JPH0880476A

JPH0880476A - 角型基板洗浄装置

Info

Publication number: JPH0880476A
Application number: JP6217310A
Authority: JP
Inventors: Yasumasa Shima; 泰正志摩; Katsumi Shimaji; 克己嶋治; Satoshi Taniguchi; 訓谷口
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-09-12
Filing date: 1994-09-12
Publication date: 1996-03-26

Abstract

(57)【要約】【目的】角型基板表面の長辺に沿った端部を良好に洗
浄することが可能な角型基板洗浄装置を提供する。【構成】前側および後側コンベア部２１Ｆ，２１Ｒと
が水平方向Ｘに一定間隔だけ離隔して直列配置されて、
角型基板６を水平に保持しつつ、その短辺に沿った搬送
方向（水平方向Ｘ）に搬送させる。これらのコンベア部
２１Ｆ，２１Ｒの間にブラシ洗浄部２４が配設される。
このブラシ洗浄部２４では、角型基板６を下方から支え
ながら水平搬送する４つのローラ２５ａ〜２５ｄが所定
間隔で設けらる。また、ローラ２５ｂ，２５ｃの間の上
方側に洗浄用のロールブラシ２８が回転自在に設けら
れ、図示を省略するブラシ回転駆動部からの駆動力を受
けて、回転することで、搬送されてくる角型基板６の表
面と摺接して基板洗浄を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、角型基板洗浄装置、特
に液晶用ガラス角型基板，フォトマスク用角型基板，カ
ラーフィルタ用角型基板およびプリント角型基板などの
角型基板を洗浄する角型基板洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、角型基板の表面に洗浄液を供
給して基板洗浄処理を行う装置としては、例えば互いに
平行に水平配置された多数の搬送ローラによって角型基
板を水平状態で搬送しつつ、角型基板のパスライン上に
配設されたロールブラシを搬送される角型基板の表面に
摺接させることで、当該角型基板の洗浄処理を行う角型
基板洗浄装置が知られている。

【０００３】ここで、角型基板６は一般的には図８に示
すように長さＬの長辺と長さＷ（＜Ｌ）の短辺を有する
長方形であり、以下の理由から角型基板６をその長辺に
沿った搬送方向Ｘに搬送している。すなわち、角型基板
６をその長辺に沿って搬送するとロールブラシの長さは
その短辺をカバーすれば良いので、角型基板６をその短
辺に沿って搬送する場合に比べてロールブラシの長さを
短くすることができるのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に構成された角型基板洗浄装置により洗浄処理を行う前
には、角型基板に対して成膜処理や剥離処理などが施さ
れており、これらの処理の間に、図８に示すように、角
型基板６の長辺に沿った端部６Ｌにローラ跡（同図の斜
線領域）７が形成されてしまうことがある。このローラ
跡７は、角型基板６を搬送する際の基板スリップを防止
するために、当該角型基板６の上面の端部６Ｌにロー
ラ、いわゆる上のせローラを当接させることから生じる
ものである。

【０００５】このようなローラ跡７を有する角型基板６
をその長辺に沿って矢印Ｘの搬送方向に搬送しつつ、ロ
ールブラシを角型基板６の表面に摺接させて洗浄処理す
る従来の装置では、ローラ跡７が形成された端部６Ｌを
ロールブラシの端部で洗浄することとなり、当該端部６
Ｌを良好に洗浄することが困難であった。また、搬送速
度を遅くすることで角型基板６へのロールブラシの摺接
時間を長くすることで端部６Ｌの洗浄することも考えら
れるが、処理に長時間を要することになる。

【０００６】本発明の目的は、上述のような問題に鑑み
てなされたものであって、短時間で角型基板表面の長辺
に沿った端部を良好に洗浄することが可能な角型基板洗
浄装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、角型
基板の表面を洗浄する角型基板洗浄装置であって、上記
目的を達成するため、角型基板をその短辺に沿った搬送
方向に搬送する搬送手段と、前記角型基板の表面に対し
摺接自在に配設されたブラシを有し、当該ブラシを前記
搬送手段によって搬送される角型基板の表面に摺接させ
て当該角型基板表面を洗浄する洗浄手段と、を有してい
る。

【０００８】請求項２の発明は、前記搬送方向に対して
直交する方向に伸びる回転軸回りに回転自在な複数の搬
送ローラを互いに平行に前記搬送方向に連設することで
前記搬送手段を構成し、当該複数の搬送ローラにより角
型基板を水平に支持しながら前記搬送方向に搬送するよ
うにしている。

【０００９】請求項３の発明は、前記洗浄手段に、前記
搬送手段によって搬送される角型基板の表面に向けて洗
浄液を供給する洗浄液供給手段を含めている。

【００１０】請求項４の発明は、前記ブラシを前記複数
の搬送ローラの回転軸に平行な回転軸回りに回転自在な
ロールブラシとしている。

【００１１】請求項５の発明は、角型基板の長辺近傍に
おける前記ブラシの摺接時間が長辺近傍以外の表面領域
への摺接時間よりも長くなるように、前記角型基板の搬
送速度を制御しながら前記角型基板を搬送している。

【００１２】請求項６の発明は、角型基板を前記搬送方
向に往復搬送可能とし、角型基板の長辺近傍が前記ブラ
シと摺接する間、当該角型基板を少なくとも１回往復搬
送している。

【００１３】

【作用】請求項１の発明では、搬送手段によって角型基
板がその短辺に沿った搬送方向に搬送されつつ、ブラシ
が当該角型基板の表面に摺接して、当該角型基板表面が
洗浄される。

【００１４】請求項２の発明では、複数の搬送ローラが
互いに平行に搬送方向に連設され、角型基板を水平に支
持しながら搬送方向に搬送する。

【００１５】請求項３の発明では、洗浄液供給手段から
搬送手段によって搬送される角型基板の表面に向けて洗
浄液が供給される。

【００１６】請求項４の発明では、搬送ローラの回転軸
に平行な回転軸回りに回転自在なロールブラシが角型基
板の表面に摺接して当該角型基板を洗浄する。

【００１７】請求項５の発明では、角型基板の搬送速度
が制御されて角型基板の長辺近傍におけるブラシの摺接
時間が長辺近傍以外の表面領域への摺接時間よりも長く
なり、角型基板の長辺に沿った端部が効果的に洗浄され
る。

【００１８】請求項６の発明では、角型基板の長辺近傍
が前記ブラシと摺接する間、当該角型基板が少なくとも
１回往復搬送して、角型基板の長辺に沿った端部が効果
的に洗浄される。

【００１９】

【実施例】図１は、この発明にかかる角型基板洗浄装置
の一実施例を備えた基板洗浄システムを示す平面図であ
る。また、図２は図１の部分側面図であり、この実施例
にかかる角型基板洗浄装置を示す図である。さらに、図
３はこの実施例にかかる角型基板洗浄装置の正面図であ
る。この基板洗浄システムは、インデクサ装置１と、実
施例にかかる角型基板洗浄装置２と、ロボット装置３と
で構成されている。

【００２０】このインデクサ装置１には、角型基板を複
数枚、例えば２５枚収納可能なカセット４Ａ，４Ｂを載
置するためのカセット載置部１１が方向Ｘに沿って２箇
所に設けられている。このため、図示を省略するＡＧＶ
（auto guided vehicle：自動搬送ロボット）により当
該装置に搬送されてきたカセット４Ａ，４Ｂが各カセッ
ト載置部１１に載置されると、インデクサ装置１では２
つのカセット４Ａ，４Ｂが方向Ｘに配列されることにな
り、ロボット装置３によるカセット４Ａ，４Ｂからの角
型基板の取出しおよびカセット４Ａ，４Ｂへの角型基板
の収納が可能となる。つまり、インデクサ装置１は基板
供給部としても基板排出部としても機能する。

【００２１】角型基板洗浄装置２では、図２に示すよう
に、前側および後側コンベア部２１Ｆ，２１Ｒとが水平
方向Ｘに一定間隔だけ離隔して直列配置されている。各
コンベア部２１Ｆ，２１Ｒには、複数の搬送ローラ２１
が互いに平行に方向Ｘに連設されている。各搬送ローラ
２１は図３に示すように支軸２２を有しており、この支
軸２２の両端側に一対の段付ローラ２３，２３が角型基
板６の長辺側の幅Ｌだけ離隔固定されている。各段付ロ
ーラ２３は小輪２３ａとガイド輪２３ｂとで構成されて
おり、小輪２３ａで角型基板６の両端部を支持する一
方、ガイド輪２３ｂで角型基板６の蛇行を防止してい
る。また、各搬送ローラ２１は駆動部（図示省略）と連
結され、その駆動部からの駆動力に応じて回転して、角
型基板６をその短辺に沿った矢印方向（水平方向）Ｘに
搬送させる。このように、この実施例では、前側および
後側コンベア部２１Ｆ，２１Ｒで角型基板６を水平に保
持しつつ、その短辺に沿った搬送方向（水平方向Ｘ）に
搬送させる搬送部が構成されている。

【００２２】また、これらのコンベア部２１Ｆ，２１Ｒ
の間にブラシ洗浄部２４が配設されている。このブラシ
洗浄部２４では、角型基板６を下方から支えながら水平
搬送する４つのローラ２５ａ〜２５ｄが角型基板６のパ
スラインに沿って所定間隔で設けられている。また、ロ
ーラ２５ａ，２５ｄに対向して上方側に上のせローラ２
６ａ，２６ｄが設けられており、それぞれの両端部に固
定された小輪２７ａ（２７ｄ）が角型基板６の上面の端
部に当接して角型基板６のスリップを防止している。

【００２３】一方、ローラ２５ｂ，２５ｃの間の上方側
に洗浄用のロールブラシ２８が回転自在に設けられ、図
示を省略するブラシ回転駆動部からの駆動力を受けて、
搬送ローラ２１の支軸（回転軸）２２に平行な回転軸回
りに回転するように構成されている。なお、ロールブラ
シ２８の近傍には、ロールブラシ２８に洗浄水（例えば
純水）を供給するためのノズル２９が配置されている。

【００２４】図４は、ロボット装置３を示す斜視図であ
る。このロボット装置３は、インデクサ装置１と角型基
板洗浄装置２とで挟まれた搬送通路５（図１）に配置さ
れている。この搬送通路５では、方向Ｘに伸びるガイド
レール３１が装置本体の底部に固定され、そのガイドレ
ール３１に沿って基台３２が往復移動自在となってい
る。また、この基台３２には、図示を省略するＸ駆動機
構が連結されており、装置全体を制御する制御部（図示
省略）からの指令に応じてＸ駆動機構が動作し、基台３
２を方向Ｘに移動させる。

【００２５】この基台３２には、３軸搬送ロボット３３
が固定されており、上記Ｘ駆動機構により搬送ロボット
３３をカセット４Ａ，４Ｂの配列およびコンベア部２１
Ｆ，２１Ｒの配列に沿って往復移動させ、任意のカセッ
ト４Ａ，４Ｂあるいはコンベア部２１Ｆ，２１Ｒの前に
位置させることができるようになっている。

【００２６】この搬送ロボット３３は、ロボット本体３
４から垂直方向Ｚに伸縮するコラム３５を有しており、
コラム３５に連結されたＺ駆動機構（図示省略）が制御
部からの指令を受け、コラム３５を方向Ｚに伸縮駆動す
る。このコラム３５の先端には、水平方向に伸びる第１
アーム３６の一方端が回転軸Ａ1回りに回転自在に取り
付けられている。また、第１アーム３６の他方端に第２
アーム３７の一方端が、また第２アーム３７の他方端に
ハンド３８の一方端が、それぞれ回転軸Ａ2，Ａ3回りに
回転自在となっている。そして、搬送ロボット３３に
は、図面への図示を省略しているが、回転軸Ａ1を回転
駆動するモータが設けられているとともに、その回転に
連動して回転軸Ａ2が回転させられ、さらにその回転に
連動して回転軸Ａ3が回転させられるようにそれぞれの
回転軸間にリンク機構が設けられている。さらに、ハン
ド３８の他方端部には、複数の吸着孔が設けられてお
り、ハンド３８上で角型基板を吸着保持することができ
るようになっている。

【００２７】このため、この搬送ロボット３３では、ハ
ンド３８により角型基板を吸着保持した状態で、制御部
からの指令に応じて、ハンド３８を三次元的に移動させ
ることができ、搬送ロボット３３の停止位置に対応する
カセット４Ａ，４Ｂと角型基板洗浄装置２との間で基板
搬入および基板搬出を行うことができる。

【００２８】なお、この実施例では上記のように、ロボ
ット装置３をＸ駆動機構によりガイドレール３１に沿っ
て方向Ｘに往復移動する基台３２上に３軸搬送ロボット
３３を固定し、角型基板を３次元的に搬送可能としてい
るが、ロボット装置３の構成はこれに限定されるもので
はなく、カセット４Ａ，４Ｂと角型基板洗浄装置２の間
で角型基板を搬送することができる構成であれば、任意
である。

【００２９】次に、以上のように構成された基板洗浄シ
ステムの動作について説明する。ここでは、一方のカセ
ット４Ａを未処理の角型基板を収納した未処理用カセッ
トとし、他方のカセット４Ｂを洗浄処理を完了した処理
済用カセットとし、１枚の角型基板についてどのような
順序で洗浄処理が行われるかについて説明する。なお、
図１において、２点鎖線の矢印Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3は角型基
板の搬送経路を示している。

【００３０】まず、搬送ロボット３３を方向Ｘに移動さ
せカセット４Ａの手前で停止させた後、コラム３５を上
昇させてハンド３８をカセット４Ａ内の未処理の角型基
板の高さよりもわずかに低い位置に位置決めする。そし
て、モータを駆動させてハンド３８を当該角型基板の裏
面直下まで前進させる。その後、コラム３５をさらに上
昇させてハンド３８上に角型基板を搭載し、吸着保持す
るとともに、角型基板をカセット４Ａから浮かす。それ
に続いて、モータを駆動してハンド３８を後退させて、
カセット４Ａからの角型基板を取出す。

【００３１】次に、上記のようにして取出した角型基板
を図１の矢印Ｒ1に示すように角型基板洗浄装置２側に
搬送し、その短辺が角型基板洗浄装置２内での搬送方向
Ｘと平行となるようにして、コンベア部２１Ｆに載置す
る（図１）。

【００３２】それに続いて、図５に示すように、搬送ロ
ーラ２１を矢印Ａ方向に回転させ、角型基板６を搬送方
向Ｘに一定速度で搬送する（矢印Ｒ2）。また、ノズル
２９から純水を供給するとともに、ロールブラシ２８を
矢印（−Ａ）方向に回転して、角型基板６のブラシ洗浄
が可能な状態になる。そして、角型基板６がブラシ洗浄
部２４に搬送されてくると、ロールブラシ２８が角型基
板６の長辺近傍、つまりローラ跡７が形成されている端
部６Ｌに摺接して、当該ローラ跡７が洗浄除去される。
このように、この実施例では、図１に示すように、角型
基板６をその短辺に沿った搬送方向Ｘに搬送しつつ、ロ
ールブラシ２８の長手方向全体を当該角型基板６の表面
に摺接させて、当該角型基板表面を洗浄するようにして
いるので、ローラ跡７を効果的に洗浄することができ
る。さらに、搬送方向Ｘへの角型基板搬送が進むと、角
型基板６の中央部が洗浄されるに続いて、もう一方のロ
ーラ跡７が形成された端部６Ｌが上記と同様にして効果
的に洗浄された後、搬送ローラ２１Ｒ側に所定位置まで
搬送される（図６）。そして、搬送ローラ２１およびロ
ールブラシ２８の回転を停止させて、角型基板洗浄装置
２での基板洗浄処理を完了する。

【００３３】なお、本実施例においてロールブラシ２８
は基板の搬送方向に対して正回転となるように矢印（−
Ａ）方向に回転させられていたが、これに限らず、ロー
ルブラシ２８が基板の搬送方向に対して逆回転となるよ
うに矢印（Ａ）方向に回転させても良い。

【００３４】その後、上記と同様に、搬送ロボット３３
をコンベア部２１Ｒの手前まで移動させた後、ハンド３
８をコンベア部２１Ｒ側に前進させ、コンベア部２１Ｒ
からハンド３８への角型基板の移載を行い、さらに角型
基板を吸着保持した状態のままでハンド３８を後退させ
る。その後、搬送ロボット３３をカセット４Ｂの手前ま
で移動させた後、カセット４Ａから角型基板を取り出す
処理とは逆の動作で角型基板をカセット４Ｂ内に収納す
る（矢印Ｒ3）。これにより、基板洗浄システムによる
洗浄処理を受けた角型基板がカセット４Ｂに移され、１
枚の角型基板に対する洗浄処理が完了する。

【００３５】なお、上記の一連の動作は繰り返されて、
カセット４Ａに収納されている角型基板のすべてについ
て実行される。

【００３６】ところで、上記実施例では、角型基板６を
一定速度で搬送しているが、ローラ跡７が形成された端
部６Ｌがロールブラシ２８に摺接する位置（図５の状
態）で角型基板搬送を一定時間だけ停止するように基板
搬送を制御することで当該ローラ跡７をより完全に洗浄
除去することができる。

【００３７】また、搬送ローラ２１およびロールブラシ
２８を正逆回転可能に構成することで、以下のようにロ
ーラ跡７の部分を念入りに洗浄することができる。すな
わち、上記実施例同様に基板搬送を開始させた後、まず
一方の端部６Ｌがロールブラシ２８の下を一旦通過して
から、図７に示すように搬送ローラ２１を矢印（−Ａ）
方向に回転させるとともにロールブラシ２８を矢印Ａ方
向に逆回転させて、その端部６Ｌが再びロールブラシ２
８の下を通過するまで角型基板６を（−Ｘ）方向に戻し
て端部６Ｌを再度洗浄する。そして、再度搬送ローラ２
１およびロールブラシ２８の回転方向を元に戻して角型
基板６を搬送方向Ｘに搬送し、もう一方のローラ跡７が
形成されている端部６Ｌがブラシ洗浄部２４に搬送され
てくると、上記と同様に角型基板６を方向Ｘおよび（−
Ｘ）に往復移動させながらロールブラシ２８で洗浄す
る。このように、各端部６Ｌを複数回ロールブラシ２８
により洗浄を行うことで、ローラ跡７をより完全に洗浄
除去することが可能となる。ここでは、各端部６Ｌに対
応して１回往復搬送させているが、複数回往復搬送させ
ることで、さらに洗浄効果を高めることができる。

【００３８】なお、本実施例においてロールブラシ２８
は基板の搬送方向に対して常に正回転となるように基板
の搬送方向に逆転にしたがってその回転方向を反転させ
られていたが、これに限らず、基板の搬送方向をのみを
逆転させてロールブラシ２８の回転方向はこれにしたが
って反転させなくても良い。

【００３９】なお、上記実施例では、角型基板洗浄装置
２を備えた基板洗浄システムを例に挙げて説明したが、
角型基板洗浄装置２を単独で使用して角型基板６の洗浄
処理を行う場合にも、上記の効果が得られることはいう
までもない。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１ないし６
の発明によれば、角型基板をその短辺に沿った搬送方向
に搬送しながら、ブラシを当該角型基板の表面に摺接さ
せて当該角型基板表面を洗浄するようにしているので、
角型基板表面の長辺に沿った端部を良好に洗浄すること
ができる。

【００４１】特に、請求項５の発明では、角型基板の長
辺近傍における前記ブラシの摺接時間が長辺近傍以外の
表面領域への摺接時間よりも長くなるように、前記角型
基板の搬送速度を制御しながら角型基板を搬送するよう
に構成しているため、角型基板の長辺に沿った端部を効
果的に洗浄することができる。

【００４２】さらに、請求項６の発明では、角型基板を
前記搬送方向に往復搬送可能に構成し、角型基板の長辺
近傍が前記ブラシと摺接する間、当該角型基板を少なく
とも１回往復搬送するようにしているので、角型基板の
長辺に沿った端部を効果的に洗浄することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる角型基板洗浄装置の一実施例
を備えた基板洗浄システムを示す平面図である。

【図２】図１の部分側面図である。

【図３】上記実施例にかかる角型基板洗浄装置の正面図
である。

【図４】図１の基板洗浄システムのロボットを示す斜視
図である。

【図５】上記実施例の角型基板洗浄装置の動作を示す図
である。

【図６】上記実施例の角型基板洗浄装置の動作を示す図
である。

【図７】図１−４の構成を有する基板洗浄システム中の
角型基板洗浄装置の別実施例の動作を示す図である。

【図８】角型基板洗浄装置に搬送されてくる角型基板の
表面状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

２角型基板洗浄装置６角型基板２１Ｆ，２１Ｒコンベア部（搬送部）２４ブラシ洗浄部（洗浄部）２８ロールブラシ２９ノズル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】角型基板の表面を洗浄する角型基板洗浄
装置において、角型基板をその短辺に沿った搬送方向に搬送する搬送手
段と、前記角型基板の表面に対し摺接自在に配設されたブラシ
を有し、当該ブラシを前記搬送手段によって搬送される
角型基板の表面に摺接させて当該角型基板表面を洗浄す
る洗浄手段と、を有することを特徴とする角型基板洗浄
装置。
【請求項２】前記搬送手段が、前記搬送方向に対して
直交する方向に伸びる回転軸回りに回転自在な複数の搬
送ローラを互いに平行に前記搬送方向に連設してなり、
当該複数の搬送ローラにより角型基板を水平に支持しな
がら前記搬送方向に搬送する請求項１記載の角型基板洗
浄装置。
【請求項３】前記洗浄手段が、前記搬送手段によって
搬送される角型基板の表面に向けて洗浄液を供給する洗
浄液供給手段を含む請求項２記載の角型基板洗浄装置。
【請求項４】前記ブラシが前記複数の搬送ローラの回
転軸に平行な回転軸回りに回転自在なロールブラシであ
る請求項２記載の角型基板洗浄装置。
【請求項５】前記搬送手段は、角型基板の長辺近傍に
おける前記ブラシの摺接時間が長辺近傍以外の表面領域
への摺接時間よりも長くなるように、前記角型基板の搬
送速度を制御しながら前記角型基板を搬送する請求項２
記載の角型基板洗浄装置。
【請求項６】前記搬送手段は、角型基板を前記搬送方
向に往復搬送可能に構成され、角型基板の長辺近傍が前
記ブラシと摺接する間、当該角型基板を少なくとも１回
往復搬送する請求項２記載の角型基板洗浄装置。