JPH088295A - Semiconductor mounting device and manufacturing method thereof - Google Patents

Semiconductor mounting device and manufacturing method thereof

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JPH088295A
JPH088295A JP6137261A JP13726194A JPH088295A JP H088295 A JPH088295 A JP H088295A JP 6137261 A JP6137261 A JP 6137261A JP 13726194 A JP13726194 A JP 13726194A JP H088295 A JPH088295 A JP H088295A
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JP
Japan
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lead
bare chip
wiring board
semiconductor mounting
end connected
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JP6137261A
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Japanese (ja)
Inventor
Masao Segawa
雅雄 瀬川
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップ裏面を接地するとともに、実装基板上
の配線エリアを確保して他の電子部品と同様の手段で実
装できる。 【構成】 ポリイミドテープ1に、銅箔によりパターン
2を形成する。TAB法によりベアチップIC3の入出
力端子と接合するためのインナーリード4は、テープ1
のデバイスホール5に延出された状態で形成する。それ
以外に、広い面積でベタの銅箔が形成された部分をデバ
イスホール5に位置してダミーリード6を形成する。こ
のダミーリード6は、インナーリード4にそれぞれ接続
されたアウターリード7と同様に配置されたアウターリ
ード8aとしてほかのプリント基板に実装してもよい
し、TABテープ上のグランドライン8b(または電源
ライン)に接続してもよい。
(57) [Summary] [Purpose] The back surface of the chip can be grounded, and the wiring area on the mounting board can be secured to mount it by the same means as other electronic components. [Structure] A pattern 2 is formed on a polyimide tape 1 with a copper foil. The inner lead 4 for joining to the input / output terminal of the bare chip IC 3 by the TAB method is the tape 1
The device hole 5 is formed in a state of being extended. In addition, the dummy lead 6 is formed by locating the portion where the solid copper foil is formed in a large area in the device hole 5. The dummy lead 6 may be mounted on another printed circuit board as an outer lead 8a arranged in the same manner as the outer lead 7 connected to the inner lead 4, respectively, or may be mounted on the ground line 8b (or the power supply line) on the TAB tape. ) May be connected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ベアチップICを可
撓性の絶縁基板に実装してなる半導体実装装置およびそ
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor mounting device in which a bare chip IC is mounted on a flexible insulating substrate and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の軽量化・小型化の要求
に伴ない、高密度な実装技術が重要となっている。就
中、半導体素子を配線基板上に接続する実装技術は重要
であり、より小型化を狙ったポータブル機器の製品化の
ため、各社が開発に凌ぎを削っている。モールドパッケ
ージ化されていないIC(集積回路)、いわゆるベアチ
ップをフレキシブル基板に実装するTAB(Tape Autom
ated Bonding)実装法は、小型化が可能で検査が容易で
あるなどの利点を有し、最も汎用なベアチップ実装技術
である。
2. Description of the Related Art In recent years, high-density mounting technology has become important with the demand for weight reduction and size reduction of electronic devices. Especially, the mounting technology for connecting the semiconductor element to the wiring board is important, and each company is defeating the development in order to commercialize a portable device aiming at further miniaturization. A TAB (Tape Autom) that mounts an IC (integrated circuit) that is not in a mold package, a so-called bare chip, on a flexible substrate.
The ated Bonding) mounting method is the most general-purpose bare chip mounting technology because it has the advantages of being compact and easy to inspect.

【0003】以下、従来のTAB実装構造について図8
〜図10を用いて説明する。TAB実装構造は、フェイ
スダウンTABとフェイスアップTABの2種類に分類
できる。まず、図8を用い、フェイスダウンTABにつ
いて説明する。
A conventional TAB mounting structure will be described below with reference to FIG.
~ It demonstrates using FIG. The TAB mounting structure can be classified into two types, a face-down TAB and a face-up TAB. First, the face down TAB will be described with reference to FIG.

【0004】ベアチップIC81はTABテープ82の
インナーリード部83にバンプ84を介してインナーリ
ードボンディングした後に、樹脂封止85を行う。次
に、アウターリード部88を金型で打ち抜き、リードフ
ォーミングした後に、配線基板86に半田87を用いて
接続する。
The bare chip IC 81 is subjected to inner lead bonding to the inner lead portion 83 of the TAB tape 82 via the bumps 84, and then resin sealing 85 is performed. Next, the outer lead portion 88 is punched out by a die and subjected to lead forming, and then connected to the wiring board 86 with solder 87.

【0005】この構造では、ICチップ81の電極形成
面81aが下を向いているために、フェイスダウンTA
Bと呼ばれる。この構造ではTAB実装されたプリント
基板面は、他の配線パターン90が形成でき、パターン
設計の自由度が増す点で優れている。しかし、チップ裏
面81bは接地されておらず、電位が浮くことに因る特
性のばらつきが懸念される。
In this structure, since the electrode forming surface 81a of the IC chip 81 faces downward, the face down TA
Called B. In this structure, another wiring pattern 90 can be formed on the surface of the TAB-mounted printed circuit board, which is advantageous in that the degree of freedom in pattern design is increased. However, the chip back surface 81b is not grounded, and there is a concern that the characteristics may fluctuate due to the floating potential.

【0006】図9を用い、フェイスアップTABについ
て説明する。この場合、TABの表面8aを上に向けて
配線基板86に接続している。放熱性の向上とチップ裏
面8bの電位を接地するために、チップ裏面8bに相当
するエリヤを基板上にベタパターン91を形成し、導電
接着剤92により接着する。
Face-up TAB will be described with reference to FIG. In this case, the surface 8a of the TAB is connected to the wiring board 86 with the surface facing upward. In order to improve heat dissipation and to ground the potential of the chip back surface 8b, an area corresponding to the chip back surface 8b is formed as a solid pattern 91 on the substrate and bonded with a conductive adhesive 92.

【0007】従って、チップ裏面8bの電位が浮くこと
に因る特性のばらつきは防止でき、パワー用のICの放
熱性の向上を図ることができるが、TAB裏面、すなわ
ちチップ裏面8bと対向する配線基板86は配線エリア
として使用することは不可能である。
Therefore, variations in characteristics due to floating potential on the chip back surface 8b can be prevented, and the heat dissipation of the power IC can be improved. However, the wirings facing the TAB back surface, that is, the chip back surface 8b. The substrate 86 cannot be used as a wiring area.

【0008】図10はTABテープの平面図である。ベ
アチップICとの接続は、インナーリード部83にバン
プを介して行う。アウタリード部84は図面の最外周に
一部図示している。また、TABテープ以外にもフレキ
基板をもちいたベアチップ実装例もあるが、配線基板へ
の接続法は上記に説明したフェイスダウンまたはフェイ
スアップによるTABに要約できる。
FIG. 10 is a plan view of the TAB tape. The connection with the bare chip IC is performed on the inner lead portion 83 via a bump. The outer lead portion 84 is partially shown on the outermost periphery of the drawing. In addition to the TAB tape, there is also a bare chip mounting example using a flexible substrate, but the connection method to the wiring substrate can be summarized as TAB by face down or face up described above.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のTAB
実装構造は、フェイスダウンTABではチップ裏面の電
位が浮くことに因る特性のばらつきであり、フェイスア
ップTABではTAB裏面に相当するエリヤが基板配線
として使用できず、高密度実装に不利な点である。さら
に、両者の構造では、ベアチップの上下面には部品の実
装ができないため、さらに高い高密度実装の要求に対し
て対応が困難であった。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
In the mounting structure, in the face-down TAB, there are variations in characteristics due to the floating potential on the back surface of the chip, and in the face-up TAB, the area corresponding to the back surface of the TAB cannot be used as board wiring, which is disadvantageous for high-density mounting. is there. Furthermore, in both structures, since it is not possible to mount components on the upper and lower surfaces of the bare chip, it is difficult to meet the demand for higher density mounting.

【0010】この発明は、チップ裏面を有効な手段で接
地し、かつ実装基板上の配線エリアを確保できるととも
に、他の電子部品とも同様の手段で実装できる半導体実
装装置およびその製造方法を提供することを目的とす
る。
The present invention provides a semiconductor mounting device capable of grounding the back surface of a chip by effective means, securing a wiring area on a mounting board, and mounting other electronic components by the same means, and a method of manufacturing the same. The purpose is to

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明の半導体実装装
置では、集積化された内部回路の入出力部と第1の面に
配設された入出力端子とをそれぞれ電気的に接続してな
るベアチップICと、前記入出力端子を、予め固定され
た配線パターンの所望箇所に接続してなる可撓性の絶縁
基板と、一端を前記ベアチップICの第2の面側におい
て、該ベアチップICの内部回路の基準電位に接続して
固定するとともに、他端を曲げて前記基準電位と同電位
の前記絶縁基板の基準電位に電気的に接続する手段とか
らなることを特徴とする。
In the semiconductor mounting device of the present invention, the input / output portion of the integrated internal circuit and the input / output terminal arranged on the first surface are electrically connected to each other. A bare chip IC, a flexible insulating substrate formed by connecting the input / output terminals to desired locations of a wiring pattern fixed in advance, and one end of the bare chip IC inside the bare chip IC on the second surface side of the bare chip IC. It is characterized in that it comprises means for connecting and fixing to a reference potential of the circuit, and bending the other end to electrically connect to the reference potential of the insulating substrate having the same potential as the reference potential.

【0012】半導体実装装置の製造方法では、予めTA
Bテープに形成された基準電位点に接続するためのダミ
ーリードをベアチップICのボンディング面より起こし
ておく第1の工程と、前記ベアチップICの表面に配置
し、内部回路と電気的に接続されたパッドをボンディン
グして前記TABテープに電気的に接続する第2の工程
と、起こしておいた前記ダミーリードを、ボンディング
済みのベアチップICの裏面に導電接着剤を介して接続
する第3の工程と、前記TABテープのアウターリード
部をフォーミングし、プリント配線基板に接続する第4
の工程とからなることを特徴する。
In the method of manufacturing a semiconductor mounting device, the TA
The first step of raising a dummy lead for connecting to the reference potential point formed on the B tape from the bonding surface of the bare chip IC, and arranging it on the surface of the bare chip IC and electrically connected to the internal circuit A second step of electrically connecting the pad to the TAB tape by bonding, and a third step of connecting the raised dummy lead to the back surface of the bonded bare chip IC via a conductive adhesive. Forming the outer lead portion of the TAB tape and connecting it to a printed wiring board;
And the process of.

【0013】また、予め基準電位点に接続するためのダ
ミーリードが形成されたTABテープとベアチップIC
の表面に配置し内部回路に接続したパッドとをボンディ
ングして電気的に接続する第1の工程と、前記TABテ
ープのアウターリードをフォーミングし、プリント配線
基板に半田付けする第2の工程と、前記ダミーリードと
前記ベアチップICの裏面とを導電接着剤により電気的
に接続する第3の工程とからなることを特徴とする。
Also, a TAB tape and a bare chip IC on which dummy leads for connecting to a reference potential point are formed in advance.
A first step of bonding and electrically connecting to a pad arranged on the surface of and connected to an internal circuit; and a second step of forming the outer lead of the TAB tape and soldering it to a printed wiring board. The method further comprises a third step of electrically connecting the dummy lead and the back surface of the bare chip IC with a conductive adhesive.

【0014】[0014]

【作用】上記した手段により、ベアチップの接合に寄与
しない配線パターンを可撓性基板上でグランドパターン
に接続したことにより、ベアチップの裏面側で電気的な
接続ができるとともに、ベアチップの裏面を容易に接地
できる。また、配線パターンに電子部品も実装すること
でベアチップの上部に3次元的な部品配置が可能とな
る。
By connecting the wiring pattern which does not contribute to the bonding of the bare chip to the ground pattern on the flexible substrate by the means described above, electrical connection can be made on the back surface side of the bare chip and the back surface of the bare chip can be easily formed. Can be grounded. Also, by mounting electronic components on the wiring pattern, it is possible to arrange the components three-dimensionally on the bare chip.

【0015】[0015]

【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
して詳細に説明する。図1は、この発明の一実施例を説
明するためのTABテープの平面図である。厚さが75
μmのポリイミドテープ1に、厚さが20〜40μmで
幅が100〜500μmの銅箔でパターン2を形成す
る。TAB法によりベアチップIC3の入出力端子と接
合するためのインナーリード4は、テープ1のデバイス
ホール5に延出された状態で形成する。それ以外に、広
い面積でベタの銅箔が形成された部分をデバイスホール
5に位置してダミーリード6を形成する。このダミーリ
ード6は、インナーリード4にそれぞれ接続されたアウ
ターリード7と同様に配置されたアウターリード8aと
して図示しないプリント基板に実装してもよいし、TA
Bテープ上のグランドライン8b(または電源ライン)
に接続してもよい。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a TAB tape for explaining an embodiment of the present invention. 75 thickness
A pattern 2 is formed on a polyimide tape 1 having a thickness of 20 μm and a copper foil having a thickness of 20 to 40 μm and a width of 100 to 500 μm. The inner leads 4 for joining with the input / output terminals of the bare chip IC 3 by the TAB method are formed in a state of being extended to the device hole 5 of the tape 1. In addition, the dummy lead 6 is formed by locating the portion where the solid copper foil is formed in a large area in the device hole 5. The dummy leads 6 may be mounted on a printed circuit board (not shown) as outer leads 8a arranged in the same manner as the outer leads 7 connected to the inner leads 4, respectively.
Ground line 8b (or power line) on B tape
You may connect to.

【0016】図2は配線基板に実装された構造の断面図
を、図3は図2を上から見た平面図を示したもので、ア
ウターリード7の位置を図1とは異なる。ベアチップI
C3の表面3aに配置された接続用パッド3bとインナ
ーリード4とを導電接着剤10により電気的に接続す
る。このときダミーリード6は、ベアチップIC3を接
続するときに、邪魔にならないように予め起こして置
く。ベアチップIC3を接続された後にダミーリード6
をベアチップIC3シリコンで形成された裏面3cに、
導電接着剤11を介して電気的に接続する。通常、ベア
チップIC3は裏面3bをシリコンで形成し、その内部
回路の基準電位(ここでは接地として説明)とを電気的
に接続している。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the structure mounted on the wiring board, and FIG. 3 is a plan view of FIG. 2 seen from above. The position of the outer lead 7 is different from that of FIG. Bare chip I
The connection pads 3b arranged on the surface 3a of C3 and the inner leads 4 are electrically connected by the conductive adhesive 10. At this time, the dummy leads 6 are raised in advance so as not to get in the way when the bare chip IC 3 is connected. After connecting the bare chip IC3, the dummy lead 6
On the back surface 3c formed of bare chip IC3 silicon,
It is electrically connected through the conductive adhesive 11. Usually, the bare chip IC3 has a back surface 3b formed of silicon, and is electrically connected to a reference potential (described as ground here) of its internal circuit.

【0017】アウターリード7は、図1の破線7aの部
分でカットした後にフォーミングし、電子部品等が搭載
されたプリント配線基板12に形成された接続パッド1
3に半田付けする。このときダミーリード6のアウター
リード8aもプリント配線基板12の接地に接続された
接続パッド13に接続する。これにより、ベアチップI
C3の裏面3bとプリント配線基板12の接地とを電気
的に接続できる。
The outer lead 7 is cut at the portion of the broken line 7a in FIG. 1 and then formed, and the connection pad 1 formed on the printed wiring board 12 on which electronic parts and the like are mounted.
Solder to 3. At this time, the outer leads 8a of the dummy leads 6 are also connected to the connection pads 13 connected to the ground of the printed wiring board 12. As a result, the bare chip I
The back surface 3b of C3 and the ground of the printed wiring board 12 can be electrically connected.

【0018】この実施例では、ベアチップIC3と対向
するプリント配線基板12の位置に回路パターンを構成
できることは勿論のこと、ベアチップIC3の裏面3b
とプリント配線基板12の接地とを電気的に接続して電
位の浮くを防止し、特性の安定化を図ることができる。
In this embodiment, it is needless to say that the circuit pattern can be formed at the position of the printed wiring board 12 facing the bare chip IC3, and the back surface 3b of the bare chip IC3 is formed.
It can be electrically connected to the ground of the printed wiring board 12 to prevent the potential from floating and to stabilize the characteristics.

【0019】ダミーリード6の一部がテープ1上のグラ
ンドライン8bと一体のパターンの場合は、グランドラ
イン8bに接続されたアウターリード7を、プリント配
線基板12の接地に接続された接続パッド13に半田付
けする。この場合でも、ベアチップIC3の裏面3bと
プリント配線基板12の接地を電気的に接続できる。デ
バイスホール5に延出されたダミーリード6はその面積
を広くしてする。したがって、デバイスホール5に位置
するダミーリード6を予め起こしておくときの作業性が
よい。
When a part of the dummy lead 6 is a pattern integrated with the ground line 8b on the tape 1, the outer lead 7 connected to the ground line 8b is connected to the connection pad 13 connected to the ground of the printed wiring board 12. Solder to. Even in this case, the back surface 3b of the bare chip IC 3 and the ground of the printed wiring board 12 can be electrically connected. The area of the dummy lead 6 extended to the device hole 5 is widened. Therefore, workability when raising the dummy lead 6 located in the device hole 5 in advance is good.

【0020】なお、ダミーリード6を起こしたときに折
り曲がる部分6aまたは6bは、曲げ強度を上げる必要
があり、できる限りパターン幅を広くして、厚みを厚く
するのが望ましい。
It is necessary to increase the bending strength of the portion 6a or 6b which is bent when the dummy lead 6 is raised, and it is desirable to make the pattern width as wide as possible and make the thickness thick.

【0021】次に、図1〜図3を再び用い、この発明の
他の実施例について説明する。この実施例は、ダミーパ
ターン6の一端61aをデバイスホール5内にインナー
リード4より更に延ばし、他端61bを他のアウターリ
ード7と同様に配置してテープ1に形成したものであ
る。配線基板に実装した場合の、図2の断面図と図3の
平面図のダミーパターン61の他端61bの位置は図1
と異なる。
Next, referring to FIGS. 1 to 3 again, another embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, one end 61a of the dummy pattern 6 is further extended into the device hole 5 from the inner lead 4, and the other end 61b is arranged in the same manner as the other outer lead 7 to form the tape 1. The position of the other end 61b of the dummy pattern 61 in the cross-sectional view of FIG. 2 and the plan view of FIG. 3 when mounted on a wiring board is shown in FIG.
Different from

【0022】この実施例でもベアチップIC3と対向す
るプリント配線基板12の位置に回路パターンを構成で
きることは勿論のこと、ベアチップIC3の裏面3bと
プリント配線基板12の接地とを電気的に接続して電位
の浮くを防止し、特性の安定化を図ることができる。
In this embodiment as well, it is needless to say that a circuit pattern can be formed at the position of the printed wiring board 12 facing the bare chip IC3, and the back surface 3b of the bare chip IC3 and the ground of the printed wiring board 12 are electrically connected to each other to form a potential. Can be prevented and the characteristics can be stabilized.

【0023】なお、ダミーパターン61はベアチップI
C3の入出力端子を、インナーリード4に接続するイン
ナーリードボンディングの直前に、一端61aを起こし
ておく必要がある。
The dummy pattern 61 is a bare chip I.
It is necessary to raise one end 61a immediately before the inner lead bonding for connecting the input / output terminal of C3 to the inner lead 4.

【0024】図4はこの発明のもう一つの他の実施例を
説明するための平面図である。この実施例はメモリのベ
アチップIC41が搭載されるTABテープの応用例で
ある。図1の多ピンのICと異なり、メモリ用はチップ
サイズが大きい上にピン数が少ないのが特徴である。斜
線部で示したように、TABテープ42のパターン上で
ダミーリード43を一体化したアウタリード44を形成
してある。そのうち、アウタリード44は配線基板への
接続用であり、ダミーリード43は、チップ裏面の接地
用である。
FIG. 4 is a plan view for explaining another embodiment of the present invention. This embodiment is an application example of a TAB tape on which a bare chip IC 41 of a memory is mounted. Unlike the multi-pin IC shown in FIG. 1, the memory is characterized by a large chip size and a small number of pins. As shown by the hatched portion, the outer leads 44 in which the dummy leads 43 are integrated are formed on the pattern of the TAB tape 42. Among them, the outer lead 44 is for connecting to the wiring board, and the dummy lead 43 is for grounding the back surface of the chip.

【0025】図5は図4のテープ42をプリント配線基
板51に実装したときの断面構造図である。アウターリ
ード44を破線45で打ち抜いた後に、ダミーリード4
3をベアチップIC41の裏面41aに折り返し、導電
接着剤52を介して接続する。この実施例がダミーリー
ド43がテープ42のパターン上で一体化されているこ
とから、実装上に取扱いが容易と言える。
FIG. 5 is a sectional structural view when the tape 42 of FIG. 4 is mounted on the printed wiring board 51. After punching the outer lead 44 with the broken line 45, the dummy lead 4
3 is folded back on the back surface 41a of the bare chip IC 41, and is connected via the conductive adhesive 52. In this embodiment, since the dummy leads 43 are integrated on the tape 42 pattern, it can be said that the mounting is easy.

【0026】図6および図7は上述の実施例の製造工程
を示した断面図である。図2の実施例は図6に示した。
図6(a)で、あらかじめTABテープ1のダミーリー
ド6をICのボンディング面より外しておく。次に図6
(b)にて、ベアチップIC3をインナーリードボンデ
ィングし、TABテープ1に接続する。次に、図6
(c)において、ボンディング面より外したダミーリー
ド6をボンディング済みのチップ裏面3cに折り曲げ、
導電接着剤11により接続する。しかる後に、図6
(d)の如く、アウターリード7,8aをフォーミング
し、プリント配線基板12に半田付けする。
6 and 7 are sectional views showing the manufacturing process of the above-mentioned embodiment. The embodiment of FIG. 2 is shown in FIG.
In FIG. 6A, the dummy lead 6 of the TAB tape 1 is previously removed from the bonding surface of the IC. Next in FIG.
In (b), the bare chip IC 3 is inner lead bonded and connected to the TAB tape 1. Next, FIG.
In (c), the dummy lead 6 removed from the bonding surface is bent to the bonded chip back surface 3c,
Connection is made with the conductive adhesive 11. After that, Fig. 6
As shown in (d), the outer leads 7 and 8a are formed and soldered to the printed wiring board 12.

【0027】次に、図4で説明した実施例の製造プロセ
スについて図7を用いて説明する。図7(a)は、チッ
プ裏面41aに接地するためのダミーリード43が形成
済みのTABテープ42である。次に図7(b)にて、
ベアチップIC41をインナーリードボンディングし、
テープ42に接続する。次に、図7(c)で、アウター
リード44をフォーミングし、プリント配線基板51に
半田付けする。この時、ダミーリード43も同時に金型
で打ち抜かれるが、プリント配線基板51には半田付け
しない。そして、ダミーリード43をアウターリード4
4側からチップ裏面側に折り曲げ、導電接着剤52によ
り接続する。
Next, the manufacturing process of the embodiment described with reference to FIG. 4 will be described with reference to FIG. FIG. 7A shows the TAB tape 42 on which the dummy leads 43 for grounding are formed on the chip back surface 41a. Next, in FIG. 7 (b),
Inner lead bonding of bare chip IC41,
Connect to tape 42. Next, in FIG. 7C, the outer leads 44 are formed and soldered to the printed wiring board 51. At this time, the dummy leads 43 are also punched out by the mold at the same time, but they are not soldered to the printed wiring board 51. Then, the dummy lead 43 is replaced with the outer lead 4
Bending from the 4 side to the back side of the chip and connecting with the conductive adhesive 52.

【0028】この方法ではダミーリード43の折り返し
をインナーリードボンディングする前に行う図6のプロ
セスに比し、TAB実装が完了してからダミーリードの
折り返しを行う図7のプロセスの方が作業性はよくな
る。
In this method, as compared with the process of FIG. 6 in which the dummy lead 43 is folded back before the inner lead bonding, the process of FIG. 7 in which the dummy lead is folded after the TAB mounting is completed is more workable. Get better.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の半導体
実装装置およびその製造方法によれば、可撓性基板にベ
アチップICを接続するときに、チップ裏面が簡便に接
地でき、実装基板の配線スペースが確保できるととも
に、チップ裏面への電子部品の実装も可能となる。
As described above, according to the semiconductor mounting device and the method of manufacturing the same of the present invention, when the bare chip IC is connected to the flexible substrate, the back surface of the chip can be easily grounded and the wiring of the mounting substrate can be achieved. Space can be secured, and electronic parts can be mounted on the back surface of the chip.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を説明するためのTABテ
ープの正面図。
FIG. 1 is a front view of a TAB tape for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】図1のテープに接続されたベアチップICを配
線基板に実装した状態を説明するための断面図。
FIG. 2 is a sectional view for explaining a state in which a bare chip IC connected to the tape of FIG. 1 is mounted on a wiring board.

【図3】図2の平面図。FIG. 3 is a plan view of FIG. 2;

【図4】この発明の他の実施例を説明するための正面
図。
FIG. 4 is a front view for explaining another embodiment of the present invention.

【図5】図4のテープに接続されたベアチップICを配
線基板に実装した状態を説明するための断面図。
5 is a sectional view for explaining a state in which a bare chip IC connected to the tape of FIG. 4 is mounted on a wiring board.

【図6】図2に説明した実施例の製造プロセスを説明す
るための説明図。
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the manufacturing process of the embodiment described in FIG.

【図7】図5に説明した実施例の製造プロセスを説明す
るための説明図。
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the manufacturing process of the embodiment described in FIG.

【図8】従来のフェイスダウンTABを説明するための
断面図。
FIG. 8 is a sectional view for explaining a conventional face-down TAB.

【図9】従来のフェイスアップTABを説明するための
断面図。
FIG. 9 is a sectional view for explaining a conventional face-up TAB.

【図10】従来のTABテープの正面図。FIG. 10 is a front view of a conventional TAB tape.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,40,42…テープ、2…パターン、3,41…ベ
アチップIC、4…インナーリード、5…デバイスホー
ル、6,43…ダミーリード、7,8a,42,44…
アウターリード、8b…グランドライン、10,11,
52…導電接着剤、12,51…プリント配線基板、6
1…ダミーパターン。
1, 40, 42 ... Tape, 2 ... Pattern, 3, 41 ... Bare chip IC, 4 ... Inner lead, 5 ... Device hole, 6,43 ... Dummy lead, 7, 8a, 42, 44 ...
Outer lead, 8b ... Ground line 10, 11,
52 ... Conductive adhesive, 12, 51 ... Printed wiring board, 6
1 ... Dummy pattern.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 集積化された内部回路の入出力部と第1
の面に配設された入出力端子とをそれぞれ電気的に接続
してなるベアチップICと、 一端を前記入出力端子と予め固着された配線パターンの
所望箇所に接続し、他端を他のプリント配線基板に接続
するとともに、一端を前記ベアチップICの第2の面に
接続し、他端を前記他のプリント配線基板の基準電位に
接続してなる可撓性の配線基板とからなることを特徴と
する半導体実装装置。
1. An input / output unit of an integrated internal circuit and a first
A bare chip IC electrically connected to the input / output terminals arranged on the surface, and one end connected to a desired portion of the wiring pattern previously fixed to the input / output terminal and the other end connected to another print. A flexible wiring board connected to the wiring board, having one end connected to the second surface of the bare chip IC and the other end connected to the reference potential of the other printed wiring board. Semiconductor mounting device.
【請求項2】 前記一端がそれぞれ前記ベアチップIC
の第1および第2の面に接続される可撓性の配線基板
は、そのパターンのみが延出されたパッドであることを
特徴とする、請求項1記載の半導体実装装置。
2. The bare chip IC at each of the one ends
2. The semiconductor mounting device according to claim 1, wherein the flexible wiring board connected to the first and second surfaces is a pad whose pattern is extended.
【請求項3】 前記可撓性の配線基板の一端はそれぞ
れ、該可撓性基板の基材上にパターンが形成されたリー
ドであることを特徴とする、請求項1記載の半導体実装
装置。
3. The semiconductor mounting device according to claim 1, wherein one end of each of the flexible wiring boards is a lead having a pattern formed on a base material of the flexible board.
【請求項4】 前記可撓性の配線基板の第1の面に接続
される一端はパッドであり、第2の面に接続される一端
はリードであることを特徴とする、請求項1記載の半導
体実装装置。
4. The flexible wiring board according to claim 1, wherein one end connected to the first surface is a pad and one end connected to the second surface is a lead. Semiconductor mounting equipment.
【請求項5】 前記可撓性の配線基板の第1の面に接続
される一端はリードであり、第2の面に接続される一端
はパッドであることを特徴とする、請求項1記載の半導
体実装装置。
5. The flexible wiring board according to claim 1, wherein one end connected to the first surface is a lead and one end connected to the second surface is a pad. Semiconductor mounting equipment.
【請求項6】 予めTABテープに形成された基準電位
点に接続するためのダミーリードを、ベアチップICの
ボンディング面より起こしておく第1の工程と、 前記ベアチップICの表面に配置し、内部回路と電気的
に接続されたパッドをボンディングして前記TABテー
プに電気的に接続する第2の工程と、 起こしておいた前記ダミーリードを、ボンディング済み
のベアチップICの裏面に導電接着剤を介して接続する
第3の工程と、 前記TABテープのアウターリード部をフォーミング
し、プリント配線基板に接続する第4の工程とからなる
ことを特徴する半導体実装装置の製造方法。
6. A first step of raising a dummy lead for connecting to a reference potential point previously formed on a TAB tape from a bonding surface of the bare chip IC, and arranging the dummy lead on the surface of the bare chip IC to form an internal circuit. A second step of electrically connecting the pad electrically connected to the TAB tape and electrically connecting the pad to the TAB tape. A method of manufacturing a semiconductor mounting device, comprising a third step of connecting and a fourth step of forming the outer lead portion of the TAB tape and connecting it to a printed wiring board.
【請求項7】 予め基準電位点に接続するためのダミー
リードが形成されたTABテープとベアチップICの表
面に配置し内部回路に接続したパッドとをボンディング
して電気的に接続する第1の工程と、 前記TABテープのアウターリードをフォーミングし、
プリント配線基板に半田付けする第2の工程と、 前記ダミーリードと前記ベアチップICの裏面とを導電
接着剤により電気的に接続する第3の工程とからなるこ
とを特徴とする半導体実装装置の製造方法。
7. A first step of electrically connecting by bonding a TAB tape on which a dummy lead for connecting to a reference potential point is formed in advance and a pad arranged on the surface of a bare chip IC and connected to an internal circuit And forming the outer lead of the TAB tape,
Manufacturing of a semiconductor mounting device comprising a second step of soldering to a printed wiring board and a third step of electrically connecting the dummy lead and the back surface of the bare chip IC with a conductive adhesive. Method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0814510A3 (en) * 1996-06-20 1999-04-21 Kabushiki Kaisha Toshiba TAB tape and semiconductor device using the TAB tape

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EP0814510A3 (en) * 1996-06-20 1999-04-21 Kabushiki Kaisha Toshiba TAB tape and semiconductor device using the TAB tape
CN1087102C (en) * 1996-06-20 2002-07-03 东芝株式会社 Semiconductor apparatus

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