JPH0882383A - 弁装置の異常検出装置 - Google Patents
弁装置の異常検出装置Info
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- JPH0882383A JPH0882383A JP21909994A JP21909994A JPH0882383A JP H0882383 A JPH0882383 A JP H0882383A JP 21909994 A JP21909994 A JP 21909994A JP 21909994 A JP21909994 A JP 21909994A JP H0882383 A JPH0882383 A JP H0882383A
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Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弁座からの漏洩のような異常状態を検出し、
検出によって得た情報に基づいて弁ステムの駆動装置を
制御して異常状態に対して弁自体で処置できるようにす
る異常検出装置を提供する。 【構成】 ステム4には、弁箱1の外部にあるステム部
分の内部に、振動センサが配置されている。弁箱外部に
配置された制御装置15により、弁体3が全閉位置にあ
る場合、振動センサが弁座1a,3aの漏洩による振動
を検出した時に弁体を全閉位置から更に閉方向に駆動し
て、振動がなくなるまで駆動装置13の作動を制御す
る。
検出によって得た情報に基づいて弁ステムの駆動装置を
制御して異常状態に対して弁自体で処置できるようにす
る異常検出装置を提供する。 【構成】 ステム4には、弁箱1の外部にあるステム部
分の内部に、振動センサが配置されている。弁箱外部に
配置された制御装置15により、弁体3が全閉位置にあ
る場合、振動センサが弁座1a,3aの漏洩による振動
を検出した時に弁体を全閉位置から更に閉方向に駆動し
て、振動がなくなるまで駆動装置13の作動を制御す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、高温高圧の蒸
気を扱う原子力発電所等のプラントにおいて使用するの
に適する弁装置に関し、特に、弁内部流体の漏洩等の異
常を検知するセンサを弁装置のステムに設けた異常検出
装置に関するものである。
気を扱う原子力発電所等のプラントにおいて使用するの
に適する弁装置に関し、特に、弁内部流体の漏洩等の異
常を検知するセンサを弁装置のステムに設けた異常検出
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、弁の異常を判断する方法は、弁の
定期検査時に、弁体と直結するステムの駆動に要する電
流、電圧の値を計測することによりステムに作用する負
荷を検出し、この負荷情報を利用して、弁の異常の有無
や、ステム駆動部の異常の有無を判定していた。
定期検査時に、弁体と直結するステムの駆動に要する電
流、電圧の値を計測することによりステムに作用する負
荷を検出し、この負荷情報を利用して、弁の異常の有無
や、ステム駆動部の異常の有無を判定していた。
【0003】また、その他の異常として弁座漏れを例に
とった場合、振動を検出して漏れが存在すると判断する
が、従来の技術では、ステム頭部に振動センサを取り付
けてステムと連動する弁体の流体流れによる振動を検出
したり、弁箱外壁に振動センサを当てたりする方法が採
られていた。
とった場合、振動を検出して漏れが存在すると判断する
が、従来の技術では、ステム頭部に振動センサを取り付
けてステムと連動する弁体の流体流れによる振動を検出
したり、弁箱外壁に振動センサを当てたりする方法が採
られていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、振動源である弁座から振動センサまでの距離が相当
にあったり、直接の振動源から外れた位置で計測したり
するため、振動を正確に検出できないばかりか、漏れの
情報を提供するだけなので実用性に欠けており、弁機能
の高度化にはそれほど寄与するものではなかった。
は、振動源である弁座から振動センサまでの距離が相当
にあったり、直接の振動源から外れた位置で計測したり
するため、振動を正確に検出できないばかりか、漏れの
情報を提供するだけなので実用性に欠けており、弁機能
の高度化にはそれほど寄与するものではなかった。
【0005】また、振動センサがステムと一体に取り付
けられるものではないため、ステム製作時に同時に計測
値の校正ができず、振動を検出した時、その検出値につ
いて弁体からの振動なのか、或は配管振動なのかの判定
をしたい時、また、振動の校正をする場合、プラントが
停止した時等に、弁装置に基準振動を与えて、その都度
校正を行うことが必要で、実用性に欠ける等の問題があ
った。
けられるものではないため、ステム製作時に同時に計測
値の校正ができず、振動を検出した時、その検出値につ
いて弁体からの振動なのか、或は配管振動なのかの判定
をしたい時、また、振動の校正をする場合、プラントが
停止した時等に、弁装置に基準振動を与えて、その都度
校正を行うことが必要で、実用性に欠ける等の問題があ
った。
【0006】従って、弁座からの漏洩を検出可能である
と共に、検出によって得た情報を処理し、該処理情報に
基づいて弁ステムの駆動装置を制御して、漏洩に対して
弁自体で処置できるようにする異常検出装置の必要性が
存在する。
と共に、検出によって得た情報を処理し、該処理情報に
基づいて弁ステムの駆動装置を制御して、漏洩に対して
弁自体で処置できるようにする異常検出装置の必要性が
存在する。
【0007】本発明の主な目的は、弁体の全閉時に弁座
漏れが発生した場合に、漏れによる弁体の振動を検知し
て、弁体が更に閉じる方向にステムを駆動して、漏れを
防止することができる弁装置の異常検出装置を提供する
ことにある。
漏れが発生した場合に、漏れによる弁体の振動を検知し
て、弁体が更に閉じる方向にステムを駆動して、漏れを
防止することができる弁装置の異常検出装置を提供する
ことにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明の異常検出装置は、弁座を有する流体通
路を内部に画成する弁箱と、該流体通路を選択的に開閉
するため移動可能であると共に、前記弁座に流体封止関
係で選択的に係合するようになっている弁座を有する弁
体と、該弁体に一端が一体的に結合され、他端が弁箱外
部に延びるステムと、前記弁体を移動するように前記弁
箱の外部で前記ステムの一部に係合する駆動装置とを備
えた弁装置において、前記ステムには、前記弁体が閉位
置にある時に前記弁箱の外部にあるステム部分に、振動
センサが配置されており、前記弁箱の外部には、前記振
動センサからの出力信号を受ける制御装置が配置されて
いて、該制御装置により、前記弁体が前記閉位置にある
場合、前記振動センサが前記弁座の漏洩による振動を検
出した時に前記ステムを介して前記弁体を前記閉位置か
ら更に閉方向に駆動して、前記振動センサによる振動検
出が実質的になくなるまで、前記駆動装置を作動するよ
うに制御することを特徴とするものである。
ために、本発明の異常検出装置は、弁座を有する流体通
路を内部に画成する弁箱と、該流体通路を選択的に開閉
するため移動可能であると共に、前記弁座に流体封止関
係で選択的に係合するようになっている弁座を有する弁
体と、該弁体に一端が一体的に結合され、他端が弁箱外
部に延びるステムと、前記弁体を移動するように前記弁
箱の外部で前記ステムの一部に係合する駆動装置とを備
えた弁装置において、前記ステムには、前記弁体が閉位
置にある時に前記弁箱の外部にあるステム部分に、振動
センサが配置されており、前記弁箱の外部には、前記振
動センサからの出力信号を受ける制御装置が配置されて
いて、該制御装置により、前記弁体が前記閉位置にある
場合、前記振動センサが前記弁座の漏洩による振動を検
出した時に前記ステムを介して前記弁体を前記閉位置か
ら更に閉方向に駆動して、前記振動センサによる振動検
出が実質的になくなるまで、前記駆動装置を作動するよ
うに制御することを特徴とするものである。
【0009】好適な実施例においては、駆動装置が係合
するステムの一部には、その外周にねじ部が形成されて
おり、該ねじ部の下端近傍には外周溝が形成されてい
る。このステムの中央部には、ねじ部の下端近傍からス
テムの他端の頂部まで延びる信号通路が画成されてお
り、該信号通路の底部に振動センサが接着剤により固定
して且つ断熱材により囲まれて配置されている。また、
ステムの頂部には振動センサの信号ラインのための接続
端子が設けられていて、振動センサの信号ラインは信号
通路を通って接続端子に接続されている。
するステムの一部には、その外周にねじ部が形成されて
おり、該ねじ部の下端近傍には外周溝が形成されてい
る。このステムの中央部には、ねじ部の下端近傍からス
テムの他端の頂部まで延びる信号通路が画成されてお
り、該信号通路の底部に振動センサが接着剤により固定
して且つ断熱材により囲まれて配置されている。また、
ステムの頂部には振動センサの信号ラインのための接続
端子が設けられていて、振動センサの信号ラインは信号
通路を通って接続端子に接続されている。
【0010】
【作用】弁体の全閉時に弁座に漏洩が生じていると、漏
洩流のため弁体が、そして、弁体に一体的に結合されて
いるステムにも振動が生ずる。この振動をステムに設け
られた振動センサが検出すると、振動センサの出力信号
は制御装置に送られ、その結果、この制御装置の指令に
基づいて、駆動装置は、弁体が閉じる方向にステムを駆
動する。これにより弁座の漏洩を止める。
洩流のため弁体が、そして、弁体に一体的に結合されて
いるステムにも振動が生ずる。この振動をステムに設け
られた振動センサが検出すると、振動センサの出力信号
は制御装置に送られ、その結果、この制御装置の指令に
基づいて、駆動装置は、弁体が閉じる方向にステムを駆
動する。これにより弁座の漏洩を止める。
【0011】
【実施例】次に、本発明の好適な実施例について添付図
面を参照して詳細に説明するが、図中、同一符号は同一
又は対応部分を示すものとする。図1は、流体の流れに
抗して弁体を上下移動させるステムを備えた仕切弁に本
発明を実施した例を縦断面で代表的に示しており、図
中、1は、それぞれ隣接する端部にほぼ環状の弁座1a
を有する流体入口通路(流体通路)1b及び出口通路
(流体通路)1cを備えた弁箱、2は、フランジ部2b
において弁箱1の頂部にボルト2aのような適宜の締結
手段により結合された弁蓋、3は、弁箱に形成された上
記弁座間に選択的に介在し、流体入口通路1b及び出口
通路1cを連通状態もしくは非連通状態にする弁体であ
り、弁座3aを有するこの周知の弁体3には、図1の領
域Aを拡大して図2の(a)に示すように振動センサ6
を備えた弁用ステム4の下端が例えば螺着のような周知
の手段により一体的に連結されている。本発明では、図
1の領域Bを拡大して示す図2の(b)からも諒解され
るように、ステム4と弁体3との間には隙間がなく、ま
た、上述したセンサは周知のものでよいため、センサ自
体についての説明は省略する。
面を参照して詳細に説明するが、図中、同一符号は同一
又は対応部分を示すものとする。図1は、流体の流れに
抗して弁体を上下移動させるステムを備えた仕切弁に本
発明を実施した例を縦断面で代表的に示しており、図
中、1は、それぞれ隣接する端部にほぼ環状の弁座1a
を有する流体入口通路(流体通路)1b及び出口通路
(流体通路)1cを備えた弁箱、2は、フランジ部2b
において弁箱1の頂部にボルト2aのような適宜の締結
手段により結合された弁蓋、3は、弁箱に形成された上
記弁座間に選択的に介在し、流体入口通路1b及び出口
通路1cを連通状態もしくは非連通状態にする弁体であ
り、弁座3aを有するこの周知の弁体3には、図1の領
域Aを拡大して図2の(a)に示すように振動センサ6
を備えた弁用ステム4の下端が例えば螺着のような周知
の手段により一体的に連結されている。本発明では、図
1の領域Bを拡大して示す図2の(b)からも諒解され
るように、ステム4と弁体3との間には隙間がなく、ま
た、上述したセンサは周知のものでよいため、センサ自
体についての説明は省略する。
【0012】ステム4は、弁蓋2の円筒部2c内に配設
された周知のグランドパッキン12を貫通して上方に延
びて、弁蓋2の頂部にボルト・ナット組立体2dにより
取着された駆動装置13の中に延入し、同駆動装置13
により上下に駆動されるようになっている。そのため、
ステム4はその上半部にねじ部4aを有し、一方、駆動
装置13は、このねじ部4aに係合する回転部材(図示
せず)を有し、この回転部材を手動ハンドル13a又は
電動モータ13bにより駆動することによって、ステム
4を垂直方向に移動させうるようになっている。
された周知のグランドパッキン12を貫通して上方に延
びて、弁蓋2の頂部にボルト・ナット組立体2dにより
取着された駆動装置13の中に延入し、同駆動装置13
により上下に駆動されるようになっている。そのため、
ステム4はその上半部にねじ部4aを有し、一方、駆動
装置13は、このねじ部4aに係合する回転部材(図示
せず)を有し、この回転部材を手動ハンドル13a又は
電動モータ13bにより駆動することによって、ステム
4を垂直方向に移動させうるようになっている。
【0013】グランドパッキン12はその上からパッキ
ン抑え12aにより保持されており、下側の逆座12b
の下面には凹状の円錐面12cが形成されている。ステ
ム4の下方部には、この円錐面12cとほぼ一致する形
状の凸状の円錐面4eが形成されていて、弁体3の全開
時にステム4が上動した時に、逆座12bの円錐面12
cがステム4の円錐面4eを受け入れるようになってい
る。これ等の円錐面12c,4eが逆座(バックシー
ト)を校正している。
ン抑え12aにより保持されており、下側の逆座12b
の下面には凹状の円錐面12cが形成されている。ステ
ム4の下方部には、この円錐面12cとほぼ一致する形
状の凸状の円錐面4eが形成されていて、弁体3の全開
時にステム4が上動した時に、逆座12bの円錐面12
cがステム4の円錐面4eを受け入れるようになってい
る。これ等の円錐面12c,4eが逆座(バックシー
ト)を校正している。
【0014】ステム4に対する上述した振動センサ6の
取り付け位置は、弁開閉の際に移動するステムねじ部4
aを外れた下端の位置に選ばれており、かかる位置のと
ころで、振動センサ6は、ステム4の中央部を軸方向に
延びる信号通路4bの下端部に断熱材7により囲まれて
配設され、適宜の接着剤8によりそこに取着されてい
る。振動センサ6をステム内部に埋め込むため、振動セ
ンサ6とステム4との結合が不十分になることがないよ
うに、また、ステム4の温度上昇から振動センサ6を保
護するように、上述の断熱材7及び接着剤8がセンサ取
り付け時に横穴4dから信号通路4bに注入されてい
る。接着剤8は、市販の適宜のものを使用可能であり、
また、断熱材は、例えば“PEEK”という商品名で販
売されている材料のように熱伝導の低い非金属材が好適
である。
取り付け位置は、弁開閉の際に移動するステムねじ部4
aを外れた下端の位置に選ばれており、かかる位置のと
ころで、振動センサ6は、ステム4の中央部を軸方向に
延びる信号通路4bの下端部に断熱材7により囲まれて
配設され、適宜の接着剤8によりそこに取着されてい
る。振動センサ6をステム内部に埋め込むため、振動セ
ンサ6とステム4との結合が不十分になることがないよ
うに、また、ステム4の温度上昇から振動センサ6を保
護するように、上述の断熱材7及び接着剤8がセンサ取
り付け時に横穴4dから信号通路4bに注入されてい
る。接着剤8は、市販の適宜のものを使用可能であり、
また、断熱材は、例えば“PEEK”という商品名で販
売されている材料のように熱伝導の低い非金属材が好適
である。
【0015】振動センサ6の取り付け位置を、上述した
ように弁開閉により移動するステムネジ部から外れた下
端の位置とすることで、振動センサ6をステム頭部に備
えた周知の方法に対し、同センサがステム移動に伴う振
動に直接さらされることから回避できる。
ように弁開閉により移動するステムネジ部から外れた下
端の位置とすることで、振動センサ6をステム頭部に備
えた周知の方法に対し、同センサがステム移動に伴う振
動に直接さらされることから回避できる。
【0016】弁箱1の内部の流体にさらされる弁体3と
ステム4とは一体的に直結されているため、弁体3の弁
座3aが弁箱の弁座1aと液密に接触して流れを遮断す
る弁閉状態時に、弁ステム4による押え力不足による弁
座面間圧力不足や、流体入口通路及び流体出口通路間の
差圧によりもたらされる弁座面間圧力不足による弁座漏
れにより生じた弁体3の微小振動を検出することが容易
となる。更に、その振動を表す信号は、ステム頭部に設
けられた接続端子14を通じて、駆動装置13の制御装
置15に伝達され、周知の方法で信号処理がされ、適切
なステム作動が可能となる。
ステム4とは一体的に直結されているため、弁体3の弁
座3aが弁箱の弁座1aと液密に接触して流れを遮断す
る弁閉状態時に、弁ステム4による押え力不足による弁
座面間圧力不足や、流体入口通路及び流体出口通路間の
差圧によりもたらされる弁座面間圧力不足による弁座漏
れにより生じた弁体3の微小振動を検出することが容易
となる。更に、その振動を表す信号は、ステム頭部に設
けられた接続端子14を通じて、駆動装置13の制御装
置15に伝達され、周知の方法で信号処理がされ、適切
なステム作動が可能となる。
【0017】再び図2の(a)において、振動センサ6
についてはステム4にしっかりと固定されていなければ
ならない。流体が高温の場合、内部流体と接触するステ
ム4の温度上昇は避けられない。従って、温度上昇する
分、振動センサ6の高温対策と固定対策が必要となる。
そのため、信号通路4b内の振動センサ設置位置に通じ
るようにステム側壁に設けた横穴4dは、熱伝導率の低
い断熱材7を振動センサ6とステム材の間に介在させた
り、振動センサ6をステム4に固定するため接着剤8を
封入する用途に供せられる。このようにして製作された
ステムは、単体で振動センサの性能試験を行い、駆動装
置13に対する校正を行って、センサ信号とステム駆動
信号の関係を適確にすることを可能にする。
についてはステム4にしっかりと固定されていなければ
ならない。流体が高温の場合、内部流体と接触するステ
ム4の温度上昇は避けられない。従って、温度上昇する
分、振動センサ6の高温対策と固定対策が必要となる。
そのため、信号通路4b内の振動センサ設置位置に通じ
るようにステム側壁に設けた横穴4dは、熱伝導率の低
い断熱材7を振動センサ6とステム材の間に介在させた
り、振動センサ6をステム4に固定するため接着剤8を
封入する用途に供せられる。このようにして製作された
ステムは、単体で振動センサの性能試験を行い、駆動装
置13に対する校正を行って、センサ信号とステム駆動
信号の関係を適確にすることを可能にする。
【0018】制御装置15には、周知の信号処理を行う
中央演算装置(図示せず)が含まれており、ステム4の
頭部に設けられた接続端子14からの信号ライン14a
が接続され、同ラインを介して振動センサ6の出力信号
が入力される。また、上述した駆動装置13にも、ライ
ン13cを介して連絡しており、該駆動装置13の作動
を制御装置15により制御するようになっていいる。
中央演算装置(図示せず)が含まれており、ステム4の
頭部に設けられた接続端子14からの信号ライン14a
が接続され、同ラインを介して振動センサ6の出力信号
が入力される。また、上述した駆動装置13にも、ライ
ン13cを介して連絡しており、該駆動装置13の作動
を制御装置15により制御するようになっていいる。
【0019】次に、本発明による弁装置の異常検出装置
の動作について説明する。弁体の全閉時に弁座に漏洩が
生じると、漏れ流により弁体3が振動し、弁体3と一体
のステム4等にも振動が生ずる。これを振動センサ6が
検出して、検出信号を制御装置15に送出する。制御装
置15は、検出信号に応答して駆動装置13のモータ1
3bに信号を送って回転させ、漏洩がなくなるまで弁体
3が更に閉じる方向にステム4を駆動する。
の動作について説明する。弁体の全閉時に弁座に漏洩が
生じると、漏れ流により弁体3が振動し、弁体3と一体
のステム4等にも振動が生ずる。これを振動センサ6が
検出して、検出信号を制御装置15に送出する。制御装
置15は、検出信号に応答して駆動装置13のモータ1
3bに信号を送って回転させ、漏洩がなくなるまで弁体
3が更に閉じる方向にステム4を駆動する。
【0020】
【発明の効果】本発明によれば、弁ステムの内部に振動
センサが設けられているだけでなく、このセンサが弁装
置の駆動装置を制御する外部制御装置に接続されてい
て、弁内部の情報を表す振動センサの出力信号に応答し
て駆動装置を制御しステムを動作させるため、弁座漏洩
を防止しうると共に、弁の振動による事故を未然に防ぐ
ことができる。
センサが設けられているだけでなく、このセンサが弁装
置の駆動装置を制御する外部制御装置に接続されてい
て、弁内部の情報を表す振動センサの出力信号に応答し
て駆動装置を制御しステムを動作させるため、弁座漏洩
を防止しうると共に、弁の振動による事故を未然に防ぐ
ことができる。
【図1】 本発明による弁装置の異常検出システムを略
図的に示す概念図である。
図的に示す概念図である。
【図2】 (a)は、図1の弁装置のステム内に設けら
れた振動センサを示す、図1の領域Aの部分の拡大断面
図、(b)は、弁体が開弁状態にある時の、図1の領域
Bの近辺部分を示す拡大断面図である。
れた振動センサを示す、図1の領域Aの部分の拡大断面
図、(b)は、弁体が開弁状態にある時の、図1の領域
Bの近辺部分を示す拡大断面図である。
1…弁箱、 1a…弁座、 1b…流体入口通路(流体
通路)、 1c…流体出口通路(流体通路)、 3…弁
体、 3a…弁座、 4…ステム、 4a…ねじ部、
4b…信号通路、 4e…凸状の円錐面(逆座もしくは
バックシート)、 6…振動センサ、 7…断熱材、
8…接着剤、 13…駆動装置、 14…接続端子、
15…制御装置。
通路)、 1c…流体出口通路(流体通路)、 3…弁
体、 3a…弁座、 4…ステム、 4a…ねじ部、
4b…信号通路、 4e…凸状の円錐面(逆座もしくは
バックシート)、 6…振動センサ、 7…断熱材、
8…接着剤、 13…駆動装置、 14…接続端子、
15…制御装置。
Claims (3)
- 【請求項1】 弁座を有する流体通路を内部に画成する
弁箱と、該流体通路を選択的に開閉するため移動可能で
あると共に、前記弁座に流体封止関係で選択的に係合す
るようになっている弁座を有する、弁体と、該弁体に一
端が一体的に結合され、他端が弁箱外部に延びるステム
と、前記弁体を移動するように前記弁箱の外部で前記ス
テムの一部に係合する駆動装置とを備えた弁装置におい
て、前記ステムには、前記弁体が閉位置にある時に前記
弁箱の外部にあるステム部分に、振動センサが配置され
ており、前記弁箱の外部には、前記振動センサからの出
力信号を受ける制御装置が配置されていて、該制御装置
により、前記弁体が前記閉位置にある場合、前記振動セ
ンサが前記弁座の漏洩による振動を検出した時に前記ス
テムを介して前記弁体を前記閉位置から更に閉方向に駆
動して、前記振動センサによる振動検出が実質的になく
なるまで、前記駆動装置を作動するように制御すること
を特徴とする弁装置の異常検出装置。 - 【請求項2】 前記ステムの中央部には、前記ステムの
一部に形成されたねじ部の下端近傍から前記ステムの他
端の頂部まで延びる信号通路が画成されており、該信号
通路の底部に前記振動センサが接着剤により固定して且
つ断熱材により囲まれて配置されていることを特徴とす
る請求項1に記載の異常検出装置。 - 【請求項3】 前記ステムの頂部には前記振動センサの
信号ラインのための接続端子が設けられていると共に、
前記ステムの外周溝は横穴を介して前記信号通路に連通
しており、前記振動センサの信号ラインは前記信号通路
を通って前記接続端子に接続されていることを特徴とす
る請求項2に記載の異常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21909994A JP2648288B2 (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | 弁装置の異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21909994A JP2648288B2 (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | 弁装置の異常検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0882383A true JPH0882383A (ja) | 1996-03-26 |
| JP2648288B2 JP2648288B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=16730247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21909994A Expired - Fee Related JP2648288B2 (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | 弁装置の異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2648288B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024510236A (ja) * | 2021-03-15 | 2024-03-06 | エフ・ホフマン-ラ・ロシュ・アクチェンゲゼルシャフト | 微小毛細管ホルダ、試験システム、およびプロセス |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3477453B2 (ja) | 2001-03-19 | 2003-12-10 | 三菱重工業株式会社 | 熱系プラント内機器の振動検出装置、及び、その振動検出方法 |
-
1994
- 1994-09-13 JP JP21909994A patent/JP2648288B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024510236A (ja) * | 2021-03-15 | 2024-03-06 | エフ・ホフマン-ラ・ロシュ・アクチェンゲゼルシャフト | 微小毛細管ホルダ、試験システム、およびプロセス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2648288B2 (ja) | 1997-08-27 |
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