JPH0868831A - 半導体試験装置及び半導体試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テストプログラムの有効利用が図れ、デバイ
スに対する試験時間を必要最小限に抑えることができる
半導体試験装置及び半導体試験方法を得る。 【構成】 半導体試験装置は、１つのプログラム制御装
置１１と複数のテスト実行装置１２からなり、プログラ
ム制御装置１１と複数のテスト実行装置１２とは通信回
線１３を介して接続される。プログラム制御部１は、コ
ンパイル対象のデバイスに対応するソースプログラムを
コンパイラバッファ１４に格納して、コンパイラ８によ
りソースプログラム変換させて、一本のオブジェクトプ
ログラムを作成させる。テスト実行装置１２内のテスト
実行部２は、オブジェクトデータベース９内に格納され
た試験対象のデバイスに対応したオブジェクトプログラ
ムを実行することにより、試験対象のデバイスに対する
試験を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体等のデバイス
に対して試験を行う半導体試験装置及び半導体試験方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１５は、半導体等のデバイスに対して
試験を行う際に使用されるテストプログラムの製作（変
換）及び実行処理を行う従来の半導体試験装置を示すブ
ロック図である。

【０００３】同図に示すように、半導体試験装置はプロ
グラム制御部１とテスト実行部２とから構成される。プ
ログラム制御部１は半導体等のデバイスに対するテスト
プログラムの製作し、実行可能なオブジェクと状態のテ
ストプログラムをテスト実行部２に供給する。テスト実
行部２はプログラム制御部１より得たオブジェクト化さ
れたテストプログラムを実行して、テスト対象のデバイ
スに対する試験を行う。

【０００４】プログラム制御部１は、ソースデータベー
ス５、品種テーブル６、テスト制御テーブル７及びコン
パイラ８から構成される。

【０００５】ソースデータベース５には複数のソース状
態のテストプログラム４が登録されており、各テストプ
ログラム４は複数のテスト項目（４ａ、４ｂ、４ｃ）の
ソースで構成される。各テストプログラム４は、テスト
実行装置で試験を行う半導体等のデバイスの種類（品
種）別に製作される。

【０００６】品種テーブル６は、品種名とソースデータ
ベース５内の各テストプログラム４との関連を示すテー
ブルである。

【０００７】テスト制御テーブル７は、テストプログラ
ムを実行する際に、実行順序をテスト項目毎に記述した
テーブルである。

【０００８】コンパイラ８は、テストプログラム（ソー
ス形式）をテスト実行部２で実行可能なオブジェクト形
式に変換してオブジェクトプログラムをテスト実行部２
に出力する。

【０００９】一方、テスト実行部２は、オブジェクトデ
ータベース９及び実行制御テーブル１０から構成され
る。オブジェクトデータベース９は、実行するテスト項
目別にオブジェクト化されたテストプログラムを格納す
る。オブジェクトデータベース９内の４ａ′，４ｂ′，
４ｃ′は、オブジェクト化されたテスト項目のテストプ
ログラムを示す。

【００１０】実行制御テーブル１０は、オブジェクトデ
ータベース９内のテスト項目の実行順序を示すテーブル
である。

【００１１】図１６は、プログラム制御部１に内蔵され
るソースデータベース５の内容を示し、テストプログラ
ム４（テストプログラム名：ａａａ）は、テスト項目４
ａ，４ｂ，４ｃで構成される。また他のテストプログラ
ムについても同様に、複数のテスト項目で構成される。

【００１２】図１７は、テストプログラム４（テストプ
ログラム名：ａａａ）を構成するテスト項目４ａ，４
ｂ，４ｃの内容を示す。各テスト項目は、目的とする試
験項目の内容が、複数のテスト命令で記述される。各テ
スト命令には、その命令を実行する時に使用する使用デ
ータが付加されている。このテスト命令と使用するデー
タのオブジェクトがテスト実行部２において実行される
ことにより、デバイスの試験が行われる。

【００１３】図１８は、プログラム制御部１に内蔵され
る品種テーブル６の内容を示している。同図に示すよう
に、デバイスの品種名ａ１００がテストプログラムａａ
ａに対応し、デバイスの品種名ｂ２００がテストプログ
ラムｂｂｂに対応することを示す。

【００１４】図１９は、プログラム制御部１に内蔵され
るテスト制御テーブル７の内容を示している。同図に示
すように、各テストプログラムのテスト項目の実行順序
が記述されており、図１９からテストプログラムａａａ
は、テスト項目４ａ，４ｃ，４ｂの順番で実行されるこ
とがわかる。

【００１５】図２０は、テスト実行部２に内蔵されるオ
ブジェクトデータベース９の内容を示し、テスト項目４
ａ，４ｂ，４ｃのオブジェクトプログラム４ａ′，４
ｂ′，４ｃ′がぞれぞれ格納されている。

【００１６】図２１は、テスト実行部２に内蔵される実
行制御テーブル１０の内容を示している。同図に示すよ
うに、テストプログラムのテスト項目の実行順序が記述
されており、図２１からテストプログラムａａａは、テ
スト項目４ａ，４ｃ，４ｂの順番で実行される。

【００１７】次に図１５で示した従来の半導体試験装置
の動作例について説明する。

【００１８】図示しない品種名付与手段から品種名ａ１
００を規定する品種名情報ＤＫがプログラム制御部１に
与えられて品種名ａ１００のデバイスを試験する場合、
プログラム制御部１は、品種テーブル６を参照して、品
種名ａ１００で使用されるテストプログラム名を検索
し、テストプログラムａａａを使用することを検知す
る。そして、ソースデータベース５内に登録された複数
のテストプログラム４におけるテストプログラムａａａ
から、テストプログラムａａａを構成するテスト項目
（ソースプログラム：４ａ，４ｂ，４ｃ）を抽出し、順
番に、コンパイラ８に、供給する。

【００１９】コンパイラ８は、テスト項目（ソースプロ
グラム）４ａ，４ｂ，４ｃをコンパイルしてオブジェク
トプログラム（４ａ，４ｂ，４ｃ）に変換する。オブジ
ェクト化された各テスト項目（４ａ′，４ｂ′，４
ｃ′）は、テスト実行部２内のオブジェクトデータベー
ス９内に格納される。

【００２０】テストプログラムａａａを構成する各テス
ト項目の実行順序は、プログラム制御部１内のテスト制
御テーブル７に記述されており、この内容が、テスト実
行部２内のテスト制御テーブル７に転送されており、テ
スト制御テーブル７の記述内容の順番にテスト項目（オ
ブジェクトプログラム：４ａ′，４ｃ′，４ｂ′）が品
種名ａａａのデバイスに対して実行される。

【００２１】また、テストプログラムの特定項目のみを
供給する場合は、テスト制御テーブル７内に、実行する
テスト項目名だけを記述すれば可能であり、更に、テス
トプログラム内でのテスト項目の実行順序の変更もテス
ト制御テーブル７の該当するテストプログラムのテスト
項目名を順番を変更することで可能である。

【００２２】図２２に従来の半導体試験装置におけるテ
ストプログラムの製作，実行処理のフローチャートを示
す。

【００２３】まず、図示しない品種名付与手段からプロ
グラム制御部１に試験対象のデバイスの品種名を規定し
た品種名情報ＤＫが付与されることにより、品種名の指
定が行われる（ステップＳＴ４１）。

【００２４】そして、プログラム制御部１は、品種テー
ブル６を参照して、指定された品種名に該当するテスト
プログラム名を照会する（ステップＳＴ４２）。

【００２５】次に、プログラム制御部１は、ソースデー
タベース５内の複数のテストプログラム４から、照会さ
れたテストプログラム名に該当するテストプログラムを
構成する各テスト項目のソースファイルを抽出する（ス
テップＳＴ４３）。

【００２６】そして、プログラム制御部１は、指定され
たソースファイルを順番にコンパイラ８によりコンパイ
ルしてオブジェクとプログラムに変換し（ステップＳＴ
４４）、オブジェクト形式に変換されたテスト項目をテ
スト実行部２のオブジェクトデータベース９内に登録す
る（ステップＳＴ４５）。

【００２７】その後、プログラム制御部１は、テスト制
御テーブル７における指定されたテストプログラムの情
報をテスト実行部２の実行制御テーブル１１に与える
（ステップＳＴ４６）。

【００２８】そして、テスト実行部２は、実行制御テー
ブル１１内の内容に従い、オブジェクトデータベース９
内のテスト項目で規定されたテストは試験対象のデバイ
スに対して行う（ステップＳＴ４７）。

【００２９】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体試験装置
は以上のように構成され動作しているため、多品種少量
のデバイスを量産する工場においては本装置を複数個導
入する必要がある。この場合、全ての品種に対応するテ
ストプログラムが格納可能なデータベースを全ての半導
体試験装置で必要とするため、各半導体試験装置で大容
量の記憶装置を設けなければならないという問題点があ
った。更に、各装置で管理しているテストプログラムの
変更（改定）や、テーブルの内容に変更が発生した場合
は、全ての装置に対して変更を行なわなければならない
という問題点があった。すなわち、テストプログラムの
有効利用が図れていないとい問題点があった。

【００３０】そして、多くのテスト項目で構成されるテ
ストプログラムを実行する場合は、テスト実行部２は、
実行制御テーブル９及びオブジェクトデータベースに対
するアクセス回数が増大し、デバイスの試験時間が長く
なるという問題点があった。

【００３１】また、プログラム制御部１により、ソース
形式のテスト項目をコンパイル（変換）する際には、各
テスト項目間で、重複する同一内容のテスト命令も変換
されてしまう。重複したテスト命令が変換される場合、
テスト実行部２は、同様の処理が幾度も実行することに
なるため、デバイスの試験時間を必要以上が長くなって
しまうという問題点があった。

【００３２】この発明は上記問題点を解決するためにな
されたもので、テストプログラムの有効利用が図れ、デ
バイスに対する試験時間を必要最小限に抑えることがで
きる半導体試験装置及び半導体試験方法を得ることを目
的とする。

【００３３】

【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
記載の半導体試験装置は、プログラム制御装置と複数の
テスト実行装置とからなり、試験対象のデバイスに対し
て試験を行う装置であって、前記プログラム制御装置
は、コンパイル対象のデバイスの品種名を規定した第１
の品種名情報を付与する第１の品種名付与手段と、各々
がデバイスの品種に対応に対応した複数のテストプログ
ラムをソース形式で格納した第１の記憶手段とを備え、
前記複数のテストプログラムはそれぞれ少なくとも１つ
のテスト項目からなり、前記複数のテストプログラムそ
れぞれのテスト項目の実行順序を規定したテスト項目実
行情報を格納する第２の記憶手段と、コンパイルすべき
テストプログラムを格納する第３の記憶手段と、前記第
３の記憶手段に格納されたテストプログラムに対しコン
パイル処理を実行し、前記テストプログラムをオブジェ
クト形式に変換してオブジェクトプログラムを生成する
コンパイラと、前記複数のテスト実行装置のうち、オブ
ジェクトプログラム転送を必要とするテスト実行装置を
指示する要転送テスト実行装置情報を格納する第４の記
憶手段と、前記第１の品種名情報に基づき前記複数のテ
ストプログラムから前記コンパイル対象のデバイスに対
応するテストプログラムを抽出して、前記テスト項目実
行情報に基づくテスト項目順序で前記第３の記憶手段に
格納した後、前記コンパイラに前記コンパイル処理を実
行させ、前記複数のテスト実行装置のうち前記要転送テ
スト実行装置情報で指示されたテスト実行装置に対し
て、前記コンパイル対象のデバイスに対応したオブジェ
クトプログラムを出力させるプログラム制御手段とをさ
らに備え、前記複数のテスト実行装置はそれぞれ、前記
プログラム制御装置から得た少なくとも１つのオブジェ
クトプログラムを格納する第５の記憶手段と、試験対象
のデバイスの品種名を規定した第２の品種名情報を付与
する第２の品種名付与手段と、前記第２の品種名情報に
基づき、前記第１の品種名情報に基づき前記少なくとも
１つのオブジェクトプログラムから前記試験対象のデバ
イスに対応するオブジェクトプログラムを抽出して、該
オブジェクトプログラムを実行して、前記試験対象のデ
バイスに対する試験を行うテスト実行手段とを備えて構
成される。

【００３４】また、請求項２記載の半導体試験装置のよ
うに、前記テスト項目は少なくとも１つのテスト命令か
らなり、前記プログラム制御装置の前記プログラム制御
手段は、同一内容のテスト命令が連続して格納されない
ようにテストプログラムを前記第３の記憶手段に格納す
る重複命令除去機能付き格納動作を行うように構成して
もよい。

【００３５】さらに、請求項３記載の半導体試験装置の
ように、前記プログラム制御装置は、少なくとも１つの
テスト命令の最新実行状況をテスト命令履歴情報として
格納する第６の記憶手段をさらに備え、前記プログラム
制御手段は、前記テスト命令履歴情報を参照して前記重
複命令除去機能付き格納動作を行うように構成してもよ
い。

【００３６】この発明の係る請求項４記載の半導体試験
方法は、プログラム制御装置と複数のテスト実行装置と
からなる半導体試験装置を用いて、試験対象のデバイス
に対して試験を行う方法であって、前記プログラム制御
装置は、各々がデバイスの品種に対応に対応した複数の
テストプログラムをソース形式で格納した第１の記憶手
段を備え、前記複数のテストプログラムはそれぞれ少な
くとも１つのテスト項目からなり、前記複数のテストプ
ログラムそれぞれのテスト項目の実行順序を規定したテ
スト項目実行情報を格納する第２の記憶手段と、コンパ
イルすべきテストプログラムを格納する第３の記憶手段
と、前記第３の記憶手段に格納されたテストプログラム
に対しコンパイル処理を実行し、前記テストプログラム
をオブジェクト形式に変換してオブジェクトプログラム
を生成するコンパイラと、前記複数のテスト実行装置の
うち、オブジェクトプログラム転送を必要とするテスト
実行装置を指示する要転送テスト実行装置情報を格納す
る第４の記憶手段とをさらに備え、前記複数のテスト実
行装置はそれぞれ、前記プログラム制御装置から得た少
なくとも１つのオブジェクトプログラムを格納する第５
の記憶手段を備え、前記半導体試験方法は、前記プログ
ラム制御装置を用いたオブジェクトプログラム生成処理
と前記テスト実行装置それぞれを用いたオブジェクトプ
ログラム実行処理とからなり、前記オブジェクトプログ
ラム生成処理は、(a) コンパイル対象のデバイスの品種
名を規定した第１の品種名情報を付与するステップと、
(b) 前記第１の品種名情報に基づき前記複数のテストプ
ログラムから前記コンパイル対象のデバイスに対応する
テストプログラムを抽出するステップと、(c) 前記ステ
ップ(b)で格納されたテストプログラムを前記テスト項
目実行情報に基づくテスト項目順序で前記第３の記憶手
段に格納するステップと、(d) 前記コンパイラに前記コ
ンパイル処理を実行させオブジェクトプログラムを生成
させるステップと、(e) 前記複数のテスト実行装置のう
ち前記要転送テスト実行装置情報で指示されたテスト実
行装置に対して、前記ステップ(d)で生成されたオブジ
ェクトプログラムを前記第５の記憶手段に格納させるス
テップとを備え、前記オブジェクトプログラム実行処理
は、(f) 試験対象のデバイスの品種名を規定した第２の
品種名情報を付与するステップと、(g) 前記第２の品種
名情報に基づき前記少なくとも１つのオブジェクトプロ
グラムから前記試験対象のデバイスに対応するオブジェ
クトプログラムを抽出するステップと、(h) 前記ステッ
プ(g)で抽出したオブジェクトプログラムを実行して、
前記試験対象のデバイスに対する試験を行うステップと
を備えている。

【００３７】また、請求項５記載の半導体試験方法のよ
うに、前記テスト項目は少なくとも１つのテスト命令か
らなり、前記ステップ(c)は、同一内容のテスト命令が
連続して格納されないようにテストプログラムを前記第
３の記憶手段に格納する重複命令除去機能付き格納動作
を行ってもよい。

【００３８】さらに、請求項６記載の半導体試験方法の
ように、前記プログラム制御装置は、少なくとも１つの
テスト命令の最新実行状況をテスト命令履歴情報を格納
する第６の記憶手段をさらに備え、前記ステップ(c)
は、前記テスト命令履歴情報に格納されたテスト命令に
ついて前記重複命令除去機能付き格納動作を行ってもよ
い。

【００３９】

【作用】この発明における請求項１記載の半導体試験装
置は１つのプログラム制御装置に対して複数のテスト制
御装置が設けられている。したがって、全ての品種に対
応するテストプログラムを１つのプログラム制御装置の
第１の記憶手段に格納して、複数のテスト実行装置間で
共有することができる。

【００４０】加えて、プログラム制御装置のプログラム
制御手段は、コンパイル対象のデバイスに対応したオブ
ジェクトプログラムを出力させ、テスト実行装置のテス
ト実行手段は第２の品種名情報に基づき、少なくとも１
つのオブジェクトプログラムから試験対象のデバイスに
対応したオブジェクトプログラムを実行してるため、試
験対象のデバイス単位にオブジェクトプログラムを実行
してデバイスの試験を行うことができる。

【００４１】また、請求項２記載の半導体試験装置にお
けるプログラム制御手段は、同一内容のテスト命令が連
続して格納されないようにテストプログラムを第３の記
憶手段に格納する重複命令除去機能付き格納動作を行う
ため、無駄な命令がオブジェクトプログラムに変換され
ない。

【００４２】加えて、請求項３記載の半導体試験装置に
おけるプログラム制御手段は、テスト命令履歴情報を参
照して重複命令除去機能付き格納動作を行ため、テスト
命令履歴情報として使用頻度の高いテスト命令の最新実
行状況を第６の記憶手段に格納させることにより、比較
的簡単かつ効率的に重複命令除去機能付き格納動作を実
行することができる。

【００４３】また、請求項４記載の半導体試験方法は、
ステップ(c)でコンパイル対象のデバイスに対応したオ
ブジェクトプログラムを出力させ、ステップ(g)で第２
の品種名情報に基づき、少なくとも１つのオブジェクト
プログラムから試験対象のデバイスに対応したオブジェ
クトプログラムを実行するため、試験対象のデバイス単
位にオブジェクトプログラムを実行してデバイスの試験
を行うことができる。

【００４４】また、請求項５記載の半導体試験方法は、
ステップ(c)で、同一内容のテスト命令が連続して格納
されないようにテストプログラムを第３の記憶手段に格
納する重複命令除去機能付き格納動作を行うため、無駄
な命令がオブジェクトプログラムに変換されない。

【００４５】加えて、請求項６記載の半導体試験方法
は、ステップ(c)で、テスト命令履歴情報を参照して重
複命令除去機能付き格納動作を行うため、テスト命令履
歴情報として使用頻度の高いテスト命令の最新実行状況
を第６の記憶手段に格納させておくことにより、比較的
簡単かつ効率的に重複命令除去機能付き格納動作を実行
することができる。

【００４６】

【実施例】

＜第１の実施例＞図１はこの発明の第１の実施例である
テストプログラムの製作と実行処理を行う半導体試験装
置の構成を示すブロック図である。

【００４７】図１に示すように、第１の実施例の半導体
試験装置は、１つのプログラム制御装置１１と複数のテ
スト実行装置１２からなり、プログラム制御装置１１と
複数のテスト実行装置１２とは通信回線１３を介して接
続される。

【００４８】プログラム制御装置１１はプログラム制御
部１を有し、プログラム制御部１はソースデータベース
５、品種テーブル６、テスト制御テーブル７、コンパイ
ラ８、コンパイラバッファ１４及びテスト実行装置テー
ブル１６から構成され、各構成部を制御する。

【００４９】ソースデータベース５には、従来同様、複
数のソース状態のテストプログラムが登録されており、
各テストプログラム４は複数のテスト項目のソースで構
成される。各テストプログラムは、テスト実行装置１２
で試験を行うデバイスの品種別に製作される。

【００５０】品種テーブル６は、品種名とソースデータ
ベース５内の各テストプログラムとの関連を示すテーブ
ルである。

【００５１】テスト制御テーブル７は、テストプログラ
ムを実行する際に、実行順序をテスト項目毎に記述した
テーブルである。

【００５２】コンパイラバッファ１４は、ソースデータ
ベース５から与えられる（一本のテストプログラムを構
成する）複数のテスト項目を実行順に蓄積し、コンパイ
ラ８に一本のソースプログラムとして供給する。

【００５３】コンパイラ８は、コンパイラバッファ１４
より得たテストプログラム（ソース形式）をテスト実行
部２で実行可能なオブジェクト形式に変換してオブジェ
クトプログラムをテスト実行部２に出力する。

【００５４】テスト実行装置テーブル１６は、プログラ
ム制御装置１１と通信回線１３を経由して接続されてい
るテスト実行装置のうち、プログラム制御装置１１から
生成されるオブジェクトプログラムの転送を必要とする
テスト実行装置を示すテーブルである。

【００５５】一方、テスト実行部２は、オブジェクトデ
ータベース９及び実行品種テーブル１５から構成され、
これらの構成部を制御する。

【００５６】オブジェクトデータベース９は、プログラ
ム制御部１より得たデバイスの品種単位にオブジェクト
化されたオフジェクトプログラムを格納する。

【００５７】実行品種テーブル１５は、テスト実行装置
内で、品種毎に、実行する（オブジェクトデータベース
内の）のオブジェクトプログラム名が記述されているテ
ーブルである。

【００５８】図２は、プログラム制御装置１１内のソー
スデータベース４を示す。図２に示すように、各テスト
プログラム（ａａａ，ｂｂｂ，ｃｃｃ）を構成する複数
のテスト項目（ソースプログラム）が登録されている。

【００５９】図３は、プログラム制御装置１１内の品種
テーブル６を示す。図３に示すように、複数の品種にお
いて、それぞれ対応するテストプログラム名が記述され
ている。

【００６０】図４は、プログラム制御装置１１内のテス
ト制御テーブル７を示す。図７に示すように、各テスト
プログラムで使用するテスト項目名が、実行順に記述さ
れている。

【００６１】図５は、プログラム制御装置１１内のコン
パイラバッファ１４とコンパイラ８との対応関係を示す
模式図である。テストプログラムａａａは各テスト項目
（４ａ，４ｂ，４ｃ）からなり、その実行手順が（４
ａ，４ｃ，４ｂ）がテスト制御テーブル７により指定さ
れている場合、コンパイラバッファ１４内にテスト項目
（４ａ，４ｃ，４ｂ）の順にバッファリングされる。

【００６２】そして、コンパイラ８はコンパイラバッフ
ァ１４にバッファリングされたソースをコンパイルし
て、テストプログラムａａａのオブジェクトプログラム
４０を生成する。

【００６３】図６は、テスト実行装置１２のテスト実行
部２内のオブジェクトデータベース９を示し、各種のオ
ブジェクトプログラムが登録されている。図６に示すよ
うに、各オブジェクトプログラム４０は、各品種のデバ
イスに対応するテストプログラム実行単位で登録されて
いる。

【００６４】図７は、テスト実行装置１２内の実行品種
テーブル１５を示す。図７に示すように、各品種対応
で、実行するテストプログラム名（オブジェクトプログ
ラム名）が記述されている。

【００６５】図８は、プログラム制御装置１１内のテス
ト実行装置テーブル１６を示す。図８に示すように、テ
スト実行装置テーブル１６には、現在、本プログラム制
御装置１１からのオブジェクトプログラム転送を必要と
するテスト実行装置名が記述されている。

【００６６】次に第１の実施例の半導体試験装置の動作
例について説明する。

【００６７】図示しない第１の品種名付与手段から品種
名ａ１００を規定した品種名情報ＤＫ１がプログラム制
御部１に与えられて品種名ａ１００のデバイスのテスト
プログラムを生成する場合、プログラム制御部１は、品
種テーブル６を参照して、品種名ａ１００で使用される
テストプログラム名を検索し、テストプログラムａａａ
を使用することを検知する。そして、ソースデータベー
ス５内に登録された複数のテストプログラムにおけるテ
ストプログラムａａａから、テストプログラムａａａを
構成するテスト項目（ソースプログラム：４ａ，４ｂ，
４ｃ）を抽出する。

【００６８】そして、プログラム制御部１は、テスト制
御テーブル７の指示従い、テストプログラムａａａを構
成するテスト項目を４ａ，４ｃ、４ｂの順番に、コンパ
イラバッファ１４に供給する。コンパイラバッファ１１
では、テスト項目４ａ，４ｃ，４ｂを結合し、コンパイ
ラ８に一本のソースプログラム（ａａａ）として、与え
る。さらに、プログラム制御部１は、コンパイラ８によ
り、ソースプログラムａａａを変換させて、コンパイル
対象のデバイスに対応する一本のオブジェクトプログラ
ムａａａを作成させる。そして、プログラム制御部１
は、テスト実行装置テーブル１６を参照してオブジェク
トプログラムの転送を必要とするテスト実行装置１２に
対し、通信回線１３を介して、そのテスト実行部２のオ
ブジェクトデータベース９にオブジェクトプログラムを
転送して、オブジェクトデータベース９に登録する。

【００６９】このとき、複数台のテスト実行装置１２が
接続されている場合は、テスト実行管理テーブル１６内
に登録されているテスト実行装置に対してのみ、オブジ
ェクトプログラムが転送される。

【００７０】同時に、プログラム制御装置１１の品種テ
ーブル６の内容が、通信回線１３を経由して、接続され
ている全てのテスト実行装置の実行品種テーブル１５に
転送される。

【００７１】その後、テスト実行装置１２によって品種
名ａ１００のデバイスを試験する場合、図示しない第２
の品種名付与手段から試験対象のデバイスの品種名ａ１
００を規定した品種名情報ＤＫ２がテスト実行部２に付
与すれなよい。

【００７２】すると、テスト実行装置１２内のテスト実
行部２は、実行品種テーブル１５から該当するオブジェ
クトプログラム名ａａａを指定し、オブジェクトデータ
ベース９内のオブジェクトプログラムａａａによる品種
名ａ１００のデバイスに対する試験を実行する。

【００７３】図９及び図１０は第１の実施例に係わる半
導体試験装置におけるオフジェクトプログラム生成処理
及びオブジェクトプログラム実行処理を示すフローチャ
ートである。

【００７４】図９及び図１０を参照して、まず、図示し
ない第１の品種名付与手段からプログラム制御部１にコ
ンパイル対象のデバイスの品種名を規定した品種名情報
ＤＫ１が付与されることにより、試験対象のデバイスの
品種名が指定される（ステップＳＴ１）。

【００７５】次に、プログラム制御装置１３内のプログ
ラム制御部１は、品種テーブル６を参照して、指定され
た品種名に該当するテストプログラム名を決定する（ス
テップＳＴ２）。

【００７６】そして、プログラム制御部１は、ソースデ
ータベース５内の複数のテストプログラムから、決定さ
れたテストプログラム名に該当するテストプログラムを
構成する各テスト項目のソースファイルを抽出する（ス
テップＳＴ３）。

【００７７】その後、プログラム制御部１は、指定され
たテスト項目をテスト制御テーブル７で指定される実行
の順番で、コンパイルバッファ１４内に出力する（ステ
ップＳＴ４）。

【００７８】そして、プログラム制御部１は、コンパイ
ルバッファ１４内の複数のテスト項目を一本のテストプ
ログラム（ソース形式）としてコンパイラ８に与え（ス
テップＳＴ５）、コンパイラ８により、コンパイラバッ
ファ１４内の一本のテストプログラムをソース形式から
オブジェクト形式に変換させ、コンパイル対象のデバイ
スに対応する一本のオブジェクト形式のテストプログラ
ム（オブジェクトプログラム）を作成させる（ステップ
ＳＴ６）。

【００７９】次に、プログラム制御部１は、通信回線１
３を経由してコンパイラ８で生成したオブジェクトプロ
グラムを、テスト実行装置テーブル１６で指示されたテ
スト実行装置に対してのみ転送する（ステップＳＴ
７）。

【００８０】同時に、通信回線１３を介して、プログラ
ム制御装置１１内のプログラム制御部１のテスト制御テ
ーブル７の内容を、テスト実行装置テーブル１６で指示
されたテスト実行装置に対してのみ送信する（ステップ
ＳＴ８）。

【００８１】オブジェクトプログラムを受信したテスト
実行装置１２のテスト実行部２は、オブジェクトデータ
ベース内に当該オブジェクトプログラムを登録する（ス
テップＳＴ９）とともに、テスト制御テーブル７の内容
を実行品種テーブル１５内に登録する（ステップＳＴ１
０）。

【００８２】次に、試験対象のデバイスに対するテスト
プログラムを実行する場合は、図示しない第２の品種名
付与手段より、試験対象のデバイスの品種名を規定した
品種名情報ＤＫ２がテスト実行装置１２のテスト実行部
２付与されることにより、品種名が指定される（ステッ
プＳＴ１１）。

【００８３】そして、テスト実行部２は、実行品種テー
ブル１５を参照して、指定された品種名に該当するオブ
ジェクトプログラム名を決定する（ステップＳＴ１
２）。

【００８４】次に、テスト実行部２は、オブジェクトデ
ータベース９から、決定されたテストプログラム名のオ
ブジェクトプログラムを指定する（ステップＳＴ１
３）。

【００８５】そして、テスト実行部２は、ステップＳＴ
１３で指定されたオブジェクトプログラムを試験対象の
デバイスに対し実行することにより、デバイス試験が行
う（ステップＳＴ１４）。

【００８６】このように第１の実施例の半導体試験装置
は、１つのプログラム制御装置１１と複数のテスト実行
装置１２から構成されるため、テスト実行装置１２の数
に関係なく全ての品種に対応するテストプログラムが格
納可能なソースデータベース５は１つのプログラム制御
装置１１内にのみ設けるだけでよく、テストプログラム
の有効利用を図ることができる。

【００８７】また、テストプログラムの変更（改定）
や、テーブルの内容に変更が発生した場合でも、１つの
プログラム制御装置１１に対して変更を行なうだけで済
ますことができ、テストプログラムの有効利用が図れ
る。

【００８８】また、試験対象のデバイスを試験する際、
そのテストプログラムが多くのテスト項目で構成されて
いても、各テスト実行装置１２のテスト実行部２は、オ
ブジェクトデータベース９及び実行品種テーブル１５に
対し１回アクセスするだけで十分なため、試験対象のデ
バイスに対する試験時間を必要最小限に抑えることがで
きる。

【００８９】＜第２の実施例＞図１１はこの発明の第２
の実施例である半導体試験装置のプログラム制御装置の
構成を示すブロック図である。

【００９０】同図に示すように、ソースデータベース
５，コンパイラバッファ１４間にコンパイラテーブル１
７が設けられる。コンパイラテーブル１７はテスト命令
と命令で使用される使用データとを組にして格納するコ
ンパイラテーブルである。なお、テスト実行装置１２を
含む他の構成は第１の実施例の半導体試験装置と同様で
ある。

【００９１】次に第２の実施例の半導体試験装置の動作
例について説明する。

【００９２】図１１において、品種名ａ１００のデバイ
スに対応するテストプログラムをコンパイルする場合、
プログラム制御部１は、品種テーブル６を参照して、テ
ストプログラム名ａａａを指定し、テスト制御テーブル
７を参照して、テストプログラム名ａａａを構成する各
テスト項目（ソースプログラム名）を決定する。

【００９３】そして、プログラム制御部１は、ソースデ
ータベース４から得たテストプログラムａａａのテスト
項目をテスト制御テーブル７を参照して、テスト項目
（４ａ，４ｃ，４ａ）の順に出力する。

【００９４】図１２はコンパイラテーブルの動作説明図
である。図１２に示すように、コンパイラテーブル１７
には、予め、テスト実行装置で、実行するのに大量の時
間を必要とするテスト命令が記述されている（ＡＢＣ，
ＡＡＢ，ＡＢＡ，ＡＢＢ，ＢＢＢ）。まず、テスト項目
４ａの各テスト命令が、コンパイラテーブル１７の内容
との間で比較処理される。テスト項目４ａは、テストプ
ログラムａａａの最初のテスト項目である為、該当する
命令があった場合は、コンパイラテーブル１７の該当命
令欄のデータ記入欄内に、使用データとともに格納され
る（ＡＢＣ→１００，ＡＡＢ→２００，ＡＢＢ→５０
等）。そして比較処理が完了したテスト項目４ａの内容
は、そのままコンパイラバッファ１４に格納される。

【００９５】次にテスト項目４ｃの内容がコンパイラテ
ーブル１７との比較処理が実行される。テスト項目４ｃ
の１番目の命令であるテスト命令ＡＢＣは使用データ１
００がコンパイラテーブル１７の内容と一致するため重
複命令とみなされる。したがって、テスト項目４ｃの使
用データ１００の命令ＡＡＡがコンパイラバッファ１４
に格納されることなく除去される。また、テスト項目４
ｃの４番目の命令であるテスト命令ＡＢＣは、比較処理
で該当するが使用データ５０で１００と異なるため、コ
ンパイラテーブル１７のテスト命令ＡＢＣの欄に使用デ
ータが更新される（先に１００が記述されていたが、１
００が５０に変更される）。以降、順次、コンパイラテ
ーブル１７を参照した比較処理が実行され、テスト命令
が、該当し、使用データも同じものは、コンパイラバッ
ファ１４に格納されず除去される（該当しないテスト命
令は、コンパイラバッファ１４内に格納される。）。

【００９６】テスト項目４ｃの比較処理が、終了し、コ
ンパイラテーブル１７のテスト命令に該当（データも同
じ）しなかったテスト命令が、コンパイラバッファ１４
に格納される。次に、テスト項目４ｂの内容が、比較処
理され、結果が、コンパイラバッファ１４内に格納され
る。この際、テスト項目４ｂの１番目のテスト命令ＡＢ
Ｃ及び使用データ５０が、コンパイラテーブル１７に記
述されたテスト命令ＡＢＣ及び使用データ５０と一致す
るため、コンパイラバッファ１４に格納されず除去され
る。

【００９７】上記コンパイラテーブル１７に基づく比較
処理の結果、テスト項目４ｃのテスト命令ＡＢＣ（使用
データ１００）及びテスト項目４ｂのテスト命令ＡＢＣ
（使用データ５０）がコンパイラバッファ１４に格納さ
れず除外される。

【００９８】そして、コンパイラバッファ１４の内容
（テスト項目４ａ，４ｃ，４ｂ）が、コンパイラ８に与
えられ、コンパイラ８により、コンパイル対象のデバイ
スに対応する一本のオブジェクトプログラムが生成され
る。

【００９９】図１３及び図１４はこの発明の第２の実施
例の半導体試験装置のプログラム制御部１によるオブジ
ェクトプログラム作成処理を示すフローチャートであ
る。

【０１００】同図を参照して、まず、図示しない第１の
品種名付与手段からプログラム制御部１にコンパイル対
象のデバイスの品種名を規定した品種名情報ＤＫ１が付
与されることにより、試験対象のデバイスの品種名が指
定される（ステップＳＴ２１）。

【０１０１】次に、プログラム制御装置１３内のプログ
ラム制御部１は、品種テーブル６を参照して、指定され
た品種名に該当するテストプログラム名を決定する（ス
テップＳＴ２２）。

【０１０２】そして、プログラム制御部１は、ソースデ
ータベース５内の複数のテストプログラムから、決定さ
れたテストプログラム名に該当するテストプログラムを
構成する各テスト項目のソースファイルを抽出する（ス
テップＳＴ２３）。

【０１０３】その後、プログラム制御部１は、テスト制
御テーブル７で指定される順番でテスト項目（ソース形
式）の各命令をコンパイラテーブル１７との比較対象と
する（ステップＳＴ２４）。

【０１０４】そして、コンパイラテーブル１７との比較
対象とされたテスト項目の各テスト命令）とコンパイラ
テーブル７に記述されたテスト命令とを比較し（ステッ
プＳＴ２５）、不一致の場合は、コンパイラバッファ１
４内に、当該テスト命令及びその使用データを格納し
（ステップＳＴ２６）、ステップＳＴ２９に移行する。

【０１０５】ステップＳＴ２５の比較の結果、該当する
命令がある場合は、さらにその命令の使用データの比較
を行う（ステップＳＴ２７）。

【０１０６】ステップＳＴ２７で、比較対象の命令の使
用データとコンパイラテーブル１７の記述された命令の
使用データとが一致しない場合は、該当する命令に対応
するエリアに使用データ数を記入して使用データの変更
を行い（ステップＳＴ２８）、ステップＳ２６で、コン
パイラバッファ１４内に、テスト命令及び使用データを
格納した後、ステップＳＴ２９に移行する。一方、使用
データも一致した場合は、その命令及び使用データをオ
ブジェクトバッファ１７に転送することなく除去してス
テップＳＴ２９に移行する。

【０１０７】ステップＳＴ２９において、次のテスト命
令の有無を確認し、存在する場合はステップＳＴ２５に
戻り、以降、ステップＳＴ２９で存在しないと判定され
るまでステップＳＴ２５〜ＳＴ２８の処理を繰り返す。

【０１０８】そして、次のテスト命令が存在しないとス
テップＳＴ２９で判定されて指定されたテスト項目の全
テスト命令の比較が終了すると、ステップＳＴ３０に移
行する。

【０１０９】ステップＳＴ３０において、次のテスト項
目の有無を確認し、存在する場合はステップＳＴ２４に
戻り、以降、ステップＳＴ３０で存在しないと判定され
るまでステップＳ２４〜Ｓ２９の処理を繰り返す。

【０１１０】そして、次のテスト項目が存在しないとス
テップＳＴ３０で判定されて指定されたテストプログラ
ムの全テスト項目の比較が終了すると、ステップＳＴ３
１に移行する。このとき、コンパイラテーブル１７を参
照した比較処理が終了し、コンパイルバッファ１４内に
は、重複命令が除去されてテストプログラムを構成する
必要最小限のテスト命令が格納される。

【０１１１】最後に、ステップＳ３２において、コンパ
イラバッファ１４の格納内容はコンパイラ８に転送さ
れ、コンパイラ８によりコンパイル対象のデバイスに対
応した一本のオブジェクトプログラムが作成（変換）さ
れる。

【０１１２】このように、第２の実施例の半導体試験装
置は、第１の実施例の半導体試験装置の動作に加え、各
テスト項目間で重複するテスト命令（使用データ同一）
が存在する場合には、一方のテスト命令をコンパイルせ
ずに除去する重複命令除去機能を有している。

【０１１３】その結果、第２の実施例の半導体試験装置
は第１の実施例の半導体試験装置の効果に加え、各テス
ト項目間で重複したテスト命令がオブジェクト変換され
ことがなくなるため、デバイスの試験時間をさらに短縮
することができる。

【０１１４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の半
導体試験装置は１つのプログラム制御装置に対して複数
のテスト制御装置が設けられている。したがって、全て
の品種に対応するテストプログラムを１つのプログラム
制御装置の第１の記憶手段に格納して、複数のテスト実
行装置間で共有することができる。

【０１１５】その結果、多くのテスト実行装置を導入す
る場合においても、テストプログラムの効率的な利用を
図ることができる。

【０１１６】加えて、プログラム制御装置のプログラム
制御手段は、コンパイル対象のデバイスに対応したオブ
ジェクトプログラムを出力させ、テスト実行装置のテス
ト実行手段は第２の品種名情報に基づき、少なくとも１
つのオブジェクトプログラムから試験対象のデバイスに
対応したオブジェクトプログラムを実行してるため、試
験対象のデバイス単位にオブジェクトプログラムを実行
してデバイスの試験を行うことができる。

【０１１７】その結果、試験対象のデバイスに対応した
オブジェクトプログラムの複雑さに関係なく、試験対象
の品種名のデバイスに対応するオブジェクトプログラム
取得のために第５の記憶手段に１度アクセスするだけで
デバイスの試験が行えるため、デバイスの試験時間を必
要最小限に抑えることができる。

【０１１８】また、請求項２記載の半導体試験装置にお
けるプログラム制御手段は、同一内容のテスト命令が連
続して格納されないようにテストプログラムを第３の記
憶手段に格納する重複命令除去機能付き格納動作を行う
ため、無駄な命令がオブジェクトプログラムに変換され
ない。

【０１１９】その結果、テスト実行手段で実行されるオ
ブジェクトプログラムの実行時間も短縮されるため、さ
らにデバイスの試験時間を短縮することができる。

【０１２０】加えて、請求項３記載の半導体試験装置に
おけるプログラム制御手段は、テスト命令履歴情報を参
照して重複命令除去機能付き格納動作を行ため、テスト
命令履歴情報として使用頻度の高いテスト命令の最新実
行状況を第６の記憶手段に格納させることにより、比較
的簡単かつ効率的に重複命令除去機能付き格納動作を実
行することができる。

【０１２１】また、請求項４記載の半導体試験方法は、
ステップ(c)でコンパイル対象のデバイスに対応したオ
ブジェクトプログラムを出力させ、ステップ(g)で第２
の品種名情報に基づき、少なくとも１つのオブジェクト
プログラムから試験対象のデバイスに対応したオブジェ
クトプログラムを実行するため、試験対象のデバイス単
位にオブジェクトプログラムを実行してデバイスの試験
を行うことができる。

【０１２２】その結果、試験対象のデバイスに対応した
オブジェクトプログラムの複雑さに関係なく、試験対象
の品種名のデバイスに対応するオブジェクトプログラム
取得のために第５の記憶手段に１度アクセスするだけで
デバイスの試験が行えるため、デバイスの試験時間を必
要最小限に抑えることができる。

【０１２３】また、請求項５記載の半導体試験方法は、
ステップ(c)で、同一内容のテスト命令が連続して格納
されないようにテストプログラムを第３の記憶手段に格
納する重複命令除去機能付き格納動作を行うため、無駄
な命令がオブジェクトプログラムに変換されない。

【０１２４】その結果、ステップ(h)で実行されるオブ
ジェクトプログラムの実行時間も短縮されるため、さら
にデバイスの試験時間を短縮することができる。

【０１２５】加えて、請求項６記載の半導体試験方法
は、ステップ(c)で、テスト命令履歴情報を参照して重
複命令除去機能付き格納動作を行うため、テスト命令履
歴情報として使用頻度の高いテスト命令の最新実行状況
を第６の記憶手段に格納させておくことにより、比較的
簡単かつ効率的に重複命令除去機能付き格納動作を実行
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１の実施例である半導体試験装
置の構成を示すブロック図である。

【図２】 プログラム制御装置内のソースデータベース
の内容を示す説明図である。

【図３】 プログラム制御装置内の品種テーブルの内容
を示す説明図である。

【図４】 プログラム制御装置内のテスト制御テーブル
の内容を示す説明図である。

【図５】 プログラム制御装置内のコンパイラバッファ
の動作説明用の説明図である。

【図６】 テスト実行装置内のオブジェクトデータベー
スの内容を示す説明図である。

【図７】 テスト実行装置内の実行品種テーブルの内容
を示す説明図である。

【図８】 プログラム制御装置内のテスト実行装置テー
ブルの内容を示す説明図である。

【図９】 第１の実施例の半導体試験装置の動作を示す
フローチャートである。

【図１０】 第１の実施例の半導体試験装置の動作を示
すフローチャートである。

【図１１】 この発明の第２の実施例である半導体試験
装置におけるプログラム制御装置の構成を示すブロック
図である。

【図１２】 コンパイラテーブルの動作説明用の説明図
である。

【図１３】 第２の実施例の半導体試験装置の動作を示
すフローチャートである。

【図１４】 第２の実施例の半導体試験装置の動作を示
すフローチャートである。

【図１５】 従来の半導体試験装置の構成を示すブロッ
ク図である。

【図１６】 従来のプログラム制御部に内蔵されるソー
スデータベースの内容を示す説明図である。

【図１７】 テストプログラムを構成するテスト項目４
ａ，４ｂ，４ｃの内容を示す説明図である。

【図１８】 プログラム制御部に内蔵される品種テーブ
ルの内容を示す説明図である。

【図１９】 プログラム制御部に内蔵されるテスト制御
テーブルの内容を示す説明図である。

【図２０】 テスト実行部に内蔵されるオブジェクトデ
ータベースの内容を示す説明図である。

【図２１】 テスト実行部に内蔵される実行制御テーブ
ルの内容を示す説明図である。

【図２２】 従来の半導体試験装置の動作を示すフロー
チャートである。

【符号の説明】

１ プログラム制御部、２ テスト実行部、４ テスト
プログラム、５ ソースデータベース、６ 品種テーブ
ル、８ コンパイラ、９ オブジェクトデータベース、
１０ 実行制御テーブル、１１ プログラム制御装置、
１２ テスト実行装置、１４ コンパイラバッファ、１
５ 実行品種テーブル、１６ テスト実行装置テーブ
ル、１７ コンパイラテーブル。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プログラム制御装置と複数のテスト実行
   装置とからなり、試験対象のデバイスに対して試験を行
   う半導体試験装置であって、 前記プログラム制御装置は、 コンパイル対象のデバイスの品種名を規定した第１の品
   種名情報を付与する第１の品種名付与手段と、 各々がデバイスの品種に対応に対応した複数のテストプ
   ログラムをソース形式で格納した第１の記憶手段とを備
   え、前記複数のテストプログラムはそれぞれ少なくとも
   １つのテスト項目からなり、 前記複数のテストプログラムそれぞれのテスト項目の実
   行順序を規定したテスト項目実行情報を格納する第２の
   記憶手段と、 コンパイルすべきテストプログラムを格納する第３の記
   憶手段と、 前記第３の記憶手段に格納されたテストプログラムに対
   しコンパイル処理を実行し、前記テストプログラムをオ
   ブジェクト形式に変換してオブジェクトプログラムを生
   成するコンパイラと、 前記複数のテスト実行装置のうち、オブジェクトプログ
   ラム転送を必要とするテスト実行装置を指示する要転送
   テスト実行装置情報を格納する第４の記憶手段と、 前記第１の品種名情報に基づき前記複数のテストプログ
   ラムから前記コンパイル対象のデバイスに対応するテス
   トプログラムを抽出して、前記テスト項目実行情報に基
   づくテスト項目順序で前記第３の記憶手段に格納した
   後、前記コンパイラに前記コンパイル処理を実行させ、
   前記複数のテスト実行装置のうち前記要転送テスト実行
   装置情報で指示されたテスト実行装置に対して、前記コ
   ンパイル対象のデバイスに対応したオブジェクトプログ
   ラムを出力させるプログラム制御手段とをさらに備え、 前記複数のテスト実行装置はそれぞれ、 前記プログラム制御装置から得た少なくとも１つのオブ
   ジェクトプログラムを格納する第５の記憶手段と、 試験対象のデバイスの品種名を規定した第２の品種名情
   報を付与する第２の品種名付与手段と、 前記第２の品種名情報に基づき、前記第１の品種名情報
   に基づき前記少なくとも１つのオブジェクトプログラム
   から前記試験対象のデバイスに対応するオブジェクトプ
   ログラムを抽出して、該オブジェクトプログラムを実行
   して、前記試験対象のデバイスに対する試験を行うテス
   ト実行手段とを備える、半導体試験装置。
2. 【請求項２】 前記テスト項目は少なくとも１つのテス
   ト命令からなり、 前記プログラム制御装置の前記プログラム制御手段は、
   同一内容のテスト命令が連続して格納されないようにテ
   ストプログラムを前記第３の記憶手段に格納する重複命
   令除去機能付き格納動作を行うことを特徴とする請求項
   １記載の半導体試験装置。
3. 【請求項３】 前記プログラム制御装置は、 少なくとも１つのテスト命令の最新実行状況をテスト命
   令履歴情報として格納する第６の記憶手段をさらに備
   え、 前記プログラム制御手段は、前記テスト命令履歴情報を
   参照して前記重複命令除去機能付き格納動作を行うこと
   を特徴とする請求項２記載の半導体試験装置。
4. 【請求項４】 プログラム制御装置と複数のテスト実行
   装置とからなる半導体試験装置を用いて、試験対象のデ
   バイスに対して試験を行う半導体試験方法であって、 前記プログラム制御装置は、 各々がデバイスの品種に対応に対応した複数のテストプ
   ログラムをソース形式で格納した第１の記憶手段を備
   え、前記複数のテストプログラムはそれぞれ少なくとも
   １つのテスト項目からなり、 前記複数のテストプログラムそれぞれのテスト項目の実
   行順序を規定したテスト項目実行情報を格納する第２の
   記憶手段と、 コンパイルすべきテストプログラムを格納する第３の記
   憶手段と、 前記第３の記憶手段に格納されたテストプログラムに対
   しコンパイル処理を実行し、前記テストプログラムをオ
   ブジェクト形式に変換してオブジェクトプログラムを生
   成するコンパイラと、 前記複数のテスト実行装置のうち、オブジェクトプログ
   ラム転送を必要とするテスト実行装置を指示する要転送
   テスト実行装置情報を格納する第４の記憶手段とをさら
   に備え、 前記複数のテスト実行装置はそれぞれ、 前記プログラム制御装置から得た少なくとも１つのオブ
   ジェクトプログラムを格納する第５の記憶手段を備え、 前記半導体試験方法は、前記プログラム制御装置を用い
   たオブジェクトプログラム生成処理と前記テスト実行装
   置それぞれを用いたオブジェクトプログラム実行処理と
   からなり、 前記オブジェクトプログラム生成処理は、 (a) コンパイル対象のデバイスの品種名を規定した第１
   の品種名情報を付与するステップと、 (b) 前記第１の品種名情報に基づき前記複数のテストプ
   ログラムから前記コンパイル対象のデバイスに対応する
   テストプログラムを抽出するステップと、 (c) 前記ステップ(b)で格納されたテストプログラムを
   前記テスト項目実行情報に基づくテスト項目順序で前記
   第３の記憶手段に格納するステップと、 (d) 前記コンパイラに前記コンパイル処理を実行させオ
   ブジェクトプログラムを生成させるステップと、 (e) 前記複数のテスト実行装置のうち前記要転送テスト
   実行装置情報で指示されたテスト実行装置に対して、前
   記ステップ(d)で生成されたオブジェクトプログラムを
   前記第５の記憶手段に格納させるステップとを備え、 前記オブジェクトプログラム実行処理は、 (f) 試験対象のデバイスの品種名を規定した第２の品種
   名情報を付与するステップと、 (g) 前記第２の品種名情報に基づき前記少なくとも１つ
   のオブジェクトプログラムから前記試験対象のデバイス
   に対応するオブジェクトプログラムを抽出するステップ
   と、 (h) 前記ステップ(g)で抽出したオブジェクトプログラ
   ムを実行して、前記試験対象のデバイスに対する試験を
   行うステップとを備える、半導体試験方法。
5. 【請求項５】 前記テスト項目は少なくとも１つのテス
   ト命令からなり、 前記ステップ(c)は、同一内容のテスト命令が連続して
   格納されないようにテストプログラムを前記第３の記憶
   手段に格納する重複命令除去機能付き格納動作を行うこ
   とを特徴とする請求項４記載の半導体試験方法。
6. 【請求項６】 前記プログラム制御装置は、 少なくとも１つのテスト命令の最新実行状況をテスト命
   令履歴情報を格納する第６の記憶手段をさらに備え、 前記ステップ(c)は、前記テスト命令履歴情報に格納さ
   れたテスト命令について前記重複命令除去機能付き格納
   動作を行うことを特徴とする請求項５記載の半導体試験
   方法。