JPH087108B2 - Container airtightness measuring method and apparatus and container conveying method - Google Patents

Container airtightness measuring method and apparatus and container conveying method

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JPH087108B2
JPH087108B2 JP2441992A JP2441992A JPH087108B2 JP H087108 B2 JPH087108 B2 JP H087108B2 JP 2441992 A JP2441992 A JP 2441992A JP 2441992 A JP2441992 A JP 2441992A JP H087108 B2 JPH087108 B2 JP H087108B2
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Japan
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container
cylinder
inspected
carry
tank
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康夫 稲益
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、密封した容器の気密度
を測定する方法及びその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for measuring the airtightness of a sealed container.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば医薬品や食品等の保存容器におい
ては、保存中における外部からの汚染や内容物の流出を
防止するため、ピンホール等の欠陥を検査することがそ
の製造過程において極めて重要な工程となっている。特
に医薬用のバイアル壜やアンプル等においては、大気と
共に細菌等の侵入を防止するため、直径数mμ若しくは
それ以下の極微小のピンホールまでをも検査することが
必要とされている。そこで従来、極微小のピンホールを
検知する方法として、特開昭45−77179号公報
や、特開昭55−124533号公報に記載の如く、被
検査容器の外周面又は底面に電極を密着させ、両電極に
高電圧を印加して両電極間に流れる電流値から欠陥を検
出する方法及び装置が提案されている。しかし、この方
法及び装置では、極微小のピンホールまで検知可能では
あるが、電極間の誘電率が低いため高い精度を得ること
ができず、極微小のピンホールを総て検知するといった
満足できる結果が期待できない。そこで本発明者は、上
記欠点を解消するものとして先の出願において、電極
と被検査容器との間に誘電率の高い流体を介在させ、欠
陥のない容器を電極間に位置させたときとの差を比較す
ることにより、容器の欠陥を検知する容器の気密度測定
方法とその装置を開発した(特公平2−17071号公
報)。
2. Description of the Related Art For example, in a storage container for medicines, foods, etc., it is extremely important in the manufacturing process to inspect for defects such as pinholes, etc. in order to prevent external contamination and leakage of contents during storage. It is a process. Particularly in pharmaceutical vial bottles, ampoules and the like, it is necessary to inspect even minute pinholes having a diameter of several mμ or less in order to prevent bacteria and the like from entering with the atmosphere. Therefore, conventionally, as a method for detecting an extremely small pinhole, as described in JP-A-45-77179 and JP-A-55-124533, an electrode is brought into close contact with the outer peripheral surface or the bottom surface of the container to be inspected. A method and apparatus for detecting a defect from a current value flowing between both electrodes by applying a high voltage to both electrodes have been proposed. However, with this method and device, even minute pinholes can be detected, but since the dielectric constant between the electrodes is low, it is not possible to obtain high accuracy, and all minute pinholes can be detected. I can't expect results. Therefore, the present inventor proposes to solve the above-mentioned drawbacks in the previous application by interposing a fluid having a high dielectric constant between the electrode and the container to be inspected and arranging a container having no defect between the electrodes. By comparing the differences, a container airtightness measuring method for detecting a container defect and an apparatus thereof have been developed (Japanese Patent Publication No. 2-17071).

【0003】また、検査工程における被検査容器の搬送
には、図9に示すように、スクリューとスターホイール
とを組合せた方法が用いられていた。
Further, as shown in FIG. 9, a method in which a screw and a star wheel are combined is used to convey the container to be inspected in the inspection process.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記の方法は前述の
通り極微小のピンホールを検出はできるものの、精度面
で難点がある。またの方法及び装置は精度面でも優れ
ているが、欠陥の無い容器の機密度と比較しなければな
らないため、時間と手間がかかる。従って、上記いずれ
の方法又は装置も大量の容器を高い精度で測定するのが
むずかしかった。また、従来の搬送方法ではスクリュー
やスターホイールによって被検査体が傷付いたりする虞
れがあり、特にアンプル等の薄いガラスで形成されたも
のには不向きであった。
Although the above method can detect extremely small pinholes as described above, it has a problem in accuracy. Further, although the method and the apparatus are excellent in accuracy, it is time-consuming and troublesome because it is necessary to compare with the sensitivity of a container having no defect. Therefore, it is difficult to measure a large number of containers with high accuracy in any of the above methods or apparatuses. Further, in the conventional conveying method, there is a possibility that the object to be inspected may be damaged by the screw or the star wheel, and it is unsuitable especially for those made of thin glass such as ampoule.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は直径数mμ若し
くはそれ以下の極微小のピンホールを高い精度で容易に
検出し、而も連続した測定を可能とする方法及びその装
置を提供するものである。即ち、その方法とは、被検査
容器より径が大きく導電性材料で形成された格子状の内
筒と、この内筒より径が大きく導電性材料で形成された
格子状の中筒と、この中筒より径が大きく導電性材料で
形成された外筒と、この外筒より径が大きく耐熱性の絶
縁体で形成された特大筒とを同軸状に重ね合わせ、前記
特大筒の外周面にヒーターを設けて構成される検出器を
絶縁性の高い流体中に没入し、前記内筒及び中筒に陰極
電圧を、前記外筒に陽極電圧を印加することにより、ま
たは前記内筒及び中筒に陽極電圧を、前記外筒に陰極電
圧を印加することにより、内筒内に介在する被検査容器
内の前記流体をイオン化すると共に、外筒及び中筒及び
内筒との間に静電容量を形成し、前記内筒内に介在する
被検査容器の欠陥部から流出するイオン電流を前記検出
器に接続した検出回路により、被検査容器の欠陥を検出
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a method and apparatus for easily detecting extremely small pinholes having a diameter of several mμ or less with high accuracy and enabling continuous measurement. Is. That is, the method includes a grid-shaped inner cylinder having a diameter larger than that of the container to be inspected and formed of a conductive material, and a grid-shaped inner cylinder having a diameter larger than that of the inner cylinder and formed of a conductive material. An outer cylinder having a diameter larger than that of the middle cylinder and formed of a conductive material, and an oversized cylinder formed of a heat-resistant insulator having a diameter larger than that of the outer cylinder are coaxially overlapped with each other, and the outer peripheral surface of the oversized cylinder is By immersing the detector provided with a heater in a highly insulating fluid and applying a cathode voltage to the inner cylinder and the middle cylinder and an anode voltage to the outer cylinder, or the inner cylinder and the middle cylinder. By applying an anode voltage to the outer cylinder and a cathode voltage to the outer cylinder, the fluid in the container to be inspected interposed in the inner cylinder is ionized, and the capacitance between the outer cylinder, the middle cylinder, and the inner cylinder is increased. And the ion current flowing out from the defective portion of the container to be inspected that is present in the inner cylinder. The detection circuit connected to the detector is to detect the defect of the inspection container.

【0006】また、その装置とは、被検査容器を介在可
能で導電性材料で形成された内筒と、この内筒より径が
大きく導電性材料で形成された中筒と、この中筒より径
が大きく導電性材料で形成された外筒と、この外筒より
径が大きく耐熱性の絶縁体で形成された特大筒とを同軸
状に重ね合わせ、前記特大筒の外周面にヒーターを設け
て構成される検出器を絶縁性の高い流体中に没入し、前
記検出器に電圧供給回路とイオン電流検出回路とを接続
したことにある。
Further, the apparatus includes an inner cylinder formed of a conductive material and capable of interposing a container to be inspected, a middle cylinder formed of a conductive material and having a diameter larger than that of the inner cylinder, and a middle cylinder formed of the middle cylinder. An outer cylinder having a large diameter and formed of a conductive material and an oversized cylinder formed of a heat-resistant insulator having a larger diameter than the outer cylinder are superposed coaxially, and a heater is provided on the outer peripheral surface of the oversized cylinder. The detector configured as described above is immersed in a highly insulating fluid, and a voltage supply circuit and an ion current detection circuit are connected to the detector.

【0007】更に、本発明は従来のような被検査容器の
搬送方法が有していた欠点を解消することができる方法
を提供するものである。即ち、その方法とは、被検査容
器を搬入する搬入槽に設けられた請求項1記載の気密度
測定装置の検出器の搬出側と、前記流体を満たした搬出
槽とを被検査容器が通過可能な輸送管で接続すると共
に、前記搬入槽と搬出槽とを送水管で接続し、前記流体
を前記輸送管内を搬入槽から搬出槽へ循環させることに
より、前記被検査容器を搬入槽から搬出槽へ搬送するこ
とにある。
Further, the present invention provides a method capable of eliminating the drawbacks of the conventional method of transporting an inspected container. That is, the method means that the container to be inspected passes through the carry-out side of the detector of the airtightness measuring apparatus according to claim 1, which is provided in the carry-in tank for carrying in the container to be inspected, and the carry-out tank filled with the fluid. In addition to connecting with a possible transport pipe, the carry-in tank and the carry-out tank are connected with a water supply pipe, and the fluid is circulated in the transport pipe from the carry-in tank to the carry-out tank, thereby carrying out the container to be inspected from the carry-in tank. It is to transfer to the tank.

【0008】[0008]

【作用】絶縁性の高い流体で満たされた被検査容器は、
特大筒の外周面に設けられたヒーターによって暖められ
ることにより、流体の分子運動が活発な状態となる。そ
して、被検査容器は、電圧が印加された内筒が形成する
電界中に置かれると、流体が電離し、その内面に電離し
たイオンが現われる。また、中筒と外筒の周辺には、印
加された電圧により静電容量が発生しているため、被検
査体にピンホール等の欠陥があると、前記イオンは内筒
周辺に現われる前記イオンとは逆の極性を有するイオン
によって吸引され、活発な分子運動と相俟って欠陥部か
ら流出し、内筒に達する。そして、内筒に達したイオン
の分だけ外筒に対する内筒の電位が高くなり、余剰のイ
オンが中筒へイオン電流となって流れる。従って、中筒
にイオン電流検出回路を接続することにより、イオン電
流の有無と大きさ、即ち欠陥部の有無と大きさを測定す
ることができる。
[Function] The inspected container filled with the highly insulating fluid is
The molecular motion of the fluid becomes active by being heated by the heater provided on the outer peripheral surface of the oversized cylinder. When the container to be inspected is placed in an electric field formed by an inner cylinder to which a voltage is applied, the fluid is ionized, and the ionized ions appear on the inner surface of the fluid. Further, since electrostatic capacitance is generated around the middle cylinder and the outer cylinder due to the applied voltage, if there is a defect such as a pinhole in the DUT, the ions appear around the inner cylinder. It is attracted by ions having a polarity opposite to that of, and flows out from the defect part together with active molecular motion and reaches the inner cylinder. Then, the potential of the inner cylinder with respect to the outer cylinder increases by the amount of the ions that have reached the inner cylinder, and the surplus ions flow into the middle cylinder as an ion current. Therefore, by connecting the ion current detection circuit to the middle cylinder, it is possible to measure the presence / absence and magnitude of the ion current, that is, the presence / absence and magnitude of the defective portion.

【0009】次に、請求項3に記載の被検査容器の搬送
方法において、被検査容器は搬出槽と搬入槽とを接続し
た輸送管内を循環する流体によって搬送されるため、傷
付けることはない。
Next, in the method of transporting the container to be inspected according to the third aspect, the container to be inspected is transported by the fluid circulating in the transport pipe that connects the carry-out tank and the carry-in tank, and is not damaged.

【0010】[0010]

【実施例】図1〜図6は本発明にかかる容器の気密度測
定装置の説明図である。以下、これらの図面に基づいて
本発明を詳細に説明する。1は被検査体の欠陥を検出す
る検出器で、中心軸を共通とし、それぞれ一定間隔を隔
てた四重の筒構造になっており、内側から順に、被検査
容器を内側に介在可能な内筒としてのカソードK、中筒
としてのグリッドG、外筒としてのプレートP、特大筒
L、ヒーターHが配置され、カソードK、グリッドG、
プレートPはそれぞれ導電性材料で、特大筒Lは耐熱性
の絶縁材料で形成され、カソードKとグリッドGは網状
に形成されている。また、カソードK、グリッドG、プ
レートPには測定回路3が、ヒーターHにはヒーター回
路6がそれぞれ接続されている。4は被検査容器として
のアンプル2を検出器内に導くためのラッパ部、5はア
ンプルと接触することによりアンプル内の残留イオンを
グリッドGを介して消失させるためのブラシである。7
は検査が完了したアンプルを輸送するための輸送管を示
す。検出器1は、高絶縁性の蒸留水(以下、純水とい
う)9が満たされた純水槽8の中に没入した状態で設置
され、カソードK内をアンプル2が通過するようになっ
ている。図2は測定回路3の一実施例を示し、カソード
KにはダイオードD1、抵抗R1が、プレートPにはダ
イオードD3、抵抗R3が、グリッドGには抵抗R2を
介して電流計A1が、また、アンプ11を介して電流計
A2がそれぞれ接続されている。更に、トランスT1を
介して交流電源10が接続され、直流電源を供給できる
ようになっている。図3はヒーター回路の説明図であ
り、ヒータートランスT2を介して交流電源10が接続
されている。
1 to 6 are explanatory views of a container airtightness measuring apparatus according to the present invention. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to these drawings. Reference numeral 1 is a detector for detecting defects in an object to be inspected, which has a quadruple cylindrical structure with a common central axis and is spaced at regular intervals. A cathode K as a cylinder, a grid G as a middle cylinder, a plate P as an outer cylinder, an oversized cylinder L, and a heater H are arranged, and the cathode K, grid G,
The plate P is made of a conductive material, the extra large cylinder L is made of a heat-resistant insulating material, and the cathode K and the grid G are formed in a mesh shape. The measuring circuit 3 is connected to the cathode K, the grid G, and the plate P, and the heater circuit 6 is connected to the heater H. Reference numeral 4 is a trumpet portion for guiding the ampoule 2 as the container to be inspected into the detector, and reference numeral 5 is a brush for eliminating residual ions in the ampoule through the grid G by contacting the ampoule. 7
Indicates a transport pipe for transporting the ampoule that has been inspected. The detector 1 is installed in a state of being immersed in a pure water tank 8 filled with highly insulating distilled water (hereinafter referred to as pure water) 9, and an ampoule 2 passes through the cathode K. . FIG. 2 shows an embodiment of the measuring circuit 3, in which a cathode D is provided with a diode D1 and a resistor R1, a plate P is provided with a diode D3 and a resistor R3, and a grid G is provided with an ammeter A1 via a resistor R2, , Ammeters A2 are respectively connected via the amplifier 11. Further, the AC power supply 10 is connected via the transformer T1 so that the DC power supply can be supplied. FIG. 3 is an explanatory diagram of the heater circuit, to which the AC power source 10 is connected via the heater transformer T2.

【0011】次に実際に本装置を用いて気体若しくは薬
液(以下、封入物という)が封入されたアンプルの気密
度を測定する場合について説明する。今、カソードKと
グリッドGには一定の陰極電圧が、プレートPには一定
の陽極電圧が印加され、図6に示すようにカソードK、
グリッドG、プレートP各周辺の純水9が帯電した状態
で、被検査体であるアンプル2がラッパ部4を介して搬
入されたとする。先ず、アンプル2はブラシ5と接触す
ることにより、内部の残留イオンがグリッドGを介して
消失される。そして、アンプルは検出器1を構成するカ
ソードK内に位置すると、アンプル内の封入物19はヒ
ーターHによって所定温度に暖められ、分子活動が活発
となり、高い絶縁性を有する状態となる。そして、アン
プル2はカソードKに印加された陰極電圧による電界中
に置かれた状態となり、アンプル2内には電離イオン化
した封入物のイオンが発生する。ここで、図5に示すよ
うにアンプル2にピンホール20が存在すると、前記封
入物のイオンは、活発な分子運動と相俟ってカソードK
の周辺に発生しているので、封入物のイオンとは逆の極
性を有するイオンに吸引され、ピンホール20から流出
する。そして、カソードKに吸引されたイオンの分だ
け、プレートPに対するカソードKの電位が高くなり、
余剰のイオンがグリッドGへ移行する。このグリッドG
へ流れたイオンがイオン電流となり、グリッドGに接続
された抵抗R2を介して電流計A1によって検出され
る。また、この検出されたイオン電流は、アンプ11で
増幅され、電流計A2によって検出される。従って、こ
の電流計A2の測定値によってピンホールの存在とその
大きさが判明する。
Next, a case will be described in which the apparatus is actually used to measure the airtightness of an ampoule in which a gas or a chemical solution (hereinafter referred to as an enclosure) is enclosed. Now, a constant cathode voltage is applied to the cathode K and the grid G, and a constant anode voltage is applied to the plate P. As shown in FIG.
It is assumed that the ampoule 2 as the object to be inspected is carried in via the trumpet part 4 in a state where the pure water 9 around each of the grid G and the plate P is charged. First, when the ampoule 2 comes into contact with the brush 5, residual ions inside are lost through the grid G. Then, when the ampoule is positioned inside the cathode K that constitutes the detector 1, the enclosure 19 in the ampoule is heated to a predetermined temperature by the heater H, the molecular activity becomes active, and a high insulating property is achieved. Then, the ampoule 2 is placed in an electric field due to the cathode voltage applied to the cathode K, and ions of the ionized ionized inclusions are generated in the ampoule 2. Here, as shown in FIG. 5, when the pinhole 20 is present in the ampoule 2, the ions of the inclusions are combined with the active molecular motion to cause the cathode K.
Since it is generated in the vicinity of, the ions having the opposite polarity to the ions of the inclusion are attracted and flow out from the pinhole 20. Then, the potential of the cathode K with respect to the plate P becomes higher by the amount of the ions attracted to the cathode K,
The surplus ions move to the grid G. This grid G
The ions flowing to become an ion current, which is detected by the ammeter A1 via the resistor R2 connected to the grid G. The detected ionic current is amplified by the amplifier 11 and detected by the ammeter A2. Therefore, the existence and size of the pinhole can be determined from the measurement value of the ammeter A2.

【0012】尚、カソードKとグリッドGとプレートP
とに交流電圧をそれぞれ印加した場合、アンプル2内に
は電離イオン化した気体若しくは薬液のイオンが発生
し、カソードK、グリッドG、プレートP周辺の純水9
はそれぞれ電離イオン化されるため、電離イオン化した
気体若しくは薬液のイオンはカソードK周辺に発生して
いるイオンに吸引され、ピンホール20から流出し、前
記同様に電流計A1によって検出される。
Incidentally, the cathode K, the grid G, and the plate P
When an AC voltage is applied to and, ions of ionized ionized gas or chemical liquid are generated in the ampoule 2, and the pure water 9 around the cathode K, the grid G, and the plate P is generated.
Are ionized and ionized, the ions of the ionized gas or chemical solution are attracted to the ions generated around the cathode K, flow out from the pinhole 20, and are detected by the ammeter A1 as described above.

【0013】次に本発明にかかる被検査容器の搬送方法
を図7〜図9に基づいて説明する。図7において13は
輸送管7を介して搬入槽12から搬出されたアンプル2
を搬入し、浮遊させておくための搬出槽であり、搬入槽
同様、純水が満たされている。また、搬入槽12と搬出
槽13とは送水管14で接続され、搬出槽内のポンプ1
9によって搬出槽内の純水を搬入槽12内へ送ることに
よって、純水を搬出槽12から搬入槽13へ向けて循環
させ、搬入槽13内のアンプル2を輸送管7を通って搬
出槽13へ送り込むようになっている。16は搬出槽1
3に浮遊しているアンプルを拾い上げ、所定箇所へ搬送
するためのコンベアーである。図8及び図9は複数の検
出器を設けた大型の搬入槽15を設置した場合の説明図
である。各検出器は薬品メーカー毎に設置され、各アン
プルは測定器でピンホール等の欠陥の有無が検査される
と、それぞれの輸送管を通って、各搬出槽へ送り込まれ
るようになっている。以上のように本搬送方法は流体を
用いているため、被検査体を傷付けることなく搬送する
ことができると共に、多種類の被検査体を連続して検査
することができる。
Next, a method of transporting the container to be inspected according to the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 7, 13 is an ampoule 2 carried out from the carry-in tank 12 via the transport pipe 7.
Is a carry-out tank for carrying in and leaving it floating, and like the carry-in tank, is filled with pure water. Further, the carry-in tank 12 and the carry-out tank 13 are connected by a water supply pipe 14, and the pump 1 in the carry-out tank is connected.
By sending the pure water in the carry-in tank into the carry-in tank 12 by 9, the pure water is circulated from the carry-out tank 12 toward the carry-in tank 13, and the ampoule 2 in the carry-in tank 13 is carried out through the transport pipe 7. It is supposed to be sent to 13. 16 is unloading tank 1
It is a conveyor for picking up the ampoule floating in 3 and transporting it to a predetermined place. 8 and 9 are explanatory views when a large-sized carry-in tank 15 provided with a plurality of detectors is installed. Each detector is installed by each chemical manufacturer, and when each ampoule is inspected by the measuring instrument for the presence of defects such as pinholes, it is sent to each unloading tank through each transport pipe. As described above, since the present transport method uses the fluid, it is possible to transport the test object without damaging it, and it is possible to continuously test various kinds of test objects.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によれば、直径数mμ若しくはそ
れ以下のごく微小のピンホール等の欠陥は勿論のこと、
イオンが通過可能な大きさであれば総て検知することが
できる。また、欠陥の無い容器の気密度と比較する必要
がないため、瞬時の測定が可能となる。而も、被検査容
器が絶縁性材料、非絶縁性材料に拘らず、密閉容器であ
れば、鉄、ガラス、プラスチック、その他どんな材質の
ものでも測定することができると共に、容器内にイオン
に電離しているか又は電界によってイオンを発生するよ
うな物質が含まれていれば、その内容物が気体、液体、
固体等であっても、また容器内の間隙が真空又は空気等
が封入されていても何ら差し支えなく検査することがで
きる。更に本発明の搬送方法を用いれば、容器の欠陥を
連続して検知することができると共に、容器を傷付ける
こともない。以上のように本発明は、容器を利用した製
品の検査工程時間の大幅な短縮と検査の精度の飛躍的な
向上を可能とし、製品の品質向上と製造コストの低減を
図ることができる画期的なものである。
According to the present invention, not to mention defects such as very small pinholes having a diameter of several mμ or less,
All ions can be detected as long as the ions can pass therethrough. In addition, since it is not necessary to compare with the airtightness of a container having no defect, it is possible to measure instantaneously. In addition, regardless of whether the container to be inspected is an insulating material or a non-insulating material, as long as it is a closed container, iron, glass, plastic, or any other material can be measured, and ions can be ionized in the container. Or contains a substance capable of generating ions by an electric field, its contents are gas, liquid,
Even if it is a solid or the like, or if the gap in the container is filled with vacuum or air, it can be inspected without any problem. Further, by using the carrying method of the present invention, defects of the container can be continuously detected and the container is not damaged. INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention makes it possible to significantly reduce the inspection process time of a product using a container and dramatically improve the accuracy of inspection, and to achieve an improvement in product quality and a reduction in manufacturing cost. It is a target.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかる容器の気密度測定方法及びその
装置の説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a container airtightness measuring method and apparatus according to the present invention.

【図2】測定回路の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a measurement circuit.

【図3】ヒーター回路の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a heater circuit.

【図4】検出器の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a detector.

【図5】検出器と測定回路の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a detector and a measurement circuit.

【図6】検出器の横断面説明図とイオンの発生状態を示
す縦断面説明図である。
6A and 6B are a cross-sectional explanatory view of a detector and a vertical cross-sectional explanatory view showing a generation state of ions.

【図7】本発明にかかる容器の搬送方法の説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a container transport method according to the present invention.

【図8】大型搬入槽を用いた本発明にかかる容器の搬送
方法の説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a method of transporting a container according to the present invention using a large loading tank.

【図9】大型搬入槽を用いた本発明にかかる容器の搬送
方法の説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram of a method of transporting a container according to the present invention using a large loading tank.

【図10】従来の容器の搬送方法を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory view showing a conventional container transport method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・検出器、2・・アンプル、3・・測定回路、4・
・ラッパ部、5・・ブラシ、6・・ヒーター回路、7・
・輸送管、8・・純水槽、9・・純水、10・・交流電
源、11・・アンプ、12・・搬入槽、13・・搬出
槽、14・・送水管、15・・大型搬入槽、16・・コ
ンベアー、17・・スクリュー、18・・スターホイー
ル、19・・ポンプ、M・・モーター、P・・プレー
ト、G・・グリッド、K・・カソード、L・・特大筒、
D1,D2,D3・・ダイオード、R1,R2,R3・
・抵抗、A1,A2・・電流計、H・・ヒーター、H
1,H2・・端子、T1・・トランス、T2・・ヒータ
ートランス。
1 ... Detector, 2 ... Ampule, 3 ... Measuring circuit, 4 ...
・ Trumpet part, 5 ・ ・ Brush, 6 ・ ・ Heater circuit, 7 ・
・ Transport pipe, 8 ・ ・ Pure water tank, 9 ・ ・ Pure water, 10 ・ ・ AC power supply, 11 ・ ・ Amplifier, 12 ・ ・ Inlet tank, 13 ・ ・ Unload tank, 14 ・ ・ Water pipe, 15 ・ ・ Large-size carry-in Tank, 16 ・ ・ Conveyor, 17 ・ ・ Screw, 18 ・ ・ Star wheel, 19 ・ ・ Pump, M ・ ・ motor, P ・ ・ plate, G ・ ・ Grid, K ・ ・ Cathode, L ・ ・ Oversized cylinder,
D1, D2, D3 ... Diode, R1, R2, R3 ...
・ Resistance, A1, A2 ・ ・ Ammeter, H ・ ・ Heater, H
1, H2 ... Terminal, T1 ... transformer, T2 ... heater transformer.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被検査容器より径が大きく導電性材料で形
成された格子状の内筒と、この内筒より径が大きく導電
性材料で形成された格子状の中筒と、この中筒より径が
大きく導電性材料で形成された外筒と、この外筒より径
が大きく耐熱性の絶縁体で形成された特大筒とを同軸状
に重ね合わせ、前記特大筒の外周面にヒーターを設けて
構成される検出器を絶縁性の高い流体中に没入し、前記
内筒及び中筒に陰極電圧を、前記外筒に陽極電圧を印加
することにより、または前記内筒及び中筒に陽極電圧
を、前記外筒に陰極電圧を印加することにより、内筒内
に介在する被検査容器内の前記流体をイオン化すると共
に、外筒及び中筒及び内筒との間に静電容量を形成し、
前記内筒内に介在する被検査容器の欠陥部から流出する
イオン電流を前記検出器に接続した検出回路により、被
検査容器の欠陥を検出することを特徴とする容器の気密
度測定方法。
1. A lattice-shaped inner cylinder having a diameter larger than that of the container to be inspected and formed of a conductive material, a lattice-shaped middle cylinder having a diameter larger than that of the inner cylinder and formed of a conductive material, and the middle cylinder. An outer cylinder having a larger diameter and formed of a conductive material and an oversized cylinder formed of a heat-resistant insulator having a larger diameter than the outer cylinder are coaxially overlapped, and a heater is provided on the outer peripheral surface of the oversized cylinder. By immersing the detector provided and configured in a highly insulating fluid and applying a cathode voltage to the inner cylinder and the middle cylinder and an anode voltage to the outer cylinder, or by applying an anode to the inner cylinder and the middle cylinder. By applying a voltage to the outer cylinder, a cathode voltage is applied to ionize the fluid in the container to be inspected interposed in the inner cylinder and to form a capacitance between the outer cylinder, the middle cylinder, and the inner cylinder. Then
A method for measuring the airtightness of a container, wherein a defect of the container to be inspected is detected by a detection circuit connected to the detector for an ion current flowing out from a defective portion of the container to be inspected interposed in the inner cylinder.
【請求項2】被検査容器を介在可能で導電性材料で形成
された内筒と、この内筒より径が大きく導電性材料で形
成された中筒と、この中筒より径が大きく導電性材料で
形成された外筒と、この外筒より径が大きく耐熱性の絶
縁体で形成された特大筒とを同軸状に重ね合わせ、前記
特大筒の外周面にヒーターを設けて構成される検出器を
絶縁性の高い流体中に没入し、前記検出器に電圧供給回
路とイオン電流検出回路を接続して成ることを特徴とす
る容器の気密度測定装置。
2. An inner cylinder made of an electrically conductive material, capable of interposing a container to be inspected, a middle cylinder made of a conductive material and having a diameter larger than that of the inner cylinder, and an electrically conductive material having a diameter larger than that of the middle cylinder. An outer cylinder formed of a material and an oversized cylinder formed of a heat-resistant insulator having a diameter larger than that of the outer cylinder are superposed coaxially, and a heater is provided on the outer peripheral surface of the oversized cylinder. A container airtightness measuring apparatus, characterized in that the container is immersed in a highly insulating fluid, and a voltage supply circuit and an ion current detection circuit are connected to the detector.
【請求項3】被検査容器を搬入する搬入槽に設けられた
請求項1記載の気密度測定装置の検出器の搬出側と、前
記流体を満たした搬出槽とを被検査容器が通過可能な輸
送管で接続すると共に、前記搬入槽と搬出槽とを送水管
で接続し、前記流体を前記輸送管内を搬入槽から搬出槽
へ循環させることにより、前記被検査容器を搬入槽から
搬出槽へ搬送することを特徴とする被検査容器の搬送方
法。
3. The container to be inspected can pass through a carry-out side of a detector of the airtightness measuring apparatus according to claim 1, which is provided in a carry-in tank for carrying in the container to be inspected, and a carry-out tank filled with the fluid. The container to be inspected from the carry-in tank to the carry-out tank by connecting the carry-in tank and the carry-out tank with a water supply pipe and circulating the fluid in the transport pipe from the carry-in tank to the carry-out tank. A method of transporting a container to be inspected, which comprises transporting.
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