JPH088379B2 - Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 - Google Patents
Ｃｏ▲下２▼レーザ装置Info
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- JPH088379B2 JPH088379B2 JP63158388A JP15838888A JPH088379B2 JP H088379 B2 JPH088379 B2 JP H088379B2 JP 63158388 A JP63158388 A JP 63158388A JP 15838888 A JP15838888 A JP 15838888A JP H088379 B2 JPH088379 B2 JP H088379B2
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- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Laser Beam Processing (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は加工用や医療用などに用いられるCO2レーザ
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来の技術 第７図に従来のCO2レーザ装置の概略図を示す。この
高速ガス流タイプのCO2レーザ装置においては、２対の
リング状の内部電極21を有してCO2レーザを励起発振す
る直線円筒形状の放電管22の両端部側および中央部側
に、３通路を有したＥ字形の循環経路23を接続して、CO
2を含むガスからなるレーザ媒質を、循環経路23の中央
通路に設けたルーツブロア24により矢印で示すように循
環させている。循環経路23には、ルーツブロア24の他
に、この循環系内を一定圧力に保持する真空ポンプ25
と、放電により発生した熱を冷却するガスクーラ26と、
ルーツブロア24の圧縮熱を冷却するガスクーラ27とが組
込まれている。
高速ガス流タイプのCO2レーザ装置においては、２対の
リング状の内部電極21を有してCO2レーザを励起発振す
る直線円筒形状の放電管22の両端部側および中央部側
に、３通路を有したＥ字形の循環経路23を接続して、CO
2を含むガスからなるレーザ媒質を、循環経路23の中央
通路に設けたルーツブロア24により矢印で示すように循
環させている。循環経路23には、ルーツブロア24の他
に、この循環系内を一定圧力に保持する真空ポンプ25
と、放電により発生した熱を冷却するガスクーラ26と、
ルーツブロア24の圧縮熱を冷却するガスクーラ27とが組
込まれている。
このように構成された高速ガス流タイプのCO2レーザ
装置より得られるレーザ光は放電管22の一端に設けられ
た終段鏡（全反射鏡が多い）28とこれに対向して放電管
22の他端に設けられた部分透過鏡29との間で光増幅され
る。このレーザ光のパワーの強度分布を示す横モード特
性は、第９図に示されるような回折損失とフレネル数Ｎ
によって示され、フレネル数ＮはＮ＝ａ２/d・λの式で
表わされる。ここで、ｄは終段鏡28と部分透過鏡29との
間の距離、λはレーザ光の波長、ａは放電管22内のビー
ム径であり、このビーム径は一般に放電管22の内径に比
例しており、この内径に大きく影響される。第９図にお
いてＳはシングルモード、Ｍはマルチモードである。加
工の切断などにふさわしい横モード特性はシングルモー
ドを用いたものであるが、このシングルモードをより多
く得るためには、終段鏡28と部分透過鏡29との間の距離
が既に決まっている場合、放電管22の内径を小さくして
シングルモードＳの回折損失ｘを小さくし、マルチモー
ドＭの回折損失ｙを大きくする必要があり、第９図にお
いてフレネル数Ｎがｎとなる所定点で、マルチモードＭ
の回折損失ｙがシングルモードＳの回折損失ｘより大き
くなって、なおかつ十分なエネルギーを有するシングル
モードＳが得られる。
装置より得られるレーザ光は放電管22の一端に設けられ
た終段鏡（全反射鏡が多い）28とこれに対向して放電管
22の他端に設けられた部分透過鏡29との間で光増幅され
る。このレーザ光のパワーの強度分布を示す横モード特
性は、第９図に示されるような回折損失とフレネル数Ｎ
によって示され、フレネル数ＮはＮ＝ａ２/d・λの式で
表わされる。ここで、ｄは終段鏡28と部分透過鏡29との
間の距離、λはレーザ光の波長、ａは放電管22内のビー
ム径であり、このビーム径は一般に放電管22の内径に比
例しており、この内径に大きく影響される。第９図にお
いてＳはシングルモード、Ｍはマルチモードである。加
工の切断などにふさわしい横モード特性はシングルモー
ドを用いたものであるが、このシングルモードをより多
く得るためには、終段鏡28と部分透過鏡29との間の距離
が既に決まっている場合、放電管22の内径を小さくして
シングルモードＳの回折損失ｘを小さくし、マルチモー
ドＭの回折損失ｙを大きくする必要があり、第９図にお
いてフレネル数Ｎがｎとなる所定点で、マルチモードＭ
の回折損失ｙがシングルモードＳの回折損失ｘより大き
くなって、なおかつ十分なエネルギーを有するシングル
モードＳが得られる。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、この種のCO2レーザ装置によれば、放
電管22の内径を小さくすると、循環経路23から放電管22
への接続部において流路抵抗が大きくなって、循環経路
23におけるレーザ媒質の入口箇所のガス圧力P1と循環経
路23におけるレーザ媒質の出口箇所のガス圧力P2との差
圧力が大きくなる。レーザ媒質のガスを循環させている
ルーツブロア24では差圧力とガスを送出す流量能力とは
第10図に示すような特性があるため、差圧力がｂからｃ
に大きくなるとルーツブロア24の流量能力がｅからｆに
低下してレーザ出力が低下する問題を有していた。
電管22の内径を小さくすると、循環経路23から放電管22
への接続部において流路抵抗が大きくなって、循環経路
23におけるレーザ媒質の入口箇所のガス圧力P1と循環経
路23におけるレーザ媒質の出口箇所のガス圧力P2との差
圧力が大きくなる。レーザ媒質のガスを循環させている
ルーツブロア24では差圧力とガスを送出す流量能力とは
第10図に示すような特性があるため、差圧力がｂからｃ
に大きくなるとルーツブロア24の流量能力がｅからｆに
低下してレーザ出力が低下する問題を有していた。
本発明は上記問題を解決するもので、シングルモード
をより多く得ることができ、かつレーザ出力が低下する
ことのないCO2レーザ装置を提供することを目的とする
ものである。
をより多く得ることができ、かつレーザ出力が低下する
ことのないCO2レーザ装置を提供することを目的とする
ものである。
課題を解決するための手段 上記問題を解決するために本発明のCO2レーザ装置
は、放電管とこの放電管に接続した循環経路との中で炭
酸ガスレーザ媒質を高速に循環させながら、前記炭酸ガ
スレーザ媒質を前記放電管内で放電励起してレーザ発振
させ、レーザ光を部分透過鏡より取出すCO2レーザ装置
であって、前記部分透過鏡およびこれに対向する終端位
置の終段鏡の少なくとも一方の有効径をレーザ光のシン
グルモード化に必要な有効径と同一にし、かつ前記放電
管の管径を前記有効径よりも大きくして放電管と循環経
路との間のガス流路抵抗を小さくしたものである。
は、放電管とこの放電管に接続した循環経路との中で炭
酸ガスレーザ媒質を高速に循環させながら、前記炭酸ガ
スレーザ媒質を前記放電管内で放電励起してレーザ発振
させ、レーザ光を部分透過鏡より取出すCO2レーザ装置
であって、前記部分透過鏡およびこれに対向する終端位
置の終段鏡の少なくとも一方の有効径をレーザ光のシン
グルモード化に必要な有効径と同一にし、かつ前記放電
管の管径を前記有効径よりも大きくして放電管と循環経
路との間のガス流路抵抗を小さくしたものである。
また、本発明の他のCO2レーザ装置は、放電管とこの
放電管に接続した循環経路との中で炭酸ガスレーザ媒質
を高速に循環させながら、前記炭酸ガスレーザ媒質を前
記放電管内で放電励起してレーザ発振させ、レーザ光を
部分透過鏡より取出すCO2レーザ装置であって、前記部
分透過鏡とこれに対向する終端位置の終段鏡との間に、
シングルモード化に必要な有効径と同径の孔部を有する
瀬切り部材を配設し、かつ前記放電管の管径を前記有効
径よりも大きくして放電管と循環経路との間のガス流路
抵抗を小さくしたものである。
放電管に接続した循環経路との中で炭酸ガスレーザ媒質
を高速に循環させながら、前記炭酸ガスレーザ媒質を前
記放電管内で放電励起してレーザ発振させ、レーザ光を
部分透過鏡より取出すCO2レーザ装置であって、前記部
分透過鏡とこれに対向する終端位置の終段鏡との間に、
シングルモード化に必要な有効径と同径の孔部を有する
瀬切り部材を配設し、かつ前記放電管の管径を前記有効
径よりも大きくして放電管と循環経路との間のガス流路
抵抗を小さくしたものである。
作用 上記構成により、部分透過鏡および終段鏡の少なくと
も一方の有効径をレーザ光のシングルモード化に必要な
有効径と同一としたのでシングルモードをより多く得る
ことができ、また放電管の径を変更可能となる。この状
態で放電管の径を大きくしたので、放電管と循環経路と
の接続箇所に発生する流路抵抗を小さく抑えることがで
き、十分なレーザ出力を得ることができる。
も一方の有効径をレーザ光のシングルモード化に必要な
有効径と同一としたのでシングルモードをより多く得る
ことができ、また放電管の径を変更可能となる。この状
態で放電管の径を大きくしたので、放電管と循環経路と
の接続箇所に発生する流路抵抗を小さく抑えることがで
き、十分なレーザ出力を得ることができる。
また、瀬切り部材を設けたCO2レーザ装置では、瀬切
り部材の孔部をレーザ光のシングルモード化に必要な有
効径と同一としたのでシングルモードをより多く得るこ
とができるとともに放電管の径を変更可能となる。この
状態で放電管の径を大きくしたので、上記CO2レーザ装
置と同様な作用効果が得られる。
り部材の孔部をレーザ光のシングルモード化に必要な有
効径と同一としたのでシングルモードをより多く得るこ
とができるとともに放電管の径を変更可能となる。この
状態で放電管の径を大きくしたので、上記CO2レーザ装
置と同様な作用効果が得られる。
実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すCO2レーザ装置の概
略図、第２図および第３図はそれぞれ同CO2レーザ装置
の要部拡大図である。この高速ガス流タイプのCO2レー
ザ装置において、循環経路３、ルーツブロア４、真空ポ
ンプ５およびガスクーラ6,7は従来のCO2レーザ装置と同
じ構成であるため、その説明は省略する。直線円筒形状
の放電管２は、その内径が循環経路３の内径とほぼ同一
となるように大きく広げられている。放電管２の両端部
側および中央部側には、第２図に示すように、放電管２
と同径の内部電極１がそれぞれ配設されている。また放
電管２の一端部には全反射鏡が多く用いられている終段
鏡８が、また他端部には部分透過鏡９がそれぞれ配設さ
れ、これらは対向されている。ここで、部分透過鏡９は
中央の円板部9aのみが部分透過鏡としての役目を果た
し、周囲のリング形状部9bはこの円板部9aを支持するだ
けで部分透過鏡の役目は果たさない。そして、円板部9a
の直径は、終段鏡８と部分透過鏡９との間の距離との関
係からほぼシングルモードが得られる寸法に設定されて
いる。また、図示しない終段鏡８も同様な構成とされて
いる。
略図、第２図および第３図はそれぞれ同CO2レーザ装置
の要部拡大図である。この高速ガス流タイプのCO2レー
ザ装置において、循環経路３、ルーツブロア４、真空ポ
ンプ５およびガスクーラ6,7は従来のCO2レーザ装置と同
じ構成であるため、その説明は省略する。直線円筒形状
の放電管２は、その内径が循環経路３の内径とほぼ同一
となるように大きく広げられている。放電管２の両端部
側および中央部側には、第２図に示すように、放電管２
と同径の内部電極１がそれぞれ配設されている。また放
電管２の一端部には全反射鏡が多く用いられている終段
鏡８が、また他端部には部分透過鏡９がそれぞれ配設さ
れ、これらは対向されている。ここで、部分透過鏡９は
中央の円板部9aのみが部分透過鏡としての役目を果た
し、周囲のリング形状部9bはこの円板部9aを支持するだ
けで部分透過鏡の役目は果たさない。そして、円板部9a
の直径は、終段鏡８と部分透過鏡９との間の距離との関
係からほぼシングルモードが得られる寸法に設定されて
いる。また、図示しない終段鏡８も同様な構成とされて
いる。
上記構成により、放電管２と環境経路３との中で炭酸
ガスレーザ媒質はツールブロア４により、第１図に矢印
で示すように、高速に循環され、この炭酸ガスレーザ媒
質は放電管２の中で放電励起され、これによりレーザ光
が発振し、このレーザ光は部分透過鏡９より外部に取出
される。このとき、部分透過鏡９および終段鏡８の有効
径をレーザ光のシングルモード化に必要な有効径と同一
としたのでシングルモードをより多く得ることができ、
また放電管２の径を変更可能となる。このような状態で
放電管２の内径を循環経路３の内径とほぼ同一となるよ
うに大きく広げているので放電管２と循環経路３との接
続箇所に発生する流路抵抗を小さく抑えることができ、
循環経路３におけるレーザ媒質の入口側箇所の圧力P1と
出口側箇所の圧力P2との差（圧力）もほぼ０となり、ル
ーツブロア４の流量能力が最大限に発揮されて十分なレ
ーザ出力を得ることができる。
ガスレーザ媒質はツールブロア４により、第１図に矢印
で示すように、高速に循環され、この炭酸ガスレーザ媒
質は放電管２の中で放電励起され、これによりレーザ光
が発振し、このレーザ光は部分透過鏡９より外部に取出
される。このとき、部分透過鏡９および終段鏡８の有効
径をレーザ光のシングルモード化に必要な有効径と同一
としたのでシングルモードをより多く得ることができ、
また放電管２の径を変更可能となる。このような状態で
放電管２の内径を循環経路３の内径とほぼ同一となるよ
うに大きく広げているので放電管２と循環経路３との接
続箇所に発生する流路抵抗を小さく抑えることができ、
循環経路３におけるレーザ媒質の入口側箇所の圧力P1と
出口側箇所の圧力P2との差（圧力）もほぼ０となり、ル
ーツブロア４の流量能力が最大限に発揮されて十分なレ
ーザ出力を得ることができる。
なお、部分透過鏡９および終段鏡８の両者とも所定箇
所のみがその機能を発揮するものを使用するかわりにい
ずれか一方の鏡だけ上記のようなものを用いるだけでも
同様の作用効果が得られる。
所のみがその機能を発揮するものを使用するかわりにい
ずれか一方の鏡だけ上記のようなものを用いるだけでも
同様の作用効果が得られる。
また、第３図に示すようにリング状の内部電極１を設
けるかわりに、第４図に示すように、放電管２′の外面
に、その軸心部に対して対向する外部電極１′を設けた
CO2レーザ装置に適用してもよく、これによればレーザ
媒質が一様な相流である場合に放電管２′内の放電状態
を一様にでき、かつレーザ光を得る領域を内部電極を用
いたものより広げることができる。
けるかわりに、第４図に示すように、放電管２′の外面
に、その軸心部に対して対向する外部電極１′を設けた
CO2レーザ装置に適用してもよく、これによればレーザ
媒質が一様な相流である場合に放電管２′内の放電状態
を一様にでき、かつレーザ光を得る領域を内部電極を用
いたものより広げることができる。
第５図は本発明の他の実施例を示すCO2レーザ装置の
概略図、第６図は同CO2レーザ装置の要部拡大図であ
る。この高速ガス流タイプのCO2レーザ装置において
も、循環経路13、ルーツブロア14、真空ポンプ15および
ガスクーラ16,17は従来のCO2レーザ装置と同じ構成であ
るため、その説明は省略する。そして、上記実施例と同
様に、直線円筒形状の放電管12は、その内径が循環経路
13の内径とほぼ同一となるように大きく広げられ、放電
管12の両端部側および中央部側には、第６図に示すよう
に、放電管12と同径の内部電極11がそれぞれ配設されて
いる。また放電管12の一端部には全反射鏡が多く用いら
れている終段鏡18が、また他端部には部分透過鏡19がそ
れぞれ配設され、これらは対向されている。なお、これ
らの最終鏡18および部分透過鏡19は単に全面が反射およ
び部分透過するものである。さらに、部分透過鏡18と終
段鏡19との間に、シングルモードが得られる寸法の孔部
20aを有する瀬切り部材20が配設され、本実施例ではこ
の瀬切り部材20が金属製であるため、放電状態に悪影響
を及ぼさないように、放電領域の外、すなわち、部分透
過鏡18とその一番近傍の内部電極11との間に配置されて
いる。
概略図、第６図は同CO2レーザ装置の要部拡大図であ
る。この高速ガス流タイプのCO2レーザ装置において
も、循環経路13、ルーツブロア14、真空ポンプ15および
ガスクーラ16,17は従来のCO2レーザ装置と同じ構成であ
るため、その説明は省略する。そして、上記実施例と同
様に、直線円筒形状の放電管12は、その内径が循環経路
13の内径とほぼ同一となるように大きく広げられ、放電
管12の両端部側および中央部側には、第６図に示すよう
に、放電管12と同径の内部電極11がそれぞれ配設されて
いる。また放電管12の一端部には全反射鏡が多く用いら
れている終段鏡18が、また他端部には部分透過鏡19がそ
れぞれ配設され、これらは対向されている。なお、これ
らの最終鏡18および部分透過鏡19は単に全面が反射およ
び部分透過するものである。さらに、部分透過鏡18と終
段鏡19との間に、シングルモードが得られる寸法の孔部
20aを有する瀬切り部材20が配設され、本実施例ではこ
の瀬切り部材20が金属製であるため、放電状態に悪影響
を及ぼさないように、放電領域の外、すなわち、部分透
過鏡18とその一番近傍の内部電極11との間に配置されて
いる。
上記構成によっても、放電管12と循環経路13との中で
炭酸ガスレーザ媒質はツールブロア14により第５図に矢
印で示すように、高速に循環され、この炭酸ガスレーザ
媒質は放電管12の中で放電励起され、これによりレーザ
光が発振し、このレーザ光は部分透過鏡19より外部に取
出される。このとき、瀬切り部材20の孔部20aの径をレ
ーザ光のシングルモード化に必要な有効径と同一とした
のでシングルモードをより多く得ることができ、また放
電管12の径を変更可能となる。このような状態で、上記
実施例と同様に、放電管12の内径を環境経路13の内径と
ほぼ同一となるように大きく広げているので、十分なレ
ーザ出力を得ることができる。
炭酸ガスレーザ媒質はツールブロア14により第５図に矢
印で示すように、高速に循環され、この炭酸ガスレーザ
媒質は放電管12の中で放電励起され、これによりレーザ
光が発振し、このレーザ光は部分透過鏡19より外部に取
出される。このとき、瀬切り部材20の孔部20aの径をレ
ーザ光のシングルモード化に必要な有効径と同一とした
のでシングルモードをより多く得ることができ、また放
電管12の径を変更可能となる。このような状態で、上記
実施例と同様に、放電管12の内径を環境経路13の内径と
ほぼ同一となるように大きく広げているので、十分なレ
ーザ出力を得ることができる。
なお、瀬切り部材は、部分透過鏡19の側に設けずに、
終段鏡18の側に設けてもよい。また、上記実施例と同様
に、内部電極の変わりに外部電極を設けてもよい。
終段鏡18の側に設けてもよい。また、上記実施例と同様
に、内部電極の変わりに外部電極を設けてもよい。
発明の効果 以上、本発明によれば、いずれにおいても、放電管の
内径に規制されないでシングルモードを多く得ることの
できる構造が実現され、これにより放電管の内径を拡大
できて十分なレーザ出力を得ることができ、高品質のCO
2レーザ装置の提供ができる。
内径に規制されないでシングルモードを多く得ることの
できる構造が実現され、これにより放電管の内径を拡大
できて十分なレーザ出力を得ることができ、高品質のCO
2レーザ装置の提供ができる。
第１図は本発明の一実施例を示すCO2レーザ装置の概略
図、第２図および第３図はそれぞれ同CO2レーザ装置の
要部拡大図、第４図は同CO2レーザ装置に外部電極を適
用した場合の拡大部、第５図および第６図はそれぞれ本
発明の他の実施例を示すCO2レーザ装置の概略図および
要部拡大図、第７図および第８図はそれぞれ従来のCO2
レーザ装置の概略図および要部拡大図、第９図はフレネ
ル数と回折損失とに対するシングルモードおよびマルチ
モードの特性図、第10図はツールブロアの差圧力とガス
流量とに対する特性図である。 1,11……内部電極、１′……外部電極、2,2′,12……放
電管、3,13……循環経路、4,14……ルーツブロア、5,15
……真空ポンプ、6,7,16,17……ガスクーラ、8,18……
終段鏡、9,19……部分透過鏡、9a……円板部、9b……リ
ング形状部、20……瀬切り部材、20a……孔部。
図、第２図および第３図はそれぞれ同CO2レーザ装置の
要部拡大図、第４図は同CO2レーザ装置に外部電極を適
用した場合の拡大部、第５図および第６図はそれぞれ本
発明の他の実施例を示すCO2レーザ装置の概略図および
要部拡大図、第７図および第８図はそれぞれ従来のCO2
レーザ装置の概略図および要部拡大図、第９図はフレネ
ル数と回折損失とに対するシングルモードおよびマルチ
モードの特性図、第10図はツールブロアの差圧力とガス
流量とに対する特性図である。 1,11……内部電極、１′……外部電極、2,2′,12……放
電管、3,13……循環経路、4,14……ルーツブロア、5,15
……真空ポンプ、6,7,16,17……ガスクーラ、8,18……
終段鏡、9,19……部分透過鏡、9a……円板部、9b……リ
ング形状部、20……瀬切り部材、20a……孔部。
Claims (2)
- 【請求項１】放電管とこの放電管に接続した循環経路と
の中で炭酸ガスレーザ媒質を高速に循環させながら、前
記炭酸ガスレーザ媒質を前記放電管内で放電励起してレ
ーザ発振させ、レーザ光を部分透過鏡より取出すCO2レ
ーザ装置であって、前記部分透過鏡およびこれに対向す
る終端位置の終段鏡の少なくとも一方の有効径をレーザ
光のシングルモード化に必要な有効径と同一にし、かつ
前記放電管の管径を前記有効径よりも大きくして放電管
と循環経路との間のガス流路抵抗を小さくしたCO2レー
ザ装置。 - 【請求項２】放電管とこの放電管に接続した循環経路と
の中で炭酸ガスレーザ媒質を高速に循環させながら、前
記炭酸ガスレーザ媒質を前記放電管内で放電励起してレ
ーザ発振させ、レーザ光を部分透過鏡より取出すCO2レ
ーザ装置であって、前記部分透過鏡とこれに対向する終
端位置の終段鏡との間に、シングルモード化に必要な有
効径と同径の孔部を有する瀬切り部材を配設し、かつ前
記放電管の管径を前記有効径よりも大きくして放電管と
循環経路との間のガス流路抵抗を小さくしたCO2レーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158388A JPH088379B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158388A JPH088379B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027585A JPH027585A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH088379B2 true JPH088379B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=15670636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63158388A Expired - Lifetime JPH088379B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088379B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5918700Y2 (ja) * | 1981-12-24 | 1984-05-30 | 工業技術院長 | レ−ザ−発振装置 |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP63158388A patent/JPH088379B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH027585A (ja) | 1990-01-11 |
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