JPH0873235A - 光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法 - Google Patents

光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法

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JPH0873235A
JPH0873235A JP21453294A JP21453294A JPH0873235A JP H0873235 A JPH0873235 A JP H0873235A JP 21453294 A JP21453294 A JP 21453294A JP 21453294 A JP21453294 A JP 21453294A JP H0873235 A JPH0873235 A JP H0873235A
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tube
tube burner
optical fiber
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Toshihiro Mikami
俊宏 三上
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 多重管バーナの姿勢と位置とを精度良く設定
することができる光ファイバ母材製造装置におけるバー
ナの位置決め方法を提供する。 【構成】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構造に
なっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合成す
る多重管バーナ１を用いて、ガラス微粒子を対象物に堆
積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する装置で、多
重管バーナ１の中心を通って先端から外に出るメイン光
２０ａが、複数の補助光３２，３４，３６，３８の交点
により形成された複数の方向基準点４０，４１をそれぞ
れ通り、且つ多重管バーナ１の先端がバーナ先端位置決
め用補助光３８よりなる位置基準に一致するように多重
管バーナ１の位置決めをする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多重管バーナを用い
て、その先端の火炎中で合成したガラス微粒子を対象物
に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファ
イバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材は、先ずＶＡＤ法で作ら
れる。ＶＡＤ法では、鉛直に支持されて回転する回転軸
の下端に下向きに種棒を取付け、コア用多重管バーナの
火炎中で合成したＳｉＯ2 ，ＧｅＯ2 等のガラス微粒子
を該種棒の斜め下方から該種棒の下端に吹き付けて、回
転軸を引上げながら多孔質の光ファイバ母材を成長させ
る。かくして得られた多孔質の光ファイバ母材は、脱
水，焼結して透明なコア用光ファイバ母材とする。次
に、この透明なコア用光ファイバ母材をその軸心の回り
に回転させつつ、その外周に、クラッド用多重管バーナ
の火炎中で合成した純粋なＳｉＯ2 のみからなるガラス
微粒子を堆積させ、同様に脱水，焼結して透明なコア，
クラッドからなる光ファイバ母材を得る。
【０００３】ＶＡＤ法においては、製造される光ファイ
バ母材中の屈折率分布が常に安定していることが重要で
ある。
【０００４】光ファイバ母材中の屈折率分布の形状は、
特に多重管バーナの姿勢、具体的には該多重管バーナの
軸方向と、多重管バーナの先端位置によって大きく変化
する。
【０００５】しかしながら、従来は多重管バーナの姿勢
を正確に決定することができなかったので、できあがっ
た製品の屈折率分布を測定して、その結果から、多重管
バーナの姿勢を調整していたので、非常に労力がかかる
問題点があった。
【０００６】またＯＶＤ法においては、バーナ軸と母材
軸が正確に同一平面内で直交している時に最も堆積効率
がよい。
【０００７】しかしながら、このようにクラッド用多重
管バーナの姿勢を最適に調整することは非常に困難であ
った。
【０００８】バーナの姿勢の調整は、特に、該バーナを
取り付けた直後、或いは該バーナを交換した直後には必
ず行わなければならない。
【０００９】その理由は、以下のようなことである。
【００１０】（ａ）バーナの姿勢は、おおまかにはバー
ナ保持具の位置から決定していたが、バーナ保持具とバ
ーナの間には、クッション材を挟む必要があるので（そ
うしないと、ガラス製のバーナは割れてしまう。）、機
械精度に問題があった。
【００１１】（ｂ）バーナの姿勢を更に細かく決定する
場合には、反応容器の窓のレンズの外から観察した映像
から求めていたが、レンズを通した映像には歪みがある
ので、やはり十分な精度が得られなかった。
【００１２】従来、バーナの姿勢を測定する方法として
は、特開昭５５−１１６６３７号に示されているような
方法が提案されている。この方法は、多重管バーナの後
部にバーナ移動台を介してレーザ光源を取り付け、この
レーザ光源からのレーザ光を該多重管バーナの中心管内
を貫通させて光ファイバ母材の表面に集光させ、該レー
ザ光が該光ファイバ母材の表面に集光する位置を位置測
定器により測定する方法である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなバーナの姿勢測定方法では、次のような問題点があ
った。
【００１４】（イ）バーナの吹き出し方向と、レーザ光
の出射方向が実際には一致しないので、バーナ交換後に
は、やはりバーナの条件出しをする必要があった。
【００１５】（ロ）レーザ光が光ファイバ母材の表面に
集光する位置のみを検出しているが、実際には該光ファ
イバ母材の表面形状が火炎の変動によって変化するの
で、集光点が動いてしまい、測定がうまく行えない。
【００１６】（ハ）実際には、光ファイバ母材の屈折率
分布を大きく左右するのは、母材軸とバーナ軸のなす角
度であるが、その角度を計測することはできなかった。
【００１７】本発明の目的は、多重管バーナの後部から
その中心管内を貫通して先端から外に出るメイン光の位
置決めを容易に行うことができる光ファイバ母材製造装
置におけるバーナの位置決め方法を提供することにあ
る。
【００１８】本発明の他の目的は、多重管バーナの姿勢
と位置とを精度良く設定することができる光ファイバ母
材製造装置におけるバーナの位置決め方法を提供するこ
とにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は、多重管構造で
中心管内を光が貫通する構造になっていると共に先端の
火炎中でガラス微粒子を合成する多重管バーナを用い
て、前記ガラス微粒子を対象物に堆積させて多孔質の光
ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置におけ
るバーナの位置決め方法を改良の対象としている。
【００２０】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
けるバーナの位置決め方法の１つは、前記多重管バーナ
の後部に配置されていて該多重管バーナ内の中心を通っ
て該多重管バーナの先端から外に出るメイン光の光源に
おける前記メイン光の出射方向の位置決めを該多重管バ
ーナの最外管を基準にして行うことを特徴とする。
【００２１】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
けるバーナの位置決め方法の他の１つは、前記多重管バ
ーナの中心を通って該多重管バーナの先端から外に出る
メイン光が、複数の補助光又は補助線条体の交点により
形成された複数の方向基準点をそれぞれ通り、且つ前記
多重管バーナの先端がバーナ先端位置決め用補助光又は
補助線条体よりなる位置基準に一致するように前記多重
管バーナの位置決めをすることを特徴とする。
【００２２】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
けるバーナの位置決め方法の更に他の１つは、前記多重
管バーナの後部に配置されていて該多重管バーナ内の中
心を通って該多重管バーナの先端から外に出るメイン光
の光源における該メイン光の光軸を該多重管バーナの軸
心に一致させる位置決めを該多重管バーナの最外管を基
準にして行い、次に前記多重管バーナの中心を通って該
多重管バーナの先端から外に出るメイン光が、複数の補
助光又は補助線条体の交点により形成された複数の方向
基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナの先端が
バーナ先端位置決め用補助光又は補助線条体よりなる位
置基準に一致するように前記多重管バーナの位置決めを
することを特徴とする。
【００２３】
【作用】このように多重管バーナの後部に配置されてい
て該多重管バーナ内の中心を通って該多重管バーナの先
端から外に出るメイン光の光源における該メイン光の出
射方向の位置決めを、該多重管バーナの最外管を基準に
して行うと、該メイン光の光軸を該多重管バーナの軸心
に容易に正確に一致させることができる。
【００２４】また、方向基準と位置基準とを用いて多重
管バーナの位置決めすると、該多重管バーナはその軸心
方向の向きと、その先端の位置とが位置決めされること
になる。このため多重管バーナの姿勢と位置とを精度良
く設定することができる。
【００２５】さらに、メイン光の光源における該メイン
光の出射方向の位置決めを、該多重管バーナの最外管を
基準にして行い、次に方向基準と位置基準とを用いて多
重管バーナを位置決めすると、該多重管バーナはその軸
心方向の向きと、その先端の位置とが一層正確に位置決
めされることになり、多重管バーナの姿勢と位置とを一
層精度良く設定することができる。
【００２６】
【実施例】先ず、ＶＡＤ法によるコア形成過程での光フ
ァイバ母材製造装置におけるコア用の多重管バーナの位
置決め方法の一例を図１〜図３を参照して説明する。
【００２７】図１は、本実施例で用いるコア用の多重管
バーナ１の一実施例を示したものである。該多重管バー
ナ１は、中心管としての第１の管２の外周に第２〜第４
の管３〜５が同心状に配置されて、これらにより第１〜
第４の通路２ａ〜５ａが同心状に形成されている。これ
ら第１〜第４の管２〜５は、本実施例では各先端から50
mmの長さの部分が小径に縮径された縮径部２ｂ〜５ｂと
なっている。第１〜第３の管２〜４はその長さが順次短
くなるように構成され、このためこれら第１〜第３の管
２〜４はその基端側の位置が長手方向にずれた状態で図
示のように配置されている。これら第１〜第３の管２〜
４の各基端には、鍔状の仕切り体２ｃ〜４ｃが設けら
れ、これら仕切り体２ｃ〜４ｃは第４の管５の内周に気
密に接続され、これにより各通路２ａ〜５ａの相互間が
仕切られている。第１の管２の仕切り体２ｃの後方に
は、第４の管５内を長手方向に間隔をあけて仕切る仕切
り体６，７が設けられ、これら仕切り体６，７の間にパ
ージガス室８が形成されている。仕切り体６の中心に
は、光通過孔９が設けられている。仕切り体７の中心に
は、レンズ１０が嵌め込まれている。
【００２８】第１の通路２ａには供給通路１１からＳｉ
Ｃｌ4 やＧｅＣｌ4 等のガラス原料ガスが供給され、第
２の通路３ａには供給通路１２からＨ2 等の燃焼ガスが
供給され、第３の通路４ａには供給通路１３からＡｒ等
のシールガスが供給され、第４の通路５ａには供給通路
１４からＯ2 等の助燃ガスが供給されるようになってい
る。また、パージガス室８には供給通路１５からＡｒ等
のパージガスが供給されるようになっている。該パージ
ガス室８内のパージガスの存在により、後述する光学系
がガラス原料ガスに触れないようになっている。
【００２９】第４の管５の基端には、光源ホルダー１６
がフォーカス調整リング１７を介して取り付けられてい
る。該フォーカス調整リング１７は、その基端が光源ホ
ルダー１６の外周に回転自在に支持され、その先端がネ
ジ結合部１８で第４の管５の基端に螺合されている。
【００３０】光源ホルダー１６は、その軸心の基端側の
孔１９に光源としてのレーザ２０が嵌合され、該光源ホ
ルダー１６に螺合された調整ネジ２１によりレーザ２０
の位置決めがなされ、該レーザ２０が出射するレーザ光
よりなるメイン光２０ａが中心管である第１の管２の中
心を通って出て行くように調整がなされるようになって
いる。また、該光源ホルダー１６の先端には、メイン光
２０ａを絞るレンズ１６ａが設けられている。
【００３１】ところで、ＶＡＤ法では、このようなコア
用の多重管バーナ１は光ファイバ母材の軸心に対して同
一平面内にあり、且つ特定の角度（例えば、20度〜30
度）で交わっていることが必要である。
【００３２】このようにコア用の多重管バーナ１を光フ
ァイバ母材製造装置の反応容器に設定するに際し、先
ず、図２（Ａ）（Ｂ）により、該コア用の多重管バーナ
１の中心軸と、レーザ２０の光軸とを合わせる作業につ
いて説明する。
【００３３】前述したようにレーザ光よりなるメイン光
２０ａを出すレーザ２０を後部に支持したコア用の多重
管バーナ１をＶブロック２２の上に水平向きに載置した
状態で、該多重管バーナ１を通過したメイン光２０ａを
スクリーン２３に当てる。かかる状態で、Ｖブロック２
２上で該多重管バーナ１をその軸心の回りに回転して
も、スクリーン２３上でメイン光２０ａが当たる点の位
置が動かなくなるように、調整ネジ２１でレーザ２０の
姿勢を調整する。
【００３４】次に、このようにレーザ２０の姿勢を調整
したコア用の多重管バーナ１を、図３に示すように反応
容器２４内で多孔質のコア用光ファイバ母材２５を製造
する光ファイバ母材製造装置にセットして、該多重管バ
ーナ１の姿勢と位置とを精度よく設定する作業について
説明する。
【００３５】この光ファイバ母材製造装置においては、
反応容器２４の上部の開口部２６の中央に上部から主軸
２７が回転自在及び昇降自在に挿入され、その下端のチ
ャック２８に種棒２９が支持されるようになっている。
反応容器２４の周壁の下方部分には前述したコア用の多
重管バーナ１が斜め上向きに挿入され、種棒２９の下端
若しくは該種棒２９の下端に堆積して形成された光ファ
イバ母材２５の下部に指向されるようになっている。該
多重管バーナ１はバーナホルダ３０に支持されている。
反応容器２４の周壁の他の部分には、排気口３１が設け
られている。
【００３６】反応容器２４には、多重管バーナ１の中心
軸が光ファイバ母材２５の中心軸と交わる高さを示す水
平向きのシート光よりなる補助光３２を出す位置決め用
光源３３と、多重管バーナ１の先端の高さを示す水平向
きのシート光よりなる補助光３４を出す位置決め用光源
３５とが、該反応容器２４に支持されて設けられてい
る。なお、シート光は、ビーム光を例えば蒲鉾形のシリ
ンドリカルレンズ等に通すことにより形成することがで
きる。
【００３７】また該反応容器２４には、光ファイバ母材
２５の軸心を示すビーム光よりなる補助光３６を出す位
置決め用光源３７が、種棒２９を把持する前のチャック
２８に把持されて設けられている。更に該反応容器２４
には、多重管バーナ１の先端があるべき位置の真下から
真上に向けてビーム光よりなるバーナ先端位置決め用補
助光３８を出す位置決め用光源３９が設けられている。
【００３８】先ず、かかるメイン光２０ａと、補助光３
２，３４，３６，３８とを用いて、コア用の多重管バー
ナ１の姿勢を設定する作業について説明する。
【００３９】この光ファイバ母材製造装置においては、
シート光よりなる補助光３２とビーム光よりなる補助光
３６との交点よりなる方向基準点４０と、シート光より
なる補助光３４とビーム光よりなる補助光３８との交点
よりなる方向基準点４１とを共にメイン光２０ａが通る
ように（これで多重管バーナ１の方向が定まる。）多重
管バーナ１の姿勢を調整する。また、多重管バーナ１の
先端がバーナ先端位置決め用補助光３８よりなる位置基
準に一致するように（これで多重管バーナ１の先端と光
ファイバ母材２５の下面中央との間隔が定まる。）該多
重管バーナ１の先端の位置決めをする。この場合、方向
基準点４０と方向基準点４１との距離は、光ファイバ母
材２５の下面の中心と多重管バーナ１の先端との最適間
隔に設定されている。このような条件が満たされるよう
に補助光３６と補助光３８との間隔を予め設定してお
く。
【００４０】このようにすると、コア用の多重管バーナ
１の姿勢と位置とを精度良く設定することができる。
【００４１】なお、光の位置の確認は、例えば図９に示
すような名刺位な大きさの紙片５０を用いて、この紙片
５０を光の交点の近くに手で移動させて、動かすことに
より交点の位置を知ることができる。
【００４２】このように設定を行ったコア用の多重管バ
ーナ１を用いて光ファイバ母材２５の製造を行ったとこ
ろ、図６に示すように、該多重管バーナ１を交換した直
後から、屈折率分布が安定した光ファイバ母材２５の製
造を行うことができた。即ち、従来法で位置決めした多
重管バーナ１を用いて光ファイバ母材２５の製造を行っ
たときの多重管バーナ交換直後の屈折率分布不良率は72
％であったが、本発明の方法で位置決めした多重管バー
ナ１を用いて光ファイバ母材２５の製造を行ったときの
多重管バーナ交換直後の屈折率分布不良率は5 ％であっ
た。
【００４３】次に、前述したようにレーザ２０の姿勢を
調整したクラッド用の多重管バーナ１を、図４に示すよ
うに反応容器２４内で多孔質のクラッド用光ファイバ母
材（図示せず）を製造する光ファイバ母材製造装置にセ
ットして、該多重管バーナ１の姿勢と位置とを精度よく
設定する作業について説明する。
【００４４】この光ファイバ母材製造装置においては、
クラッド用の多重管バーナ１は反応容器２４の上下方向
のほぼ中央に水平向きで配置されている。
【００４５】反応容器２４には、多重管バーナ１の高さ
を示す水平向きのシート光よりなる補助光４２を出す位
置決め用光源４３が設けられている。また該反応容器２
４には、光ファイバ母材２５の軸心を示すビーム光より
なる補助光３６を出す位置決め用光源３７が、種棒２９
を把持する前のチャック２８に把持されて設けられてい
る。さらに、該反応容器２４には、多重管バーナ１の先
端があるべき位置の真下から真上に向けてビーム光より
なるバーナ先端位置決め用補助光４４を出す位置決め用
光源４５が設けられている。ここで光ファイバ母材２５
の軸心を示すビーム光よりなる補助光３６を出す位置決
め用光源３７を、主軸２７の下端のチャック２８に取り
付けると、主軸２７を回転させながら心出しができるの
で好適である。
【００４６】次に、かかるメイン光２０ａと、補助光３
６，４２，４４とを用いて、クラッド用の多重管バーナ
１の姿勢を設定する作業について説明する。
【００４７】この光ファイバ母材製造装置においては、
シート光よりなる補助光４２とビーム光よりなる補助光
３６との交点よりなる方向基準点４０と、シート光より
なる補助光４２とビーム光よりなる補助光４４との交点
よりなる方向基準点４１とを共にメイン光２０ａが通る
ように（これで多重管バーナ１の方向が定まる。）多重
管バーナ１の姿勢を調整する。また、多重管バーナ１の
先端がバーナ先端位置決め用補助光４４よりなる位置基
準に一致するように（これで多重管バーナ１の先端と光
ファイバ母材の軸心との間隔が定まる。）該多重管バー
ナ１の先端の位置決めをする。この場合、方向基準点４
０と方向基準点４１との距離は、光ファイバ母材２５の
軸心と多重管バーナ１の先端との最適間隔に設定されて
いる。このような条件が満たされるように補助光３６と
補助光４４との間隔を予め設定しておく。
【００４８】このようにすると、クラッド用の多重管バ
ーナ１の姿勢と位置とを精度良く設定することができ
る。
【００４９】このように設定を行ったクラッド用の多重
管バーナ１を用いて光ファイバ母材の製造を行ったとこ
ろ、図７に示すように、該多重管バーナ１を交換した直
後から、コア／クラッド比率が安定した光ファイバ母材
の製造を行うことができた。即ち、従来法で位置決めし
た多重管バーナ１を用いて光ファイバ母材の製造を行っ
たときの多重管バーナ交換直後のコア／クラッド比率不
良率は63％であったが、本発明の方法で位置決めした多
重管バーナ１を用いて光ファイバ母材２５の製造を行っ
たときの多重管バーナ交換直後のコア／クラッド比率不
良率は7 ％であった。
【００５０】次に、出発母材を水平向きに置いてその軸
心の回りに回転させ、その外周にクラッド用光ファイバ
母材を合成するＯＶＤ法による光ファイバ母材製造装置
における多重管バーナ１の位置決め方法の一例を図５を
参照して説明する。
【００５１】出発母材４６の両端は、チャック２８を介
して主軸２７に支持されている。この出発母材４６の軸
心に対して直交する向きで該出発母材４６の途中に対向
配置されている。
【００５２】この場合には、図４の場合と同様の方法
で、多重管バーナ１の姿勢と位置とを精度良く設定する
ことができる。
【００５３】このように設定を行った多重管バーナ１を
用いてクラッド用光ファイバ母材４７の製造を行ったと
ころ、図８に示すように、該多重管バーナ１を交換した
直後から、堆積速度を安定させることができた。即ち、
従来法で位置決めした多重管バーナ１を用いて光ファイ
バ母材の製造を行ったときの多重管バーナ交換直後の堆
積速度不良率は51％であったが、本発明の方法で位置決
めした多重管バーナ１を用いてクラッド用光ファイバ母
材４７の製造を行ったときの多重管バーナ交換直後の堆
積速度不良率は4 ％であった。
【００５４】なお、本発明で使用する光は、レーザ光で
あることが望ましいが、適当な光学系を用いれば、それ
以外の光でもよい。
【００５５】レーザ２０については、該レーザ２０を図
５に示すように別の所に置き、光ファイバ４８で光源ホ
ルダー１６に導入することもできる。
【００５６】また、それぞれの光を識別するために、波
長の違うレーザを使ったり、点滅する光を使ったりする
と便利である。
【００５７】以上の例では、方向基準と位置基準を総て
光で形成したが、光の代わりに糸やピアノ線等の細い線
条体を用いることもできる。
【００５８】以上説明した複数の発明のうちのいくつか
の発明を要約して説明すると、次の通りである。
【００５９】（１） 多重管構造で中心管内を光が貫通
する構造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒
子を合成するコア用の多重管バーナを用いて、ＶＡＤ法
により前記ガラス微粒子を対象物に堆積させてコア用の
多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造
装置におけるバーナの位置決め方法において、前記多重
管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端から外に
出るメイン光が、前記多重管バーナの中心軸が前記光フ
ァイバ母材の中心軸と交わる高さを示す水平向きのシー
ト光よりなる補助光と前記光ファイバ母材の軸心を示す
ビーム光よりなる補助光との交点よりなる方向基準点
と、前記多重管バーナの先端の高さを示す水平向きのシ
ート光よりなる補助光と前記多重管バーナの先端がある
べき位置の上下方向に向けて出されているビーム光より
なるバーナ先端位置決め用補助光との交点よりなる方向
基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナの先端が
前記バーナ先端位置決め用補助光よりなる位置基準に一
致するように前記多重管バーナの位置決めをすることを
特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位
置決め方法。
【００６０】（２） 多重管構造で中心管内を光が貫通
する構造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒
子を合成するクラッド用の多重管バーナを用いて、ＶＡ
Ｄ法により前記ガラス微粒子を対象物に堆積させてクラ
ッド用の多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造装置におけるバーナの位置決め方法において、
前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端
から外に出るメイン光が、前記多重管バーナの高さを示
す水平向きのシート光よりなる補助光と前記光ファイバ
母材の軸心を示すビーム光よりなる補助光との交点より
なる方向基準点と、前記多重管バーナの高さを示す水平
向きのシート光よりなる補助光と前記多重管バーナの先
端があるべき位置の上下方向に向けて出されているビー
ム光よりなるバーナ先端位置決め用補助光との交点より
なる方向基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナ
の先端が前記バーナ先端位置決め用補助光よりなる位置
基準に一致するように前記多重管バーナの位置決めをす
ることを特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバ
ーナの位置決め方法。
【００６１】（３） 多重管構造で中心管内を光が貫通
する構造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒
子を合成するクラッド用の多重管バーナを用いて、ＯＶ
Ｄ法により前記ガラス微粒子を対象物に堆積させてクラ
ッド用の多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造装置におけるバーナの位置決め方法において、
前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端
から外に出るメイン光が、前記多重管バーナの高さを示
す水平向きのシート光よりなる補助光と前記光ファイバ
母材の軸心を示すビーム光よりなる補助光との交点より
なる方向基準点と、前記多重管バーナの高さを示す水平
向きのシート光よりなる補助光と前記多重管バーナの先
端があるべき位置の上下方向に向けて出されているビー
ム光よりなるバーナ先端位置決め用補助光との交点より
なる方向基準点をそれぞれ通り、且つ前記多重管バーナ
の先端が前記バーナ先端位置決め用補助光よりなる位置
基準に一致するように前記多重管バーナの位置決めをす
ることを特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバ
ーナの位置決め方法。
【００６２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光ファ
イバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法によれ
ば、次のような優れた効果を達成することができる。
【００６３】本発明では、多重管バーナの後部に配置さ
れていて該多重管バーナ内の中心を通って該多重管バー
ナの先端から外に出るメイン光の光源における該メイン
光の出射方向の位置決めを、該多重管バーナの最外管を
基準にして行うので、該メイン光の光軸を該多重管バー
ナの軸心に容易に正確に一致させることができる。
【００６４】また、本発明では、方向基準と位置基準と
を用いて多重管バーナを位置決めするので、該多重管バ
ーナはその軸心方向の向きと、その先端の位置とが位置
決めされることになり、このため該多重管バーナの姿勢
と位置とを精度良く設定することができる。
【００６５】さらに、本発明では、メイン光の光源にお
ける該メイン光の出射方向の位置決めを、該多重管バー
ナの最外管を基準にして行い、次に方向基準と位置基準
とを用いて多重管バーナの位置決めをするので、該多重
管バーナはその軸心方向の向きと、その先端の位置とが
一層正確に位置決めされることになり、該多重管バーナ
の姿勢と位置とを一層精度良く設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ファイバ母材製造装置における
バーナの位置決め方法で用いる多重管バーナの一例を示
す縦断面図である。
【図２】（Ａ）は図１に示した多重管バーナの軸心とメ
イン光の光軸を合わせる方法を示す該多重管バーナの側
面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】ＶＡＤ法によるコア形成過程での光ファイバ母
材製造装置におけるコア用の多重管バーナの位置決め方
法の一例を説明図である。
【図４】ＶＡＤ法によるクラッド形成過程での光ファイ
バ母材製造装置におけるクラッド用の多重管バーナの位
置決め方法の一例を説明図である。
【図５】ＯＶＤ法によるクラッド形成過程での光ファイ
バ母材製造装置におけるクラッド用の多重管バーナの位
置決め方法の一例を説明図である。
【図６】図３に示す方法で位置決めされた多重管バーナ
を用いて形成した光ファイバ母材と従来法で位置決めさ
れた多重管バーナを用いて形成した光ファイバ母材との
バーナ交換直後の屈折率分布不良率の比較図である。
【図７】図４に示す方法で位置決めされた多重管バーナ
を用いて形成した光ファイバ母材と従来法で位置決めさ
れた多重管バーナを用いて形成した光ファイバ母材との
バーナ交換直後のコア・クラッド比率不良率の比較図で
ある。
【図８】図５に示す方法で位置決めされた多重管バーナ
を用いて形成した光ファイバ母材と従来法で位置決めさ
れた多重管バーナを用いて形成した光ファイバ母材との
バーナ交換直後の堆積速度不良率の比較図である。
【図９】本発明で光の交点の位置を知る方法の一例を示
す説明図である。
【符号の説明】
１ 多重管バーナ ２ 第１の管 ３ 第２の管 ４ 第３の管 ５ 第４の管 ２ａ〜５ａ 第１〜第４の通路 ２ｂ〜５ｂ 縮径部 ２ｃ〜４ｃ 仕切り体 ６，７ 仕切り体 ８ パージガス室 ９ 光通過孔 １０ レンズ １１〜１５ 供給通路 １６ 光源ホルダー １７ フォーカス調整リング １８ ネジ結合部 １９ 孔 ２０ レーザ ２０ａ メイン光 ２１ 調整ネジ ２２ Ｖブロック ２３ スクリーン ２４ 反応容器 ２５ コア用光ファイバ母材 ２６ 開口部 ２７ 主軸 ２８ チャック ２９ 種棒 ３０ バーナホルダ ３１ 排気口 ３２，３４，３６ 補助光 ３３，３５，３７ 位置決め用光源 ３８ バーナ先端位置決め用補助光 ３９ 位置決め用光源 ４０，４１ 方向基準点 ４２ 補助光 ４３ 位置決め用光源 ４４ バーナ先端位置決め用補助光 ４５ 位置決め用光源 ４６ 出発母材 ４７ クラッド用光ファイバ母材 ４８ 光ファイバ ５０ 紙片

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構
    造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合
    成する多重管バーナを用いて、前記ガラス微粒子を対象
    物に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
    ァイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法にお
    いて、 前記多重管バーナの後部に配置されていて該多重管バー
    ナ内の中心を通って該多重管バーナの先端から外に出る
    メイン光の光源における前記メイン光の出射方向の位置
    決めを該多重管バーナの最外管を基準にして行うことを
    特徴とする光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位
    置決め方法。
  2. 【請求項２】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構
    造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合
    成する多重管バーナを用いて、前記ガラス微粒子を対象
    物に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
    ァイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法にお
    いて、 前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの先端
    から外に出るメイン光が、複数の補助光又は補助線条体
    の交点により形成された複数の方向基準点をそれぞれ通
    り、且つ前記多重管バーナの先端がバーナ先端位置決め
    用補助光又は補助線条体よりなる位置基準に一致するよ
    うに前記多重管バーナの位置決めをすることを特徴とす
    る光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方
    法。
  3. 【請求項３】 多重管構造で中心管内を光が貫通する構
    造になっていると共に先端の火炎中でガラス微粒子を合
    成する多重管バーナを用いて、前記ガラス微粒子を対象
    物に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
    ァイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法にお
    いて、 前記多重管バーナの後部に配置されていて該多重管バー
    ナ内の中心を通って該多重管バーナの先端から外に出る
    メイン光の光源における該メイン光の光軸を該多重管バ
    ーナの軸心に一致させる位置決めを該多重管バーナの最
    外管を基準にして行い、 次に前記多重管バーナの中心を通って該多重管バーナの
    先端から外に出るメイン光が、複数の補助光又は補助線
    条体の交点により形成された複数の方向基準点をそれぞ
    れ通り、且つ前記多重管バーナの先端がバーナ先端位置
    決め用補助光又は補助線条体よりなる位置基準に一致す
    るように前記多重管バーナの位置決めをすることを特徴
    とする光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決
    め方法。
JP21453294A 1994-09-08 1994-09-08 光ファイバ母材製造装置におけるバーナの位置決め方法 Pending JPH0873235A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003531086A (ja) * 2000-04-14 2003-10-21 ヘレウス・テネボ・アクチェンゲゼルシャフト 石英ガラス体を製造するための方法および装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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