JPH0875520A - コリオリ式質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 上流，下流の検出信号の位相差を測定するに
当たり、両振幅の差異にもとづく誤差が含まれないよう
ＡＧＣ増幅したときの遅れを補正可能とし、測定精度を
向上させる。 【構成】 上流，下流の振動振幅差検出部５８と、振幅
制御部５９と、位相差測定部６０とを設け、上流，下流
の振動振幅に差が生じないようＡＧＣ増幅して位相差を
測定する質量流量計において、演算処理装置６１により
ＡＧＣ増幅器５２ａ，５２ｂのゲイン制御電圧，周波数
および周囲温度を検出し、これらの値に応じてＲＯＭテ
ーブル６４を参照してＡＧＣ増幅器の伝搬遅延量を求
め、この量を位相差測定部６０の出力から差し引くこと
によって遅れ量を補正し、正確な検出を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、コリオリの力により
発生する配管の上流側と下流側での流体の質量と速度に
よる配管の振動の位相差を検出し、流量を求めるコリオ
リ式質量流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４にコリオリ式質量流量計の動作原理
を示す。すなわち、１は測定流体が流れるＵ字配管で、
その先端部には永久磁石２が固定され、Ｕ字配管１の両
端は基台３に固定されている。４はＵ字配管１を挟むよ
うにして設けられた電磁駆動用コイル、５は電磁駆動コ
イル４を保持する支持枠で、この枠５は基台３にがっち
りと固定されている。Ｕ字配管１は音叉のように基台３
の部分が振動の節点となり、振動エネルギーを失うこと
が少ない構成となっている。１１，１２は、Ｕ字配管の
両脚の変位を検出するための電磁ピックアップである。
駆動コイル４とこれに対向するＵ字配管１に固定された
永久磁石２の間に働く電磁力で、Ｕ字配管１をその固有
振動数で振動（ｓｉｎωｔ）させると、Ｕ字配管内を流
れる流体にコリオリの力が発生する。

【０００３】図５にＵ字配管の振動の様子を示す。この
コリオリの力の大きさは、Ｕ字配管内を流れる流体の質
量とその速度に比例し、力の方向は流体の運動方向と、
Ｕ字配管１を励振する角速度のベクトル積の方向に一致
する。また、Ｕ字配管１の流量の入力側と出力側とでは
流体の方向が正反対となるので、両脚側のコリオリ力に
よって、Ｕ字配管１に捩じりのトルクが発生する。この
トルクは励振周波数と同一の周波数で変化し、その振幅
値は流体の質量流量に比例する。図６にこの捩じりトル
クにより発生する振動モードを示す。

【０００４】この捩じり振動のトルクの振幅をピックア
ップ１１，１２で検出すれば質量流量を知ることができ
ることになるが、実際のＵ字配管の振動は電磁駆動用コ
イル４による励振振動にコリオリ力による捩じれ振動が
重畳された形となり、上流側はｓｉｎ（ωｔ−α），下
流側はｓｉｎ（ωｔ＋α）の形で表現される。したがっ
て、ピックアップ１１，１２で検出される信号ｅ１，ｅ
２は図７に示すように位相差（Δｔ）の生じた波形とな
る。この位相差は配管，励振周波数によって異なるが、
例えばＵ字配管の場合、Ｕ字配管の共振周波数を８０Ｈ
ｚとすると、最大流量で約１２０μＳの位相差が生じ、
この１／２０のレンジにおいて１％の分解能を補償しな
ければならない。したがって、６０ｎＳの時間計測分解
能が必要となる。

【０００５】この位相測定には様々な方法があるが、最
も簡単な手法としては基準クロックによる時間差ゲート
のカウント方法がある。その例を図８に示す。すなわ
ち、上流側ピックアップ信号２０，下流側ピックアップ
信号２１を増幅器２２で増幅（増幅率：Ｂ）した後コン
パレータ２３により２値化し、排他論理和回路２４でこ
の２値化信号の排他的論理和演算を行ない、上流側，下
流側ピックアップ信号の時間差に相当するパルス幅のゲ
ートパルス２５を得、これをカウンタ２６で基準クロッ
ク２７により計測するものである。なお、この場合の基
準クロックの周波数は２０ＭＨｚ程度以上が必要であ
る。

【０００６】ところで、Ｕ字配管を実プラントに用いる
場合、屈曲しているため圧損が大きく、配管の清掃が困
難であるなどの問題がある。このため、直管の配管を用
いる直管式のコリオリ流量計も提案されている。図９に
直管式コリオリ流量計の１例を示す。図９において、１
５は測定流体が流れる直管で、その中央部には永久磁石
２が固定され、直管１５の両端は基台３に固定されてい
る。４は直管１５を挟み込むようにして設けられた電磁
駆動用コイル、５はこの電磁駆動コイル４を保持する支
持枠で、この枠は基台３にがっちりと固定されている。
直管方式では流体の通過する配管の剛性が高く、Ｕ字配
管よりもたわみ難いため、前記の時間差が微小になると
いう難点がある。

【０００７】例えば、直管の共振周波数は１ＫＨｚ程度
であり、最大流量で約２μＳの位相差が生じ、この１／
２０のレンジにおいて１％の分解能で測定する必要があ
る。したがって、１ｎＳの時間計測分解能が必要とな
る。また、カウンタによる測定では１ＧＨｚの基準クロ
ックが必要となって実際には製作不可能であり、また可
能としてもピックアップ信号から時間差信号を得るため
にコンパレータを用いると、これには入力信号の不感帯
の問題によるジッターが発生し（コンパレータの出力が
“１”，“０”ではない中途半端なレベルを不感帯と称
し、入力信号がこの不感帯をどれだけ早くよぎるかが大
きく影響する）、１ｎＳの精度が得られるかは疑問であ
る。

【０００８】このため、従来は図１０の如く構成して測
定を行ない、上流側ピックアップ信号２０と下流側ピッ
クアップ信号２１との減算、すなわち、 ｓｉｎ（ωｔ＋α）−ｓｉｎ（ωｔ−α）＝２ｃｏｓω
ｔ＊ｓｉｎα の計算を差分器（減算器）２８により行ない、ｓｉｎα
を振幅とする微弱（周期が１ｍＳに対して、位相αが
０．１ｎＳ）な位相信号を得、これを増幅器２９により
高増幅（増幅率：Ｃ）し、電磁駆動コイルの励磁電流ｓ
ｉｎωｔの位相を、周波数逓倍部３１で９０°進めてｃ
ｏｓωｔを得る。そして、このｃｏｓωｔが正の値のと
きはＣ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔとして、また負の値のと
きはＢ＊（−ｃｏｓωｔ＊ｓｉｎα）としてそれぞれ出
力するような符号制御器３０で符号切り換えを行なう。
このように、符号制御のタイミングを符号制御対象の波
形から得るのではなく、他の信号を用いるのはノイズな
どによる誤動作の影響を軽減するためである。

【０００９】このようにして得られた、Ｃ＊ｓｉｎα＊
ｃｏｓωｔを測定する手法は様々であるが、例えばマイ
クロコンピュータ（マイコンともいう）などを使用して
時間量として測定するのであれば、図１０に符号４４で
示すように、最初はＣ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔに相当す
る電流をコンデンサに数周期の間充電しておき、その後
ＳＷを切り換えて定電流回路３３から定電流で放電する
ようにし、このＳＷの切り換え時期から積分回路３２の
出力が或るしきい値をよぎるまでの時間を測定するよう
にすれば、Ｃ＊ｓｉｎαなる値がコンパレータ３４でパ
ルス幅に変換され、マイコンによりこのパルス幅を測定
すれば、位相差が求まることになる。なお、ｓｉｎαに
ついては、αが非常に小さいので、図１０ではこれをα
で近似している。

【００１０】図１１に上流側と下流側の検出信号の振幅
が同一で、符号制御信号がｃｏｓωｔに同期している場
合の各部の波形を示す。なお、これらの信号をそれぞれ
数式で示すと、以下のようになる。 Ｖ_U ＝Ａ＊ｓｉｎ（ωｔ−α） 上流側検出信号２０ Ｖ_D ＝Ａ＊ｓｉｎ（ωｔ＋α） 下流側検出信号２１ Ｖ_V ＝２Ａ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔ 下流側／上流側差分信号４１ Ｖｃ＝｜Ｃ＊２Ａ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔ｜ 符号制御処理後下流側／上流側差分信号４３ Ｖｉ＝∫｜Ｃ＊２Ａ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔ｜ｄｔ 積分信号４４

【００１１】しかし、上記のような位相差の検出は上流
側と下流側の検出信号の振幅が全く同一の場合にしか適
用できず、振幅に差異があると誤差を生じるという問題
がある。このことを、以下に数式で示す。ここに、各記
号の意味は次の通りである。 ω：振動チューブの共振周波数 α：質量流量による発生位相差 Ａ：下流側検出信号の振幅 Ｂ：上流側検出信号の振幅 Ｃ：増幅率

【００１２】（１）差分器の出力Ｖ_V Ｖ_V ＝Ａ＊ｓｉｎ（ωｔ＋α）−Ｂ＊ｓｉｎ（ωｔ−α） ＝２Ａ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔ−（Ｂ−Ａ）＊ｓｉｎ（ωｔ−α） （２）符号制御信号Ｖ_S 駆動コイルの流入電流ｓｉｎωｔを周波数逓倍し、ｃｏ
ｓωｔなる符号制御信号Ｖ_S を作成する。 ｃｏｓωｔ≧０の場合：Ｖ_S ＝＋１、ｃｏｓωｔ＜０の
場合：Ｖ_S ＝−１ （３）符号制御器の出力Ｖｃ Ｖｃ∝Ｖ_S ＊Ｃ＊｛２Ａ＊ｓｉｎα＊ｃｏｓωｔ−（Ｂ
−Ａ）＊ｓｉｎ（ωｔ−α）｝ （４）積分回路の出力Ｖｉ 但し、積分範囲はＴ１：０，Ｔ２：４πとする。

【００１３】以上のように、積分器の出力Ｖｉには上式
第２項にも示すように、振幅が異なる（Ｂ≠Ａ）ことに
よる相違が生じ、これが積分値の誤差となって現れるこ
とになる。図１２に振動チューブの振動周波数を１ＫＨ
ｚとし、発生時間差を２μＳとしたときの、下記式で示
される誤差を示す。 ここに、∫（Ｂ＝Ａ）は振幅が等しい場合の積分値、∫
（Ｂ≠Ａ）は振幅が異なる場合の積分値をそれぞれ示
す。

【００１４】図１２によれば、振幅の差異が１％（上流
／下流振幅比１０１％）のときの誤差は、指示値の０．
５％となることが分かる。この振幅の差異は、ピックア
ップコイルの初期感度差，感度の経年変化特性の差また
は温度依存性などによって生じるものであり、したがっ
てこの振幅の差を常に監視し、振幅が同一となるように
補正する必要がある。

【００１５】この手法として、例えば図１３のように、
増幅率すなわちゲイン可変のＡＧＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉ
ｃ Ｇａｉｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ）増幅器３５を設けるこ
とにより或る程度は低減できる。しかし、このＡＧＣ増
幅器には位相遅れが発生し、この位相遅れは例えば図１
４の如くその増幅率の変化に応じて変化するので、目標
性能の０．０１％を得るのは難しい。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】以上、詳述したように
圧損が少なく清掃が容易な直管式コリオリ流量計は、流
体の通過する配管の剛性が高く、Ｕ字配管と比べると上
流側と下流側の時間差が微小になるという難点がある。
そのため、上流側ピックアップ信号と下流側ピックアッ
プ信号との減算を差分器（減算器）にて行なうことで微
弱な位相信号を得ていたが、この方式で上流側，下流側
ピックアップ信号を一致させるべくＡＧＣ増幅器を使用
しようとすると、ＡＧＣ増幅器による位相遅れが生じ、
これに起因する誤差を生じ、測定精度が低下するという
問題がある。したがって、この発明の課題はＡＧＣ増幅
器を用いても上流，下流のピックアップ信号を一致させ
ることができるようにし、位相遅れに基づく誤差を含ま
ないようにして測定精度を向上させることにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、請求項１の発明では、振動する配管内に流体を
流し、その流れと配管の角振動によって発生するコリオ
リ力により配管を捩じれ振動させ、その振動の位相差ま
たは時間差から質量流量を求めるコリオリ式質量流量計
において、前記配管の非対称たわみ振動を検出する１対
の検出器と、この１対の検出器の少なくとも一方の出力
側に接続されてその出力を増幅する増幅率可変増幅器
と、この増幅器出力の振幅差を検出する振幅差検出手段
と、前記増幅器の増幅率を前記振幅差検出手段からの出
力に応じて制御することにより、前記増幅器の出力振幅
を一致させる振幅制御手段と、この同一振幅化された増
幅器出力信号の位相差または時間差を求める位相・時間
差測定手段と、この位相・時間差測定手段からの出力を
前記増幅器の伝達遅延量に応じて補正する補正手段とを
設けたことを特徴としている。

【００１８】上記請求項１の発明では、前記増幅器を１
対の検出器の双方に対して設けたときは、一方の増幅器
の増幅率を前記振幅差検出手段からの出力に応じて可変
とし、他方の増幅器の増幅率は固定とすることができ、
または、前記補正手段を、前記増幅器の増幅率制御電圧
を検出する電圧検出手段と、前記増幅器の動作周波数を
検出する周波数検出手段と、前記増幅器の周囲温度を検
出する温度検出手段と、前記増幅器の増幅率制御電圧，
周波数および周囲温度の少なくとも１つと前記増幅器の
伝達遅延量との関係を予め記憶しておく記憶手段と、前
記各検出手段からの出力に応じてその記憶内容を読み出
し、その値を用いて前記位相・時間差測定手段の出力値
を補正する演算処理手段とから構成することができる。

【００１９】

【作用】上流側，下流側のピックアップ信号の振幅差を
同一化するＡＧＣ増幅器の利得による位相遅れを補正す
る補正回路を設けることにより、誤差の少ない高精度な
位相差または時間測定を可能とする。また、ＡＧＣ増幅
器の設置態様、または位相遅れ補正回路内に設けられる
メモリの構成方法などを考慮することにより、構成の簡
略化，低コスト化さらには使用態様に応じた自由度を持
たせられるようにする。

【００２０】

【実施例】図１はこの発明の実施例を示す構成図であ
る。振動する配管１５の上流側，下流側に設けられた電
磁ピックアップ１１，１２により、下記のような速度情
報が得られる。なお、各符号の意味は上記と同様であ
る。 （２０） Ｖ_U ＝Ｂ＊ｓｉｎ（ωｔ−α） ：上流側検出信号 （２１） Ｖ_D ＝Ａ＊ｓｉｎ（ωｔ＋α） ：下流側検出信号

【００２１】この電磁ピックアップ１１，１２の出力は
ローパスフィルタ（ＬＰＦ）５０ａ，５０ｂに導かれ、
振動系の共振周波数より高周波帯域成分を除去し、信号
のＳ／Ｎ比を改善する。次に、バッファ５１ａ，５１ｂ
ではインピーダンス変換を行ない、次段へ送る。バッフ
ァの出力信号は次式で示される。なお、βａ，βｂはＬ
ＰＦ５０ａ，５０ｂとバッファ５１ａ，５１ｂによる位
相遅れを示す。 （７０ａ） Ｖ_U ＝Ｂ＊ｓｉｎ（ωｔ−α−βａ） （７０ｂ） Ｖ_D ＝Ａ＊ｓｉｎ（ωｔ＋α−βｂ）

【００２２】このバッファ出力７０ａ，７０ｂは増幅率
可変の増幅器（ＡＧＣ増幅器）５２ａ，５２ｂに導かれ
る。ここで、増幅器５２ｂは固定の増幅率で増幅し、増
幅器５２ａは可変の増幅率で増幅する。増幅率可変の増
幅器を上流側と下流側の各々に設けた理由は、増幅率が
１でも必ず位相の遅延があるので、これを補償するため
に上流，下流の双方に設けるようにしている。このと
き、固定増幅側の増幅率は、ＡＧＣ増幅器のダイナミッ
クレンジを考慮し、電磁ピックアップ信号のＡＧＣ増幅
後の振幅がＡＧＣ増幅器の出力可能最大振幅の１／２と
なるように設定する。

【００２３】可変増幅側は、増幅率可変増幅器５２ａの
出力と同一の振幅が得られるよう、以下のように利得制
御が行なわれる。まず、上・下流振動差検出部５８で
は、増幅率可変増幅器５２ａ，５２ｂからの出力信号に
ついて、ピークデテクタ５３ａ，５３ｂでそのピーク電
圧を検出し、減算回路５４でこれらの値の差を求め、そ
の差を積分回路５５で積分する。増幅率設定回路５６
ａ，５６ｂは増幅率可変増幅器５２ａ，５２ｂを、その
ダイナミックレンジを考慮して電磁ピックアップ１１，
１２の信号のＡＧＣ増幅後の振幅が、増幅率可変増幅器
５２ａ，５２ｂの出力可能最大振幅の１／２のレベルと
なるような増幅率Ｄに相当する電圧に設定する。

【００２４】増幅率設定回路５６ｂからの電圧は増幅率
可変増幅器５２ｂに与えられ、電磁ピックアップ１２か
らの信号が一定の増幅率で増幅される。増幅率設定回路
５６ａからの電圧は、加算回路５７で上記積分回路５５
からの出力に加算されて増幅率可変増幅器５２ａに与え
られ、その増幅率を変化させる。増幅率可変増幅器５２
ａ，５２ｂの各出力は下記のようになる。 （７１ａ） Ｖ_U ＝Ｄ＊Ａ／Ｂ＊Ｂ＊ｓｉｎ（ωｔ−α−βａ−γａ） （７１ｂ） Ｖ_D ＝Ｄ＊Ａ＊ ｓｉｎ（ωｔ＋α−βｂ−γｂ）

【００２５】上記７１ａ，７１ｂに示す各信号の意味は
次の通りである。 Ｄ＊Ａ／Ｂ：上流側 可変増幅側の増幅率 Ｄ ：下流側 固定増幅側の増幅率 γａ ：上流側 可変増幅側の位相遅延量 γｂ ：下流側 固定増幅側の位相遅延量 βａ ：上流側 ＬＰＦ，バッファの位相遅延量 βｂ ：下流側 ＬＰＦ，バッファの位相遅延量

【００２６】γａ，γｂはＡＧＣ回路による位相遅れを
示しており、これが固定（つまり、βａ，βｂのみ）で
あれば単純なオフセット量として扱うことができる。し
かしながら、このような位相遅れは図２，図３にも示す
ように増幅率，周囲温度，周波数などによって変化する
ため、単純には補償することができない。なお、図２は
測定周波数をそれぞれ５６０Ｈｚ，７６０Ｈｚ，９６０
Ｈｚとしたとき、また図３は恒温槽温度を２０度，４０
度，６０度としたときの位相遅れ量を、増幅率を変えて
プロットしたもの（「□」，「△」，「×」印など）で
ある。図２，図３は必ずしも明瞭ではないが、ＡＧＣ回
路による位相遅れ量が増幅率，周囲温度および周波数な
どの関数であることを理解できれば、十分である。

【００２７】そこで、増幅率可変増幅器５２ａ，５２ｂ
の増幅率設定電圧、周囲温度，周波数などをパラメータ
として伝搬遅延量を記憶するＲＯＭテーブル６４を予め
用意しておき、本流量計の動作時には増幅率可変増幅器
５２ａ，５２ｂの増幅率設定電圧を、Ａ／Ｄ変換器６２
ａ，６２ｂによりＡ／Ｄ変換し、信号７３ａ，７３ｂと
して演算処理装置６１に取り込むとともに、温度センサ
６３により増幅率可変増幅器５２ａ，５２ｂの周囲温度
を信号７４として、また、増幅率可変増幅器５２ａの出
力周波数を信号７５としてそれぞれ取り込む。これによ
り、演算処理装置６１は取り込まれた信号７３ａ，７３
ｂ、７４および７５などに応じてＲＯＭテーブル６４を
参照し（必要に応じて補間演算も行ない）、各増幅率可
変増幅器５２ａ，５２ｂの伝搬遅延量γａ，γｂを求め
る。

【００２８】一方、ＡＧＣ増幅をして上流側，下流側の
信号振幅を一致させた信号７１ａ，７１ｂの位相差が、
位相差測定部５９にて求められて演算処理部６１へ次式
で示す信号７２として与えられるので、 （７２） Ｄ＊Ｃ＊Ａ｛２α＋（βｂ−βａ）＋（γｂ−γａ）｝ この信号７２から、上記のようにして求められたγｂ−
γａを差し引くことにより、位相遅れを補正することが
可能となる。なお、位相差測定部５９による位相差の測
定は、図１３に示す従来例と同様に行なわれるので、説
明は省略する。また、位相差を時間差として測定できる
のは勿論である。

【００２９】以上により、補正後の位相差は、 Ｄ＊Ｃ＊Ａ｛２α＋（βｂ−βａ）｝ となる。この式でβｂ−βａはほぼ一定の値であり、オ
フセット量として補正することができるので、最終的な
位相差は次式となる。Ｄ＊Ｃ＊Ａ＊２α

【００３０】なお、以上では増幅率可変増幅器を上流
側，下流側の双方に設けるようにしたが、何れか一方に
のみ設けるようにしても良いのはいうまでもない。ま
た、上記ＲＯＭテーブル６４では位相遅れ量を増幅率制
御電圧，周囲温度および周波数の関数としたが、増幅
率，周囲温度および周波数の少なくとも１つの関数とし
得るのも勿論である。

【００３１】

【発明の効果】この発明によれば、上流側，下流側のピ
ックアップ信号の位相差を測定するに当たり、上流側，
下流側のピックアップ信号の振幅を一致させるためのＡ
ＧＣ増幅器と、この増幅器の増幅率による位相遅れを補
正する補正回路とを設けるようにしたので、上流側，下
流側のピックアップ信号の振幅差による誤差を軽減しつ
つ、両信号の位相差を精度良く測定することが可能にな
るという利点がもたらされる。また、ＡＧＣ増幅器の設
置態様、または位相遅れ補正回路内に設けられるメモリ
の構成方法などを考慮することで、構成の簡略化，低コ
ストさらには使用態様に応じた自由度を持たせることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示すブロック図である。

【図２】増幅率可変増幅器の温度による位相遅れ特性を
示す特性図である。

【図３】増幅率可変増幅器の周波数による位相遅れ特性
を示す特性図である。

【図４】コリオリ質量流量計の原理構成図である。

【図５】Ｕ字配管の振動の様子を説明するための説明図
である。

【図６】Ｕ字配管のコリオリ力の捩じりトルクにより発
生する振動モードの説明図である。

【図７】Ｕ字配管にコリオリ力が発生した場合のピック
アップ信号例を示す波形図である。

【図８】カウンタ方式による位相差検出回路を示す構成
図である。

【図９】直管式コリオリ質量流量計の１例を示す構造図
である。

【図１０】差動式位相差検出回路の従来例を示す構成図
である。

【図１１】図１０の各部動作波形を説明するための波形
図である。

【図１２】図１０の場合の測定誤差を説明するための説
明図である。

【図１３】図１０の変形例を示す構成図である。

【図１４】図１３に示すＡＧＣ増幅器の遅れを示すグラ
フである。

【符号の説明】

１…Ｕ字配管、２…磁石、３…基台、４…電磁駆動用コ
イル、５…支持枠、１１，１２…電磁ピックアップ、１
５…直管、２２，２９…増幅器、２３，３４…コンパレ
ータ、２４…排他論理和回路、２６…カウンタ、２７…
基準クロック、２８…差分器、３０…符号制御器、３１
…周波数逓倍器、３２，５５…積分回路、３３…定電流
回路、３５，５２ａ，５２ｂ…ＡＧＣ増幅器、５０ａ，
５０ｂ…ローパスフィルタ（ＬＰＦ）、５１ａ，５１ｂ
…バッファ、５３ａ，５３ｂ…ピークデテクタ、５４…
減算回路、５６ａ，５６ｂ…増幅率設定回路、５７…加
算回路、５８…上・下流振動振幅差検出部、５９…振幅
制御回路、６０…位相差測定部、６１…演算処理装置、
６２ａ，６２ｂ…Ａ／Ｄ変換器、６３…温度センサ、６
４…ＲＯＭテーブル。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動する配管内に流体を流し、その流れ
   と配管の角振動によって発生するコリオリ力により配管
   を捩じれ振動させ、その振動の位相差または時間差から
   質量流量を求めるコリオリ式質量流量計において、 前記配管の非対称たわみ振動を検出する１対の検出器
   と、この１対の検出器の少なくとも一方の出力側に接続
   されてその出力を増幅する増幅率可変増幅器と、この増
   幅器出力の振幅差を検出する振幅差検出手段と、前記増
   幅器の増幅率を前記振幅差検出手段からの出力に応じて
   制御することにより、前記増幅器の出力振幅を一致させ
   る振幅制御手段と、この同一振幅化された増幅器出力信
   号の位相差または時間差を求める位相・時間差測定手段
   と、この位相・時間差測定手段からの出力を前記増幅器
   の伝達遅延量に応じて補正する補正手段とを設けたこと
   を特徴とするコリオリ式質量流量計。
2. 【請求項２】 前記増幅器を１対の検出器の双方に対し
   て設けたときは、一方の増幅器の増幅率を前記振幅差検
   出手段からの出力に応じて可変とし、他方の増幅器の増
   幅率は固定とすることを特徴とする請求項１に記載のコ
   リオリ式質量流量計。
3. 【請求項３】 前記補正手段を、前記増幅器の増幅率制
   御電圧を検出する電圧検出手段と、前記増幅器の動作周
   波数を検出する周波数検出手段と、前記増幅器の周囲温
   度を検出する温度検出手段と、前記増幅器の増幅率制御
   電圧，周波数および周囲温度の少なくとも１つと前記増
   幅器の伝達遅延量との関係を予め記憶しておく記憶手段
   と、前記各検出手段からの出力に応じてその記憶内容を
   読み出し、その値を用いて前記位相・時間差測定手段の
   出力値を補正する演算処理手段とから構成することを特
   徴とする請求項１に記載のコリオリ式質量流量計。