JPH0868787A - 全有機炭素分析計 - Google Patents
全有機炭素分析計Info
- Publication number
- JPH0868787A JPH0868787A JP20739094A JP20739094A JPH0868787A JP H0868787 A JPH0868787 A JP H0868787A JP 20739094 A JP20739094 A JP 20739094A JP 20739094 A JP20739094 A JP 20739094A JP H0868787 A JPH0868787 A JP H0868787A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- combustion
- furnace
- water
- oxidation
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、多量の水分量を含む試料であって
も、前もって装置外部で乾燥させるなど前処理すること
なく、試料を分析計に導入することができるＴＯＣ計を
提供することを目的としている。 【構成】 試料を水分気化用筒形電気炉４に導入し、加
熱（１００℃〜１５０℃）して試料１０中の水分を水蒸
気とする。この発生した水蒸気を後方に設けた温度検出
器６で検出した後、即ち、試料中の水分が除去されたこ
とを確認した後、試料を次段の燃焼酸化用筒形電気炉５
内へ導入して燃焼酸化反応させ、そのとき発生するＣＯ
2 を、適宜のガス検出器、例えばＮＤＩＲ８に導いて測
定する。
も、前もって装置外部で乾燥させるなど前処理すること
なく、試料を分析計に導入することができるＴＯＣ計を
提供することを目的としている。 【構成】 試料を水分気化用筒形電気炉４に導入し、加
熱（１００℃〜１５０℃）して試料１０中の水分を水蒸
気とする。この発生した水蒸気を後方に設けた温度検出
器６で検出した後、即ち、試料中の水分が除去されたこ
とを確認した後、試料を次段の燃焼酸化用筒形電気炉５
内へ導入して燃焼酸化反応させ、そのとき発生するＣＯ
2 を、適宜のガス検出器、例えばＮＤＩＲ８に導いて測
定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、化学薬品、産業廃棄
物、土壌等の固体又は懸濁液試料中の全有機炭素の含有
量の測定、特に水分量が比較的多い試料の場合に好適な
全有機炭素分析計（Total Organic Carbon、以下単にＴ
ＯＣ計と略称する）に関する。
物、土壌等の固体又は懸濁液試料中の全有機炭素の含有
量の測定、特に水分量が比較的多い試料の場合に好適な
全有機炭素分析計（Total Organic Carbon、以下単にＴ
ＯＣ計と略称する）に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＴＯＣ計においては、試料ボート
に試料を載せて高温（９００℃）の燃焼酸化用電気炉内
に導入して燃焼酸化させ、そのとき発生する二酸化炭素
を適宜のガス検出器、例えば非分散型赤外線ガス分析計
（以下単にＮＤＩＲと略称する）に導いて測定してい
た。
に試料を載せて高温（９００℃）の燃焼酸化用電気炉内
に導入して燃焼酸化させ、そのとき発生する二酸化炭素
を適宜のガス検出器、例えば非分散型赤外線ガス分析計
（以下単にＮＤＩＲと略称する）に導いて測定してい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のＴＯＣ
計にあっては、試料中に多量の水分を含む場合には、燃
焼酸化用電気炉内での燃焼時にその水分が急激に気化し
て体積膨脹するため、キャリアガスの流量が変動し、こ
れが分析系後段での二酸化炭素の検出に悪影響を及ぼし
ていた。従って、従来は、試料中に比較的多くの水分量
が含まれている場合には、装置外部で前もって乾燥器に
より試料を乾燥させるなどの前処理が必要であり、また
前処理中に試料が汚染される、という問題点があった。
計にあっては、試料中に多量の水分を含む場合には、燃
焼酸化用電気炉内での燃焼時にその水分が急激に気化し
て体積膨脹するため、キャリアガスの流量が変動し、こ
れが分析系後段での二酸化炭素の検出に悪影響を及ぼし
ていた。従って、従来は、試料中に比較的多くの水分量
が含まれている場合には、装置外部で前もって乾燥器に
より試料を乾燥させるなどの前処理が必要であり、また
前処理中に試料が汚染される、という問題点があった。
【０００４】本発明は、多量の水分量を含む試料であっ
ても、装置外部で前もって乾燥させるなど前処理するこ
となく、試料を分析計に導入することができるＴＯＣ計
を提供することを目的としている。
ても、装置外部で前もって乾燥させるなど前処理するこ
となく、試料を分析計に導入することができるＴＯＣ計
を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＴＯＣ計においては、試料を燃焼酸化させ
る高温の燃焼酸化用炉の前段に、水分を気化する温度
（１００℃〜１５０℃）にその炉内温度が設定された水
分気化用炉を配置すると共に、同燃焼酸化用炉の後段に
温度検出器を設け、水分気化用炉内で試料中の水分を水
蒸気とし、温度検出器により同水蒸気の通過を検出した
後、試料を燃焼酸化用炉へ送り込むようにしたものであ
る。上記燃焼酸化用炉と水分気化用炉は、それぞれ独立
した２つの炉を並べて配置してもよいし、燃焼酸化用の
炉だけにしてその炉内の前部で温度が１００℃〜１５０
℃になっている部分を水分気化用炉として利用してもよ
い。また、上記温度検出器としては、感度が高く応答の
速い白金抵抗温度計やサーミスタ温度計などが挙げられ
る。なお、炉としては、通常、筒形の電気炉が用いられ
る。
に、本発明のＴＯＣ計においては、試料を燃焼酸化させ
る高温の燃焼酸化用炉の前段に、水分を気化する温度
（１００℃〜１５０℃）にその炉内温度が設定された水
分気化用炉を配置すると共に、同燃焼酸化用炉の後段に
温度検出器を設け、水分気化用炉内で試料中の水分を水
蒸気とし、温度検出器により同水蒸気の通過を検出した
後、試料を燃焼酸化用炉へ送り込むようにしたものであ
る。上記燃焼酸化用炉と水分気化用炉は、それぞれ独立
した２つの炉を並べて配置してもよいし、燃焼酸化用の
炉だけにしてその炉内の前部で温度が１００℃〜１５０
℃になっている部分を水分気化用炉として利用してもよ
い。また、上記温度検出器としては、感度が高く応答の
速い白金抵抗温度計やサーミスタ温度計などが挙げられ
る。なお、炉としては、通常、筒形の電気炉が用いられ
る。
【０００６】
【作用】上記のように構成されたＴＯＣ計では、まず、
試料を水分気化用炉に導入し、加熱（１００℃〜１５０
℃）して試料中の水分を水蒸気とする。この発生した水
蒸気はキャリアガスの流れによって後方の温度検出器に
達し、ここで同水蒸気を検出した後、即ち、試料中の水
分が除去されたことを確認した後、試料を次段の燃焼酸
化炉内へ導入して燃焼酸化反応させ、そのとき発生する
二酸化炭素を、適宜のガス検出器、例えばＮＤＩＲに導
いて測定する。温度検出器による水蒸気の検出は、通過
するガス温度を観測することにより容易に行うことがで
きる。即ち、高温の燃焼酸化炉を通過した直後の水蒸気
を含むガスの温度は、水蒸気を含まないキャリアガスの
温度よりも著しく高温であるので、通過するガス温度が
高温から平常に戻れば水分の気化が終了したことが分か
る。
試料を水分気化用炉に導入し、加熱（１００℃〜１５０
℃）して試料中の水分を水蒸気とする。この発生した水
蒸気はキャリアガスの流れによって後方の温度検出器に
達し、ここで同水蒸気を検出した後、即ち、試料中の水
分が除去されたことを確認した後、試料を次段の燃焼酸
化炉内へ導入して燃焼酸化反応させ、そのとき発生する
二酸化炭素を、適宜のガス検出器、例えばＮＤＩＲに導
いて測定する。温度検出器による水蒸気の検出は、通過
するガス温度を観測することにより容易に行うことがで
きる。即ち、高温の燃焼酸化炉を通過した直後の水蒸気
を含むガスの温度は、水蒸気を含まないキャリアガスの
温度よりも著しく高温であるので、通過するガス温度が
高温から平常に戻れば水分の気化が終了したことが分か
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明のＴＯＣ計について図面を参照
して説明するに、図１において、水分気化用の筒形電気
炉４と燃焼酸化用の筒形電気炉５が直列に並べられ、そ
の炉内を貫通して石英ガラス製の燃焼管９が配置され
る。この燃焼管９の一方側（図中左方）にはキャリアガ
ス導入口２及び試料を出し入れする試料導入口３が設け
られている。燃焼管９の他方側には、その直後に温度検
出器６が設けられ、続いて水分凝縮部７、ＣＯ2 検出器
８がそれぞれ配置されている。
して説明するに、図１において、水分気化用の筒形電気
炉４と燃焼酸化用の筒形電気炉５が直列に並べられ、そ
の炉内を貫通して石英ガラス製の燃焼管９が配置され
る。この燃焼管９の一方側（図中左方）にはキャリアガ
ス導入口２及び試料を出し入れする試料導入口３が設け
られている。燃焼管９の他方側には、その直後に温度検
出器６が設けられ、続いて水分凝縮部７、ＣＯ2 検出器
８がそれぞれ配置されている。
【０００８】試料１０は、セラミクス製あるいは白金製
試料ボートに採取され、試料導入口３を開けて試料ボー
トごとホルダ上に載せられ、試料導入口３を閉じた後、
試料ボート移動棒１の操作により試料ボート（試料１
０）は燃焼管９内を進んで水分気化用筒形電気炉４内へ
導入される。この筒形電気炉４内は、有機物は燃焼酸化
しないが水分は気化する温度（１００℃〜１５０℃）に
加熱されており、ここで試料中の水分は気化して水蒸気
となり、キャリアガスの流れにより燃焼管９を通って、
燃焼管９直後、即ち燃焼酸化用筒形電気炉５の後段に設
けた温度検出器６に到達する。燃焼管９内（燃焼酸化用
筒形電気炉５内）を通過した直後の水蒸気を含むガスの
温度は、水蒸気を含まないキャリアガスの温度よりも著
しく高温であるから、燃焼管９直後に配置した温度検出
器６においてガスの温度変化を観測することにより水蒸
気の通過を検出することができる。即ち、ガスの温度が
高温から平常に戻れば試料１０中の水分の気化が終了し
たことが分かる。
試料ボートに採取され、試料導入口３を開けて試料ボー
トごとホルダ上に載せられ、試料導入口３を閉じた後、
試料ボート移動棒１の操作により試料ボート（試料１
０）は燃焼管９内を進んで水分気化用筒形電気炉４内へ
導入される。この筒形電気炉４内は、有機物は燃焼酸化
しないが水分は気化する温度（１００℃〜１５０℃）に
加熱されており、ここで試料中の水分は気化して水蒸気
となり、キャリアガスの流れにより燃焼管９を通って、
燃焼管９直後、即ち燃焼酸化用筒形電気炉５の後段に設
けた温度検出器６に到達する。燃焼管９内（燃焼酸化用
筒形電気炉５内）を通過した直後の水蒸気を含むガスの
温度は、水蒸気を含まないキャリアガスの温度よりも著
しく高温であるから、燃焼管９直後に配置した温度検出
器６においてガスの温度変化を観測することにより水蒸
気の通過を検出することができる。即ち、ガスの温度が
高温から平常に戻れば試料１０中の水分の気化が終了し
たことが分かる。
【０００９】試料１０中の水分の気化が終了すれば、続
いて、ボート移動棒１の操作により試料ボート（試料１
０）は燃焼管９内を進み、９００℃の高温に加熱されて
いる燃焼酸化用筒形電気炉５内へ導入される。ここで、
試料１０中の有機物は蒸発したり分解したりすると共
に、酸化触媒（図示せず）の作用を受けてすべてのガス
成分は酸化されて二酸化炭素（ＣＯ2 ）ガスとなる。こ
のボート移動棒１の操作のタイミングは温度検出器６か
らの信号によって行われるが、これは操作者が同信号に
基づいて手動で行ってもよく、具体的に図示していない
が、同検出器６からの信号によりボート移動棒１の駆動
手段を動作させて自動的に行うことも可能である。
いて、ボート移動棒１の操作により試料ボート（試料１
０）は燃焼管９内を進み、９００℃の高温に加熱されて
いる燃焼酸化用筒形電気炉５内へ導入される。ここで、
試料１０中の有機物は蒸発したり分解したりすると共
に、酸化触媒（図示せず）の作用を受けてすべてのガス
成分は酸化されて二酸化炭素（ＣＯ2 ）ガスとなる。こ
のボート移動棒１の操作のタイミングは温度検出器６か
らの信号によって行われるが、これは操作者が同信号に
基づいて手動で行ってもよく、具体的に図示していない
が、同検出器６からの信号によりボート移動棒１の駆動
手段を動作させて自動的に行うことも可能である。
【００１０】燃焼酸化用筒形電気炉５内での酸化反応に
より生成されたＣＯ2 は、キャリアガスと共に燃焼管９
より水分凝縮部７を経由してＣＯ2 検出器（ＮＤＩＲ）
８へ導かれ、ＣＯ2 量が検出されてＴＯＣ測定が行われ
る。
より生成されたＣＯ2 は、キャリアガスと共に燃焼管９
より水分凝縮部７を経由してＣＯ2 検出器（ＮＤＩＲ）
８へ導かれ、ＣＯ2 量が検出されてＴＯＣ測定が行われ
る。
【００１１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、燃焼酸化時の水分気化によるキャリアガス
流量の変動を抑えることができ、多量の水分を含んでい
る試料であっても装置外部で前処理することなく、容易
に精度よく測定することができる。また、装置外部での
前処理工程がないので、試料が汚染されることもない。
ているので、燃焼酸化時の水分気化によるキャリアガス
流量の変動を抑えることができ、多量の水分を含んでい
る試料であっても装置外部で前処理することなく、容易
に精度よく測定することができる。また、装置外部での
前処理工程がないので、試料が汚染されることもない。
【図１】本発明実施例の要部構成を示すである。
１…試料ボート移動棒 ２…キャリアガス
導入口 ３…試料導入口 ４…水分気化用筒
形電気炉 ５…燃焼酸化用筒形電気炉 ６…温度検出器 ７…水分凝縮部 ８…ＣＯ2 検出器
導入口 ３…試料導入口 ４…水分気化用筒
形電気炉 ５…燃焼酸化用筒形電気炉 ６…温度検出器 ７…水分凝縮部 ８…ＣＯ2 検出器
Claims (1)
- 【請求項１】 試料を燃焼酸化用炉内に導入して燃焼酸
化させ、そのとき発生するガスをキャリアガスと共にガ
ス検出器に導いて試料中の全有機炭素を分析する分析計
において、 燃焼酸化用炉の前段に水分気化用炉を配置すると共に、
同燃焼酸化用炉の後段に温度検出器を設け、水分気化用
炉内で試料中の水分を水蒸気とし、温度検出器により同
水蒸気の通過を検出した後、試料を燃焼酸化用炉へ送り
込むことを特徴とする全有機炭素分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20739094A JPH0868787A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 全有機炭素分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20739094A JPH0868787A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 全有機炭素分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868787A true JPH0868787A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16538954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20739094A Pending JPH0868787A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 全有機炭素分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0868787A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441249B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2004-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 공정에서의 티오씨 측정 장치 및 그 측정 방법 |
| JP2008224462A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Taiheiyo Cement Corp | 有機炭素量測定方法及び固体炭素量測定方法 |
| JP2013096771A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Ekoro:Kk | 検水中に含まれるｔｏｃの計測装置及び計測方法 |
| CN110320313A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-10-11 | 爱科罗株式会社 | 试验水中的总有机碳的测量方法及其测量装置 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP20739094A patent/JPH0868787A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441249B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2004-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 공정에서의 티오씨 측정 장치 및 그 측정 방법 |
| JP2008224462A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Taiheiyo Cement Corp | 有機炭素量測定方法及び固体炭素量測定方法 |
| JP2013096771A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Ekoro:Kk | 検水中に含まれるｔｏｃの計測装置及び計測方法 |
| CN110320313A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-10-11 | 爱科罗株式会社 | 试验水中的总有机碳的测量方法及其测量装置 |
| CN110320313B (zh) * | 2018-03-30 | 2022-02-25 | 爱科罗株式会社 | 试验水中的总有机碳的测量方法及其测量装置 |
| US11293912B2 (en) | 2018-03-30 | 2022-04-05 | Ecolo Co., Ltd. | TOC measurement method and TOC measurement apparatus used therefor |
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