JPH08731B2 - 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 - Google Patents
高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体Info
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- JPH08731B2 JPH08731B2 JP3237092A JP23709291A JPH08731B2 JP H08731 B2 JPH08731 B2 JP H08731B2 JP 3237092 A JP3237092 A JP 3237092A JP 23709291 A JP23709291 A JP 23709291A JP H08731 B2 JPH08731 B2 JP H08731B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板、ヒートシン
ク等に使用される高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体に
関するものであり、特に、メタライズの容易な高熱伝導
性窒化アルミニウム焼結体に関する。
ク等に使用される高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体に
関するものであり、特に、メタライズの容易な高熱伝導
性窒化アルミニウム焼結体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器の小形化や機能向上に対
する要求は極めて大きくなっており、それに伴って半導
体は集積密度の向上、多機能化、高速化、高出力化、高
信頼化の方向に急速に進展している。これらに対応して
半導体から発生する熱量はますます増加しており、従来
のＡｌ2 Ｏ3 基板にかわる放熱能力の大きい基板が要求
されるようになっている。この放熱能力の大きい基板材
料、即ち熱伝導性の高い材料としては、ダイヤモンド、
立方晶ＢＮ（窒化硼素）、ＳｉＣ（炭化硅素）、ＢｅＯ
（ベリリア）、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）、Ｓｉ等を
あげることができる。しかし、ダイヤモンド、立方晶Ｂ
Ｎは基板として利用できる大きさを製造することが困難
であり、又、非常に高価である。ＳｉＣは半導体である
ために電気絶縁性、誘電率等の電気特性がＡｌ2 Ｏ3 よ
り劣り、Ａｌ2 Ｏ3 基板のかわりとして使用できない。
ＢｅＯは電気特性が非常に優れているが、成形時、研削
加工時等に発生する粉末が毒性をもつために国内で生産
されず、海外から求める必要があるために供給が不安定
となる恐れがある。Ｓｉは電気特性が悪く、又、機械的
強度も小さいので、基板材料としての使用は限られる。
ＡｌＮは高絶縁性、高絶縁耐圧、低誘電率などの優れた
電気特性に加えて、常圧焼結が適用できるが、所要面に
金属層が形成出来ず、未だ高出力用の多層基板は開発さ
れていないのが実情である。
する要求は極めて大きくなっており、それに伴って半導
体は集積密度の向上、多機能化、高速化、高出力化、高
信頼化の方向に急速に進展している。これらに対応して
半導体から発生する熱量はますます増加しており、従来
のＡｌ2 Ｏ3 基板にかわる放熱能力の大きい基板が要求
されるようになっている。この放熱能力の大きい基板材
料、即ち熱伝導性の高い材料としては、ダイヤモンド、
立方晶ＢＮ（窒化硼素）、ＳｉＣ（炭化硅素）、ＢｅＯ
（ベリリア）、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）、Ｓｉ等を
あげることができる。しかし、ダイヤモンド、立方晶Ｂ
Ｎは基板として利用できる大きさを製造することが困難
であり、又、非常に高価である。ＳｉＣは半導体である
ために電気絶縁性、誘電率等の電気特性がＡｌ2 Ｏ3 よ
り劣り、Ａｌ2 Ｏ3 基板のかわりとして使用できない。
ＢｅＯは電気特性が非常に優れているが、成形時、研削
加工時等に発生する粉末が毒性をもつために国内で生産
されず、海外から求める必要があるために供給が不安定
となる恐れがある。Ｓｉは電気特性が悪く、又、機械的
強度も小さいので、基板材料としての使用は限られる。
ＡｌＮは高絶縁性、高絶縁耐圧、低誘電率などの優れた
電気特性に加えて、常圧焼結が適用できるが、所要面に
金属層が形成出来ず、未だ高出力用の多層基板は開発さ
れていないのが実情である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この様に、ＡｌＮは、
金属との濡れ性が悪いために、メタライズできず基板と
しての使用は困難であった。又、例えば、特開昭５０−
７５２０８や特開昭５９−４０４０４のように、ＡｌＮ
基板表面を酸化させてからメタライズしたり、特開昭５
３−１０２３１０のように、先ず、ＡｌＮ基板表面に金
属酸化物を設け、その後にメタライズする等の技術が知
られているが、いずれも焼結体表面にメタライズするこ
とが出来ても、多層化を目的とする同時焼成法には適用
することが出来ず、又メタライズされた金属層とＡｌＮ
基板との間に比較的熱伝導率の低い層が介在することに
なるため熱伝導率の低下はさけられないといった欠点を
有していた。
金属との濡れ性が悪いために、メタライズできず基板と
しての使用は困難であった。又、例えば、特開昭５０−
７５２０８や特開昭５９−４０４０４のように、ＡｌＮ
基板表面を酸化させてからメタライズしたり、特開昭５
３−１０２３１０のように、先ず、ＡｌＮ基板表面に金
属酸化物を設け、その後にメタライズする等の技術が知
られているが、いずれも焼結体表面にメタライズするこ
とが出来ても、多層化を目的とする同時焼成法には適用
することが出来ず、又メタライズされた金属層とＡｌＮ
基板との間に比較的熱伝導率の低い層が介在することに
なるため熱伝導率の低下はさけられないといった欠点を
有していた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために次の手段を採用した。 請求項１の発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
は、窒化アルミニウムを１００重量部と、周期律表の４
ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物、ＺｒおよびＨｆの窒化
物、周期律表の５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又
は２種以上の化合物を、金属元素に換算して総量で０．
１〜３重量部とからなることを特徴とする。請求項２の発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
は、窒化アルミニウムを１００重量部と、周期律表の４
ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表の４ａ、５
ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以上の化合
物を、金属元素に換算して、Ｔｉの窒化物が１重量部以
下、かつ総量で０．１〜３重量部とからなることを特徴
とする。
決するために次の手段を採用した。 請求項１の発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
は、窒化アルミニウムを１００重量部と、周期律表の４
ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物、ＺｒおよびＨｆの窒化
物、周期律表の５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又
は２種以上の化合物を、金属元素に換算して総量で０．
１〜３重量部とからなることを特徴とする。請求項２の発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
は、窒化アルミニウムを１００重量部と、周期律表の４
ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表の４ａ、５
ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以上の化合
物を、金属元素に換算して、Ｔｉの窒化物が１重量部以
下、かつ総量で０．１〜３重量部とからなることを特徴
とする。
【０００５】周期律表の４ａ族元素は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆのことであり、５ａ族元素はＶ、Ｎｂ、Ｔａのことで
あり、６ａ族元素はＣｒ、Ｍｏ、Ｗのことである。請求
項１の発明において、周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元
素の硼化物、ＺｒおよびＨｆの窒化物、周期律表の５ａ
族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以上の化合物
が、金属元素に換算して総量でＡｌＮ１００重量部に対
し、０．１重量部以上、３重量部以下であるのは、この
範囲より少ないとＡｌＮ焼結体の金属との濡れ性が改善
されないためであり、逆にこの範囲より多いとＡｌＮ焼
結体の高熱伝導性が劣化し、又、焼結性が劣化するため
である。請求項２の発明の発明において、周期律表の４
ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表の４ａ、５
ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以上の化合
物を、金属元素に換算して、Ｔｉの窒化物が１重量部以
下、かつ総量で０．１〜３重量部とするのも上記と同様
の理由による。
ｆのことであり、５ａ族元素はＶ、Ｎｂ、Ｔａのことで
あり、６ａ族元素はＣｒ、Ｍｏ、Ｗのことである。請求
項１の発明において、周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元
素の硼化物、ＺｒおよびＨｆの窒化物、周期律表の５ａ
族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以上の化合物
が、金属元素に換算して総量でＡｌＮ１００重量部に対
し、０．１重量部以上、３重量部以下であるのは、この
範囲より少ないとＡｌＮ焼結体の金属との濡れ性が改善
されないためであり、逆にこの範囲より多いとＡｌＮ焼
結体の高熱伝導性が劣化し、又、焼結性が劣化するため
である。請求項２の発明の発明において、周期律表の４
ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表の４ａ、５
ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以上の化合
物を、金属元素に換算して、Ｔｉの窒化物が１重量部以
下、かつ総量で０．１〜３重量部とするのも上記と同様
の理由による。
【０００６】本発明は上記成分のみでも十分であるが、
必要に応じてＹ2 Ｏ3 やＣａＯ等の焼結助剤をＡｌＮ１
００重量部に対して５重量部を超えない範囲で含んでも
よい。又、この焼結体の相対密度（理論密度に対する密
度％）が９０％以上であるとＡｌＮの持つ高熱伝導性の
効果が大きく、又、メタライズの接着強度が大きい。
必要に応じてＹ2 Ｏ3 やＣａＯ等の焼結助剤をＡｌＮ１
００重量部に対して５重量部を超えない範囲で含んでも
よい。又、この焼結体の相対密度（理論密度に対する密
度％）が９０％以上であるとＡｌＮの持つ高熱伝導性の
効果が大きく、又、メタライズの接着強度が大きい。
【０００７】請求項３の発明の高熱伝導性窒化アルミニ
ウム焼結体は、請求項１、請求項２の発明に周期律表の
４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭化物を加えたものであり、
その要旨は、 窒化アルミニウムを１００重量部と、周
期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表
の４ａ、５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種
以上の化合物と周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭
化物から選ばれた１種又は２種以上の化合物との両化合
物を、金属元素に換算して総量で０．１〜３重量部とか
らなることを特徴とする。
ウム焼結体は、請求項１、請求項２の発明に周期律表の
４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭化物を加えたものであり、
その要旨は、 窒化アルミニウムを１００重量部と、周
期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表
の４ａ、５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種
以上の化合物と周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭
化物から選ばれた１種又は２種以上の化合物との両化合
物を、金属元素に換算して総量で０．１〜３重量部とか
らなることを特徴とする。
【０００８】前述の硼化物、窒化物及び炭化物の総量が
ＡｌＮ１００重量部に対して、０．１〜３重量部である
のは、請求項１、請求項２の発明と同様に、この範囲よ
り少ないと、ＡｌＮ焼結体の金属との濡れ性が改善され
ず、逆にこの範囲より多いと、ＡｌＮ焼結体の高熱伝導
性が劣化し、又、焼結性が劣化するためである。又、Ａ
ｌＮは本発明においても請求項１、請求項２の発明と同
様にＹ２Ｏ３やＣａＯを５重量部以下含んでもよい。
ＡｌＮ１００重量部に対して、０．１〜３重量部である
のは、請求項１、請求項２の発明と同様に、この範囲よ
り少ないと、ＡｌＮ焼結体の金属との濡れ性が改善され
ず、逆にこの範囲より多いと、ＡｌＮ焼結体の高熱伝導
性が劣化し、又、焼結性が劣化するためである。又、Ａ
ｌＮは本発明においても請求項１、請求項２の発明と同
様にＹ２Ｏ３やＣａＯを５重量部以下含んでもよい。
【０００９】請求項に記載の発明は、ＡｌＮ粉末、前述
の硼化物粉末、窒化物粉末、又はそれに加えて炭化物粉
末に必要に応じて焼結助剤粉末を加えて金型等により成
形し、通常のＮ２、Ａｒ、ＮＨ３分解ガス、Ｈ２等の非
酸化性雰囲気下で焼結したり、最終的に硼化物、窒化
物、炭化物になる化合物を用いてＮ、Ｂ、Ｃ等の存在下
で焼結することによって得ることができる。
の硼化物粉末、窒化物粉末、又はそれに加えて炭化物粉
末に必要に応じて焼結助剤粉末を加えて金型等により成
形し、通常のＮ２、Ａｒ、ＮＨ３分解ガス、Ｈ２等の非
酸化性雰囲気下で焼結したり、最終的に硼化物、窒化
物、炭化物になる化合物を用いてＮ、Ｂ、Ｃ等の存在下
で焼結することによって得ることができる。
【００１０】
【作用】周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及
び／又は周期律表の４ａ、５ａ族元素の窒化物、請求項
３の発明の場合はそれに加えて周期律表の４ａ、５ａ、
６ａ族元素の炭化物はＡｌＮ粒子中に固溶することな
く、ＡｌＮ粒子間、即ち、粒間に存在して、金属と結合
するために、本発明は、ＡｌＮの金属との濡れ性を改善
すると思われる。又、通常、粒間に添加物が存在すると
熱伝導性は悪化するが、本発明は、前述の硼化物、窒化
物又はそれに加えて炭化物がＡｌＮの粒間に存在するに
もかかわらず、ＡｌＮの高熱伝導性を損なわないことを
見出したものである。この理由は、添加した化合物がＡ
ｌＮと反応して、他の化合物を生成することがなく、
又、ＡｌＮの粒子全体を覆う様な存在をしない為に、Ａ
ｌＮ粒子同志の結合は損なわれず、ＡｌＮ本来の特性を
維持しながら、ＡｌＮと金属との濡れ性を改善できるも
のと思われる。
び／又は周期律表の４ａ、５ａ族元素の窒化物、請求項
３の発明の場合はそれに加えて周期律表の４ａ、５ａ、
６ａ族元素の炭化物はＡｌＮ粒子中に固溶することな
く、ＡｌＮ粒子間、即ち、粒間に存在して、金属と結合
するために、本発明は、ＡｌＮの金属との濡れ性を改善
すると思われる。又、通常、粒間に添加物が存在すると
熱伝導性は悪化するが、本発明は、前述の硼化物、窒化
物又はそれに加えて炭化物がＡｌＮの粒間に存在するに
もかかわらず、ＡｌＮの高熱伝導性を損なわないことを
見出したものである。この理由は、添加した化合物がＡ
ｌＮと反応して、他の化合物を生成することがなく、
又、ＡｌＮの粒子全体を覆う様な存在をしない為に、Ａ
ｌＮ粒子同志の結合は損なわれず、ＡｌＮ本来の特性を
維持しながら、ＡｌＮと金属との濡れ性を改善できるも
のと思われる。
【００１１】
【発明の効果】本発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼
結体は、窒化アルミニウムに周期律表の４ａ、５ａ、６
ａ族元素の硼化物及び／又は周期律表の４ａ、５ａ族元
素の窒化物あるいはそれに加えて周期律表の４ａ、５
ａ、６ａ族元素の炭化物を含有することによって窒化ア
ルミニウムの優れた熱伝導性を損なうことなく、金属と
の濡れ性を改善できた。本発明はメタライズ時に基板表
面に酸化物等の層を設けないために、メタライズした金
属層とＡｌＮ基板とが直接結合するため、接合強度、熱
伝導性において優れた性質をもつ。又、本発明をＩＣ等
の基板に利用することにより、放熱性に優れた電子部品
を得ることができるが、従来のように、基板表面の処理
等を必要とせず、又同時焼成による多層基板を容易に得
ることができる。
結体は、窒化アルミニウムに周期律表の４ａ、５ａ、６
ａ族元素の硼化物及び／又は周期律表の４ａ、５ａ族元
素の窒化物あるいはそれに加えて周期律表の４ａ、５
ａ、６ａ族元素の炭化物を含有することによって窒化ア
ルミニウムの優れた熱伝導性を損なうことなく、金属と
の濡れ性を改善できた。本発明はメタライズ時に基板表
面に酸化物等の層を設けないために、メタライズした金
属層とＡｌＮ基板とが直接結合するため、接合強度、熱
伝導性において優れた性質をもつ。又、本発明をＩＣ等
の基板に利用することにより、放熱性に優れた電子部品
を得ることができるが、従来のように、基板表面の処理
等を必要とせず、又同時焼成による多層基板を容易に得
ることができる。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例について説明する。本実施
例は、平均粒径１．０μｍのＡｌＮ粒末１００重量部に
対して硼化物、窒化物、炭化物を表１に示す金属換算の
所定量加えて混合し、エタノール中で４時間、湿式混合
して原料粉末をつくり、その後、密度及び熱伝導率測定
用の試料と、金属との濡れ性測定用の試料とを得た。密
度及び熱伝導率の測定は、原料粉末を直径１１mm厚さ３
mmに成形圧力１．５ｔｏｎ／cm2 で成形した後、１７０
０℃の窒素雰囲気中で１時間常圧焼結を行って得た試料
について行った。密度は相対密度（理論密度に対する見
掛け比重比％）として測定し、又、熱伝導率は、試料の
厚みを２mmに平研加工した後にレーザーフラッシュ法を
用いて測定した。
例は、平均粒径１．０μｍのＡｌＮ粒末１００重量部に
対して硼化物、窒化物、炭化物を表１に示す金属換算の
所定量加えて混合し、エタノール中で４時間、湿式混合
して原料粉末をつくり、その後、密度及び熱伝導率測定
用の試料と、金属との濡れ性測定用の試料とを得た。密
度及び熱伝導率の測定は、原料粉末を直径１１mm厚さ３
mmに成形圧力１．５ｔｏｎ／cm2 で成形した後、１７０
０℃の窒素雰囲気中で１時間常圧焼結を行って得た試料
について行った。密度は相対密度（理論密度に対する見
掛け比重比％）として測定し、又、熱伝導率は、試料の
厚みを２mmに平研加工した後にレーザーフラッシュ法を
用いて測定した。
【００１３】金属との濡れ性は、メタライズの接着強度
として測定した。メタライズの接着強度は、原料粉末を
３０×１０×５mmに成形圧力１．５ｔｏｎ／cm2 で成形
した後に、通常メタライズに用いられるＷ粉末（平均粒
径１．０μｍ）を含むペーストを該成形体表面に２×２
mm、厚さ約２０μｍに塗布し、乾燥して、１７００℃窒
素雰囲下で１時間常圧焼結し、次いで、該焼結体表面に
電解ＮｉメッキによってＮｉ層を２〜５μｍ形成し、８
５０℃、１０分間シンターした後に、共晶銀ローを用い
て１×１mmのコバール（コバルトと鉄を含むニッケル合
金）板を９３０℃、５分間でロー付し、その接着強度を
ピール強度として測定した。このピール強度は上記コバ
ール板に接合されたリード線を接着面に対して垂直方向
に向って０．５mm／ｓｅｃの速度で引張り、上記コバー
ル板が焼結体から剥離したときの強度である。
として測定した。メタライズの接着強度は、原料粉末を
３０×１０×５mmに成形圧力１．５ｔｏｎ／cm2 で成形
した後に、通常メタライズに用いられるＷ粉末（平均粒
径１．０μｍ）を含むペーストを該成形体表面に２×２
mm、厚さ約２０μｍに塗布し、乾燥して、１７００℃窒
素雰囲下で１時間常圧焼結し、次いで、該焼結体表面に
電解ＮｉメッキによってＮｉ層を２〜５μｍ形成し、８
５０℃、１０分間シンターした後に、共晶銀ローを用い
て１×１mmのコバール（コバルトと鉄を含むニッケル合
金）板を９３０℃、５分間でロー付し、その接着強度を
ピール強度として測定した。このピール強度は上記コバ
ール板に接合されたリード線を接着面に対して垂直方向
に向って０．５mm／ｓｅｃの速度で引張り、上記コバー
ル板が焼結体から剥離したときの強度である。
【００１４】表１に相対密度、熱伝導率、ピール強度の
測定結果を示す。表１において、熱伝導率の単位は〔ｃ
ａｌ／ｃｍ．ｓｅｃ．℃〕で、ピール強度の単位は〔ｋ
ｇ／ｍｍ２〕である。尚、試料Ｎｏ．１ａ〜６ａは請求
項１および請求項２の発明の実施例及び範囲外例であ
り、Ｎｏ．１ｂ、２ｂは請求項３の発明の実施例及び範
囲外例である。又、表１に示された組成以外は全てＡｌ
Ｎであり、組成の含有量の単位はＡｌＮ１００重量部に
対する金属換算の重量部である。
測定結果を示す。表１において、熱伝導率の単位は〔ｃ
ａｌ／ｃｍ．ｓｅｃ．℃〕で、ピール強度の単位は〔ｋ
ｇ／ｍｍ２〕である。尚、試料Ｎｏ．１ａ〜６ａは請求
項１および請求項２の発明の実施例及び範囲外例であ
り、Ｎｏ．１ｂ、２ｂは請求項３の発明の実施例及び範
囲外例である。又、表１に示された組成以外は全てＡｌ
Ｎであり、組成の含有量の単位はＡｌＮ１００重量部に
対する金属換算の重量部である。
【表１】本実施例より、表１に示す如く、ＡｌＮに周期
律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表の
４ａ、５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以
上の化合物、あるいはそれに加えて周期律表の４ａ、５
ａ、６ａ族元素の炭化物から選ばれた１種又は２種以上
の化合物との両化合物を、金属元素に換算して総量で
０．１〜３重量部含有させることにより、熱伝導率が高
く、ピール強度の高い、即ち、金属との濡れ性の良好な
焼結体が得られることが分かった。尚、表１に示した以
外の周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周
期律表の４ａ、５ａ族元素の窒化物、あるいはそれに加
えて周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭化物を用い
た試料も表１に示した試料と同様に、上記化合物をＡｌ
Ｎに対して金属に換算して０．１〜３重量部含有させる
ことにより、熱伝導率が高く金属との濡れ性の良好な焼
結体が得られた。
律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律表の
４ａ、５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２種以
上の化合物、あるいはそれに加えて周期律表の４ａ、５
ａ、６ａ族元素の炭化物から選ばれた１種又は２種以上
の化合物との両化合物を、金属元素に換算して総量で
０．１〜３重量部含有させることにより、熱伝導率が高
く、ピール強度の高い、即ち、金属との濡れ性の良好な
焼結体が得られることが分かった。尚、表１に示した以
外の周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周
期律表の４ａ、５ａ族元素の窒化物、あるいはそれに加
えて周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の炭化物を用い
た試料も表１に示した試料と同様に、上記化合物をＡｌ
Ｎに対して金属に換算して０．１〜３重量部含有させる
ことにより、熱伝導率が高く金属との濡れ性の良好な焼
結体が得られた。
【００１５】尚、従来のＡｌＮ焼結体（相対密度９９
％）の熱伝導率は０．１４〜０．２４ｃａｌ／cm．ｓｅ
ｃ．℃、ピール強度は０．５kg／mm2 より小さい。又、
Ａｌ2Ｏ3 （相対密度９９％）の熱伝導率は０．０４〜
０．０７ｃａｌ／cm．ｓｅｃ．℃で、ピール強度は２〜
５kg／mm2 である。ＡｌＮ粉末（平均粒子１．０μｍ）
１００重量部にＭｏに換算して３重量部のＭｏ2 Ｂ（平
均粒子２．０μｍ）を加えた混合物に、焼結助剤として
ＣａＯを添加して、相対密度、熱伝導率、ピール強度を
測定した。その結果を表２に示す。
％）の熱伝導率は０．１４〜０．２４ｃａｌ／cm．ｓｅ
ｃ．℃、ピール強度は０．５kg／mm2 より小さい。又、
Ａｌ2Ｏ3 （相対密度９９％）の熱伝導率は０．０４〜
０．０７ｃａｌ／cm．ｓｅｃ．℃で、ピール強度は２〜
５kg／mm2 である。ＡｌＮ粉末（平均粒子１．０μｍ）
１００重量部にＭｏに換算して３重量部のＭｏ2 Ｂ（平
均粒子２．０μｍ）を加えた混合物に、焼結助剤として
ＣａＯを添加して、相対密度、熱伝導率、ピール強度を
測定した。その結果を表２に示す。
【表２】 表２から分るように、ＣａＯの添加量が５重量部まで
は、焼結性、熱伝導率、ピール強度共に、ＣａＯを添加
しないものと同程度であったが、１０重量部のＣａＯを
添加した場合は、焼成後のメタライズ表面に、焼成中に
発生するＣａ3 Ａｌ2 Ｏ6 等の液相が原因と思われる析
出物の発生が激しくなり、ピール強度の測定は不可能と
なることがわかった。
は、焼結性、熱伝導率、ピール強度共に、ＣａＯを添加
しないものと同程度であったが、１０重量部のＣａＯを
添加した場合は、焼成後のメタライズ表面に、焼成中に
発生するＣａ3 Ａｌ2 Ｏ6 等の液相が原因と思われる析
出物の発生が激しくなり、ピール強度の測定は不可能と
なることがわかった。
Claims (3)
- 【請求項１】 窒化アルミニウムを１００重量部と、 周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物、Ｚｒおよ
びＨｆの窒化物、周期律表の５ａ族元素の窒化物から選
ばれた１種又は２種以上の化合物を、金属元素に換算し
て総量で０．１〜３重量部と からなることを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム
焼結体。 - 【請求項２】 窒化アルミニウムを１００重量部と、 周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律
表の４ａ、５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２
種以上の化合物を、金属元索に換算して、Ｔｉの窒化物
が１重量部以下、かつ総量で０．１〜３重量部と からなることを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム
焼結体。 - 【請求項３】 窒化アルミニウムを１００重量部と、 周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の硼化物及び周期律
表の４ａ、５ａ族元素の窒化物から選ばれた１種又は２
種以上の化合物と周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族元素の
炭化物から選ばれた１種又は２種以上の化合物との両化
合物を、金属元素に換算して総量で０．１〜３重量部と からなることを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム
焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3237092A JPH08731B2 (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3237092A JPH08731B2 (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06166573A JPH06166573A (ja) | 1994-06-14 |
| JPH08731B2 true JPH08731B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=17010294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3237092A Expired - Lifetime JPH08731B2 (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08731B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008036281B4 (de) | 2008-08-04 | 2022-02-17 | Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft | Fahrzeug mit wenigstens einer als Generator betreibbaren Elektromaschine und Verfahren zur Verzögerung eines Fahrzeugs |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139918A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド用スライダ |
-
1991
- 1991-08-22 JP JP3237092A patent/JPH08731B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 窯業協会誌第８９集６月号（１９８１）第３３０〜３３６ページ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06166573A (ja) | 1994-06-14 |
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