって、負圧破壊のための電磁弁の作動
で、負圧破壊と、高圧空気の吸気室側への侵入防止とを
図った負圧発生装置を提供すること目的としたものであ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の発明は、高圧空
気を高圧流通路を介してノズル孔部からデイヒューザ孔
部内に噴出させることにより、ノズル孔部とデイヒュー
ザ孔部との間に設けた吸気室内の空気を吸引し、吸気室
に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させる
と共に、吸気室と負圧流通路内との間に封止弁を設け、
この封止弁の作動によって負圧流通路の封止口をふさい
で負圧維持が図れるように形成し、更には前記負圧流通
路内に発生した負圧を、当該負圧流通路内の封止弁より
も反吸気室側に破壊流通路を介して高圧空気を流入させ
ることによって負圧破壊するように構成した負圧発生装
置において、封止弁を、封止口の方向に移動自在な封止
本体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な封
止移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口をふ
さぐシール部とから形成していると共に、封止本体は、
反封止口方向に付勢して形成され、封止移動体は、封止
口方向に付勢して形成され、負圧発生時には、圧力差に
よって封止移動体を反封止口側に移動させることによっ
て吸気室と負圧流通路とを連通させ、負圧維持時には、
封止移動体を封止口側に付勢移動せることによってシー
ル部によって封止口をふさぐことで吸気室と負圧流通路
とを閉塞し、負圧破壊時には、負圧維持時の状態から、
封止本体を封止口方向に移動させることによって、封止
本体で封止移動体を封止口に押しつけると共に、破壊流
通路から高圧空気を負圧流通路中に流入させるように形
成したことを特徴とする。

【００１４】また請求項２記載の発明は、請求項１記載
の発明の構成に加えて、高圧流通路と破壊流通路との間
に、両流通路の開閉を行う破壊電磁弁を設け、かつ封止
本体の反封止口側の面積を封止口の面積よりも大きくな
るように形成し、更に前記破壊電磁弁の作動によって、
高圧空気を負圧流通路中に流入させると共に、封止本体
の反封止口側に流入させて、封止本体を封止口側に移動
可能に形成したことを特徴とする。

【００１５】

【作用】請求項１記載の発明では、高圧流通路に高圧空
気を吹き込むと、この高圧空気がノズル孔部からデイヒ
ューザ部に至る間に、吸気室内の空気を吸引し、吸気室
に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させる
こととなる。なおこの時、封止弁のうち封止本体は、反
封止口方向に付勢された状態となっている。更に、封止
移動体は、封止口方向に付勢されているものの、負圧状
態となっている吸気室方向に吸引移動されるので、封止
口が解放され、吸気室に連通して設けられた負圧流通路
内を負圧にするものである。

【００１６】したがって、この負圧流通路に吸着パッド
を連通させると、吸着パッド中が負圧状態となり、この
吸着パッドにワークが吸着できるものである。このよう
にしてワークを吸着した後、高圧流通路への高圧空気の
吹き込みを停止すると、吸気室で負圧が発生しないの
で、吸気室内と負圧流通路内とが同一圧力となるか、む
しろ逆にデイヒューザ部から外気が吸気室内に侵入する
ので、吸気室内の方が負圧流通路内よりも高圧となって
しまう。

【００１７】このときには、封止弁のうち封止本体は、
反封止口方向に付勢された状態のままとなっている。ま
た封止移動体は、封止口方向に付勢されているので、先
端のシール部によって封止口をふさぐこととなる。した
がって、吸気室と負圧流通路とが連通しない状態となる
ので、負圧流通路に連通している吸着パッドは負圧状態
を維持し、ワークを吸着したままの状態となる。

【００１８】このように負圧状態を維持している時に、
負圧破壊を行うためには、破壊流通路を介して高圧空気
を、封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させる
と共に、封止本体を封止口方向に移動させることによっ
て、封止本体で封止移動体を封止口に押しつけるもので
ある。したがって、封止移動体の先端のシール部が封止
口をふさぎ、かつ封止移動体が封止本体によって封止口
に押しつけられているので、高圧空気が封止体の移動に
よって吸気室側に流入することなく、負圧流通路に連通
している吸着パッド中の負圧状態を解除し、吸着パッド
からワークを解放するものである。

【００１９】ここで、封止本体の移動は、電磁弁等によ
って行わせることもできるが、請求項２に記載したよう
に、負圧破壊を行わせるための破壊電磁弁の作動によっ
て行わせることもできる。このように形成すると、負圧
破壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と、高圧空気の
吸気室側への侵入防止とが図れるものである。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図示例と共に説明
する。図１、図２、図３は、いずれも本発明にかかわる
負圧発生装置をしめした断面であり、図１は負圧発生時
の位置関係を示した断面図、図２は負圧維持時の位置関
係を示した断面図、図３は負圧破壊時の位置関係を示し
た断面図である。

【００２１】まず最初に、全体の構成を図１に従って説
明する。この負圧発生装置は、高圧空気を高圧流通路１
０を介してノズル孔部２０からデイヒューザ孔部２１内
に噴出させることにより、ノズル孔部２０とデイヒュー
ザ孔部２１との間に設けた吸気室３０内の空気を吸引
し、吸気室３０に連通して設けられた負圧流通路１１内
に負圧を発生させると共に、吸気室３０と負圧流通路１
１内との間に封止弁４０を設け、この封止弁４０の作動
によって負圧流通路１１の封止口１２をふさいで負圧維
持が図れるように形成し、更には前記負圧流通路１１内
に発生した負圧を、当該負圧流通路１１内の封止弁４０
よりも反吸気室３０側に破壊流通路１３を介して高圧空
気を流入させることによって負圧破壊するように構成し
たものである。

【００２２】更に詳しく説明すると、負圧発生装置の一
方側に設けられた高圧空気導入口５０から、高圧流通路
１０が始まっている。この高圧流通路１０は、破壊用マ
スターバルブ６０及び発生用マスターバルブ６１を介し
て、ノズル孔部２０に連通しているものである。またこ
のノズル孔部２０には、若干の間隙を有してデイヒュー
ザ孔部２１が臨んでおり、更にデイヒューザ孔部２１の
外部にはサイレンサ２２が取りつけられている。なお、
ノズル孔部２０とデイヒューザ孔部２１との間隙部分
が、吸気室３０となっているものである。

【００２３】なお前記封止弁４０と負圧流通路１１の端
部である吸引口５１との間には、フィルタ５２が設けて
あると共に、吸引口５１付近には、真空スイッチ５３が
設けてある。ここで、前記高圧空気導入口５０と破壊用
マスターバルブ６０との間の高圧流通路１０からは、操
作分岐路１４が設けられ、負圧を発生させるための発生
電磁弁５４及び負圧破壊を行うための破壊電磁弁５５に
連通させてある。

【００２４】更に、破壊用マスターバルブ６０は、高圧
流通路１０と破壊流通路１３との間の破壊口１５の開閉
によって、高圧流通路１０にある高圧空気を、破壊流通
路１３に送るか否かを制御するものであって、破壊用マ
スターバルブ６０の一方を破壊電磁弁５５側に連通さ
せ、他方側を破壊流通路１３に連通させてある。この破
壊用マスターバルブ６０を更に詳しく説明すると、破壊
用マスターバルブ６０は、高圧流通路１０の流通方向に
直角となる方向に移動可能となっており、かつ破壊電磁
弁５５側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大
きい面積で高圧空気と接しているものである。また、こ
の破壊用マスターバルブ６０の反破壊電磁弁５５側は、
破壊口１５の破壊流通路１３側に達しており、この破壊
口１５を破壊流通路１３側から開閉するようになってい
る。更に、この破壊用マスターバルブ６０の破壊流通路
１３側には、破壊用マスターバルブ６０全体を破壊電磁
弁５５側に付勢している破壊バルブスプリング６２が設
けてある。

【００２５】そして、この破壊用マスターバルブ６０が
破壊電磁弁５５側に位置している時には、破壊用マスタ
ーバルブ６０によって破壊口１５をふさぎ、高圧流通路
１０の高圧空気が破壊流通路１３に流れることを防止し
ており、逆に反破壊電磁弁５５側に位置している時は、
破壊口１５が開くことによって高圧流通路１０側の圧力
によって高圧空気が破壊流通路１３に流れるようになっ
ている。そしてこのような制御が、破壊電磁弁５５によ
って行われれるものである。

【００２６】具体的に、破壊電磁弁５５がＯＦＦの時に
は、操作分岐路１４にある高圧空気を閉塞し、破壊用マ
スターバルブ６０方向に達しないようにしてある。した
がって破壊用マスターバルブ６０は、破壊バルブスプリ
ング６２及び高圧流通路１０中の高圧空気によって破壊
電磁弁５５側に押されているので、破壊口１５がふさが
れ、その結果、高圧流通路１０中の高圧空気が破壊流通
路１３中に流入しないようになっている。

【００２７】逆に、破壊電磁弁５５がＯＮの時には、操
作分岐路１４にある高圧空気を破壊用マスターバルブ６
０の背面に送り込んでいる。すると、破壊用マスターバ
ルブ６０は、破壊電磁弁５５側の面積の方が高圧流通路
１０側の面積よりも大きい面積となっているので、高圧
空気の圧力によって、反破壊電磁弁５５側に移動するこ
ととなる。するとこの破壊用マスターバルブ６０の移動
に伴って破壊口１５が開き、高圧流通路１０中の高圧空
気が破壊流通路１３に流入するものである。

【００２８】なお、破壊口１５の先の破壊流通路１３に
は、破壊流量調整つまみ６３が設けてあり、破壊流通路
１３に流入する高圧空気の量が調整できるようになって
いる。一方、発生用マスターバルブ６１は、高圧流通路
１０とノズル孔部２０との間の発生口１６の開閉によっ
て、高圧流通路１０にある高圧空気を、ノズル孔部２０
に送るか否かを制御するものであって、発生用マスター
バルブ６１の一方を発生電磁弁５４側に連通させ、他方
側をノズル孔部２０側に連通させてある。この発生用マ
スターバルブ６１を更に詳しく説明すると、発生用マス
ターバルブ６１は、高圧流通路１０の流通方向に一致と
なる方向に移動可能となっており、かつ発生電磁弁５４
側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面
積で高圧空気と接しているものである。また、この発生
用マスターバルブ６１の反発生電磁弁５４側は、発生口
１６のノズル孔部２０側に達しており、この発生口１６
をノズル孔部２０側から開閉するようになっている。

【００２９】そして、この発生用マスターバルブ６１が
発生電磁弁５４側に位置している時には、発生用マスタ
ーバルブ６１によって発生口１６をふさぎ、高圧流通路
１０の高圧空気がノズル孔部２０に流れることを防止し
ており、逆に反発生電磁弁５４側に位置している時は、
発生口１６が開くことによって高圧流通路１０側の圧力
によって高圧空気がノズル孔部２０に流れるようになっ
ている。そしてこのような制御が、発生電磁弁５４によ
って行われれるものである。

【００３０】具体的には、発生電磁弁５４がＯＮの時に
は、操作分岐路１４にある高圧空気を発生用マスターバ
ルブ６１の背面に送り込んでいる。すると、発生用マス
ターバルブ６１は、発生電磁弁５４側の面積の方が高圧
流通路１０側の面積よりも大きい面積となっているの
で、高圧空気の圧力によって、反発生電磁弁５４側に移
動することとなる。するとこの発生用マスターバルブ６
１の移動に伴って発生口１６が開き、高圧流通路１０中
の高圧空気がノズル孔部２０に流入するものである。

【００３１】逆に、発生電磁弁５４がＯＦＦの時には、
操作分岐路１４にある高圧空気を閉塞し、発生用マスタ
ーバルブ６１方向に達しないようにしてある。したがっ
て発生用マスターバルブ６１は、高圧流通路１０中の高
圧空気によって発生電磁弁５４側に押されているので、
発生口１６がふさがれ、その結果、高圧流通路１０中の
高圧空気がノズル孔部２０中に流入しないようになって
いる。

【００３２】次に、本発明で用いている封止弁４０につ
いて説明する。ここでは、封止弁４０を、封止口１２の
方向に移動自在な封止本体４１と、この封止本体４１か
ら封止口１２の方向に移動自在な封止移動体４２と、封
止移動体４２の先端に固定されて封止口１２をふさぐシ
ール部４３とから形成している。

【００３３】そして、封止本体４１は、本体スプリング
４４によって反封止口１２方向に付勢して形成されてい
る。更に、この封止本体４１の反封止口１２側には封止
背空間４５が形成され、この封止背空間４５が、押圧流
通路１７によって破壊電磁弁５５に連通している。また
封止本体４１の反封止口１２側の面積である封止背空間
４５の面積を封止口１２の面積よりも大きくなるように
形成してある。そして、破壊電磁弁５５がＯＦＦの時に
は操作分岐路１４と押圧流通路１７は閉塞されているも
のの、破壊電磁弁５５がＯＮになった時には、前述した
ように、破壊用マスターバルブ６０が移動して高圧流通
路１０が破壊流通路１３に連通すると共に、操作分岐路
１４と押圧流通路１７とが連通することとなる。したが
って、高圧流通路１０の高圧空気が操作分岐路１４、押
圧流通路１７を介して封止背空間４５に至ることとな
り、この高圧空気の圧力で封止本体４１は、本体スプリ
ング４４の弾発力に抗して、封止口１２側に押されるこ
ととなる。

【００３４】一方、封止移動体４２は、移動体スプリン
グ４６によって封止口１２方向に付勢して形成されてい
る。次に、本発明にかかわる負圧発生装置の作動につい
て説明する。まず最初に、破壊電磁弁５５及び発生電磁
弁５４が共にＯＦＦの状態、すなわち作動前の状態から
説明する。この状態は、図２に示した負圧維持時の位置
関係を示した断面図と同一状態なので、この図を元に説
明する。

【００３５】まずこの状態で、高圧空気導入口５０を図
示しない高圧空気源に連結し、かつ吸引口５１に図示し
ない吸着パッドを連結する。そして、この状態から、高
圧空気導入口５０に高圧空気を供給する。するとその高
圧空気は、高圧流通路１０から、操作分岐路１４を経
て、破壊電磁弁５５及び発生電磁弁５４に至っているも
のである。またここで、高圧流通路１０中の高圧空気に
よって、破壊用マスターバルブ６０は破壊電磁弁５５方
向に押され、破壊用マスターバルブ６０によって破壊口
１５をふさいでいるものである。更に、発生用マスター
バルブ６１も発生電磁弁５４側に押され、発生用マスタ
ーバルブ６１によって発生口１６がふさがれているもの
である。また封止弁４０は、本体スプリング４４の弾発
力によって封止本体４１が反封止口１２側に位置し、移
動体スプリング４６の弾発力によって封止移動体４２が
封止口１２側に位置しているものである。

【００３６】したがってこの状態では、高圧空気が、高
圧流通路１０及び操作分岐路１４のみにあることとな
る。また封止弁４０は、封止移動体４２先端のシール部
４３によって封止口１２をふさいでいるものである。次
に、この状態から、図１に示したように、発生電磁弁５
４のみをＯＮさせる。

【００３７】すると、高圧流通路１０に連通している操
作分岐路１４と発生用マスターバルブ６１の発生電磁弁
５４側とが連通し、発生用マスターバルブ６１の高圧流
通路１０側と発生電磁弁５４側とが同一圧力となる。す
ると、発生用マスターバルブ６１は、発生電磁弁５４側
の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積
となっているので、高圧空気の圧力によって、反発生電
磁弁５４側に移動することとなる。するとこの発生用マ
スターバルブ６１の移動に伴って発生口１６が開き、高
圧流通路１０中の高圧空気がノズル孔部２０に流入する
ものである。

【００３８】このノズル孔部２０に流入した高圧空気
は、ついでデイヒューザ孔部２１に至り、やがてサイレ
ンサ２２を介して空中に放出される。ただ、ノズル孔部
２０からデイヒューザ孔部２１に至る間に、吸気室３０
の空気を吸引して、吸気室３０を負圧にすることとな
る。このようにして吸気室３０が負圧になると、吸気室
３０と負圧流通路１１との間に圧力差が生じ、やがて封
止移動体４２が移動体スプリング４６の弾発力に抗して
反封止口１２方向に吸引され、封止口１２を解放するこ
ととなる。

【００３９】その結果、負圧流通路１１までが負圧状態
となり、負圧流通路１１の吸引口５１に連結された吸着
パッドが負圧状態となってワークの吸着が可能となるも
のである。このようにしてワークを吸着した後、再び発
生電磁弁５４をＯＦＦにする。すると、図２に示したよ
うな状態となる。

【００４０】すなわち、発生電磁弁５４がＯＦＦになる
ことによって、高圧流通路１０から、操作分岐路１４を
経て発生電磁弁５４に至っている高圧空気が、発生用マ
スターバルブ６１の発生電磁弁５４までには至らないこ
ととなる。すると、この発生用マスターバルブ６１は、
高圧流通路１０の高圧空気の圧力によって発生電磁弁５
４側に押されることとなる。したがって、発生用マスタ
ーバルブ６１によって発生口１６がふさがれ、高圧空気
がノズル孔部２０に至らないこととなっている。

【００４１】更にこのとき、封止弁４０は、吸気室３０
で負圧が発生しないので、吸気室３０内と負圧流通路１
１内とが同一圧力となるか、むしろ逆にデイヒューザ孔
部２１から外気が吸気室３０内に侵入するので、吸気室
３０内の方が負圧流通路１１内よりも高圧となってしま
う。このときには、封止弁４０のうち封止本体４１は、
本体スプリング４４によって反封止口１２方向に付勢さ
れた状態のままとなっている。また封止移動体４２は、
移動体スプリング４６によって封止口１２方向に付勢さ
れているので、先端のシール部４３によって封止口１２
をふさぐこととなる。したがって、吸気室３０と負圧流
通路１１とが連通しない状態となるので、負圧流通路１
１に連通している吸着パッドは負圧状態を維持し、ワー
クを吸着したままの状態となる。

【００４２】したがってこの状態では、高圧空気が、高
圧流通路１０及び操作分岐路１４にあることとなる。ま
た封止弁４０は、封止移動体４２先端のシール部４３に
よって封止口１２をふさいでいるために、負圧空気は封
止口１２から負圧流通路１１を経て吸着パッドに至る間
に存在することとなる。なおこのように、いったんワー
クを負圧吸着した後に、その負圧状態を維持したままで
ワークを吸着保持できるようにすると、消費する高圧空
気の量の節約が図れる。

【００４３】このような、負圧吸着と負圧維持とは、真
空スイッチ５３によって行うものである。すなわち、ワ
ークを負圧吸着した後、この真空スイッチ５３によって
一定の真空度に達したことが確認されると、発生電磁弁
５４をＯＦＦにして負圧維持を図り、高圧空気の量を節
約するものである。またこのように発生電磁弁５４をＯ
ＦＦにして負圧維持を図っている時に、徐々に負圧空気
が抜けることによってあらかじめ設定した真空度以下と
なってしまったことを、真空スイッチ５３が検出した時
には、再び発生電磁弁５４をＯＮにして、負圧発生を行
うものである。

【００４４】このように負圧状態を維持している時に、
負圧破壊を行うためには、図３に示したように、発生電
磁弁５４をＯＦＦの状態としたままで、破壊電磁弁５５
をＯＮさせることとなる。すると、操作分岐路１４に達
している高圧空気が、破壊電磁弁５５のＯＮ操作に伴っ
て、破壊用マスターバルブ６０及び封止弁４０を移動さ
せることとなる。

【００４５】すなわち、破壊用マスターバルブ６０の移
動は、破壊電磁弁５５のＯＮ操作に伴って、操作分岐路
１４にある高圧空気を破壊用マスターバルブ６０の背面
に送り込む。すると、破壊用マスターバルブ６０は、破
壊電磁弁５５側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よ
りも大きい面積となっているので、高圧空気の圧力によ
って、反破壊電磁弁５５側に移動することとなる。する
とこの破壊用マスターバルブ６０の移動に伴って破壊口
１５が開き、高圧流通路１０中の高圧空気が破壊流通路
１３に流入することとなる。

【００４６】またここで、破壊流通路１３に流入する高
圧空気の量は、破壊口１５の先の破壊流通路１３に設け
られている破壊流量調整つまみ６３によって調整するこ
とが可能である。またこのような破壊用マスターバルブ
６０の移動と同時に、破壊電磁弁５５のＯＮ操作に伴っ
て、操作分岐路１４と押圧流通路１７とが連通すること
となる。したがって、高圧流通路１０の高圧空気が操作
分岐路１４、押圧流通路１７を介して封止背空間４５に
至ることとなり、この高圧空気の圧力で封止本体４１
は、本体スプリング４４の弾発力に抗して、封止口１２
側に押されることとなる。

【００４７】すると、この封止本体４１の封止口１２方
向への移動によって、封止本体４１で封止移動体４２を
封止口１２に押しつけることとなる。したがって、封止
移動体４２の先端のシール部４３が封止口１２をふさぐ
ように、封止移動体４２が封止本体４１によって封止口
１２に押しつけられているものである。このとき、破壊
流通路１３からの高圧空気が負圧流通路１１を介して封
止移動体４２の反封止本体４１側にも作用しているもの
の、封止本体４１の反封止口１２側の面積である封止背
空間４５の面積を封止口１２の面積よりも大きくなるよ
うに形成してあるので、封止本体４１が反封止口１２方
向に移動することはない。

【００４８】すなわちこの実施例では、負圧破壊を行お
うとして破壊電磁弁５５をＯＮすると、破壊流通路１３
に高圧空気が流入すると共に、封止口１２がふさがれる
こととなる。したがって、負圧破壊用の高圧空気が吸気
室３０に流入することがなく、あらかじめ設定した量の
高圧空気によって、確実に負圧破壊ができ、ワークの解
放が行えるものである。

【００４９】またこのような封止本体４１の移動は、電
磁弁等によって行わせることもできるが、この実施例の
ように、負圧破壊を行わせるための破壊電磁弁５５の作
動によって行わせることもできる。このように形成する
と、負圧破壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と、高
圧空気の吸気室３０側への侵入防止とが図れるものであ
る。

【００５０】更に、この実施例のように、封止本体４１
の反封止口１２側の面積である封止背空間４５の面積を
封止口１２の面積よりも大きくなるように形成し、高圧
空気を使って移動させるようにすると、高圧空気の圧力
に関係せず、高圧空気の吸気室３０側への侵入防止が図
れるものである。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１記載の発明は、従来と同様に負圧維持を行う封止弁
を用いるものの、封止弁を封止口の方向に移動自在な封
止本体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な
封止移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口を
ふさぐシール部とから形成し、負圧破壊時には封止本体
によって封止移動体を封止口方向に押しつけることによ
って、高圧空気の吸気室側への侵入がなく、あらかじめ
設定した高圧空気量のみによって負圧破壊が行えるもの
である。

【００５２】請求項２記載の発明は、請求項１に記載の
発明の効果に加えて、封止本体によって封止移動体を封
止口方向に押しつけることを、負圧破壊のための破壊電
磁弁を用いて、高圧空気を封止本体の反封止口側に流入
させて、封止本体を封止口側に移動可能させるように形
成することによって、負圧破壊のための電磁弁の作動
で、負圧破壊と、高圧空気の吸気室側への侵入防止とを
図ったものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】負圧発生時の位置関係を示した断面図である。

【図２】負圧維持時の位置関係を示した断面図である。

【図３】負圧破壊時の位置関係を示した断面図である。

【符号の説明】

１０ 高圧流通路 １１ 負圧流通
路 １２ 封止口 １３ 破壊流通
路 １４ 操作分岐路 １５ 破壊口 １６ 発生口 １７ 押圧流通
路 ２０ ノズル孔部 ２１ デイヒュ
ーザ孔部 ２２ サイレンサ ３０ 吸気室 ４０ 封止弁 ４１ 封止本体 ４２ 封止移動体 ４３ シール部 ４４ 本体スプリング ４５ 封止背空
間 ４６ 移動体スプリング ５０ 高圧空気導入口 ５１ 吸引口 ５２ フィルタ ５３ 真空スイ
ッチ ５４ 発生電磁弁 ５５ 破壊電磁
弁 ６０ 破壊用マスターバルブ ６１ 発生用マ
スターバルブ ６２ 破壊バルブスプリング ６３ 破壊流量
調整つまみ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】高圧空気を高圧流通路を介してノズル孔部
   からデイヒューザ孔部内に噴出させることにより、ノズ
   ル孔部とデイヒューザ孔部との間に設けた吸気室内の空
   気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内
   に負圧を発生させると共に、吸気室と負圧流通路内との
   間に封止弁を設け、この封止弁の作動によって負圧流通
   路の封止口をふさいで負圧維持が図れるように形成し、
   更には前記負圧流通路内に発生した負圧を、当該負圧流
   通路内の封止弁よりも反吸気室側に破壊流通路を介して
   高圧空気を流入させることによって負圧破壊するように
   構成した負圧発生装置において、 封止弁を、封止口の方向に移動自在な封止本体と、この
   封止本体から封止口の方向に移動自在な封止移動体と、
   封止移動体の先端に固定されて封止口をふさぐシール部
   とから形成していると共に、 封止本体は、反封止口方向に付勢して形成され、 封止移動体は、封止口方向に付勢して形成され、 負圧発生時には、圧力差によって封止移動体を反封止口
   側に移動させることによって吸気室と負圧流通路とを連
   通させ、 負圧維持時には、封止移動体を封止口側に付勢移動せる
   ことによってシール部によって封止口をふさぐことで吸
   気室と負圧流通路とを閉塞し、 負圧破壊時には、負圧維持時の状態から、封止本体を封
   止口方向に移動させることによって、封止本体で封止移
   動体を封止口に押しつけると共に、破壊流通路から高圧
   空気を負圧流通路中に流入させるように形成したことを
   特徴とする負圧発生装置。
2. 【請求項２】高圧流通路と破壊流通路との間に、両流通
   路の開閉を行う破壊電磁弁を設け、かつ封止本体の反封
   止口側の面積を封止口の面積よりも大きくなるように形
   成し、更に前記破壊電磁弁の作動によって、高圧空気を
   負圧流通路中に流入させると共に、封止本体の反封止口
   側に流入させて、封止本体を封止口側に移動可能に形成
   したことを特徴とする請求項１記載の負圧発生装置。