JPH0882920A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents
スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法Info
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- JPH0882920A JPH0882920A JP21687894A JP21687894A JPH0882920A JP H0882920 A JPH0882920 A JP H0882920A JP 21687894 A JP21687894 A JP 21687894A JP 21687894 A JP21687894 A JP 21687894A JP H0882920 A JPH0882920 A JP H0882920A
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- printing
- screen
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
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- Screen Printers (AREA)
- Printing Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 スクリーン印刷において、１回目の印刷後
に、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相対
位置を、所定の方向に、スクリーンメッシュの交点周期
の（２ｎ＋１）／２倍（ｎはゼロ以上の整数）あるいは
印刷されたパターンのエッジのうねりの周期の（２ｎ＋
１）／２倍だけずらして１回目の印刷と同様の印刷を１
回以上行う。 【効果】 印刷パターンのエッジ部分のうねりや厚さ方
向の凹凸を低減させることができる。
に、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相対
位置を、所定の方向に、スクリーンメッシュの交点周期
の（２ｎ＋１）／２倍（ｎはゼロ以上の整数）あるいは
印刷されたパターンのエッジのうねりの周期の（２ｎ＋
１）／２倍だけずらして１回目の印刷と同様の印刷を１
回以上行う。 【効果】 印刷パターンのエッジ部分のうねりや厚さ方
向の凹凸を低減させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スクリーン印刷方法お
よびスクリーン印刷装置に関するもので、特に印刷され
るパターン形状の改善を可能とするスクリーン印刷方法
および装置に関する。
よびスクリーン印刷装置に関するもので、特に印刷され
るパターン形状の改善を可能とするスクリーン印刷方法
および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のスクリーン印刷における印刷装置
は図６（ａ）の構成のものが使用されている。この図に
おいて、４はスクリーン版、１３はスクリーン版４に描
かれている任意のパターン、５はスクリーン版４の下に
平行に置かれた印刷基板、６は印刷基板５を固定するた
めの基板テーブル、７はインキ、８はスクリーン版の骨
格となる版枠、１２はインキを掻き取るためのゴム製の
板でスキージと呼ばれる。印刷装置には、スクリーン版
４を印刷基板５の上方数ｍｍの位置に基板に平行に保持
する手段と、スキージ１２でスクリーン版４を印刷基板
５にこすり付けながら移動させるための手段がある。
は図６（ａ）の構成のものが使用されている。この図に
おいて、４はスクリーン版、１３はスクリーン版４に描
かれている任意のパターン、５はスクリーン版４の下に
平行に置かれた印刷基板、６は印刷基板５を固定するた
めの基板テーブル、７はインキ、８はスクリーン版の骨
格となる版枠、１２はインキを掻き取るためのゴム製の
板でスキージと呼ばれる。印刷装置には、スクリーン版
４を印刷基板５の上方数ｍｍの位置に基板に平行に保持
する手段と、スキージ１２でスクリーン版４を印刷基板
５にこすり付けながら移動させるための手段がある。
【０００３】スクリーン版４のさらに微細な構造を図６
（ｂ）に示す。この図中、３は数十ミクロンオーダーの
太さの主として金属ワイヤー等で編まれたスクリーンメ
ッシュであって、図６（ａ）に示した版枠８に張力を加
えられた状態で固定されている。１１はスクリーン版４
の印刷基板５と接触する側から任意のパターンをくり貫
いた平滑な乳剤膜である。
（ｂ）に示す。この図中、３は数十ミクロンオーダーの
太さの主として金属ワイヤー等で編まれたスクリーンメ
ッシュであって、図６（ａ）に示した版枠８に張力を加
えられた状態で固定されている。１１はスクリーン版４
の印刷基板５と接触する側から任意のパターンをくり貫
いた平滑な乳剤膜である。
【０００４】印刷基板５の上方数ｍｍの位置に印刷基板
５に対して平行にスクリーン版４を固定し、スクリーン
版４にインキ７を薄く広げる。基板テーブル６に印刷基
板５を固定し、パターン１３の端から端までスキージ１
２が移動するように印刷装置を動作させる。その際、ス
キージによって掻き取られたインキ７の一部はスクリー
ン版４の乳剤膜１１がくり貫かれている部分を通過し、
印刷基板５にパターン１３と同じ形状を転写して印刷が
行なわれる。
５に対して平行にスクリーン版４を固定し、スクリーン
版４にインキ７を薄く広げる。基板テーブル６に印刷基
板５を固定し、パターン１３の端から端までスキージ１
２が移動するように印刷装置を動作させる。その際、ス
キージによって掻き取られたインキ７の一部はスクリー
ン版４の乳剤膜１１がくり貫かれている部分を通過し、
印刷基板５にパターン１３と同じ形状を転写して印刷が
行なわれる。
【０００５】また、１つの層の形成は１回の印刷で行な
われるのが普通であり、特殊な用途に用いるものについ
て２回以上の印刷が行なわれる場合もあるが、１回目と
２回目でスクリーン版４と印刷基板５の相対位置は変え
ずに、常に同じパターンが同じ位置に重ねて印刷され
る。
われるのが普通であり、特殊な用途に用いるものについ
て２回以上の印刷が行なわれる場合もあるが、１回目と
２回目でスクリーン版４と印刷基板５の相対位置は変え
ずに、常に同じパターンが同じ位置に重ねて印刷され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のスクリーン印刷においては、インキ７が転写
される時、スクリーンメッシュ３を構成するワイヤー、
特にその編み目部分はインキ７の通過を妨げる。スクリ
ーンメッシュ３は等間隔で編まれていることから、イン
キ７の通過を妨げる編み目部分は周期的に存在する（例
えば図６（ｂ）においては、上下方向では２３で示した
間隔が周期となる）。従って、印刷されたパターン１３
において、スクリーンメッシュ３によりインキ７の通過
が妨げられたところでは、インキ７の印刷基板５への転
移量が少ない部分がスクリーンメッシュ３の交点部分
（編み目）に対応して周期的に現れる。また、スクリー
ン版４は印刷基板５に押し付けられるので、印刷基板５
に転移したインキにはスクリーンメッシュ３が押し付け
られる。従って、スキージ１２が通過した後、スクリー
ン版４は元の位置に戻るが、インキ７にはスクリーンメ
ッシュ３に由来する跡が残る。そのため、少なくとも線
パターンが平行に並んでいる、あるいは短冊状のパター
ンが長手方向を揃って並んでいるパターンを印刷した時
に、その部分がうねりを持ったり、表面にスクリーンメ
ッシュの跡が残って凹凸が生じるという欠点があった。
うな従来のスクリーン印刷においては、インキ７が転写
される時、スクリーンメッシュ３を構成するワイヤー、
特にその編み目部分はインキ７の通過を妨げる。スクリ
ーンメッシュ３は等間隔で編まれていることから、イン
キ７の通過を妨げる編み目部分は周期的に存在する（例
えば図６（ｂ）においては、上下方向では２３で示した
間隔が周期となる）。従って、印刷されたパターン１３
において、スクリーンメッシュ３によりインキ７の通過
が妨げられたところでは、インキ７の印刷基板５への転
移量が少ない部分がスクリーンメッシュ３の交点部分
（編み目）に対応して周期的に現れる。また、スクリー
ン版４は印刷基板５に押し付けられるので、印刷基板５
に転移したインキにはスクリーンメッシュ３が押し付け
られる。従って、スキージ１２が通過した後、スクリー
ン版４は元の位置に戻るが、インキ７にはスクリーンメ
ッシュ３に由来する跡が残る。そのため、少なくとも線
パターンが平行に並んでいる、あるいは短冊状のパター
ンが長手方向を揃って並んでいるパターンを印刷した時
に、その部分がうねりを持ったり、表面にスクリーンメ
ッシュの跡が残って凹凸が生じるという欠点があった。
【０００７】特に、パターン１３を微細化していくと
（すなわち、印刷するパターンの幅が狭くなると）、乳
剤膜１１のくり貫き部分に対するスクリーンメッシュ３
のワイヤーの面積が占める割合は大きくなっていくこと
から、その欠点がより顕著になり、最悪の場合、エッジ
のうねったパターンから細い部分が切れて島状のパター
ンとなることがある。特に、使用するインキが高粘度の
ものである場合は、いわゆるダンゴ状のパターンとなっ
て、配線基板を印刷する場合などは、その部分で断線が
起こるという問題があった。
（すなわち、印刷するパターンの幅が狭くなると）、乳
剤膜１１のくり貫き部分に対するスクリーンメッシュ３
のワイヤーの面積が占める割合は大きくなっていくこと
から、その欠点がより顕著になり、最悪の場合、エッジ
のうねったパターンから細い部分が切れて島状のパター
ンとなることがある。特に、使用するインキが高粘度の
ものである場合は、いわゆるダンゴ状のパターンとなっ
て、配線基板を印刷する場合などは、その部分で断線が
起こるという問題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、１回目の印刷
後に、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相
対位置を、所定の方向に、スクリーンメッシュの交点周
期の（２ｎ＋１）／２倍（ｎはゼロ以上の整数）あるい
は印刷されたパターンのエッジのうねりの周期の（２ｎ
＋１）／２倍だけずらして１回目の印刷と同様の印刷を
１回以上行なうスクリーン印刷方法を提供する。
後に、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相
対位置を、所定の方向に、スクリーンメッシュの交点周
期の（２ｎ＋１）／２倍（ｎはゼロ以上の整数）あるい
は印刷されたパターンのエッジのうねりの周期の（２ｎ
＋１）／２倍だけずらして１回目の印刷と同様の印刷を
１回以上行なうスクリーン印刷方法を提供する。
【０００９】また本発明は、スクリーン版を固定する版
枠、印刷基板を設置する印刷基板テーブル、該印刷基板
に平行に対向配置された該スクリーンを押圧して該スク
リーン上に塗布されたインキを該印刷基板に転写するた
めのスキージを少なくとも有してなるスクリーン印刷機
において、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板
の相対位置を変更する相対位置変更手段を有することを
特徴とするスクリーン印刷機を提供する。
枠、印刷基板を設置する印刷基板テーブル、該印刷基板
に平行に対向配置された該スクリーンを押圧して該スク
リーン上に塗布されたインキを該印刷基板に転写するた
めのスキージを少なくとも有してなるスクリーン印刷機
において、印刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板
の相対位置を変更する相対位置変更手段を有することを
特徴とするスクリーン印刷機を提供する。
【００１０】図１に、本発明の１実施態様を示した。同
図において、４は線パターン１（この図ではデフォルメ
して表示している）を有するスクリーン版、９は印刷面
上方から見たスクリーン版と印刷基板との相対位置をず
らすための相対位置変更手段（この図ではダイヤルゲー
ジ）であり、２４はスクリーン版４の下にスクリーン面
に対して平行に置かれた基板であり、１４は印刷によっ
て形成されたパターンである。
図において、４は線パターン１（この図ではデフォルメ
して表示している）を有するスクリーン版、９は印刷面
上方から見たスクリーン版と印刷基板との相対位置をず
らすための相対位置変更手段（この図ではダイヤルゲー
ジ）であり、２４はスクリーン版４の下にスクリーン面
に対して平行に置かれた基板であり、１４は印刷によっ
て形成されたパターンである。
【００１１】この装置を用いてスクリーン印刷を行なう
場合、印刷実施の前に予めスクリーン版４のパターン
（この場合は線パターン）１の開口部の印刷走査方向
（この場合、線パターンの長手方向）に存在するスクリ
ーンメッシュ３の交点の周期（以下、交点周期と称す
る）２ｄを計算によって求めておく。
場合、印刷実施の前に予めスクリーン版４のパターン
（この場合は線パターン）１の開口部の印刷走査方向
（この場合、線パターンの長手方向）に存在するスクリ
ーンメッシュ３の交点の周期（以下、交点周期と称す
る）２ｄを計算によって求めておく。
【００１２】基板２４を基板テーブル６に固定し、スク
リーン版４を基板２４に平行に所定の間隔を保持して設
置する。スクリーン版４にインキ７を広げ、スキージ１
２によってスクリーン版を基板２４に押し付けながら１
回目のスクリーン印刷を行なう。
リーン版４を基板２４に平行に所定の間隔を保持して設
置する。スクリーン版４にインキ７を広げ、スキージ１
２によってスクリーン版を基板２４に押し付けながら１
回目のスクリーン印刷を行なう。
【００１３】次に、スクリーン版４を相対位置変更手段
９により、予め求めておいた交点周期の１／２の距離ｄ
だけ線パターン１の長手方向に移動させ、同じ基板２４
に１回目と同様にスクリーン印刷する。ただしその操作
は、１回目の印刷パターンにおけるうねりの解消が目的
であるので、移動させる距離はｄに限定されるものでは
なく、（２ｎ＋１）ｄの一般形（ｎはゼロ以上の整数）
で表される距離としてもよい。
９により、予め求めておいた交点周期の１／２の距離ｄ
だけ線パターン１の長手方向に移動させ、同じ基板２４
に１回目と同様にスクリーン印刷する。ただしその操作
は、１回目の印刷パターンにおけるうねりの解消が目的
であるので、移動させる距離はｄに限定されるものでは
なく、（２ｎ＋１）ｄの一般形（ｎはゼロ以上の整数）
で表される距離としてもよい。
【００１４】次に、本発明の別の実施態様を図３を用い
て説明する。この図において、２０は基板２４の中心、
２１はスクリーン版のパターンの中心、２２は回転手段
（相対位置変更手段）を有する基板テーブルである。
て説明する。この図において、２０は基板２４の中心、
２１はスクリーン版のパターンの中心、２２は回転手段
（相対位置変更手段）を有する基板テーブルである。
【００１５】この装置において、スクリーン印刷を行な
う前に、予め走査方向での交点周期２ｄを求めておく。
その基板テーブルの回転中心と印刷されたパターンの中
心とを、予め求めておいた交点周期２ｄの（２ｍ＋１）
／４倍だけ（ｍはゼロ以上の整数であり、図３ではｍ＝
０の場合を示してある）、線パターン１の長手方向（印
刷走査方向）にずらして印刷基板５を固定する。
う前に、予め走査方向での交点周期２ｄを求めておく。
その基板テーブルの回転中心と印刷されたパターンの中
心とを、予め求めておいた交点周期２ｄの（２ｍ＋１）
／４倍だけ（ｍはゼロ以上の整数であり、図３ではｍ＝
０の場合を示してある）、線パターン１の長手方向（印
刷走査方向）にずらして印刷基板５を固定する。
【００１６】１回目のスクリーン印刷後、基板テーブル
１６を１８０°回転し、印刷基板５を交点周期の１／２
であるｄだけ移動させる。その後、２回目の印刷を行な
う。本発明において、印刷回数は上述のように２回に限
定されるものではなく、場合に応じて３回以上の任意の
回数実施してもよい。また、印刷基板の材質や使用する
インキについては、通常のスクリーン印刷で使用される
ものであれば特に制限はない。
１６を１８０°回転し、印刷基板５を交点周期の１／２
であるｄだけ移動させる。その後、２回目の印刷を行な
う。本発明において、印刷回数は上述のように２回に限
定されるものではなく、場合に応じて３回以上の任意の
回数実施してもよい。また、印刷基板の材質や使用する
インキについては、通常のスクリーン印刷で使用される
ものであれば特に制限はない。
【００１７】また、スクリーン版と基板との間の相対位
置の変更は、図に示したダイヤルゲージによって行なう
方法に限定されるものではなく、ＴＶカメラによる画像
処理装置を用いて肉眼によりスクリーン版を観察しなが
ら手動で操作する手法、あるいはスクリーンメッシュの
周期を求めてスクリーン版を移動する操作を自動化して
もよい。さらに、交点周期２ｄを求める方法としては、
上記のように計算によるだけではなく、１回目の印刷を
行なって、そのパターンを観察することによって実測
し、その実測値を用いて相対位置の変更を行なって、２
回目以降の印刷を行なうこともできる。
置の変更は、図に示したダイヤルゲージによって行なう
方法に限定されるものではなく、ＴＶカメラによる画像
処理装置を用いて肉眼によりスクリーン版を観察しなが
ら手動で操作する手法、あるいはスクリーンメッシュの
周期を求めてスクリーン版を移動する操作を自動化して
もよい。さらに、交点周期２ｄを求める方法としては、
上記のように計算によるだけではなく、１回目の印刷を
行なって、そのパターンを観察することによって実測
し、その実測値を用いて相対位置の変更を行なって、２
回目以降の印刷を行なうこともできる。
【００１８】以上のようにしてスクリーン印刷を実施す
ると、２回目の印刷では、１回目の印刷で形成された印
刷パターンのエッジで凸部であったところに凹部を、凹
部であったところに凸部を印刷することになり、結果的
に得られた印刷パターンのうねりの振幅を１回目で形成
されたパターンの１／２以下とすることができ、また厚
さ方向の凹凸を小さくして、印刷パターン形状を改良す
ることができる。
ると、２回目の印刷では、１回目の印刷で形成された印
刷パターンのエッジで凸部であったところに凹部を、凹
部であったところに凸部を印刷することになり、結果的
に得られた印刷パターンのうねりの振幅を１回目で形成
されたパターンの１／２以下とすることができ、また厚
さ方向の凹凸を小さくして、印刷パターン形状を改良す
ることができる。
【００１９】本発明の印刷装置および印刷方法は多くの
分野において利用可能であるが、特に、印刷によって電
気配線を形成する場合には、断線等の問題を大きく低減
することができ、非常に有効である。
分野において利用可能であるが、特に、印刷によって電
気配線を形成する場合には、断線等の問題を大きく低減
することができ、非常に有効である。
【００２０】
（実施例１）図１の装置を用いてスクリーン印刷を以下
のように実施した。この場合、スクリーン版４は１００
μｍラインアンドスペースの線パターンを有するもの
で、１インチ当たり３００本のステンレスワイヤーによ
って平織りされたスクリーンメッシュをバイアス４５°
で張ったものを用いた。スクリーン印刷実施前に測定し
た交点周期から求めたｄは約２００μｍであった。
のように実施した。この場合、スクリーン版４は１００
μｍラインアンドスペースの線パターンを有するもの
で、１インチ当たり３００本のステンレスワイヤーによ
って平織りされたスクリーンメッシュをバイアス４５°
で張ったものを用いた。スクリーン印刷実施前に測定し
た交点周期から求めたｄは約２００μｍであった。
【００２１】次に、ガラス基板２４を基板テーブル６に
固定し、スクリーン版４をガラス基板２４に平行に１ｍ
ｍの間隔を保持して設置した。スクリーン版４にＡｇペ
ースト７を薄く広げ、スキージ１２によってスクリーン
版４をガラス基板２４に押し付けながら１回目のスクリ
ーン印刷を行なった。他の印刷条件は、スキージ速度１
１０ｍｍ／ｓｅｃ、スキージの押し込み１．０ｍｍ、印
圧１．５ｋｇ／ｃｍ2であった。
固定し、スクリーン版４をガラス基板２４に平行に１ｍ
ｍの間隔を保持して設置した。スクリーン版４にＡｇペ
ースト７を薄く広げ、スキージ１２によってスクリーン
版４をガラス基板２４に押し付けながら１回目のスクリ
ーン印刷を行なった。他の印刷条件は、スキージ速度１
１０ｍｍ／ｓｅｃ、スキージの押し込み１．０ｍｍ、印
圧１．５ｋｇ／ｃｍ2であった。
【００２２】その後、スクリーン版４をダイヤルゲージ
９によって線パターン１の長手方向にｄだけ移動させ、
同じガラス基板２４に１回目と同様に２回目のスクリー
ン印刷を行なった。
９によって線パターン１の長手方向にｄだけ移動させ、
同じガラス基板２４に１回目と同様に２回目のスクリー
ン印刷を行なった。
【００２３】その結果、１回目の印刷で形成された印刷
パターン１４のエッジで凸部であったところに凹部を、
凹部であったところに凸部を印刷することができ、うね
りの振幅を半分以下とすることができ、１回目の印刷の
みで形成したパターンより印刷パターン形状を改良する
ことができた。
パターン１４のエッジで凸部であったところに凹部を、
凹部であったところに凸部を印刷することができ、うね
りの振幅を半分以下とすることができ、１回目の印刷の
みで形成したパターンより印刷パターン形状を改良する
ことができた。
【００２４】（実施例２）実施例１と同様に１回目のス
クリーン印刷を行なった。得られた印刷パターンの微小
部分を図２に模式的に示す。図２において、１６はその
１回目の印刷によって形成されたパターン、１５はその
パターン１６のエッジのうねりの周期（２ｄ）、１８は
印刷パターン１６のエッジのうねりの振幅である。
クリーン印刷を行なった。得られた印刷パターンの微小
部分を図２に模式的に示す。図２において、１６はその
１回目の印刷によって形成されたパターン、１５はその
パターン１６のエッジのうねりの周期（２ｄ）、１８は
印刷パターン１６のエッジのうねりの振幅である。
【００２５】顕微鏡によってその印刷パターンを観察し
て、線パターンのうねりの周期１５を測定した。その実
測値に基づき、その周期の１／２だけ（ｄ）スクリーン
版４を線パターン１の長手方向にダイヤルゲージによっ
て移動し、２回目のスクリーン印刷を行なった。
て、線パターンのうねりの周期１５を測定した。その実
測値に基づき、その周期の１／２だけ（ｄ）スクリーン
版４を線パターン１の長手方向にダイヤルゲージによっ
て移動し、２回目のスクリーン印刷を行なった。
【００２６】その結果、図２に示したように、２回目の
印刷によるパターンでは、印刷パターンは１７のように
なり、２回の印刷後のうねりの振幅は１９のようになっ
て１回目の印刷パターンより小さいものとなった。
印刷によるパターンでは、印刷パターンは１７のように
なり、２回の印刷後のうねりの振幅は１９のようになっ
て１回目の印刷パターンより小さいものとなった。
【００２７】（実施例３）実施例１と同様のスクリーン
版を用い、その交点周期２ｄを計算で求めた。そのスク
リーン版およびガラス基板を図３（ａ）に示した回転手
段を有する基板テーブル上に設置した。ただし、図３
（ａ）のように、ガラス基板の中心２０とパターン中心
２１を前記で求めた交点周期の１／４に相当するｄ／２
だけずらしておいた。
版を用い、その交点周期２ｄを計算で求めた。そのスク
リーン版およびガラス基板を図３（ａ）に示した回転手
段を有する基板テーブル上に設置した。ただし、図３
（ａ）のように、ガラス基板の中心２０とパターン中心
２１を前記で求めた交点周期の１／４に相当するｄ／２
だけずらしておいた。
【００２８】１回目の印刷を実施例１と同様の条件およ
び手順で行ない、印刷後、基板テーブル２２をその回転
手段によって１８０°回転して図３（ｂ）のような配置
とした。
び手順で行ない、印刷後、基板テーブル２２をその回転
手段によって１８０°回転して図３（ｂ）のような配置
とした。
【００２９】次に、１回目と同様の条件で２回目の印刷
を行なったところ、１回目のパターンの上に、１回目の
パターンとｄだけずれて２回目のパターンが印刷され、
実施例１同様に、うねりの振幅の小さい良好な印刷パタ
ーンを得ることができた。
を行なったところ、１回目のパターンの上に、１回目の
パターンとｄだけずれて２回目のパターンが印刷され、
実施例１同様に、うねりの振幅の小さい良好な印刷パタ
ーンを得ることができた。
【００３０】（実施例４）図４に本発明の方法をセラミ
ックヒーターの製造に適用した例を示す。同図におい
て、４４は２００μｍラインアンドスペースの線パター
ン４１（図中ではデフォルメして表示している）を有す
るスクリーン版、４９はスクリーン版４４を移動させる
ためのダイヤルゲージ、４２はスクリーン版４４の下に
平行に置かれたセラミック基板である。スクリーン版４
４の構成と印刷条件および方法は実施例１と同様とし
た。
ックヒーターの製造に適用した例を示す。同図におい
て、４４は２００μｍラインアンドスペースの線パター
ン４１（図中ではデフォルメして表示している）を有す
るスクリーン版、４９はスクリーン版４４を移動させる
ためのダイヤルゲージ、４２はスクリーン版４４の下に
平行に置かれたセラミック基板である。スクリーン版４
４の構成と印刷条件および方法は実施例１と同様とし
た。
【００３１】本実施例ではセラミックヒーターの形成を
示す。形成するパターンは図４のように２００μｍ線パ
ターン４１が２００μｍの間隔を開けてジグザグに並ん
でいて、折り返しから折り返しまでの距離は１０ｃｍ
で、ラインが２５０本並んでいる。
示す。形成するパターンは図４のように２００μｍ線パ
ターン４１が２００μｍの間隔を開けてジグザグに並ん
でいて、折り返しから折り返しまでの距離は１０ｃｍ
で、ラインが２５０本並んでいる。
【００３２】スクリーン印刷を行う前に、あらかじめス
クリーン版４４の線パターン４１の開口部の長手方向に
存在するスクリーンメッシュの交点の周期２ｄを計算に
より求めておく。本実施例の場合、ｄ＝約２００μｍで
ある。
クリーン版４４の線パターン４１の開口部の長手方向に
存在するスクリーンメッシュの交点の周期２ｄを計算に
より求めておく。本実施例の場合、ｄ＝約２００μｍで
ある。
【００３３】セラミック基板４２を基板テーブルに固定
し、１度目のスクリーン印刷を行った。その後、スクリ
ーン版４４をダイヤルゲージ４９によりあらかじめ求め
ておいた交点の周期の半分の距離ｄだけ線パターン４１
の長手方向に移動させ、同じセラミック基板４２に同様
に２度目のスクリーン印刷を行う。これにより、１度目
の印刷で形成された印刷パターンのエッジで凸部であっ
たところに凹部を、凹部であったところに凸部を印刷す
ることになり、うねりの振幅を半分以下にすることがで
き、印刷パターン形状を改良することができた。
し、１度目のスクリーン印刷を行った。その後、スクリ
ーン版４４をダイヤルゲージ４９によりあらかじめ求め
ておいた交点の周期の半分の距離ｄだけ線パターン４１
の長手方向に移動させ、同じセラミック基板４２に同様
に２度目のスクリーン印刷を行う。これにより、１度目
の印刷で形成された印刷パターンのエッジで凸部であっ
たところに凹部を、凹部であったところに凸部を印刷す
ることになり、うねりの振幅を半分以下にすることがで
き、印刷パターン形状を改良することができた。
【００３４】図５に形成された印刷パターンを示す。こ
の図において、２度目の印刷で新たに形成された部分を
斜線部で示した。これにより、配線の波状の部分をなく
すことができ、ヒーターを動作させたときの細線部での
断線や温度分布の面で良好な成績が得られた。
の図において、２度目の印刷で新たに形成された部分を
斜線部で示した。これにより、配線の波状の部分をなく
すことができ、ヒーターを動作させたときの細線部での
断線や温度分布の面で良好な成績が得られた。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、印刷パターンの歪
みが周期的であることに着目し、スクリーン版と印刷基
板との相対位置をその歪みの周期の１／２だけパターン
長手方向にずらすことによって、印刷パターンのエッジ
部分のうねりや厚さ方向の凹凸を低減させることができ
る。
みが周期的であることに着目し、スクリーン版と印刷基
板との相対位置をその歪みの周期の１／２だけパターン
長手方向にずらすことによって、印刷パターンのエッジ
部分のうねりや厚さ方向の凹凸を低減させることができ
る。
【図１】実施例１のスクリーン印刷の手順を示す模式的
平面図であり、（ａ）は１回目の印刷、（ｂ）は２回目
の印刷における配置を示す図である。
平面図であり、（ａ）は１回目の印刷、（ｂ）は２回目
の印刷における配置を示す図である。
【図２】実施例２のスクリーン印刷で形成された印刷パ
ターンの微細部分の模式図である。
ターンの微細部分の模式図である。
【図３】実施例３のスクリーン印刷の手順を示す模式的
平面図であり、（ａ）は１回目の印刷、（ｂ）は２回目
の印刷における配置を示す図である。
平面図であり、（ａ）は１回目の印刷、（ｂ）は２回目
の印刷における配置を示す図である。
【図４】実施例４のスクリーン印刷の手順を示す模式的
平面図であり、（ａ）は１回目の印刷、（ｂ）は２回目
の印刷における配置を示す図である。
平面図であり、（ａ）は１回目の印刷、（ｂ）は２回目
の印刷における配置を示す図である。
【図５】実施例４の印刷で得られたセラミックヒーター
用印刷パターンの図である。
用印刷パターンの図である。
【図６】従来のスクリーン印刷を説明する図であり、
（ａ）はスクリーン印刷機の要部の分解斜視図、（ｂ）
はスクリーンの線パターンの微細部分を示す図である。
（ａ）はスクリーン印刷機の要部の分解斜視図、（ｂ）
はスクリーンの線パターンの微細部分を示す図である。
１ 線パターン ２ スクリーンメッシュ ４ スクリーン版 ５ 印刷基板 ６ 基板テーブル ７ インキ ８ 版枠 ９ ダイヤルゲージ １０ ワイヤー １１ 乳剤膜 １２ スキージ １３ 任意のパターン １４ 印刷パターン １５ うねりの周期（２ｄ） １６ １回目の印刷パターン １７ ２回目の印刷パターン １８ １回目の印刷によるうねりの振幅 １９ ２回目の印刷後のうねりの振幅 ２０ ガラス基板の中心 ２１ スクリーン版のパターン中心 ２２ 回転手段を有するテーブル ２３ スクリーンメッシュの交点間隔 ２４ 基板 ４１ 線パターン ４２ セラミック基板 ４４ スクリーン版 ４９ ダイヤルゲージ
Claims (8)
- 【請求項１】 １回目の印刷後に、印刷面上方から見た
スクリーン版と印刷基板の相対位置を、所定の方向に、
スクリーンメッシュの交点周期の（２ｎ＋１）／２倍
（ｎはゼロ以上の整数）だけずらして１回目の印刷と同
様の印刷を１回以上行なうスクリーン印刷方法。 - 【請求項２】 スクリーン版と印刷基板の相対位置の変
更を、該スクリーン版と該印刷基板のうちの少なくとも
一方を所定の方向に直線的に移動させることによって行
なう請求項１記載のスクリーン印刷方法。 - 【請求項３】 予め求めておいた印刷の走査方向におけ
るスクリーンメッシュの交点周期の（２ｍ＋１）／４倍
（ｍはゼロ以上の整数）だけ該スクリーン版のパターン
中心と印刷基板の中心をずらして該スクリーンと該基板
を設置し、１回目の印刷終了後に該スクリーンと該基板
のうちの一方を１８０°回転することによってスクリー
ン版と印刷基板の相対位置の変更を行なう請求項１記載
のスクリーン印刷方法。 - 【請求項４】 １回目の印刷後に、印刷面上方から見た
スクリーン版と印刷基板の相対位置を、所定の方向に、
１回目の印刷によって得られた印刷パターンのエッジの
うねりの周期の実測値の（２ｎ＋１）／２倍（ｎはゼロ
以上の正の整数）だけずらして１回目の印刷と同様の印
刷を１回以上行なうことを特徴とするスクリーン印刷方
法。 - 【請求項５】 印刷基板が回路用基板であり、印刷パタ
ーンが配線パターンである請求項１ないし４のいずれか
１項に記載のスクリーン印刷方法。 - 【請求項６】 スクリーン版を固定する版枠、印刷基板
を設置する印刷基板テーブル、該印刷基板に平行に対向
配置された該スクリーンを押圧して該スクリーン上に塗
布されたインキを該印刷基板に転写するためのスキージ
を少なくとも有してなるスクリーン印刷機において、印
刷面上方から見たスクリーン版と印刷基板の相対位置を
変更する相対位置変更手段を有することを特徴とするス
クリーン印刷機。 - 【請求項７】 相対位置変更手段が、印刷基板テーブル
側面に取り付けられたダイヤルゲージである請求項６記
載のスクリーン印刷機。 - 【請求項８】 相対位置変更手段が、印刷基板テーブル
を回転させる回転手段である請求項６記載のスクリーン
印刷機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06216878A JP3073658B2 (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06216878A JP3073658B2 (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0882920A true JPH0882920A (ja) | 1996-03-26 |
| JP3073658B2 JP3073658B2 (ja) | 2000-08-07 |
Family
ID=16695334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06216878A Expired - Fee Related JP3073658B2 (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3073658B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009272405A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池素子およびその製造方法 |
| US8071916B2 (en) | 2004-06-28 | 2011-12-06 | Kyocera Corporation | Wafer heating apparatus and semiconductor manufacturing apparatus |
| CN104512094A (zh) * | 2013-10-01 | 2015-04-15 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷机、元件安装线和丝网印刷方法 |
| CN105620016A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-06-01 | 苏州华策纺织科技有限公司 | 一种可调节辊筒倾斜程度的圆网印花机装置 |
| CN114055951A (zh) * | 2020-08-04 | 2022-02-18 | 罗姆股份有限公司 | 金属层的制造方法、热敏打印头及其制造方法 |
-
1994
- 1994-09-12 JP JP06216878A patent/JP3073658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8071916B2 (en) | 2004-06-28 | 2011-12-06 | Kyocera Corporation | Wafer heating apparatus and semiconductor manufacturing apparatus |
| US8519309B2 (en) | 2004-06-28 | 2013-08-27 | Kyocera Corporation | Wafer heating apparatus and semiconductor manufacturing apparatus |
| JP2009272405A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池素子およびその製造方法 |
| CN104512094A (zh) * | 2013-10-01 | 2015-04-15 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷机、元件安装线和丝网印刷方法 |
| US10112269B2 (en) | 2013-10-01 | 2018-10-30 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Screen printer, component mounting line, and screen printing method |
| CN105620016A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-06-01 | 苏州华策纺织科技有限公司 | 一种可调节辊筒倾斜程度的圆网印花机装置 |
| CN114055951A (zh) * | 2020-08-04 | 2022-02-18 | 罗姆股份有限公司 | 金属层的制造方法、热敏打印头及其制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3073658B2 (ja) | 2000-08-07 |
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