JPH088049Y2 - ステージ往復駆動装置 - Google Patents
ステージ往復駆動装置Info
- Publication number
- JPH088049Y2 JPH088049Y2 JP1988160566U JP16056688U JPH088049Y2 JP H088049 Y2 JPH088049 Y2 JP H088049Y2 JP 1988160566 U JP1988160566 U JP 1988160566U JP 16056688 U JP16056688 U JP 16056688U JP H088049 Y2 JPH088049 Y2 JP H088049Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- stage
- roller
- reciprocating drive
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Machine Tool Units (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体パッケージ等を支持して移動するス
テージの直線駆動等に利用されるステージ往復駆動装置
に関する。
テージの直線駆動等に利用されるステージ往復駆動装置
に関する。
（従来の技術と解決すべき課題） 往復移動用ステージの直線駆動機構としては、送りね
じやラックピニオン方式のものが広く利用されている。
じやラックピニオン方式のものが広く利用されている。
これらの方式では、あまり高速の移動を達成できない。
また停止時の減衰特性が悪く、バックラッシュがある。
また、コンパクトにまとまらない等の欠点があった。
また停止時の減衰特性が悪く、バックラッシュがある。
また、コンパクトにまとまらない等の欠点があった。
半導体素子や装置の製造の過程において、数多くの処理
や加工および検査等が必要となる。それらの素子の個々
は軽量ではあるが、高速で移動させる必要がある。
や加工および検査等が必要となる。それらの素子の個々
は軽量ではあるが、高速で移動させる必要がある。
例えば、ICパッケージの端子の配列を全製品について検
査しようとするときにはICパッケージを支持して検査位
置に迅速に搬送して搬出する必要がある。
査しようとするときにはICパッケージを支持して検査位
置に迅速に搬送して搬出する必要がある。
本考案の目的は、ICの自動検査機構等において、被検
体であるICを高速，高減衰性，ノンバックラッシュで行
うことができるステージ往復駆動装置を提供することに
ある。
体であるICを高速，高減衰性，ノンバックラッシュで行
うことができるステージ往復駆動装置を提供することに
ある。
（課題を解決するための手段） 前記目的を達成するために、本考案によるステージ往
復駆動装置は、 少なくとも２つの平行平面を有するロッドと、 前記ロッドを直線往復駆動可能に支持する案内ローラ
および前記案内ローラに前記ロッドを押しつける押しつ
けローラと、 前記ロッドと駆動対象のステージ間に設けられ前記ロ
ッドの先端を前記ステージの側面に当接させて結合する
ばねによる連結部材と、 前記ロッドの平面に接触して回転し前記ロッドを進退
させるキャプスタンローラと、 前記キャプスタンローラを駆動するモータから構成さ
れている。
復駆動装置は、 少なくとも２つの平行平面を有するロッドと、 前記ロッドを直線往復駆動可能に支持する案内ローラ
および前記案内ローラに前記ロッドを押しつける押しつ
けローラと、 前記ロッドと駆動対象のステージ間に設けられ前記ロ
ッドの先端を前記ステージの側面に当接させて結合する
ばねによる連結部材と、 前記ロッドの平面に接触して回転し前記ロッドを進退
させるキャプスタンローラと、 前記キャプスタンローラを駆動するモータから構成さ
れている。
以下、図面等を参照して、本考案をさらに詳しく説明
する。
する。
第１図は本考案によるステージ駆動装置の実施例の略図
である。
である。
第２図は前記ステージ駆動装置の駆動部の実施例の平面
図（Ｂ）および一部破断して示した側断面図（Ａ），
（Ｃ）である。
図（Ｂ）および一部破断して示した側断面図（Ａ），
（Ｃ）である。
ほぼ正方形の断面をもつロッド５は、案内ローラ群によ
り直線往復動可能に支持されている。
り直線往復動可能に支持されている。
地板20には、案内ローラ群を構成するガイドローラ4a,4
bが設けられている。
bが設けられている。
同様に前記地板20に偏心軸で支持されている押しつけロ
ーラ7a,7bは、その軸の位置が調節されて、ロッド５を
前記ガイドローラ4a,4bに押しつけ挟み着けている。
ーラ7a,7bは、その軸の位置が調節されて、ロッド５を
前記ガイドローラ4a,4bに押しつけ挟み着けている。
ロッド５の先端は、連結部材を形成するばね11により、
被駆動対象であるステージ９に弾性的に押しつけられて
おり、ロッド５の進出によりステージ９を押し、後退の
際は十分に強い前記ばね11によりステージ９をロッド５
に弾圧した状態で引き戻す。なお、この構造ではロッド
５とステージ９の芯合わせは不要である。
被駆動対象であるステージ９に弾性的に押しつけられて
おり、ロッド５の進出によりステージ９を押し、後退の
際は十分に強い前記ばね11によりステージ９をロッド５
に弾圧した状態で引き戻す。なお、この構造ではロッド
５とステージ９の芯合わせは不要である。
ステージ９は、ステージ台12上に移動可能に載置されて
いる。
いる。
キャプスタンローラ３は第２図に示されているように、
地板20とこれに並行に設けられている押え板21にそれぞ
れ設けられた軸受けにより支持されている。
地板20とこれに並行に設けられている押え板21にそれぞ
れ設けられた軸受けにより支持されている。
キャプスタンローラ３はロッド５に接触させられて、モ
ータ１により回転させられる。
ータ１により回転させられる。
キャプスタンローラ３は第１図および第２図（Ａ）に示
す出力連結部材２によりモータ１に連結させられてお
り、モータ１の正逆回転が伝達されロッド５を進退さ
せ、ステージ９を駆動する。
す出力連結部材２によりモータ１に連結させられてお
り、モータ１の正逆回転が伝達されロッド５を進退さ
せ、ステージ９を駆動する。
（考案の効果） 以上詳しく説明したように、本考案によるステージ往
復駆動装置は、 少なくとも２つの平行平面を有するロッド５と、 前記ロッド５を直線往復駆動可能に支持する案内ロー
ラ4a,4bおよび前記案内ローラ4a,4bに前記ロッド５を押
しつける押しつけローラ7a,7bと、 前記ロッド５と駆動対象のステージ９間にばね11を設
け前記ロッド５の先端を前記ステージ９に当接させて結
合する結合部材と、 前記ロッドの平面に接触して回転し前記ロッドを進退
させるキャプスタンローラと、 前記キャプスタンローラを駆動するモータから構成さ
れている。
復駆動装置は、 少なくとも２つの平行平面を有するロッド５と、 前記ロッド５を直線往復駆動可能に支持する案内ロー
ラ4a,4bおよび前記案内ローラ4a,4bに前記ロッド５を押
しつける押しつけローラ7a,7bと、 前記ロッド５と駆動対象のステージ９間にばね11を設
け前記ロッド５の先端を前記ステージ９に当接させて結
合する結合部材と、 前記ロッドの平面に接触して回転し前記ロッドを進退
させるキャプスタンローラと、 前記キャプスタンローラを駆動するモータから構成さ
れている。
したがって、高速移動が可能で、停止時における振動の
減衰性が良く、バックラッシュがない。
減衰性が良く、バックラッシュがない。
そして、本考案によるステージ往復駆動装置は、構造が
簡単でコンパクトな機構で実現でき、ストロークはあま
り大きくないが、迅速な繰り返し動作が要求される半導
体ウェーハの検査装置などに有効に利用できる。
簡単でコンパクトな機構で実現でき、ストロークはあま
り大きくないが、迅速な繰り返し動作が要求される半導
体ウェーハの検査装置などに有効に利用できる。
第１図は本考案によるステージ駆動装置の実施例の略図
である。 第２図は前記ステージ駆動装置の駆動部の実施例の平面
図（Ｂ）および一部破断して示した側断面図（Ａ），
（Ｃ）である。 １……モータ ２……出力連結部 ３……キャプスタンローラ 4a,4b……ガイドローラ ５……ロッド 7a,7b……押しつけローラ ９……ステージ 11……引っ張りばね 12……ステージ台 20……地板 21……押え板
である。 第２図は前記ステージ駆動装置の駆動部の実施例の平面
図（Ｂ）および一部破断して示した側断面図（Ａ），
（Ｃ）である。 １……モータ ２……出力連結部 ３……キャプスタンローラ 4a,4b……ガイドローラ ５……ロッド 7a,7b……押しつけローラ ９……ステージ 11……引っ張りばね 12……ステージ台 20……地板 21……押え板
Claims (1)
- 【請求項１】少なくとも２つの平行平面を有するロッド
と、 前記ロッドを直線往復駆動可能に支持する案内ローラお
よび前記案内ローラに前記ロッドを押しつける押しつけ
ローラと、 前記ロッドと駆動対象のステージ間に設けられ前記ロッ
ドの先端を前記ステージの側面に当接させて結合するば
ねによる連結部材と、 前記ロッドの平面に接触して回転し前記ロッドを進退さ
せるキャプスタンローラと、 前記キャプスタンローラを駆動するモータから構成した
ステージ往復駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988160566U JPH088049Y2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | ステージ往復駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988160566U JPH088049Y2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | ステージ往復駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282441U JPH0282441U (ja) | 1990-06-26 |
| JPH088049Y2 true JPH088049Y2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=31442741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988160566U Expired - Lifetime JPH088049Y2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | ステージ往復駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088049Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118002823B (zh) * | 2024-04-09 | 2024-06-21 | 常州富丽康精密机械有限公司 | 一种多工位智能夹持式直线导轨生产专用钻孔设备 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8500930A (nl) * | 1985-03-29 | 1986-10-16 | Philips Nv | Verplaatsingsinrichting met voorgespannen contactloze lagers. |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP1988160566U patent/JPH088049Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0282441U (ja) | 1990-06-26 |
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