JPH0874073A - 塩化第二鉄エッチャントの液管理方法 - Google Patents
塩化第二鉄エッチャントの液管理方法Info
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- JPH0874073A JPH0874073A JP21274894A JP21274894A JPH0874073A JP H0874073 A JPH0874073 A JP H0874073A JP 21274894 A JP21274894 A JP 21274894A JP 21274894 A JP21274894 A JP 21274894A JP H0874073 A JPH0874073 A JP H0874073A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ＮａＯＨによる滴定操作することなく、シュウ
酸水溶液と塩化第二鉄エッチャントとの混合溶液のｐＨ
値をモニタして、遊離塩酸濃度を管理することによっ
て、エッチャント中におけるＦｅ（ＯＨ）3 の析出を防
止し、安定な液状態に管理する。 【構成】シュウ酸水溶液槽１３とエッチャント稼働槽１
とからシュウ酸水溶液とエッチャント試料とをそれぞれ
一定時間置きに自動サンプリングして、混合槽１６に供
給する。ここで混合した混合液をｐＨ計１７でモニタ
し、ｐＨ管理値の範囲外となったら、塩酸槽１８から適
量の塩酸を自動的にエッチャント稼働槽１内のエッチャ
ント３に添加する。これによりエッチャントをＦｅ（Ｏ
Ｈ）3 の沈殿が析出しない安定な液状態に自動管理する
ことができる。
酸水溶液と塩化第二鉄エッチャントとの混合溶液のｐＨ
値をモニタして、遊離塩酸濃度を管理することによっ
て、エッチャント中におけるＦｅ（ＯＨ）3 の析出を防
止し、安定な液状態に管理する。 【構成】シュウ酸水溶液槽１３とエッチャント稼働槽１
とからシュウ酸水溶液とエッチャント試料とをそれぞれ
一定時間置きに自動サンプリングして、混合槽１６に供
給する。ここで混合した混合液をｐＨ計１７でモニタ
し、ｐＨ管理値の範囲外となったら、塩酸槽１８から適
量の塩酸を自動的にエッチャント稼働槽１内のエッチャ
ント３に添加する。これによりエッチャントをＦｅ（Ｏ
Ｈ）3 の沈殿が析出しない安定な液状態に自動管理する
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、塩化第二鉄エッチャン
トの液管理方法、特に遊離塩酸濃度の液管理方法に関す
るものである。
トの液管理方法、特に遊離塩酸濃度の液管理方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】塩化第二鉄エッチャントは、安価で毒性
が低く、様々な金属や合金を溶解し、エッチング速度も
高いことからエッチャントとして広く使用されている。
工業的には、反応槽で鉄を塩酸に溶解し、液に塩素ガス
を吹き込んで塩化第二鉄を得る。塩化第二鉄を水に溶か
すと ＦｅＣｌ3 ＋Ｈ2 Ｏ←→Ｆｅ（ＯＨ）3 ＋３ＨＣｌ （１） の平衡反応が起こる。
が低く、様々な金属や合金を溶解し、エッチング速度も
高いことからエッチャントとして広く使用されている。
工業的には、反応槽で鉄を塩酸に溶解し、液に塩素ガス
を吹き込んで塩化第二鉄を得る。塩化第二鉄を水に溶か
すと ＦｅＣｌ3 ＋Ｈ2 Ｏ←→Ｆｅ（ＯＨ）3 ＋３ＨＣｌ （１） の平衡反応が起こる。
【０００３】また、エッチング反応は、第二鉄イオン
（Ｆｅ3+）が酸化剤として作用する酸化還元反応であり
塩化第二鉄自身は還元されて塩化第一鉄になる。
（Ｆｅ3+）が酸化剤として作用する酸化還元反応であり
塩化第二鉄自身は還元されて塩化第一鉄になる。
【０００４】例えば４２合金に対するエッチング反応
は、 ２ＦｅＣｌ3 ＋Ｆｅ→３ＦｅＣｌ2 （２） ２ＦｅＣｌ3 ＋Ｎｉ→２ＦｅＣｌ2 ＋ＮｉＣｌ2 （３） 銅に対するエッチング反応は、 ２ＦｅＣｌ3 ＋Ｃｕ→２ＦｅＣｌ2 ＋ＣｕＣｌ2 （４） ＣｕＣｌ2 ＋Ｃｕ→２ＣｕＣｌ （５） のように表される。
は、 ２ＦｅＣｌ3 ＋Ｆｅ→３ＦｅＣｌ2 （２） ２ＦｅＣｌ3 ＋Ｎｉ→２ＦｅＣｌ2 ＋ＮｉＣｌ2 （３） 銅に対するエッチング反応は、 ２ＦｅＣｌ3 ＋Ｃｕ→２ＦｅＣｌ2 ＋ＣｕＣｌ2 （４） ＣｕＣｌ2 ＋Ｃｕ→２ＣｕＣｌ （５） のように表される。
【０００５】液の使用に伴い、Ｆｅ2+、Ｎｉ2+、Ｃｕ+
が生成し液のｐＨが上昇する。液のｐＨが上昇すると式
（１）の反応式より、水酸化第二鉄（Ｆｅ（ＯＨ）3 ）
の沈殿が析出し、エッチング特性、エッチャントの流動
性、プラント中の配管流れ等に悪影響を及ぼし、エッチ
ャントとして使用できなくなる。そのため、適量の塩酸
を添加して式（１）の反応式において平衡が左に向かう
状態で使用されなければならない。
が生成し液のｐＨが上昇する。液のｐＨが上昇すると式
（１）の反応式より、水酸化第二鉄（Ｆｅ（ＯＨ）3 ）
の沈殿が析出し、エッチング特性、エッチャントの流動
性、プラント中の配管流れ等に悪影響を及ぼし、エッチ
ャントとして使用できなくなる。そのため、適量の塩酸
を添加して式（１）の反応式において平衡が左に向かう
状態で使用されなければならない。
【０００６】従って、エッチャントを管理する上で、エ
ッチャント中の遊離塩酸濃度とＦｅ（ＯＨ）3 析出防止
の液状態関係を把握する必要がある。また、遊離塩酸濃
度は、エッチング形状、エッチング面の平滑性といった
エッチング特性にも影響を及ぼす。
ッチャント中の遊離塩酸濃度とＦｅ（ＯＨ）3 析出防止
の液状態関係を把握する必要がある。また、遊離塩酸濃
度は、エッチング形状、エッチング面の平滑性といった
エッチング特性にも影響を及ぼす。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来、鉄、銅、Ｎｉを
含んだ溶液の遊離塩酸濃度測定法として、マスキング剤
であるシュウ酸カリウム水溶液を添加し、遊離した塩酸
をＮａＯＨにより中和滴定し、定量する方法がある。
含んだ溶液の遊離塩酸濃度測定法として、マスキング剤
であるシュウ酸カリウム水溶液を添加し、遊離した塩酸
をＮａＯＨにより中和滴定し、定量する方法がある。
【０００８】しかしエッチングプラントのエッチャント
自動管理システムを考えたとき、液を採取しての滴定分
析は操作に時間がかかり、また、ＮａＯＨ滴定時にシュ
ウ酸水溶液のｐＨ変動が大きく、精度良く遊離塩酸状態
を把握できないという問題がある。
自動管理システムを考えたとき、液を採取しての滴定分
析は操作に時間がかかり、また、ＮａＯＨ滴定時にシュ
ウ酸水溶液のｐＨ変動が大きく、精度良く遊離塩酸状態
を把握できないという問題がある。
【０００９】一方、エッチャント単独でｐＨ管理するこ
とも考えられるが、エッチャント単独のｐＨ管理値で
は、エッチャントが強酸性（ｐＨ０以下）であるため、
ｐＨ測定器の精度上の問題が生じる。
とも考えられるが、エッチャント単独のｐＨ管理値で
は、エッチャントが強酸性（ｐＨ０以下）であるため、
ｐＨ測定器の精度上の問題が生じる。
【００１０】従って、自動管理システムを稼働する上で
エッチャントの遊離塩酸濃度によるＦｅ（ＯＨ）3 析出
防止の液状態を容易にかつ高精度に管理できるパラメー
タが必要になる。
エッチャントの遊離塩酸濃度によるＦｅ（ＯＨ）3 析出
防止の液状態を容易にかつ高精度に管理できるパラメー
タが必要になる。
【００１１】本発明の目的は、Ｆｅ（ＯＨ）3 析出防止
の液状態を容易かつ高精度に管理できるパラメータを導
入することによって、上述した従来技術の欠点を解消し
て、安定な液状態の管理が可能な塩化第二鉄エッチャン
トの液管理方法を提供することにある。
の液状態を容易かつ高精度に管理できるパラメータを導
入することによって、上述した従来技術の欠点を解消し
て、安定な液状態の管理が可能な塩化第二鉄エッチャン
トの液管理方法を提供することにある。
【００１２】また、本発明の目的は、上記パラメータで
エッチャントを自動管理することが可能な塩化第二鉄エ
ッチャントの液管理方法を提供することにある。
エッチャントを自動管理することが可能な塩化第二鉄エ
ッチャントの液管理方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の塩化第二鉄エッ
チャントの液管理方法は、シュウ酸水溶液と塩化第二鉄
エッチャントとを混合し、その混合溶液のｐＨ値で塩化
第二鉄エッチャントの遊離塩酸濃度を管理するようにし
たものである。
チャントの液管理方法は、シュウ酸水溶液と塩化第二鉄
エッチャントとを混合し、その混合溶液のｐＨ値で塩化
第二鉄エッチャントの遊離塩酸濃度を管理するようにし
たものである。
【００１４】また、本発明の塩化第二鉄エッチャントの
液管理方法は、シュウ酸水溶液と塩化第二鉄エッチャン
トとをサンプリングして混合し、その混合溶液のｐＨ値
をモニタし、そのｐＨ値に応じて塩化第二鉄エッチャン
トに塩酸を添加して管理するようにしたものである。
液管理方法は、シュウ酸水溶液と塩化第二鉄エッチャン
トとをサンプリングして混合し、その混合溶液のｐＨ値
をモニタし、そのｐＨ値に応じて塩化第二鉄エッチャン
トに塩酸を添加して管理するようにしたものである。
【００１５】
【作用】シュウ酸水溶液と塩化第二鉄エッチャントとを
混合した溶液のｐＨ値をパラメータとして塩化第二鉄エ
ッチャントの遊離塩酸濃度を管理すると、混合溶液の金
属イオンの錯体を安定に形成させることが可能で、かつ
強酸性であるエッチャントのｐＨの影響をなくすことが
可能となるため、エッチャント中のＦｅ（ＯＨ）3 沈殿
析出防止の液状態を容易かつ高精度に管理できる。
混合した溶液のｐＨ値をパラメータとして塩化第二鉄エ
ッチャントの遊離塩酸濃度を管理すると、混合溶液の金
属イオンの錯体を安定に形成させることが可能で、かつ
強酸性であるエッチャントのｐＨの影響をなくすことが
可能となるため、エッチャント中のＦｅ（ＯＨ）3 沈殿
析出防止の液状態を容易かつ高精度に管理できる。
【００１６】また、そのｐＨ値を指標としてエッチャン
ト中に添加すべき塩酸量が把握でき、その把握に基づき
Ｆｅ（ＯＨ）3 の沈殿が析出しないような適量の塩酸を
エッチャントに添加できる。
ト中に添加すべき塩酸量が把握でき、その把握に基づき
Ｆｅ（ＯＨ）3 の沈殿が析出しないような適量の塩酸を
エッチャントに添加できる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の塩化第二鉄エッチャントの液
管理方法の実施例を説明する。
管理方法の実施例を説明する。
【００１８】本実施例では、シュウ酸水溶液に塩化第二
鉄エッチャントを添加した混合溶液のｐＨ値を管理す
る。このとき、塩化第二鉄エッチャントを添加するシュ
ウ酸水溶液は、１０％シュウ酸カリウム水溶液を０．５
Ｍシュウ酸水溶液でｐＨ６．０に調整する。ここで、ｐ
Ｈ６．０に調整するのは、シュウ酸とエッチャント中に
含まれる鉄、銅、ニッケルといった金属イオンの錯体を
安定に形成させるためである。ｐＨ６．０に調整したシ
ュウ酸溶液１００mlに対して、エッチャント試料は、
１．０〜６．０グラム添加する。添加するエッチャント
の量が上記範囲より過剰であると強酸性であるエッチャ
ントのｐＨが影響し、ｐＨ６．０近傍での分析ができな
くなる。エッチャントを添加したシュウ酸水溶液は、共
存する金属イオンを錯化するために約５分間撹拌する。
撹拌後の液ｐＨを測定することでエッチャント試料のＦ
ｅ（ＯＨ）3 析出防止の液状態を管理できる。したがっ
て、Ｆｅ（ＯＨ）3 析出防止に対するエッチャントの液
状態を、シュウ酸溶液にエッチャントを添加した溶液の
ｐＨ値で容易にかつ精度良く管理できる。
鉄エッチャントを添加した混合溶液のｐＨ値を管理す
る。このとき、塩化第二鉄エッチャントを添加するシュ
ウ酸水溶液は、１０％シュウ酸カリウム水溶液を０．５
Ｍシュウ酸水溶液でｐＨ６．０に調整する。ここで、ｐ
Ｈ６．０に調整するのは、シュウ酸とエッチャント中に
含まれる鉄、銅、ニッケルといった金属イオンの錯体を
安定に形成させるためである。ｐＨ６．０に調整したシ
ュウ酸溶液１００mlに対して、エッチャント試料は、
１．０〜６．０グラム添加する。添加するエッチャント
の量が上記範囲より過剰であると強酸性であるエッチャ
ントのｐＨが影響し、ｐＨ６．０近傍での分析ができな
くなる。エッチャントを添加したシュウ酸水溶液は、共
存する金属イオンを錯化するために約５分間撹拌する。
撹拌後の液ｐＨを測定することでエッチャント試料のＦ
ｅ（ＯＨ）3 析出防止の液状態を管理できる。したがっ
て、Ｆｅ（ＯＨ）3 析出防止に対するエッチャントの液
状態を、シュウ酸溶液にエッチャントを添加した溶液の
ｐＨ値で容易にかつ精度良く管理できる。
【００１９】次に、上述したエッチャントの液状態とｐ
Ｈ管理値の関係について具体的に述べる。１０％シュウ
酸カリウム水溶液１００mlを０．５Ｍシュウ酸水溶液で
ｐＨ６．０に調整した。エッチャント試料として新液、
劣化液及びＦｅ（ＯＨ）3 の析出した液を準備し、それ
ぞれ３．５ｇを精秤し、ｐＨ６．０に調整したシュウ酸
水溶液に添加し撹拌した。５分間溶液を撹拌した後液ｐ
Ｈを測定した。
Ｈ管理値の関係について具体的に述べる。１０％シュウ
酸カリウム水溶液１００mlを０．５Ｍシュウ酸水溶液で
ｐＨ６．０に調整した。エッチャント試料として新液、
劣化液及びＦｅ（ＯＨ）3 の析出した液を準備し、それ
ぞれ３．５ｇを精秤し、ｐＨ６．０に調整したシュウ酸
水溶液に添加し撹拌した。５分間溶液を撹拌した後液ｐ
Ｈを測定した。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１に測定結果を示す。表１より、エッチ
ャントにＦｅ（ＯＨ）3 の析出がなく安定な状態である
のは、ｐＨ６．３までであり、またＦｅ（ＯＨ）3 が析
出する状態は、ｐＨ６．７以上の時である。従って、エ
ッチャントをＦｅ（ＯＨ）3の沈殿が析出しない液状態
に管理するには、エッチャントを添加したシュウ酸溶液
のｐＨを６．７未満に管理しなければならない。
ャントにＦｅ（ＯＨ）3 の析出がなく安定な状態である
のは、ｐＨ６．３までであり、またＦｅ（ＯＨ）3 が析
出する状態は、ｐＨ６．７以上の時である。従って、エ
ッチャントをＦｅ（ＯＨ）3の沈殿が析出しない液状態
に管理するには、エッチャントを添加したシュウ酸溶液
のｐＨを６．７未満に管理しなければならない。
【００２２】図２にエッチャントを添加したシュウ酸水
溶液への塩酸添加量とｐＨ変化を示す。これにより、エ
ッチャントの管理すべき遊離塩酸状態をシュウ酸水溶液
中でのｐＨ値で管理しておき、液の使用に伴い上昇する
ｐＨ値に対して添加すべき塩酸量を把握できる。
溶液への塩酸添加量とｐＨ変化を示す。これにより、エ
ッチャントの管理すべき遊離塩酸状態をシュウ酸水溶液
中でのｐＨ値で管理しておき、液の使用に伴い上昇する
ｐＨ値に対して添加すべき塩酸量を把握できる。
【００２３】次に、上述したｐＨ値でエッチャントを自
動管理する装置について説明する。エッチャント自動管
理装置では、シュウ酸水溶液とエッチャントを自動サン
プリングして、その混合溶液のｐＨ値に基づき自動的に
適量の塩酸を添加して液管理する。図１にエッチャント
自動管理装置を示す。
動管理する装置について説明する。エッチャント自動管
理装置では、シュウ酸水溶液とエッチャントを自動サン
プリングして、その混合溶液のｐＨ値に基づき自動的に
適量の塩酸を添加して液管理する。図１にエッチャント
自動管理装置を示す。
【００２４】１はエッチャント稼働槽であり、これより
パイプ２を通じて供給されたエッチャント３は、スプレ
ー４から被エッチング材５に向けて噴射される。噴射後
のエッチャントは、エッチング液槽６の底部に溜まって
いるエッチャント７と混合し、混合したエッチャントは
パイプ８を通って再度エッチャント稼働槽１に戻って循
環する。エッチャントの液管理は、後述する遊離塩酸濃
度の他に、酸化還元電位（ＯＲＰ）、比重といった管理
項目がある。この装置では、ＯＲＰは、エッチング液槽
６内のエッチャント７のＯＲＰ測定値に応じて、塩素ガ
スボンベ９に接続された塩素ガス注入器１０からエッチ
ャント稼働槽１内に注入する塩素ガスにより調整してい
る。また、比重は、エッチング液槽６内のエッチャント
７の比重測定値に応じて、水槽１１からエッチャント稼
働槽１内に水を添加することにより調整している。な
お、エッチャント稼働槽１内のエッチャント不足分は、
エッチャント補充槽１２より補充する。
パイプ２を通じて供給されたエッチャント３は、スプレ
ー４から被エッチング材５に向けて噴射される。噴射後
のエッチャントは、エッチング液槽６の底部に溜まって
いるエッチャント７と混合し、混合したエッチャントは
パイプ８を通って再度エッチャント稼働槽１に戻って循
環する。エッチャントの液管理は、後述する遊離塩酸濃
度の他に、酸化還元電位（ＯＲＰ）、比重といった管理
項目がある。この装置では、ＯＲＰは、エッチング液槽
６内のエッチャント７のＯＲＰ測定値に応じて、塩素ガ
スボンベ９に接続された塩素ガス注入器１０からエッチ
ャント稼働槽１内に注入する塩素ガスにより調整してい
る。また、比重は、エッチング液槽６内のエッチャント
７の比重測定値に応じて、水槽１１からエッチャント稼
働槽１内に水を添加することにより調整している。な
お、エッチャント稼働槽１内のエッチャント不足分は、
エッチャント補充槽１２より補充する。
【００２５】Ｆｅ（ＯＨ）3 の析出防止管理、すなわち
遊離塩酸濃度の液管理は、次のように行っている。シュ
ウ酸水溶液を収容するシュウ酸水溶液槽１３を設け、こ
のシュウ酸水溶液槽１３とエッチャント稼働槽１とから
シュウ酸水溶液とエッチャント試料をそれぞれ一定時間
置きに自動サンプリングし、パイプ１４、１５を通して
混合槽１６に供給する。ここで混合し、その混合液をｐ
Ｈ計１７でモニタし、ｐＨ管理値の範囲外となったら、
塩酸槽１８から適量の塩酸をパイプ１９を通して自動的
にエッチャント稼働槽３内のエッチャント３に添加す
る。このように、ｐＨ値を指標としてエッチャント３中
に添加すべき塩酸量を把握し、その把握に基づきエッチ
ャント稼働槽１中のエッチャント３に塩酸を自動的に添
加するようにしたので、エッチャントを安定な液状態に
自動管理することができる。
遊離塩酸濃度の液管理は、次のように行っている。シュ
ウ酸水溶液を収容するシュウ酸水溶液槽１３を設け、こ
のシュウ酸水溶液槽１３とエッチャント稼働槽１とから
シュウ酸水溶液とエッチャント試料をそれぞれ一定時間
置きに自動サンプリングし、パイプ１４、１５を通して
混合槽１６に供給する。ここで混合し、その混合液をｐ
Ｈ計１７でモニタし、ｐＨ管理値の範囲外となったら、
塩酸槽１８から適量の塩酸をパイプ１９を通して自動的
にエッチャント稼働槽３内のエッチャント３に添加す
る。このように、ｐＨ値を指標としてエッチャント３中
に添加すべき塩酸量を把握し、その把握に基づきエッチ
ャント稼働槽１中のエッチャント３に塩酸を自動的に添
加するようにしたので、エッチャントを安定な液状態に
自動管理することができる。
【００２６】なお、混合槽１６内のモニタ済の混合液は
廃液槽２０に廃棄される。この廃液槽２０には、エッチ
ャント稼働槽１のオーバーフローしたエッチャントも廃
棄される。
廃液槽２０に廃棄される。この廃液槽２０には、エッチ
ャント稼働槽１のオーバーフローしたエッチャントも廃
棄される。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、ＮａＯＨＦによる滴定
操作することなく、Ｆｅ（ＯＨ）3 析出防止に対するエ
ッチャントの液状態を、シュウ酸水溶液とエッチャント
とを混合した溶液のｐＨ値によって、容易にかつ精度良
く管理できる。
操作することなく、Ｆｅ（ＯＨ）3 析出防止に対するエ
ッチャントの液状態を、シュウ酸水溶液とエッチャント
とを混合した溶液のｐＨ値によって、容易にかつ精度良
く管理できる。
【００２８】また、本発明によれば、シュウ酸水溶液と
エッチャントとの混合溶液のｐＨ値をモニタし、そのｐ
Ｈ値に応じて塩酸を添加するようにしたので、エッチャ
ントを安定な液状態に自動管理することができる。
エッチャントとの混合溶液のｐＨ値をモニタし、そのｐ
Ｈ値に応じて塩酸を添加するようにしたので、エッチャ
ントを安定な液状態に自動管理することができる。
【図１】本発明の塩化第二鉄エッチャントの液管理方法
の実施例を説明するためのエッチャント自動管理装置を
示す概略図。
の実施例を説明するためのエッチャント自動管理装置を
示す概略図。
【図２】本実施例に係るエッチャントを添加したシュウ
酸水溶液への塩酸添加量とその溶液のｐＨ値変化を示す
図。
酸水溶液への塩酸添加量とその溶液のｐＨ値変化を示す
図。
１ エッチャント稼働槽 ３ エッチャント １３ シュウ酸水溶液槽 １６ 混合槽 １７ ｐＨ計 １８ 塩酸槽
Claims (3)
- 【請求項１】シュウ酸水溶液と塩化第二鉄エッチャント
とを混合し、その混合溶液のｐＨ値で塩化第二鉄エッチ
ャントの遊離塩酸濃度を管理する塩化第二鉄エッチャン
トの液管理方法。 - 【請求項２】シュウ酸水溶液と塩化第二鉄エッチャント
とをサンプリングして混合し、その混合溶液のｐＨ値を
モニタし、そのｐＨ値に応じて塩化第二鉄エッチャント
に塩酸を添加する塩化第二鉄エッチャントの液管理方
法。 - 【請求項３】上記シュウ酸水溶液のｐＨ値を６．０にし
た請求項１または２に記載の塩化第二鉄エッチャントの
液管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21274894A JPH0874073A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | 塩化第二鉄エッチャントの液管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21274894A JPH0874073A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | 塩化第二鉄エッチャントの液管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0874073A true JPH0874073A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16627774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21274894A Pending JPH0874073A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | 塩化第二鉄エッチャントの液管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0874073A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9885099B2 (en) | 2012-03-09 | 2018-02-06 | Nippon Steel & Sumikin Stainless Steel Corporation | Ferritic stainless steel sheet |
-
1994
- 1994-09-06 JP JP21274894A patent/JPH0874073A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9885099B2 (en) | 2012-03-09 | 2018-02-06 | Nippon Steel & Sumikin Stainless Steel Corporation | Ferritic stainless steel sheet |
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